KR100585289B1 - 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치 - Google Patents

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Abstract

기판(11)상에, 제1 전극층(12), 제1 압전박막층(13), 제2 전극층(14), 제2 압전박막층(15), 및 제3 전극층(15)의 순서로 적층되고; 이들이 두께방향으로 신축하지 않도록 속박됨으로써 압전변환기가 구성된다. 복수의 게이트라인(201,202), 상기 게이트라인과 직교하는 복수의 데이터라인(203,204), 및 상기 게이트라인과 데이터라인의 교점에 배치된 박막트랜지스터(205,207)가 설치되고; 상기 박막트랜지스터의 한쪽 소스-드레인(source-drain)은 상기 데이터라인에 접속되고; 상기 박막트랜지스터의 다른 쪽 소스-드레인은 상기 박막 압전변환기(208∼210)의 입력측에 접속되고; 상기 박막 압전변환기의 출력측은 전기이동 잉크 표시소자의 전극에 접속됨으로써 전기이동 잉크 표시장치가 구성된다.
압전변환기, 전기이동, 잉크, 박막, 전극, 트랜지스터, 게이트, 소스

Description

압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치{ELECTROPHORETIC INK DISPLAY APPARATUS USING PIEZOELECTRIC TRANSDUCER}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 적층 박막 압전변환기의 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전박막을 이용한 로젠(Rosen) 압전변환기로 구성된 박막 압전변환기의 사시도.
도 3은 전기이동 잉크 표시소자의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 3의 (A)는 전기이동 잉크 표시소자의 단면도, 도 3의 (B)는 전기이동 잉크 표시소자내의 마이크로캡슐의 구성을 나타내는 도면, 도 3의 (C)는 마이크로캡슐내의 대전입자의 구성을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 박막 적층 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치의 구성을 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 전기이동 잉크 표시장치에서의 아날로그 스위치의 TFT 및 개폐를 제어하는 전기신호의 타이밍 차트.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전기이동 잉크 표시장치에서의 한 화소의 평면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전기이동 잉크 표시장치의 단면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로젠 박막 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치의 한 화소의 평면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 로젠 박막 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치의 단면도.
(부호의 설명)
11: 압전변환기의 기판
12,24,403 : 제1 전극층
13,103,510 : 제1 압전박막층
14,26,404 : 제2 전극층
15,105,511 : 제2 압전박막층
16,27,405 : 제3 전극층
21 : 공동
22 : 지지대
23 : 진동판
25,601 : 압전박막층
101,105,501,506 : 전기이동 잉크 표시장치의 기판
102 : 하부전극
106,507 : 투명전극
509 : 전기이동 잉크
본 발명은 압전소자를 이용한 압전변환기에 관한 것이다. 더 구체적으로는 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치에 관한 것이다.
일본 특허공개 평8-125247호 공보 및 일본 특허공개 평9-162456호 공보에 기재된 기술은 종래의 압전변환기에 관한 것이다. 각각 실시형태는 다르지만, 모두 벌크 압전 세라믹스를 이용한 기술을 개시하고 있다.
한편, SID 98 Digest pp. 1131∼1134에 실린 논문은 종래의 전기이동 잉크 표시장치를 기술하고 있다. 전기이동 잉크를 이용한 세그먼트형 표시 몸체의 구성이 이 논문에 개시되어 있다.
이 전기이동 잉크 표시장치에 있어서, 표시장치의 각 세그먼트는 전기이동을 이용하는 복수의 마이크로캡슐로 구성된다. 이것은 전압이 그 세그먼트에 인가될 때 세그먼트의 컬러가 변하도록 한다.
그러나, 상기 배경 기술은 다음의 문제를 가지고 있다.
일본 특허공개 평8-125247호 공보 및 일본 특허공개 평9-162456호 공보에 기재된 압전변환기에서, 상술한 바와 같이, 실시형태는 다르지만 벌크 압전 세라믹스가 사용된다. 벌크 압전 세라믹스가 사용되는 압전변환기를 소형화하기는 어렵다. 예컨대, 일본 특허공개 평9-162456호 공보에 기재된 압전변환기는 40mm ×10mm ×1.5mm이다.
또한, 전기이동 잉크를 이용한 표시 몸체의 구성은 SID 98 Digest pp. 1131∼1134에 개시되어 있지만, 다수의 이들 표시소자를 고밀도로 배치하는 방법과 고 밀도로 배치된 전기이동 잉크 표시소자를 구동하는 방법은 제안되지 않았다.
본 발명은 상기 배경 기술의 문제점을 감안하여 만들어졌고, 본 발명의 목적은 쉽게 소형화될 수 있는 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치를 실현하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 복수의 전기이동 잉크 표시소자가 고밀도로 배치되어 이루어진 전기이동 잉크 표시장치를 실현하는 것이다.
본 발명에 따른 압전변환기는 기판상에 제1 전극층, 제1 압전박막층, 제2 전극층, 제2 압전박막층, 및 제3 전극층의 순서로 적층되어 이루어진다. 상기 제1 및 제2 압전박막층은 두께방향으로 신축하지 않도록 속박된다.
상기 구성에 의해, 압전변환기는 두 개의 압전박막층을 형성함으로써 이루어질 수 있기 때문에 3차원 및 평면 소형화가 가능하다. 또한 고부하를 제거할 수 있는 압전변환기를 실현할 수 있게 된다. 또한 압전박막층이 두께방향으로 신축하지 않도록 속박되기 때문에, 직류전압 증폭이 가능한 압전변환기를 실현할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 압전변환기에 있어서, 공동이 형성된 지지대 상에 진동판, 제1 전극층, 압전박막층, 제2 전극층, 및 제3 전극층이 형성된다. 상기 제2 전극층 및 제 3 전극층은 상기 공동 위에 위치한 압전박막층 상에 그 전극층들 사이에 간격을 두고 쌍으로 형성된다.
상기 구성에 의해, 소형화된 압전변환기를 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 전기이동 잉크 표시장치는 복수의 캡슐로 이루어진다. 전기이동 잉크 표시장치는, 캡슐내의 대전입자의 운동으로 컬러가 변하는 복수의 전기이동 잉크 표시소자를 포함하고, 복수의 게이트라인, 상기 게이트라인과 직교하는 복수의 데이터라인, 및 상기 게이트라인과 데이터라인의 교점에 배치된 박막트랜지스터를 더 포함한다. 상기 박막트랜지스터의 한쪽 소스-드레인은 상기 데이터라인에 접속되고; 상기 박막트랜지스터의 다른 쪽 소스-드레인은 상기 압전변환기의 입력측에 접속되고; 상기 압전변환기의 출력측은 상기 전기이동 잉크 표시소자의 전극에 접속된다.
상기 압전변환기로서 본 발명에 따른 압전변환기를 이용할 수 있다. 이 경우에, 상기 압전변환기의 상부에 기둥모양의 구조를 설치하고, 상기 기둥모양의 구조를 상기 전기이동 잉크 표시소자의 상부전극이 설치되어 있는 대향 기판으로 가압함으로써, 상기 제1 및 제2 압전박막층이 두께방향으로 신축하지 않도록 속박될 수 있다.
상기 구성에 의해, 다수의 배치된 전기이동 잉크 표시소자는 박막트랜지스터로 어드레스되는 동안 압전변환기로 구동될 수 있다.
이하에 본 발명에 따른 압전변환기의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
(압전변환기의 제1 실시예)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 적층 박막 압전변환기의 단면도이다. 기판(11)상에, 제1 전극층(12), 제1 압전박막층(13), 제2 전극층(14), 제2 압전박막층 (15), 및 제3 전극층(16)의 순서로 형성된다. 압력 P를 위에서 제3 전극층(16)으로 인가하여, 제1 및 제2 압전박막층(13,15)은 두께방향으로 신축하지 않도록 속박된다.
