KR100782651B1 - 플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치 및 내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법 - Google Patents
플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치 및 내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
압력(Torr) | 바이어스 전압(V) | |
예 9 | 예 8 | |
0.2 | -1 | -420 |
Claims (24)
- 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기의 입구부 및 숄더부를 제외한 외주를 둘러싸는 크기를 갖는, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극과,피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부와 상기 외부 전극 사이에 개재되는, 유전체 재료로 이루어진 스페이서와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관과,상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 배기관 측으로부터 상기 용기 길이의 거의 전장에 걸쳐 삽입되어 접지 측에 접속되는 동시에, 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 구멍이 형성된 내부 전극과,상기 배기관에 부착된 배기 수단과,상기 내부 전극에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과,상기 외부 전극에 접속된 고주파 전원을 포함하는 것을 특징으로 하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 1 항에 따른 탄소막 형성 장치를 이용하여 내면 탄소막 피복 플라스틱 용기를 제조하는 방법에 있어서,(a) 피처리물인 플라스틱 용기를, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극 내 및 유전체 재료로 이루어지는 스페이서 내에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부의 외주가 상기 스페이서 내에 둘러싸이고, 그 이외의 상기 용기 부분의 외주가 상기 외부 전극 내에 둘러싸이도록 삽입하는 공정과,(b) 바닥부 또는 측면 영역, 혹은 양자 모두에 매질 가스를 분사하기 위한 관통 구멍이 형성된 내부 전극을, 상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관으로부터 상기 용기의 내부에 그 용기 길이의 거의 전장에 걸쳐 삽입하는 공정과,(c) 상기 용기 내의 가스를 배기관 수단에 의해 상기 배기관을 통해서 배기하는 동시에, 상기 내부 전극에 매질 가스를 가스 공급 수단에 의해 공급하여, 이 내부 전극의 가스 분사 구멍으로부터 상기 플라스틱 용기 내에 매질 가스를 분사하여 상기 용기 내를 포함하는 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과,(d) 고주파 전원으로부터 고주파 전력을 상기 외부 전극에 공급하여, 상기 플라스틱 용기 내에 위치하는 내부 전극의 주변에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 매질 가스를 해리시켜 상기 플라스틱 용기 내면에 탄소막을 코팅하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법.
- 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기의 입구부 및 숄더부를 제외한 외주를 둘러싸는 크기를 갖는, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극과,피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부와 상기 외부 전극의 사이에 개재되는 유전체 재료로 이루어지는 스페이서와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 스페이서의 단면에 상기 외부 전극과 접속하도록 부착된 도전 부재와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관과,상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 배기관 측으로부터 상기 용기 길이의 거의 전체에 걸쳐 삽입되어 접지 측에 접속되는 동시에, 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 구멍이 형성된 내부 전극과,상기 배기관에 부착된 배기 수단과,상기 내부 전극에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과,상기 외부 전극에 접속된 바이어스를 겸하는 고주파 전원을 포함하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 3 항에 따른 탄소막 형성 장치를 이용하여 내면 탄소막 피복 플라스틱 용기를 제조하는 방법에 있어서,(a) 피처리물인 플라스틱 용기를, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극 내 및 도전 부재가 이 외부 전극과 접속하도록 부착된 유전체 재료로 이루어진 스페이서 내에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부의 외주가 상기 스페이서 내에 둘러싸이고, 이외의 상기 용기 부분의 외주가 상기 외부 전극 내에 둘러싸이도록 삽입하는 공정과,(b) 바닥부 또는 측면 영역, 혹은 양자 모두에 매질 가스를 분사하기 위한 관통 구멍이 형성된 내부 전극을, 상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관으로부터 상기 용기의 내부에 그 용기 길이의 거의 전체에 걸쳐 삽입하는 공정과,(c) 상기 용기 내의 가스를 배기관 수단에 의해 상기 배기관을 통해서 배기하는 동시에, 상기 내부 전극에 매질 가스를 가스 공급 수단에 의해 공급하여, 이 내부 전극의 가스 분사 구멍으로부터 상기 용기 내에 매질 가스를 분사하여 상기 용기 내를 포함하는 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과,(d) 바이어스를 겸하는 고주파 전원으로부터 고주파 전력을 상기 외부 전극에 공급하여, 상기 용기 내에 위치하는 내부 전극의 주위에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 매질 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 탄소막을 코팅하는 공정을 포함하는내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법.
