KR100826133B1 - 불소수지제의 통형상 부재의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

불소수지제의 통형상 부재에 있어서, 불소수지로 성형한 통형상체를 축방향으로 연신해서 열적으로 고정한 불소수지제의 통형상 부재로 했으므로, 기체의 투과성이 작은 불소수지제의 튜브로 할 수 있으며, 불소수지제의 튜브가 필요로 되는 약액 공급라인 등의 배관재료로서 이용한 경우에는, 기체의 누설, 배관표면에의 결로의 방지를 꾀할 수 있다.

Description

불소수지제의 통형상 부재의 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL MEMBER MADE FROM FLUORORESIN}
본 발명은, 불소수지제의 통형상 부재에 관한 것으로, 액체 등의 반송용 호스, 튜브 등으로서 이용된 경우에, 기체의 투과성이 작은 가스 배리어성이 우수한 불소수지제의 통형상 부재에 관한 것이다.
반도체 제조공정을 비롯해서, 내화학약품성이 요구되는 용도에 있어서 불소수지제의 재료가 널리 사용되고 있다.
예를 들면 액체의 배관용에는 불소수지재료를 압출성형 등에 의해 제조한 호스, 튜브 등의 통형상 부재가 사용되고 있다.
그런데, 불소수지로서 널리 사용되고 있는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA)의 필름 또는 튜브는, 수중의 산소 등의 기체검출용 센서의 기체 투과막으로서 사용되거나, 또는 이들 튜브는 반도체 제조공정에 있어서 사용되는 액체중에 함유되는 용존기체를 탈기하는 등의 목적으로도 사용되고 있듯이, 불소수지제의 통형상 부재는 기체 투과성이 크다는 특성을 갖고 있다.
한편, 반도체 제조공정을 비롯해서, 내화학약품성, 내용제성이 요구되는 분 야에 있어서 불소수지제의 호스, 튜브 등을 약액, 순수 등의 액체의 반송에 사용한 경우에는, 액체중에 용존되어 있는 기체나, 액체의 증기가 이들 튜브 등으로부터 누설되거나, 또는 누설된 기체가 튜브 등의 표면에 결로되고, 나아가서는 튜브 근방이 액체로 젖게 된다는 문제점이 있었다.
이 때문에, 반도체 제조공정에 있어서는, 배관 표면의 액체를 닦아내거나, 또는 튜브를 교환하는 등의 작업을 빈번히 행할 필요가 있었다.
일반적으로 합성수지제 부재의 기체투과를 방지하거나 저하시키기 위해서는, 기체 투과성이 작은 부재와의 다층 튜브로 하거나, 금속, 세라믹스 등의 증착, 도금, 또는 필러를 혼합하는 방법이 행해지고 있다.
그러나, 불소수지로 이루어지는 튜브는, 내화학약품성이 요구되는 용도, 또는 튜브로부터의 용출물질에 의한 오염의 방지가 요구되는 용도에 있어서 사용되므로, 기체의 투과성을 저하시키기 위해서 불소수지 조성물중에 다른 물질을 첨가하거나, 다층구성으로 해서 대응할 수는 없었다.
본 발명은, 불소수지제의 호스, 튜브 등의 통형상 부재에 있어서, 불소수지가 갖고 있는 내화학약품성 등의 우수한 특성을 희생시키지 않고 기체의 투과성을 저하시킴으로써 기체의 누설, 또는 누설된 증기가 튜브 표면에 결로되는 것을 방지하는 것을 과제로 하는 것이다.
본 발명의 과제는, 불소수지제의 통형상 부재에 있어서, 불소수지로 성형된 통형상체를 축방향으로 연신한 후에, 열적으로 고정한 불소수지제의 통형상 부재에 의해 해결할 수 있다.
또한 불소수지제의 통형상 부재의 연신을 성형온도 이하의 온도로 가열한 상태에서 행한 후에, 성형온도 이하의 온도에서 어닐을 행해서 열고정을 한 것인 상기 불소수지제의 통형상 부재이다.
불소수지제의 통형상 부재를 연신전의 길이의 2배∼10배의 길이로 연신을 행한 상기 불소수지제의 통형상 부재이다.
또한 불소수지가 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE), 폴리 불화 비닐리덴(PVDF), 폴리클로로플루오로에틸렌(PCTFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-비닐리덴플루오라이드 3원 공중합체(THV)에서 선택되는 적어도 1종인 상기 불소수지제의 통형상 부재이다.
또한 불소수지가 열가소성 수지로 이루어지고, 용융된 후에 성형된 상기 불소수지제의 통형상 부재이다.
본 발명의 불소수지제의 통형상 부재는, 성형후에 연신처리를 실시해서 고정한 것이므로 연신전의 불소수지제의 통형상 부재와 내화학약품성 등의 특성은 손상되지 않고, 기체의 투과성이 억제된 것이 얻어지므로, 반도체 제조공정 등에 있어서 약액의 공급용 튜브로서 사용하는 경우에는, 기체의 누설, 튜브 표면에의 결로가 생기기 어려운 불소수지제 튜브를 제공할 수 있다.