기판(11)으로서 열산화작용에 의해 형성된 이산화규소막을 포함하는 단결정 규소 기판이 사용되었다. 그 위의 제1 전극층은 각각 20nm, 200nm, 5nm의 두께로 스퍼터링에 의해 티타늄, 백금, 티타늄의 순서로 형성된 3개의 층으로 이루어진 전극층이다. 제1 압전박막층(13)은 200nm의 두께로 졸-겔법(sol-gel method)에 의해 형성된, 52몰%의 지르콘산납-48몰%의 티탄산납의 구성을 갖는 지르콘산티탄산납(이하, "PZT"라 한다)의 박막이다. 또한, 제2 전극층(14)은 각각 20nm, 200nm, 5nm의 두께로 스퍼터링에 의해 티타늄, 백금, 티타늄의 순서로 형성된 3개의 층으로 이루어진 전극층이다. 제2 압전박막층(15)은 2㎛의 두께로 졸-겔법에 의해 형성된 상기 구성을 갖는 PZT 박막이다. 또한, 제3 전극층(16)은 각각 20nm, 200nm의 두께로 스퍼터링에 의해 티타늄, 백금의 순서로 형성된 2개의 층으로 이루어진 전극층이다.
적층 박막 압전변환기에 압력을 가하는 작업은 다음과 같다. 제2 전극층(14)은 접지전위가 된다. 전기장 E1이 제1 압전박막층(13)의 막두께 방향으로 인가될 때, 제1 압전박막층(13)의 막두께 방향의 응력 T1은 다음과 같이 되는데, 여기서 압전 변형상수는 dij, 인가하는 전기장 0하에서 탄성 컴플라이언스는 sij E이다.
T1=-(d33/s33 E)·E1 (1)
이 적층 박막 압전변환기는 상부로부터 속박되고 충분히 단단한 금속 전극이 이용되고; 제2 압전박막층에 인가되는 막두께 방향의 응력 T2은 다음과 같이 된다.
T2=T1 (2)
이 때, 제2 압전박막층(15)의 막두께 방향으로 발생하는 전기장 E2는 다음과 같이 된다. 여기서 응력 0에서 유전율은 εij T이다.
E2=-(d33/ε33 T)·T2 (3)
식(1) 및 (2)는 다음과 같이 식(3)에 대입된다.
E2=(d33 2/(ε33 T·s33 E))·E1=k33 2·E1 (4)
여기서, kij는 압전박막층의 전기기계적 결합계수이다. 제1 전극층(12)과 제2 전극층(14) 사이를 의미하는, 제1 압전박막층(13)의 막두께 방향으로 인가되는 전압이 V1이고, 제1 압전박막층(13)의 두께가 t1인 경우에 다음의 결과가 나타난다.
E1=V1/t1 (5)
제2 전극층(14)과 제3 전극층(16) 사이를 의미하는, 제2 압전박막층(15)의 두께방향에서의 전압출력이 V2이고, 제2 압전박막층(15)의 두께가 t2인 경우에 다음의 결과가 나타난다.
E2=V2/t2 (6)
식(4), (5) 및 (6)으로 다음식이 만들어진다.
V2=k33 2·V1·t2/t1 (7)
즉, 제1 압전박막층에 전압 V1을 인가할 때, 제2 압전박막층에 의해 출력되는 전압 V2는 전기기계적 결합계수 k33의 제곱과 두 개의 압전박막층의 두께의 비에 비례한다. 구체적으로, 직류전압증폭계수는 제1 압전박막층의 두께와 제2 압전박막층의 두께의 비로 결정될 수 있다.
본 실시예의 구성의 적층 박막압전변환기는 두 개의 압전박막층으로 형성된 압전변환기로 이루어지며; 결과적으로, 3차원 및 평면 소형화가 가능한 압전변환기가 실현된다. 또한, 출력측 상에 압전박막의 커패시턴스(capacitance)를 사용하기 때문에 고부하를 제거할 수 있다. 또한, 압전박막층이 두께방향으로 신축하지 않도록 속박되기 때문에, 그리고 정적 압전효과로부터 압전박막으로의 압력을 사용하기 때문에, 직류전압 증폭이 가능하다. 실제로, 본 발명자들은 V1으로서 진폭 10V의 펄스를 인가한 경우에 V2로서 진폭 45V의 펄스를 얻을 수 있었고, 본 실시예의 압전박막으로서 이용되는 PZT박막의 k33은 식(7)의 역연산으로부터 약 6.7로 추정되었다.
또한, 상기 구성에서 적층 박막 압전변환기는, 전극층이 백금과 티타늄의 다층 구조로 형성되기 때문에, 기판과 전극층 사이 및 전극층과 압전박막층들 사이에 충분한 밀착력을 가진다. 또한, 두 개의 압전박막층은 PZT로 형성된다. PZT가 비교적 큰 전기기계적 결합계수를 가지기 때문에, 큰 전압증폭계수를 갖는 적층 박막 압전변환기가 실현된다. 또한, 압전박막층에 사용되는 이 재료는 예컨대, 보다 더 큰 전기기계적 결합계수를 갖는 마그네슘니오브산납(PMN)을 포함하는 PZT와 같은, PZT계 압전재료이어도 좋다. 또한, 적층 박막 압전변환기는 제1 압전박막층(13)에 큰 압력을 발생시키는 재료와, 제2 압전박막층(15)에서의 인가 압력에 비하여 큰 전압을 발생시키는 재료를 이용하여 구성되어도 좋다.
(압전변환기의 제2실시예)
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전박막을 이용하는 로젠 압전변환기로 이루어지는 박막 압전변환기의 사시도이다. 공동(21)이 형성되어 있는 지지대(22) 상에, 진동판(23), 제1 전극층(24), 압전박막층(25), 제2 전극층(26), 및 제3 전극층(27)이 형성된다. 상기 제2 전극층(26) 및 제3 전극층(27)은 상기 공동(21) 위에 위치한 압전박막층 상에 그 전극층들 사이에 간격을 두고 쌍으로 형성된다. 또한, 상기 제3 전극층(27)은 상기 압전박막층(25)의 끝면과 최상층면에 걸치도록 형성된다.
지지대(22)로서 열산화작용에 의해 형성된 이산화규소막을 갖는 단결정 규소 기판이 사용되었다. 그 위에, 진동판(23)으로서 스퍼터링후 열산화작용에 의해 금속 지르코늄 막을 성장시킴으로써, 두께 500nm인 지르코니아 박막을 형성하였다. 그 위에, 티타늄, 백금, 티타늄의 3개의 순차적인 층을 포함하는 전극층이 각각 20nm, 200nm, 5nm의 두께로 상기 [재료들]을 스퍼터링한 후 패터링함에 의해 제1 전극층(24)으로서 형성된다. 그후 압전박막층(25)으로서 졸-겔법과 패터닝에 의해 52몰%의 지르콘산납-48몰%의 티탄산납을 포함하는 PZT 박막을 형성하였다. 또한, 제2 전극층(26) 및 제3 전극층(27)으로서 각각 20nm 및 200nm의 두께로 스퍼터링 후 패터닝에 의해, 티타늄, 백금의 순서로 두 층을 포함하는 전극층을 형성하였다. 이어서, 드라이 에칭 방법으로 단결정 규소 기판(22)의 이방성 에칭에 의해 공동(21)을 형성함으로써 로젠 박막 압전변환기를 형성하였다.