- 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기의 입구부 및 숄더부를 제외한 외주를 둘러싸는 크기를 갖는, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극과,상기 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부와 상기 외부 전극의 사이에 개재되는 유전체 재료로 이루어지는 스페이서와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 스페이서의 단면에 상기 외부 전극과 접속하도록 부착된 도전 부재와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관과,상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 배기관 측에서 상기 용기 길이의 거의 전체에 걸쳐 삽입되어, 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 구멍이 형성된 내부 전극과,상기 배기관에 부착된 배기 수단과,상기 내부 전극에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과,상기 내부 전극에 접속된 높은 고주파 전원과,상기 외부 전극에 접속된 바이어스용 전원을 포함하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 외부 전극과 소망의 거리를 둔 상기 배기관 내면은 절연막이 피복되어 있는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 내부 전극은, 중심축에 가스 유로가 형성되는 동시에, 바닥부 또는 측면 영역, 혹은 양자 모두에 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 구멍이 형성되어 있는 봉 형상을 하고, 상기 가스 공급 수단은 상기 배기관 측에서 상기 용기의 입구부 부근까지 연장한 가스 공급관을 가지고, 상기 내부 전극은 상기 용기의 입구 부 측에 위치하는 상기 가스 공급관의 단부에 착탈 자재로 부착되는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 5 항에 있어서,그라운드실드관이, 상기 용기의 입구부에서 상기 배기관의 일부에 걸치는 상기 가스 공급관의 외주에 더 배치되어 있는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 외부 전극은, 삽입되는 상기 용기의 바닥부 측에서 그 축 방향으로 분할 가능한 것을 특징으로 하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 5 항에 따른 탄소막 형성 장치를 이용하여 내면 탄소막 피복 플라스틱 용기를 제조하는 방법에 있어서,(a) 피처리물인 플라스틱 용기를, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극 내 및 도전 부재가 이 외부 전극과 접속하도록 설치된 유전체 재료로 이루어진 스페이서 내에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부의 외주가 상기 스페이서 내에 둘러싸이고, 이외의 상기 용기 부분의 외주가 상기 외부 전극 내에 둘러싸이도록 삽입하는 공정과,(b) 바닥부 또는 측면 영역, 혹은 양자 모두에 매질 가스를 분사하기 위한 분사 구멍이 형성된 내부 전극을, 상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관으로부터 상기 용기의 내부에 그 용기 길이의 거의 전체에 걸쳐 삽입하는 공정과,(c) 상기 용기 내의 가스를 배기관 수단에 의해 상기 배기관을 통해서 배기하는 동시에, 상기 내부 전극에 매질 가스를 가스 공급 수단에 의해 공급하여, 이 내부 전극의 가스 분사 구멍으로부터 상기 용기 내에 매질 가스를 분사하여 상기 용기 내를 포함하는 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과,(d) 바이어스용 전원으로부터 고주파 전력을 상기 외부 전극에 인가하는 동시에, 높은 고주파 전원으로부터 높은 고주파 전력을 상기 내부 전극에 공급하여, 상기 용기 내에 위치하는 내부 전극의 주위에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 매질 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 탄소막을 코팅하는 공정을 포함하는내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법.