도1은 본 발명의 시료튜브 및 비교튜브의 기체의 투과성의 평가방법을 설명하는 도이다.
본 발명은, 불소수지제 튜브를 성형후에 축방향으로 연신함으로써, 불소수지제 튜브의 조성 등을 변화시키지 않고 기체의 투과만을 억제하는 것이 가능한 것을 찾아낸 것이다.
본 발명의 불소수지제 튜브의 기체의 투과성이 연신전에 비해서 억제된 이유는 확실하지는 않지만, 성형후에 행해진 연신의 결과, 불소수지의 분자가 축방향으로 배향되어, 튜브 벽면을 따라 밀접하게 배열된 것에 의한 것이라고 추찰된다.
본 발명의 불소수지제 관에 사용할 수 있는 불소수지는, 압출성형 등에 의해 통형상으로 성형 가능한 불소수지재료이면 널리 사용할 수 있다.
그러한 불소수지로서는 구체적으로는, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE), 폴리 불화 비닐리덴(PVDF), 폴리클로로플루오로에틸렌(PCTFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-비닐리덴플루오라이드 3원 공중합체(THV)에서 선택되는 적어도 1종을 들 수 있다.
이들 중에서도 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-비닐리덴 플루오라이드 3원 공중합체(THV)가 바람직하다.
특히, 열가소성 불소수지의 경우에는, 가열 용융한 후에 압출성형 등에 의해 임의의 형상의 부재의 형성을 용이하게 행할 수 있다.
또한 불소수지제의 통형상 부재의 연신은, 압출성형 등에 의해 통형상의 부재를 성형한 후에, 성형시의 온도 이하의 온도에서 연신을 행하고, 연신후에 연신온도 이하의 온도에서 어닐처리를 행해서 열고정을 하는 것이 바람직하다.
또한 불소수지제의 관의 연신배율은, 연신전의 불소수지제의 관의 길이에 대해서 2∼10배로 하는 것이 바람직하다.
연신배율이 2배보다 작은 경우에는 기체의 투과율의 저하의 효과가 작고, 10배보다 크게 되면 백색화, 강도저하 등이 발생하므로 바람직하지 못하다.
또한 연신은, 성형온도 이하이며 유리전이온도 이상, 융점 이하의 온도조건에서 행하는 것이 바람직하다.
유리전이온도 이하에서는 연신시의 변형이 커져서 치수안정성이 얻어지지 못한다. 한편, 융점 이상에서는 연신시에 절단이 일어나기 쉬워져 충분한 연신배율이 얻어지지 못한다.
본 발명의 불소수지제의 통형상 부재는, 연신후에는 투명성이 향상되므로, 액체의 반송용의 튜브로서 사용한 경우에는, 튜브내의 액체의 상태를 확인하기 쉬워진다. 또한, 연신에 의해 표면의 평활성도 향상되므로, 액체의 유동성이 향상된다는 효과도 얻어지고, 연신방향의 선팽창률이 저하되어, 치수안정성이 향상됨과 아울러 인장강도도 향상된다.
이하에 본 발명의 실시예, 비교예를 나타내어 본 발명을 설명한다.
(실시예1)
(시료튜브1의 제작)
테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(미츠이 듀폰 플로로케미칼제 PFA451HP-J)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해 내경 13.4mm, 외경 17.9mm의 튜브를 제작했다.
계속해서, 튜브를 온도 280℃, 이송속도 0.17m/min, 당김속도 1.0m/min로 6배로 연신한 후, 온도 220℃, 이송속도 0.60m/min, 당김속도 0.50mm/min로 어닐처리를 행하여, 20%의 수축처리를 실시했다.
(기체 투과성의 평가)
도1에 나타내듯이, 온도 25℃에 있어서, 길이 1080mm의 시료튜브1을 감압용기(2)내에 장착하고, 산소를 포화시킨 정제수(4)(산소농도 8.1ppm)를 정량 펌프(5)의 유량을 바꾸어서 시료튜브1에 공급한 상태에서, 감압용기(2)내를 감압펌프(3)에 의해 5.3㎪로 감압시키고, 시료튜브1을 통과한 후의 정제수의 용존산소량을 용존산소농도 측정장치로 측정하고, 시료튜브를 통과하기 전의 정제수의 용존산소농도와의 차로부터 시료튜브의 기체 투과성을 구해서, 그 결과를 표1에 있어서, 시료1로서 나타낸다.
(비교예1)
(비교튜브1의 제작)
테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(미츠이 듀폰 플로로 케미칼제 PFA 451HP-J)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해서 내경 6.0mm, 외경 8.0mm, 두께 1.0mm의 비교튜브1를 제작했다.