이 로젠 박막 압전변환기의 동작은 피에조일렉트릭 액츄에이터 및 울트라소닉 모터스[Piezoelectric Actuators and Ultrasonic Motors, 크루워 아카데믹 출판사, 1997, pp. 309-310, 우치노 켄지 저(著)]에서 논의된 바 있으며; 전압증폭계수 r은 다음 식으로 표시된다.
r=(4/π2)·k31·k33·Qm·(L2/t)·[2·(s33 E/s11 E)1/2/{1+(s33 D/s11 E)1/2}]
제1 전극층(24)과 제2 전극층(26) 사이에 교류전압을 인가하여 증폭된 전압이 제1 전극층(24)과 제3 전극층(27) 사이에서 출력된다.
여기서, kij는 압전박막층(25)의 전기기계적 결합계수이고; Qm은 압전박막층(25)의 기계적 Q이고; L2는 제2 전극층쌍(26,27) 사이의 간격이고; t는 압전박막층(25)의 두께이고; sij E는 전기장 0에서 탄성 컴플라이언스이고; sij D는 전기선속밀도 0에서 탄성 컴플라이언스이다. 예컨대, 52몰% 지르콘산납-48몰% 티탄산납 PZT의 경우에 있어서, k31=0.313, k33=0.670, Qm=860, s33 E=17.1 ×10-12 m2/N, s11 E=13.8 ×10-12 m2/N, 및 s33 D=9.35 ×10-12 m2/N이다. L2=1㎛ 그리고 t=200nm일 때, 상당히 높은 전압 증폭계수인 r=450을 얻을 수 있다.
압전박막을 이용하기 때문에, 본 실시예의 구성의 박막 압전변환기에 대해 3차원 및 평면 소형화가 가능하다. 예컨대, 상기 실시예의 경우에는, 제2 전극층(26,27) 사이의 간격이 1㎛이다. 또한, 압전변환기는 압전박막층(25)의 끝면에 걸치는 하나의 제2 전극층(27)으로 인해 더 작은 평면 영역에 구성될 수 있다. 단결정 규소 기판이 지지대(22)로 사용되기 때문에, 공동(21)은 이방성 에칭에 의해 쉽게 형성될 수 있다. 또한, 진동판(23)이 지르코니아 박막으로 형성되기 때문에, 잔여응력하에서 쉽게 부서지지 않고 견고한 진동판이 형성될 수 있다. 제1 전극층(24), 제2 전극층(26), 및 제3 전극층(27)은 백금과 티타늄의 다층 구조로 형성되기 때문에, 진동판과 제1 전극층 사이, 압전박막층과 제1, 제2 및 제3 전극층 사이에는 충분한 밀착력이 있다. PZT박막으로 압전박막층(25)을 형성하는 것은 높은 전기기계적 결합계수를 가지는 박막을 형성하는 것을 가능하게 하고, 높은 전압증폭계수를 가지는 박막 압전변환기를 실현할 수 있다. 또한 압전박막층(25)에 사용되는 재료로서는, 보다 더 높은 전기기계적 결합계수를 가지는 PMN을 포함하는 PZT와 같은 PZT계 압전 재료이어도 좋다.
(전기이동 잉크 표시소자의 원리)
전기이동 잉크 표시소자를 이하에 설명한다. 도 3은 전기이동 잉크 표시소자의 구성을 나타내며; 도 3의 (A)는 전기이동 잉크 표시소자의 단면도이며; 도 3의 (B)는 전기이동 잉크 표시소자내의 마이크로캡슐의 구성을 나타내며; 도 3의 (C)는 마이크로캡슐내에의 대전입자의 구성을 나타낸다.
이 전기이동 잉크 표시소자는, 기판(101) 상에 형성된 하부전극(102), 전기이동 잉크층, 대향 기판(105), 및 상기 대향 기판(105) 상에 형성된 투명전극(106)으로 이루어지고, 상기 전기이동 잉크층은 광투과성을 갖는 바인더(104)와 이 바인더(104)에 일정하게 분산되고 고정된 복수의 마이크로캡슐(103)을 포함한다.
이 전기이동 잉크 표시소자는 표시패턴의 기입과 삭제가 대전입자의 전기이동을 이용하여 수행될 수 있는 표시소자이다. 하부전극(102)과 투명전극(106) 사이의 거리를 의미하는 전기이동 잉크층의 두께는 마이크로캡슐(103)의 외경의 약 1.5∼2배가 바람직하다. 또한, 예컨대 바인더(104)로서 폴리비닐알콜을 사용할 수 있다.
도 3의 (B)에 나타낸 바와 같이, 마이크로캡슐(103)은 광투과성을 갖는 속이 빈, 구형 캡슐(107)을 포함한다. 이들 캡슐(107)은 액체(108)로 채워져 있고; 복수의 음대전입자(109)가 이 액체(108)속에 분산된다. 도 3의 (C)에 나타낸 바와 같이, 대전입자(109)는 핵(110)과 이 핵을 커버하는 도포층(111)으로 이루어진다.
대전입자(109)와 액체(108)의 컬러는 서로 다르다. 예컨대, 대전입자(109)의 컬러는 흰색이고, 액체(108)의 컬러는 파랑, 빨강, 녹색 또는 검정이다. 외부 전기장이 마이크로캡슐(103)에 인가되면, 대전입자(109)는 상기 전기장과 반대방향으로 캡슐(107)내에서 이동한다. 예컨대, 도 3의 (A)에서 투명전극(106)이 양 전위를 가지며 하부전극(102)이 0 전위를 가지도록 전압이 인가되면, 투명전극(106)으로부터 하부전극(102)으로 향하여 전기장이 발생하고; 결과적으로, 마이크로캡슐(103)내의 대전입자(109)는 캡슐(107)의 최상단을 향하여 이동한다. 따라서, 대전입자(109)의 컬러를 볼 수 있으므로 대향 기판(105)에서 보이는 컬러는 흰색이 된다. 반대로, 투명전극(106)이 음 전위를 가지며 하부전극(102)이 0 전위를 가지도록 전압이 인가되면, 하부전극(102)으로부터 투명전극(106)으로 향하여 전기장이 발생하고; 결과적으로, 마이크로캡슐(103)내의 대전입자(109)는 캡슐(107)의 바닥을 향하여 이동한다. 따라서, 예컨대, 액체(108)의 컬러가 파랑이라면, 대향 기판(105)으로부터 보이는 컬러는 액체(108)의 컬러인 파랑이 된다.
마이크로캡슐(103)은 액체(108)의 비중이 대전입자(109)의 비중과 동일하도록 구성된다. 따라서 대전입자(109)는 외부 전기장이 제거되더라도 같은 위치에 오랫동안 남아있을 수 있다. 즉, 전기이동 잉크 표시소자의 표시는 오랫동안 유지된다. 또한, 예컨대, 액체(108)의 비중이 대전입자(109)의 비중과 동일하도록 도포층(111)의 두께를 조정하여도 좋다. 마이크로캡슐(103)의 외경은 180㎛ 이하가 바람직하고, 10㎛∼20㎛가 보다 바람직하다. 예컨대, 상기 대전입자(109)의 핵(110)으로서 티타니아의 루틸 구조를 사용할 수 있다. 또한, 예컨대, 상기 대전입자(109)의 도포층(111)으로서 폴리에틸렌을 사용할 수 있다. 상기 액체(108)로서 에틸렌테트라클로라이드에 용해된 안트라퀴논 염료와 이소파라핀을 사용할 수 있다.