- 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극과,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 상부에 부착된 배기관과,상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 삽입되어, 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 관을 겸하는 내부 전극과,일 단부가 상기 내부 전극에 연결되고, 타 단부가 상기 배기관 측에 연장된 급전 단자를 겸하는 가스 공급관과,적어도 상기 외부 전극 내 및 상기 용기의 입구부 근방의 상기 배기관 내에 위치하는 상기 가스 공급관 부분의 외주에 배치되어, 접지된 그라운드실드관과,상기 배기관에 부착된 배기 수단과,상기 가스 공급관에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과,상기 가스 공급관에 접속된 고주파 전원을 포함하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 배기관은, 상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 상부 단면에 절연 부재를 통해서 부착되고, 상기 외부 전극에 접속된 바이어스용 고주파 전원을 더 포함하고, 이 바이어스용 고주파 전원은, 상기 내부 전극에 접속된 상기 고주파 전원의 고주파 주파수보다도 낮은 고주파 주파수를 갖는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 그라운드실드관은 상기 용기의 입구부보다도 용기의 내부 측에 삽입되는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부와 상기 외부 전극의 사이에 개재되는 유전체 재료로 이루어지는 스페이서를 더 포함하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치
- 제 11 항에 있어서,상기 배기관은, 상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 상부 단면에 절연 부재를 통해서 설치되고, 상기 절연 부재는 상기 용기가 삽입되었을 때에 그 용기의 입구부로부터 숄더부에 걸친 영역에 위치하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 그라운드실드관은 외주면의 표면적을 확대시킨 형상을 갖는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 그라운드실드관은 외주면에 핀 또는 자바라 형상의 돌기를 갖는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 외부 전극은 상하를 개폐할 수 있고, 이 개폐부로부터 상기 용기를 출납할 수 있는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 11 항에 따른 탄소막 형성 장치를 이용하여 내면 막 피복 플라스틱 용기를 제조하는 방법에 있어서,(a) 피처리물인 플라스틱 용기를, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극 내에 둘러싸이도록 삽입하는 공정과,(b) 상기 (a) 공정과 동시 또는 전후하여, 접지된 그라운드실드를 외주에 배치한 가스 공급관이 연결되고, 매질 가스를 분사하는 관을 겸하는 내부 전극을 상기 용기의 내부에 삽입하는 공정과,(c) 상기 용기 내의 가스를 배기관 수단에 의해 상기 배기관을 통해서 배기하는 동시에, 상기 가스 공급관 수단으로부터 매질 가스를 상기 내부 전극에 공급하여, 이 내부 전극의 가스 분사 구멍으로부터 상기 용기 내에 매질 가스를 분사하여 상기 용기 내를 포함하는 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과,(d) 고주파 전원으로부터 고주파 전력을 상기 가스 공급관을 통해서 상기 내부 전극에 공급하고, 바이어스용 전원으로부터 내부 전극에 부여하는 고주파 전력의 주파수보다 낮은 주파수의 고주파 전력을 상기 외부 전극에 인가하여, 상기 용 기 내에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 매질 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 막을 코팅하는 공정을 포함하는내면 탄소막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법.
- 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기를 갖는, 바닥이 있는 통 형상의 외부 전극과, 상기 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 숄더부와 상기 외부 전극의 사이에 개재되는 유전체 재료로 이루어지는 스페이서와,상기 용기의 입구부가 위치하는 쪽의 상기 외부 전극의 단면에 절연 부재를 통해서 부착된 배기관과,상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 삽입되어, 매질 가스를 분사하기 위한 가스 분사 구멍이 형성된 내부 전극과,상기 배기관에 설치된 배기 수단과,상기 가스 공급관에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과,상기 가스 공급관에 정합기를 통해서 접속된 높은 고주파 전원과,상기 외부 전극에 정합기를 통해서 접속된 바이어스용 전원과,상기 가스 공급관과 상기 정합기의 사이의 도통 계로에 일 단부가 접속되어, 타 단부가 접지된 인덕턴스를 포함하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 1 항, 제 3 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스페이서는, 상기 용기의 숄더부로부터 또한 저부로 향하여 연장되는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 1 항, 제 3 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 내부 전극은 가스 송풍 구멍이 형성된 캡을 선단에 구비하는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 1 항, 제 3 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 내부 전극이 텅스텐 또는 스테인리스강으로 제작되는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 고주파 전원은 상기 외부 전극에 설치된 급전부에 동축 케이블을 통해 접속되고, 또한 이 동축 케이블에 정합기가 개설되어 있는플라스틱 용기 내면에의 탄소막 형성 장치.
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