KR100554365B1 - 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치로서, 기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와, 상기 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와, 상기 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이자 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 장치와, 상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따라 설치된 가이드 부재와, 상기 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 지지된 도포 헤드와, 상기 가이드 부재를 따라 설치되고 상기 가이드 부재 근방의 기체를 흡인하는 복수개의 흡인 노즐을 구비한다.

도포 장치, 스테이지, 빔형 부재, 가이드 부재, 도포 헤드, 흡인 노즐

Description

페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 {APPARATUS FOR APPLYING PASTE AND METHOD OF APPLYING PASTE}

도 1은 본 발명에 관한 페이스트 도포 장치의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 주요부 구성을 나타낸 정면도이다.

도 3은 도 2의 III-III선에 따른 단면도이다.

도 4는 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 제어 장치의 구성도이다.

도 5는 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 2개의 도포 헤드를 역방향으로 이동시켰을 때의 동작 설명도이다.

도 6은 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 2개의 도포 헤드를 동일 방향으로 이동시켰을 때의 동작 설명도이다.

본 발명은 미리 설정된 패턴으로 기판 상에 페이스트를 도포하는 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법에 관한 것이다.

종래, 기판 상에 설정된 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 도포 장치는, 기판을 탑재하는 스테이지의 상부에, 리니어 모터에 의해 프레임이 소정 방향으로 이동 가능하게 배치되어 있다. 이 프레임에는 복수개의 도포 헤드가 프레임의 이동 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 형성되어 있다.

그에 따라, 프레임 이동과 동시에 이 프레임 상에서 복수개의 도포 헤드를 이동시키면서, 페이스트를 기판 상에 원하는 패턴으로 복수개 동시에 도포할 수 있다. 이와 같은 기술은, 예를 들어 일본 특허 공개 번호 제2002-346452호 공보에 개시되어 있다.

전술한 페이스트 도포 장치에 있어서는, 기판의 상부에서 이동하는 도포 헤드의 이동 장치에 리니어 모터를 사용하고 있으므로, 도포 헤드의 이동에 기인하는 발진이 적고, 잔여물에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있다고 하는 이점이 있다.

그러나, 전술한 페이스트 도포 장치에 있어서는, 도포 헤드의 이동에 리니어 모터를 사용하여 잔여물의 발생을 억제하고 있지만, 도포 헤드를 이동 가능하게 지지하기 위해 리니어 가이드를 사용하고 있다. 리니어 가이드는 가이드 레일과 가이드 레일을 따라 이동하는 가동대를 가진다. 그러므로, 가이드 레일과 가동대의 슬라이드 이동 부분으로부터 금속분 등의 잔여물이 발생하고, 이 잔여물에 의해 기판이 오염된다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 잔여물에 의해 기판이 오염되는 것을 억제하고, 양호한 페이스트의 도포를 행하는 것이 가능하도록 한 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명은 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치로서, 기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와, 이 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와, 이 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이자 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 장치와, 상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따라 설치된 가이드 부재와, 이 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 지지된 도포 헤드와, 상기 가이드 부재를 따라 설치되어 이 가이드 부재 근방의 기체를 흡인하는 복수개의 흡인부를 구비한다.

본 발명에 의하면, 도포 헤드를 가이드하는 가이드 부재 근방의 기체를 흡인하는 흡인부를 설치함으로써, 도포 헤드가 가이드 부재를 따라 이동하는 것에 의해 잔여물이 발생해도, 그 잔여물을 흡인부에 의해 흡인 제거하는 것이 가능해져 페이스트를 양호하게 도포할 수 있다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 관한 페이스트 도포 장치의 구성을 나타낸 사시도, 도 2는 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 주요부 구성을 나타낸 도면, 도 3은 도 2의 III-III선에 따른 단면도, 도 4는 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 제어 장치의 구성을 나타낸 도면, 도 5 및 도 6은 도 1에 나타낸 페이스트 도포 장치의 동작 설명도이다.