이하에 본 발명에 따른 전기이동 잉크 표시소자의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
(전기이동 잉크 표시장치의 제1 실시예)
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 박막 적층 압전변환기를 이용한 전기이동 잉크 표시장치의 구성을 나타낸다. 이 도면에서, 도면부호 201,202는 게이트라인을 나타내고; 도면부호 203,204는 데이터라인을 나타내고; 도면부호 205∼207은 박막트랜지스터(TFT)를 나타내고; 도면부호 208∼210은 박막 압전변환기를 나타내고; 도면부호 211∼213은 전기이동 잉크 표시소자를 나타내고; 도면부호 214,215는 아날로그 스위치를 나타내고; 도면부호 216은 데이터 신호 라인을 나타내고; 도면부호 217,218은 각각 아날로그 스위치(214,215)의 개폐를 제어하는 신호용 입력단자이다. 아날로그 스위치(214,215)는 TFT로 구성되어도 좋다.
도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 전기이동 잉크 표시장치의 아날로그 스위치의 TFT 및 개폐를 제어하는 전기신호의 타이밍 차트이다. 이 도면에서, 도면부호 301,302는 각각 게이트라인(201,202)에 인가되는 전기신호를 나타내며; 도면부호 303,304는 아날로그 스위치를 개폐하는 신호용 입력단자(217,218)에 인가되는 전기신호를 나타낸다. 이들 신호가 HI일 때, TFT 및 아날로그 스위치는 전도[폐쇄]된다. 시각 t1에서, 게이트라인(201)의 전위는 HI가 되고, TFT(205,206)는 전도[활성]된다. 동시에, 아날로그 스위치(214)를 개폐하는 신호용 입력단자(217)의 전위는 HI가 되고, 그 아날로그 스위치는 전도[폐쇄]된다. 따라서, 데이터 신호라인(216)에 의해 공급되는 데이터 신호는 아날로그 스위치(214) 및 TFT(205)를 통하여 박막 압전변환기(208)에 입력된다. 그후, 데이터 신호 출력으로부터 증폭된 전압이 전기이동 잉크 표시소자(211)의 전극으로 공급된다. 시각 t2에서, 아날로그 스위치(214)를 개폐하는 신호용 입력단자(217)의 전위는 LOW가 되고, 그 아날로그 스위치는 비전도[개방]된다. 동시에, 아날로그 스위치(215)를 개폐하는 신호용 입력단자(218) 의 전위는 HI가 되고, 그 아날로그 스위치는 전도[폐쇄]된다. 따라서, 데이터 신호라인(216)에 의해 공급되는 데이터 신호는 아날로그 스위치(215) 및 TFT(206)를 통하여 박막 압전변환기(209)에 입력된다. 그후, 데이터 신호 출력으로부터 증폭된 전압이 전기이동 잉크 표시소자(212)의 전극에 공급된다. 시각 t3에서, 아날로그 스위치(215)를 개폐하는 신호용 입력단자(218)의 전위는 LOW가 되고, 그 아날로그 스위치는 비전도[개방]된다. 도 4 및 도 5에 나타내지 않았지만, 게이트라인 방향으로 상기 동작을 반복한 후 시각 t4에서, 게이트라인(201)의 전위는 LOW가 되고, TFT(205,206)는 비전도[비활성]된다. 동시에, 게이트라인(202)의 전위는 HI가 되고, 아날로그 스위치(207)는 전도[폐쇄]되며, 시각 t4∼시각 t5 동안, 전기이동 잉크 표시소자(213)에 데이터가 기입된다.
상기 구성에 의해, 박막 압전변환기로 데이터 신호를 어드레스하고 직접 증폭하면서, TFT를 갖는 배치된 복수의 전기이동 잉크 표시소자를 구동하는 것이 가능하게 된다.
본 실시예의 박막 압전변환기로서 도 1에 나타낸 본 발명에 따른 압전변환기를 사용할 수 있다. 그 경우에, 본 발명에 따른 전기이동 잉크 표시장치에는 본 발명에 따른 압전변환기의 모든 동작효과를 제공할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전기이동 잉크 표시장치의 한 화소의 평면도이다. 다결정 규소막(401)의 채널부, 게이트 전극(201) 및 컨택트홀(402)을 포함하는 TFT가 게이트라인(201)과 데이터라인(203)의 교점에 형성된다. 또한, 박막 압 전변환기(208)의 제1 전극층(403)은 TFT의 소스-드레인부로부터의 로딩 전극으로서의 역할을 한다. 박막 압전변환기(208)의 제2 전극층(404)은 게이트라인(201)과 평행하게 그려지고, 접지된다. 박막 압전변환기(208)의 제3 전극층(405)은 추가의 변화없이 전기이동 잉크 표시소자의 화소전극이 된다. 화소 전극의 사이즈가 150㎛2일 때, 박막 압전변환기(208)에 필요한 영역은 약 10㎛2이고, 소형 평면 형상을 갖는 전기이동 잉크 표시장치가 얻어진다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전기이동 잉크 표시장치의 단면도이다. TFT는 다결정 규소층(401), 게이트 절연막(502), 게이트 전극(503), 층간절연막(504), 및 전극층(403)을 포함하고, 상기 전극층(403)은 소스-드레인 전극이고, 또한 절연기판(501) 상에 형성된 박막 적층 압전변환기의 제1 전극층으로서의 역할을 한다. 그후, 박막 적층 압전변환기를 구성하는, 제1 압전박막층(510), 제2 전극층(404), 제2 압전박막층(511), 및 제3 전극층(405)이 형성된다. 그후, 보호층(505)이 형성된다. 별도로, 투명전극(507)이 대향 기판(506) 상에 형성되고; 그후 도금 등에 의해 기둥모양의 구조(508)가 형성된다. 기둥모양의 구조(508)는 박막적층 압전변환기의 상부를 가압하도록 조립되고, 전기이동 잉크(509)로 채워짐으로써, 전기이동 잉크 표시장치가 형성된다. 박막 적층 압전변환기가 기둥모양의 구조(508) 및 대향 기판(506)에 의해 가압되도록 속박됨으로써, 직류전압 증폭이 수행된다. 본 실시예의 구성을 갖는 박막 적층 압전변환기는 3차원 및 평면 소형화가 가능하다. 또한 출력측 상의 압전박막의 커패시턴스를 사용하기 때문에 고부하를 제거할 수 있다. 또한 정적 압전효과로부터 압전박막으로의 압력을 이용하기 때문에 직류전압 증폭이 가능하다. 실제로, 본 발명자들은 압전박막층(510, 511)에 대해, 52몰%의 지르콘산납-48몰%의 티탄산납의 조성을 갖는 티탄산지르콘산납을 사용하여, 200nm 두께의 제1 압전박막층(510)과 2㎛ 두께의 제2 압전박막층(511)을 제공하고, 제1 전극층(403)과 제2 전극층(404) 사이에 진폭 10V의 펄스를 인가하고; 이 경우, 제3 전극층(405)과 제2 전극층(404) 사이에서 진폭 45V의 펄스를 얻을 수 있었다. 그것에 의해 전기이동 잉크 표시소자를 구동하는 것이 가능하게 된다.
압전박막층(510,511)에 이용되는 재료는 또한, 더 높은 전기기계적 결합계수를 갖는, 마그네슘니오브산납(PMN)을 포함하는 PZT와 같은, PZT계 압전 재료이어도 좋다. 또한, 제1 압전박막층(103)에 높은 응력을 발생시키는 재료와, 제2 압전박막층(105)에서의 인가 압력에 대하여 높은 전압을 발생시키는 재료를 이용하여 박막 압전변환기를 구성한다.