(기체 투과성의 평가)
실시예1의 시료튜브 대신에, 길이 1140mm의 비교튜브1을 장착해서, 실시예1의 평가조건과 마찬가지로 비교튜브의 기체 투과성을 측정하여, 그 결과를 표1에 있어서, 비교1로서 나타낸다.
(표1)
Figure 112006013593832-pct00001
(실시예2)
(시료튜브2의 제작)
테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(다이킨고교제 FEP NP-20)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해 내경 12.2mm, 외경 16.3mm 의 튜브를 제작했다.
계속해서, 튜브를 온도 230℃, 이송속도 0.20m/min, 당김속도 1.0m/min로 5배로 연신한 후, 계속해서, 튜브를 온도 180℃, 이송속도 0.60m/min, 당김속도 0.50mm/min로 어닐처리를 행하고, 20%의 수축처리를 실시했다.
(기체 투과성의 평가)
실시예1에 있어서, 시료튜브1 대신에, 길이 1090mm의 시료튜브2를 장착해서 실시예1과 같은 방법으로 기체 투과성을 측정하고, 그 결과를 표2에 있어서, 시료2로서 나타낸다.
(비교예2)
(비교튜브2의 제작)
테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(다이킨고교제 FEP NP-20)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해 내경 6.0mm, 외경 8.0mm의 튜브를 제작했다.
(기체 투과성의 평가)
실시예1의 시료튜브 대신에, 길이 1160mm의 비교튜브2를 장착해서, 실시예1의 평가조건과 마찬가지로 비교튜브의 기체 투과성을 측정해서, 그 결과를 표2에 있어서, 비교2로서 나타낸다.
(표2)
Figure 112006013593832-pct00002
(실시예3)
(시료튜브3의 제작)
테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(미츠이 듀폰 플로로케미칼제 950HP-plus)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해 내경 13.4mm, 외경 17.9mm의 튜브를 제작했다.
계속해서, 튜브를 온도 280℃, 이송속도 0.15m/min, 당김속도 0.9m/min로 6배로 연신한 후, 온도 200℃, 이송속도 0.60m/min, 당김속도 0.50mm/min로 어닐처리를 행하고, 20%의 수축처리를 실시했다.
(기체 투과성의 평가)
실시예1에 있어서, 시료튜브1 대신에, 길이 1100mm의 시료튜브3을 장착해서 실시예1과 마찬가지로 해서 기체 투과성을 측정해서, 그 결과를 표3에 있어서, 시료3으로서 나타낸다.
(비교예3)
(비교튜브3의 제작)
테트라플루오로에틸렌-플루오로알킬비닐에테르 공중합체(미츠이 듀폰 플로로케미칼제 950HP-plus)를 다이온도 380℃의 1축 압출기로부터 포머를 통해 내경 6.0mm, 외경 8.0mm의 튜브를 제작했다.
(기체 투과성의 평가)
실시예1의 시료튜브 대신에, 길이 1080mm의 비교튜브3을 장착해서, 실시예1의 평가조건과 마찬가지로 비교튜브의 기체 투과성을 측정해서, 그 결과를 표3에 있어서, 비교3으로서 나타낸다.
(표3)
Figure 112006013593832-pct00003
본 발명의 불소수지제의 통형상 부재는, 불소수지를 원료로 해서 성형을 행한 후에 축방향으로 연신처리를 행해서 고정했으므로, 단지 불소수지의 성형을 행해서 얻은 통형상체에 비해 기체의 투과성을 억제할 수 있었으므로, 불소수지제의 튜브가 필요로 되는 약액 공급라인 등의 배관재료로서 사용한 경우에는, 기체의 누설, 및 배관표면에의 결로를 방지할 수 있다.

Claims (2)

  1. 불소수지제의 통형상 부재의 제조방법에 있어서, 불소수지로 성형한 통형상체를 축방향으로 상기 불소수지의 유리전이온도 이상, 융점 이하의 온도에서 장력을 인가하여 연신하고, 연신후에 융점 이하의 온도에서 수축처리를 실시하여 열적으로 고정하는 것을 특징으로 하는 불소수지제의 통형상 부재의 제조방법.
  2. 삭제
KR1020067003789A 2003-08-26 2004-08-13 불소수지제의 통형상 부재의 제조방법 KR100826133B1 (ko)

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