압전박막층과 제1, 제2, 제3 전극층의 밀착력은 백금과 티타늄의 다층 구조의 제1 전극층(24), 제2 전극층(26), 제3 전극층(27)을 형성함으로써 향상될 수 있다.
(전기이동 잉크 표시장치의 제2 실시예)
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로젠 박막 압전변환기를 이용하는 전기이동 잉크 표시장치의 한 화소의 평면도이다. 다결정 규소 박막(401)의 채널부, 게이트 전극(201), 및 컨택트홀(402)을 포함하는 TFT는 게이트라인(201)과 데이터라인(203)의 교점에 형성된다. 도면부호 601은 압전박막층이고; 그 아래에는 진동을 허 용하는 공동이 있다. 박막 압전변환기의 공통 전극층(404)은 게이트라인(201)과 평행하게 그려지고, 접지된다. 도면부호 405는 전기이동 잉크 표시소자의 화소전극이다.
본 실시예에서의 로젠 박막 압전변환기로서 도 2에 나타낸 압전변환기를 이용할 수 있다. 이 경우에, 본 발명에 따른 전기이동 잉크 표시장치에는 본 발명에 따른 압전변환기의 모든 동작효과를 제공할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 로젠 박막 압전변환기를 이용한 전기이동 표시장치의 단면도이다. TFT는 다결정 규소층(401), 게이트 절연막(502), 게이트 전극(503), 층간절연막(504), 및 전극층(701)으로 구성되며, 상기 전극층(701)은 소스-드레인 전극이며 또한 전기이동 잉크 표시소자의 하부전극으로서의 역할을 하며, 절연 기판(501) 상에 형성된다. 그후 금속도금에 의해 범프층(702)이 형성된다. 도면부호 703은 로젠 박막 압전변환기의 입력전극이고; 도면부호 704는 로젠 박막 압전변환기의 출력전극이며; 도면부호 705는 압전박막층이며; 도면부호 404는 로젠 박막 압전변환기의 공통전극이다. 백금과 티타늄의 다층 구조의 전극(703,704,404)을 형성함으로써 전극과 압전박막층 사이의 밀착력을 향상시킬 수 있다. PZT 박막을 가진 압전박막층(705)을 형성함으로써 높은 전기기계적 결합계수를 가지는 박막을 형성할 수 있다. 이러한 설정에서, 입력전극(703)과 공통전극(704) 사이에 교류전압이 인가되고, 압전박막층(705)이 진동하며, 출력전극(704)과 공통전극(404) 사이에서 증폭된 교류전압이 출력된다. 분리 기판 상에 미리 압전박막층(705), 전극(703,704,404) 등을 형성하고, 범프층(702)과 전극층(703,704)을 접속한 후, 분리 기판을 벗김으로써, 그러한 구조를 형성할 수 있다. 또한, 보호층(505)을 형성하고, 그와 별도로 대향 기판(506) 상에 투명전극(507)을 형성하며, 그들을 조합하고, 그 안에서 전기이동 잉크(509)를 분사함으로써 전기이동 잉크 표시장치가 형성된다.
압전박막층(705)의 아래에 공동이 형성되기 때문에, 압전박막층은 진동할 수 있고, 따라서, 로젠 박막 압전변환기로서 작동하여 전기이동 잉크 표시소자의 하부전극(701)에 전압 증폭된 교류신호를 공급할 수 있다. 심지어 전극(701)에 공급되는 신호가 교류일지라도, 전극(701)의 전위는 그 진폭에 있어서 적당한 위치에서 박막트랜지스터를 꺼버림으로써 일정하게 유지될 수 있다. 그 결과, 전기이동 잉크 표시소자를 구동할 수 있게 된다. 또한, 압전변환기는 특유의 진동에 의해 변형되기 때문에, 로젠 박막 압전변환기에 입력되는 전기 신호가 단파를 가지더라도, 상기 신호가 전압 증폭될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 압전변환기는 두께방향으로 신축하지 않도록 속박되는 두 개의 압전박막층을 가진다. 따라서, 소형화가 용이하고, 직류전압 증폭이 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 압전박막을 이용한 로젠 압전변환기는 공동이 형성된 지지대 상에 압전박막을 이용하여 형성한다. 따라서, 소형화가 용이하고, 또한 압전변환기는 높은 전압증폭계수를 가진다.
또한, 본 발명에 따른 전기이동 잉크 표시소자는 박막트랜지스터로 어드레스 되면서, 소형화된 박막 압전변환기에 의해 구동될 수 있다. 따라서, 고밀도로 배치된 복수의 전기이동 잉크 표시소자를 갖는 전기이동 잉크 표시장치가 실현된다.

Claims (14)

  1. 복수의 캡슐로 이루어지고, 상기 캡슐내의 대전입자의 운동으로 인해 컬러가 변하는 전기이동 잉크 표시소자를 복수개 포함하는 전기이동 잉크 표시장치에 있어서,
    복수의 게이트라인, 상기 게이트라인과 직교하는 복수의 데이터라인, 및 상기 게이트라인과 상기 데이터라인의 교점에 배치된 박막트랜지스터를 더 포함하고;
    상기 박막트랜지스터의 한쪽 소스-드레인은 상기 데이터라인에 접속되고;
    상기 박막트랜지스터의 다른 쪽 소스-드레인은 압전변환기의 입력측에 접속되고;
    상기 압전변환기의 출력측은 상기 전기이동 잉크 표시소자의 전극에 접속되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압전변환기는 상기 박막트랜지스터의 상부와 진동가능하게 접속되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 압전변환기는 절연기판 상에 제1 전극층, 제1 압전박막층, 제2 전극층, 제2 압전박막층, 및 제3 전극층의 순서로 적층되어 이루어지고,
    상기 제1 및 제2 압전박막층은 두께방향으로 신축되지 않도록 속박되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 압전변환기의 상부에 기둥모양의 구조를 설치하고, 상기 기둥모양의 구조를 상기 전기이동 잉크 표시소자의 상부 전극이 설치되어 있는 대향 기판으로 가압함으로써, 상기 제1 및 제2 압전박막층이 두께방향으로 신축하지 않도록 속박되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제3 전극층이 또한 상기 전기이동 잉크 표시소자의 하부전극으로서의 기능을 하는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3 전극층이 백금과 티타늄의 다층 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 압전박막층이 티탄산지르콘산납 압전 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  8. 제3항에 있어서, 상기 제1 압전박막층에 임의의 전압파형을 입력하고, 상기 제2 압전박막층에 증폭된 상기 임의의 전압파형을 출력하는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 압전변환기는 공동이 형성된 지지대 상에 형성된 제1 전극층, 압전박막층, 제2 전극층, 및 제3 전극층을 포함하고; 상기 제2 전극층 및 제3 전극층은 상기 공동 위에 위치한 압전박막층 상에 그 전극층들 사이에 공간을 두고 쌍으로 형성되며,
    상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 상기 압전박막층이 끼워지고,
    상기 제3 전극층은 적어도 압전박막층의 단면에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제3 전극층은 상기 압전박막층의 끝면과 상층면에 걸치도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 공동이 형성된 지지대가 단결정 규소 기판인 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3 전극층이 백금과 티타늄의 다층 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 압전박막층이 티탄산지르콘산납 압전 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 제1 전극층과 제2 전극층 사이에 임의의 전압파형을 인가하고, 상기 제2 전극층과 상기 제3 전극층 사이에 증폭된 상기 임의의 전압파형을 출력하는 것을 특징으로 하는 전기이동 잉크 표시장치.
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TW (1) TW444418B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200105729A (ko) * 2018-05-17 2020-09-08 이 잉크 캘리포니아 엘엘씨 피에조 전기영동 디스플레이

Families Citing this family (122)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7999787B2 (en) 1995-07-20 2011-08-16 E Ink Corporation Methods for driving electrophoretic displays using dielectrophoretic forces
US7193625B2 (en) * 1999-04-30 2007-03-20 E Ink Corporation Methods for driving electro-optic displays, and apparatus for use therein
US6067185A (en) 1997-08-28 2000-05-23 E Ink Corporation Process for creating an encapsulated electrophoretic display
US6704133B2 (en) 1998-03-18 2004-03-09 E-Ink Corporation Electro-optic display overlays and systems for addressing such displays
US7075502B1 (en) 1998-04-10 2006-07-11 E Ink Corporation Full color reflective display with multichromatic sub-pixels
US6473072B1 (en) 1998-05-12 2002-10-29 E Ink Corporation Microencapsulated electrophoretic electrostatically-addressed media for drawing device applications
EP1737054B1 (en) * 1999-01-29 2012-04-11 Seiko Epson Corporation Piezoelectric transducer
US7012600B2 (en) 1999-04-30 2006-03-14 E Ink Corporation Methods for driving bistable electro-optic displays, and apparatus for use therein
US6504524B1 (en) 2000-03-08 2003-01-07 E Ink Corporation Addressing methods for displays having zero time-average field
US7119772B2 (en) * 1999-04-30 2006-10-10 E Ink Corporation Methods for driving bistable electro-optic displays, and apparatus for use therein
US6531997B1 (en) 1999-04-30 2003-03-11 E Ink Corporation Methods for addressing electrophoretic displays
US8115729B2 (en) 1999-05-03 2012-02-14 E Ink Corporation Electrophoretic display element with filler particles
US6693620B1 (en) 1999-05-03 2004-02-17 E Ink Corporation Threshold addressing of electrophoretic displays
AU6365900A (en) * 1999-07-21 2001-02-13 E-Ink Corporation Use of a storage capacitor to enhance the performance of an active matrix drivenelectronic display
JP4269118B2 (ja) * 1999-08-27 2009-05-27 富士ゼロックス株式会社 ディスプレイ装置
US6879314B1 (en) 1999-09-28 2005-04-12 Brother International Corporation Methods and apparatus for subjecting an element to an electrical field
JP2003531487A (ja) 2000-04-18 2003-10-21 イー−インク コーポレイション 薄膜トランジスタを製造するためのプロセス
US7893435B2 (en) 2000-04-18 2011-02-22 E Ink Corporation Flexible electronic circuits and displays including a backplane comprising a patterned metal foil having a plurality of apertures extending therethrough
US6750844B2 (en) * 2000-06-14 2004-06-15 Canon Kabushiki Kaisha Electrophoretic display device and process for production thereof
US6762744B2 (en) 2000-06-22 2004-07-13 Seiko Epson Corporation Method and circuit for driving electrophoretic display, electrophoretic display and electronic device using same
US20020060321A1 (en) 2000-07-14 2002-05-23 Kazlas Peter T. Minimally- patterned, thin-film semiconductor devices for display applications
JP3719172B2 (ja) * 2000-08-31 2005-11-24 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器
US6705708B2 (en) * 2001-02-09 2004-03-16 Seiko Espon Corporation Piezoelectric thin-film element, ink-jet head using the same, and method for manufacture thereof
US6791519B2 (en) * 2001-04-04 2004-09-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Sound and vision system
US7492505B2 (en) 2001-08-17 2009-02-17 Sipix Imaging, Inc. Electrophoretic display with dual mode switching
US7038670B2 (en) * 2002-08-16 2006-05-02 Sipix Imaging, Inc. Electrophoretic display with dual mode switching
TW550529B (en) * 2001-08-17 2003-09-01 Sipix Imaging Inc An improved electrophoretic display with dual-mode switching
JP4182329B2 (ja) * 2001-09-28 2008-11-19 セイコーエプソン株式会社 圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP3954395B2 (ja) * 2001-10-26 2007-08-08 富士通株式会社 圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法
US6620237B2 (en) * 2001-11-15 2003-09-16 Spectra, Inc. Oriented piezoelectric film
US9530363B2 (en) 2001-11-20 2016-12-27 E Ink Corporation Methods and apparatus for driving electro-optic displays
US7528822B2 (en) * 2001-11-20 2009-05-05 E Ink Corporation Methods for driving electro-optic displays
US7952557B2 (en) * 2001-11-20 2011-05-31 E Ink Corporation Methods and apparatus for driving electro-optic displays
US9412314B2 (en) 2001-11-20 2016-08-09 E Ink Corporation Methods for driving electro-optic displays
US8593396B2 (en) 2001-11-20 2013-11-26 E Ink Corporation Methods and apparatus for driving electro-optic displays
US8558783B2 (en) 2001-11-20 2013-10-15 E Ink Corporation Electro-optic displays with reduced remnant voltage
US8125501B2 (en) 2001-11-20 2012-02-28 E Ink Corporation Voltage modulated driver circuits for electro-optic displays
JP2003241230A (ja) * 2001-12-12 2003-08-27 Fuji Xerox Co Ltd 表示デバイス用粒子及びそれを用いた画像表示媒体、並びに画像形成装置
JP3903936B2 (ja) * 2002-03-18 2007-04-11 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド
JP2003280045A (ja) * 2002-03-26 2003-10-02 Seiko Epson Corp 電気泳動分散液および電気泳動装置、電子機器
ATE435749T1 (de) * 2002-04-09 2009-07-15 Seiko Epson Corp Flüssigkeitseinspritzkopf
US20080024482A1 (en) 2002-06-13 2008-01-31 E Ink Corporation Methods for driving electro-optic displays
US7038656B2 (en) * 2002-08-16 2006-05-02 Sipix Imaging, Inc. Electrophoretic display with dual-mode switching
US7271947B2 (en) 2002-08-16 2007-09-18 Sipix Imaging, Inc. Electrophoretic display with dual-mode switching
US7063407B2 (en) * 2002-08-21 2006-06-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, ink jet head, and ink jet recording apparatus
US20130063333A1 (en) 2002-10-16 2013-03-14 E Ink Corporation Electrophoretic displays
DE10348346A1 (de) * 2002-10-17 2004-05-27 Kyocera Corp. Aktuator, Herstellungsverfahren und Druckkopf
TW200410034A (en) * 2002-11-28 2004-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Display device and manufacturing method thereof
US10726798B2 (en) 2003-03-31 2020-07-28 E Ink Corporation Methods for operating electro-optic displays
KR100951351B1 (ko) * 2003-04-22 2010-04-08 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 전기 영동 표시장치
US8174490B2 (en) * 2003-06-30 2012-05-08 E Ink Corporation Methods for driving electrophoretic displays
WO2005020199A2 (en) 2003-08-19 2005-03-03 E Ink Corporation Methods for controlling electro-optic displays
US8928562B2 (en) 2003-11-25 2015-01-06 E Ink Corporation Electro-optic displays, and methods for driving same
WO2005066753A1 (de) * 2004-01-05 2005-07-21 Siemens Aktiengesellschaft Elektronisches notizblatt
US6970285B2 (en) 2004-03-02 2005-11-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Phase change electrophoretic imaging for rewritable applications
US7492339B2 (en) * 2004-03-26 2009-02-17 E Ink Corporation Methods for driving bistable electro-optic displays
JP4849432B2 (ja) * 2004-03-30 2012-01-11 ブラザー工業株式会社 圧電膜の製造方法、基板と圧電膜との積層構造、圧電アクチュエータおよびその製造方法
US7170668B2 (en) * 2004-04-29 2007-01-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Hybrid light modulator
US11250794B2 (en) 2004-07-27 2022-02-15 E Ink Corporation Methods for driving electrophoretic displays using dielectrophoretic forces
US7453445B2 (en) 2004-08-13 2008-11-18 E Ink Corproation Methods for driving electro-optic displays
US7382517B2 (en) * 2004-09-28 2008-06-03 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Hybrid light modulator
DE102005028976A1 (de) * 2005-06-22 2006-12-28 Siemens Ag Piezoaktor mit gesteigertem Hubvermögen
TWI301554B (en) * 2005-11-16 2008-10-01 Prime View Int Co Ltd Electronic ink display device
US7514844B2 (en) * 2006-01-23 2009-04-07 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic data coupling system and method
TWI344133B (en) 2006-02-24 2011-06-21 Prime View Int Co Ltd Thin film transistor array substrate and electronic ink display device
US20070235295A1 (en) * 2006-04-05 2007-10-11 Shubhra Verma Apparatus having user input device with changeable indicia
KR101312497B1 (ko) * 2006-08-14 2013-10-01 삼성디스플레이 주식회사 전기 영동 표시 패널 및 그 제조 방법
FR2916305B1 (fr) * 2007-05-15 2009-10-23 Commissariat Energie Atomique Dispositif a transistor a canal contraint.
US7768178B2 (en) * 2007-07-27 2010-08-03 Fujifilm Corporation Piezoelectric device, piezoelectric actuator, and liquid discharge device having piezoelectric films
US8169690B2 (en) * 2008-02-21 2012-05-01 Sipix Imaging, Inc. Color display devices
US8422116B2 (en) * 2008-04-03 2013-04-16 Sipix Imaging, Inc. Color display devices
CN102016970B (zh) * 2008-05-01 2014-04-16 希毕克斯影像有限公司 彩色显示装置
US20100079379A1 (en) * 2008-09-26 2010-04-01 Sony Ericsson Mobile Communications Ab Portable communication device having an electroluminescent driven haptic keypad
US8503063B2 (en) * 2008-12-30 2013-08-06 Sipix Imaging, Inc. Multicolor display architecture using enhanced dark state
US8797258B2 (en) * 2008-12-30 2014-08-05 Sipix Imaging, Inc. Highlight color display architecture using enhanced dark state
US8964282B2 (en) 2012-10-02 2015-02-24 E Ink California, Llc Color display device
US9251736B2 (en) 2009-01-30 2016-02-02 E Ink California, Llc Multiple voltage level driving for electrophoretic displays
US8717664B2 (en) 2012-10-02 2014-05-06 Sipix Imaging, Inc. Color display device
US20110217639A1 (en) * 2010-03-02 2011-09-08 Sprague Robert A Electrophoretic display fluid
TWI591604B (zh) 2010-04-09 2017-07-11 電子墨水股份有限公司 用於驅動電光顯示器的方法
TWI529681B (zh) 2010-04-14 2016-04-11 半導體能源研究所股份有限公司 顯示裝置及電子設備
US9140952B2 (en) 2010-04-22 2015-09-22 E Ink California, Llc Electrophoretic display with enhanced contrast
EP2562836A4 (en) * 2010-04-23 2014-07-23 Murata Manufacturing Co PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
US9116412B2 (en) 2010-05-26 2015-08-25 E Ink California, Llc Color display architecture and driving methods
US8704756B2 (en) 2010-05-26 2014-04-22 Sipix Imaging, Inc. Color display architecture and driving methods
US8670174B2 (en) 2010-11-30 2014-03-11 Sipix Imaging, Inc. Electrophoretic display fluid
US8550823B2 (en) * 2011-01-24 2013-10-08 Single Buoy Moorings, Inc. Rigid to elastic electrode connection
US9146439B2 (en) 2011-01-31 2015-09-29 E Ink California, Llc Color electrophoretic display
US10514583B2 (en) 2011-01-31 2019-12-24 E Ink California, Llc Color electrophoretic display
US9013783B2 (en) 2011-06-02 2015-04-21 E Ink California, Llc Color electrophoretic display
US8786935B2 (en) 2011-06-02 2014-07-22 Sipix Imaging, Inc. Color electrophoretic display
US8649084B2 (en) 2011-09-02 2014-02-11 Sipix Imaging, Inc. Color display devices
US8605354B2 (en) 2011-09-02 2013-12-10 Sipix Imaging, Inc. Color display devices
US8917439B2 (en) 2012-02-09 2014-12-23 E Ink California, Llc Shutter mode for color display devices
KR101383012B1 (ko) * 2012-05-31 2014-04-07 한국과학기술연구원 스퀴즈막 효과를 이용한 촉감 디스플레이를 구비한 전자 장치
WO2013191983A1 (en) * 2012-06-20 2013-12-27 Sipix Imaging, Inc. Piezo electrophoretic display
US8957533B2 (en) 2012-06-21 2015-02-17 Schneider Electric USA, Inc. Self-contained bistable information display with mechanical activation
WO2014003709A1 (en) * 2012-06-25 2014-01-03 Empire Technology Development Llc Ultrasound based antigen binding detection
US8797636B2 (en) 2012-07-17 2014-08-05 Sipix Imaging, Inc. Light-enhancing structure for electrophoretic display
US9360733B2 (en) 2012-10-02 2016-06-07 E Ink California, Llc Color display device
CN109031845B (zh) 2013-04-18 2021-09-10 伊英克加利福尼亚有限责任公司 彩色显示设备
CN105324709B (zh) 2013-05-17 2018-11-09 伊英克加利福尼亚有限责任公司 具有彩色滤光片的彩色显示装置
CA2912689C (en) 2013-05-17 2019-08-20 E Ink California, Llc Color display device
US9383623B2 (en) 2013-05-17 2016-07-05 E Ink California, Llc Color display device
WO2014197750A1 (en) * 2013-06-07 2014-12-11 Schlumberger Canada Limited Piezoelectric coatings for downhole sensing and monitoring
TWI534520B (zh) 2013-10-11 2016-05-21 電子墨水加利福尼亞有限責任公司 彩色顯示裝置
PL3095007T3 (pl) 2014-01-14 2020-10-05 E Ink California, Llc Sposób sterowania warstwą wyświetlacza kolorowego
US9541814B2 (en) 2014-02-19 2017-01-10 E Ink California, Llc Color display device
CN103885172B (zh) * 2014-03-06 2016-04-13 京东方科技集团股份有限公司 3d眼镜镜片及3d眼镜
US20150268531A1 (en) 2014-03-18 2015-09-24 Sipix Imaging, Inc. Color display device
JP6519212B2 (ja) * 2014-03-27 2019-05-29 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
US10380955B2 (en) 2014-07-09 2019-08-13 E Ink California, Llc Color display device and driving methods therefor
US10891906B2 (en) 2014-07-09 2021-01-12 E Ink California, Llc Color display device and driving methods therefor
US10147366B2 (en) 2014-11-17 2018-12-04 E Ink California, Llc Methods for driving four particle electrophoretic display
CN105552132B (zh) * 2016-02-04 2018-11-13 京东方科技集团股份有限公司 薄膜晶体管传感器及其制备方法
US10203793B2 (en) 2016-04-01 2019-02-12 Microsoft Technology Licensing, Llc Updating a display by applying pressure
KR102568386B1 (ko) * 2016-09-30 2023-08-21 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서를 포함하는 표시 장치
US11266832B2 (en) 2017-11-14 2022-03-08 E Ink California, Llc Electrophoretic active delivery system including porous conductive electrode layer
CN108962949B (zh) * 2018-07-06 2020-12-25 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、显示面板制作方法及车载中控显示装置
JP7406876B2 (ja) * 2018-10-17 2023-12-28 キヤノン株式会社 圧電トランス、および電子機器
US10838241B1 (en) * 2019-06-17 2020-11-17 Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Panel sounding display device
JP7438346B2 (ja) 2019-11-27 2024-02-26 イー インク コーポレイション 電気浸食シール層を有するマイクロセルを備えている有益剤送達システム

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3772874A (en) * 1971-12-09 1973-11-20 Princeton Materials Science Display apparatus and chronometer utilizing optically variable liquid
US4280756A (en) * 1979-01-02 1981-07-28 Itek Corporation Piezoelectric bi-morph mirror actuator
CH639762A5 (fr) * 1980-11-12 1983-11-30 Centre Electron Horloger Transducteur de pression a element vibrant.
NL8502663A (nl) * 1985-09-30 1987-04-16 Philips Nv Weergeefinrichting met verbeterde aansturing.
US5631461A (en) 1987-06-19 1997-05-20 Science Applications International Corporation Apparatus for, and methods of, detecting the direction and focal properties of neutral particle beams
US4833464A (en) * 1987-09-14 1989-05-23 Copytele, Inc. Electrophoretic information display (EPID) apparatus employing grey scale capability
JPH01137240A (ja) * 1987-11-25 1989-05-30 Kinseki Ltd 電気泳動表示装置
JP3064458B2 (ja) 1991-04-02 2000-07-12 日本電気株式会社 厚み縦振動圧電磁器トランスとその駆動方法
DE69223096T2 (de) * 1991-07-18 1998-05-28 Ngk Insulators Ltd Piezoelektrischer/elektrostriktiver Element mit einem keramischen Substrat aus stabilisiertem Zirkoniumdioxid
US5243332A (en) * 1991-10-31 1993-09-07 Massachusetts Institute Of Technology Information entry and display
JP3162467B2 (ja) 1992-03-30 2001-04-25 ローム株式会社 圧電ブザー
US5329496A (en) * 1992-10-16 1994-07-12 Duke University Two-dimensional array ultrasonic transducers
US5880411A (en) * 1992-06-08 1999-03-09 Synaptics, Incorporated Object position detector with edge motion feature and gesture recognition
US5298833A (en) * 1992-06-22 1994-03-29 Copytele, Inc. Black electrophoretic particles for an electrophoretic image display
JPH06132579A (ja) * 1992-09-01 1994-05-13 Canon Inc 変位素子及びそれを用いたプローブ、同プローブを有する機器
JP3151644B2 (ja) * 1993-03-08 2001-04-03 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子
DE69413619T2 (de) * 1993-07-27 1999-04-01 Ngk Insulators Ltd Membranstruktur aus Zirkoniumoxid, Verfahren zu ihrer Herstellung und eine piezoelektrische/elektrostriktive Schichtenanordnung mit der Membranstruktur aus Zirkoniumoxid
JP3214644B2 (ja) * 1993-12-21 2001-10-02 セイコーエプソン株式会社 電気泳動マトリックス表示装置
US5508720A (en) * 1994-02-02 1996-04-16 Copytele, Inc. Portable telecommunication device with removable electrophoretic display
JPH08125247A (ja) * 1994-10-25 1996-05-17 Hitachi Ferrite Ltd 圧電トランスの実装方法
JPH08153914A (ja) * 1994-11-25 1996-06-11 Philips Japan Ltd 圧電磁器トランス
US5745094A (en) * 1994-12-28 1998-04-28 International Business Machines Corporation Electrophoretic display
US5708461A (en) * 1995-01-24 1998-01-13 Elo Touchsystems, Inc. Acoustic touch position sensor using a low-loss transparent substrate
JP3516183B2 (ja) * 1995-07-18 2004-04-05 Ｎｅｃトーキン株式会社 ケース付き圧電トランス
US6118426A (en) * 1995-07-20 2000-09-12 E Ink Corporation Transducers and indicators having printed displays
JP3320596B2 (ja) * 1995-09-27 2002-09-03 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子及びその製造方法
JPH09130008A (ja) * 1995-10-27 1997-05-16 Daishinku Co 圧電トランスの搭載構造および圧電トランスモジュール
JPH09162456A (ja) * 1995-12-07 1997-06-20 Tokin Corp 圧電トランス
JP3344888B2 (ja) * 1995-12-28 2002-11-18 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子及びその製造方法
JP3209082B2 (ja) * 1996-03-06 2001-09-17 セイコーエプソン株式会社 圧電体薄膜素子及びその製造方法、並びにこれを用いたインクジェット式記録ヘッド
GB2312773A (en) * 1996-05-01 1997-11-05 Sharp Kk Active matrix display
JP3379347B2 (ja) * 1996-09-02 2003-02-24 松下電器産業株式会社 圧電トランス部品
US5930026A (en) 1996-10-25 1999-07-27 Massachusetts Institute Of Technology Nonemissive displays and piezoelectric power supplies therefor
JPH10217487A (ja) 1997-02-06 1998-08-18 Fuji Electric Co Ltd インクジェット記録ヘッドの圧電素子形成方法
JPH10264385A (ja) 1997-03-27 1998-10-06 Seiko Epson Corp 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
TW379457B (en) * 1997-04-18 2000-01-11 Nippon Electric Co Laminated piezo transformer
US6232950B1 (en) * 1997-08-28 2001-05-15 E Ink Corporation Rear electrode structures for displays
US6177921B1 (en) * 1997-08-28 2001-01-23 E Ink Corporation Printable electrode structures for displays
US6252564B1 (en) * 1997-08-28 2001-06-26 E Ink Corporation Tiled displays
US6291925B1 (en) * 1998-01-12 2001-09-18 Massachusetts Institute Of Technology Apparatus and methods for reversible imaging of nonemissive display systems
US6222513B1 (en) * 1998-03-10 2001-04-24 Xerox Corporation Charge retention islands for electric paper and applications thereof
JP4344023B2 (ja) * 1998-06-05 2009-10-14 Ｎｅｃトーキン株式会社 圧電トランス用素子の実装構造及び圧電トランスの製造方法
JP3956493B2 (ja) 1998-07-17 2007-08-08 セイコーエプソン株式会社 電気泳動表示装置
US6184856B1 (en) * 1998-09-16 2001-02-06 International Business Machines Corporation Transmissive electrophoretic display with laterally adjacent color cells
AU4209199A (en) * 1998-11-09 2000-05-29 Richard Patten Bishop Multi-layer piezoelectric electrical energy transfer device
JP2000196159A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Tokin Corp 圧電トランス
EP1737054B1 (en) * 1999-01-29 2012-04-11 Seiko Epson Corporation Piezoelectric transducer

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200105729A (ko) * 2018-05-17 2020-09-08 이 잉크 캘리포니아 엘엘씨 피에조 전기영동 디스플레이
KR20210021608A (ko) * 2018-05-17 2021-02-26 이 잉크 캘리포니아 엘엘씨 피에조 전기영동 디스플레이
KR102387849B1 (ko) * 2018-05-17 2022-04-15 이 잉크 캘리포니아 엘엘씨 피에조 전기영동 디스플레이
KR102433927B1 (ko) * 2018-05-17 2022-08-18 이 잉크 캘리포니아 엘엘씨 피에조 전기영동 디스플레이

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US6842166B2 (en) 2005-01-11

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