도 1에 있어서, 페이스트 도포 장치(1)는, 베이스(2), 이 베이스(2) 상에 배치되어 기판(3)을 탑재하는 스테이지(4), 동일하게 베이스(2) 상에 고정된 도어형의 프레임(5), 이 프레임(5)의 빔형 부재(5a)에 이동이 자유롭게 지지된 2개의 도포 헤드(6), 및 베이스(2) 내에 배치된 제어 장치(7)에 의해 구성된다.

도 1에 화살표로 X, Y 및 Z방향을 나타낸다. 상기 스테이지(4)는 베이스(2) 상에 제1 이동 장치로서의 Y축 이동 테이블(4a)을 사이에 두고 배치된다. Y축 이동 테이블(4a)은 상기 스테이지(4)를 화살표 Y방향으로 구동한다. 스테이지(4)의 지지면(4b)에는 기판(3)을 흡착 지지하기 위한 흡착공(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 또, 스테이지(4)에는, 동일하게 기판 반송용의 로봇(도시하지 않음)에 의해 지지면(4b)에 대하여 기판(3)을 받아서 넘겨주기 위한 리프트 핀(도시하지 않음)이 승강 가능하게 형성되어 있다.

상기 프레임(5)은, 화살표 X방향으로 스테이지(4)를 넘어 베이스(2) 상에 고정 배치된다.

2개의 도포 헤드(6)는, 프레임(5)의 화살표 X방향으로 연장된 빔형 부재(5a)의 앞면에 가이드 장치(8)를 통하여 이동 가능하게 설치된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 도포 헤드(6)는 상기 가이드 장치(8)에 지지된 X축 이동 테이블(61), X축 이동 테이블(61) 상에 승강 가능하게 지지되어 모터(62)에 의해 구동되는 이송 나사 기구를 이용한 승강 기구(63), 이 승강 기구(63)에 의해 승강 구동되는 Z축 이동 테이블(64), Z축 이동 테이블(64)에 고정되어 페이스트를 토출하기 위한 도포 노즐(65)을 구비한 시린지(syringe)(66)를 가진다.

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 가이드 장치(8)는 3조의 리니어 가이드(81)를 가진다. 이들 리니어 가이드(81)는, 각각 빔형 부재(5a)에 상하 방향으로 평행하게 설치된 3개의 가이드 레일(가이드 부재)(82)과 각 가이드 레일(82)에 슬라이드식으로 이동 가능하게 설치된 가동대(83)를 가진다. 각 가동대(83)는 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 장착구(67)를 사이에 두고 고정되어 있다.

장착구(67)는, X축 이동 테이블(61)에 스페이서(71)를 사이에 두고 장착되어 있다.

상기 장착구(67)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 베이스부(68)에 대하여 3개의 암부(69)가 3개의 가이드 레일(82)에 대응하도록 좌우 교대로 돌출되어 설치되고, 각 암부(69)에 각각 상기 가동대(83)가 고정된다. 따라서, 동일한 가이드 레일(82) 상에 있어서, 가동대(83)는 인접하는 한쌍의 도포 헤드(6) 사이에서 동일한 방향으로 돌출되고, 1개의 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 3개의 가동대(83)가 지그재그형으로 배치된다.

그리고, 도 2에 있어서는 한쌍의 도포 헤드(6) 중 한쪽은 실선으로 나타내고 있지만, 다른 쪽은 장착구(67)를 실선으로 나타내고, 이 장착구(67)에 장착되는 X축 이동 테이블(61)을 쇄선으로 나타내고 있다.

상기 도포 헤드(6)는 제2 이동 장치로서의 리니어 모터(9)의 구동에 의해 X방향으로 구동되도록 되어 있고, 이 리니어 모터(9)는 3개의 가이드 레일(82)에 따라 상하 2열로 배치된 고정자로서의 마그넷(91)과, X축 이동 테이블(61)에 고정되는 가동자로서의 코일(92)에 의해 구성된다. 이 코일(92)은 2개의 도포 헤드(6) 중 좌측의 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 상부에 배치된 마그넷(91)에 대응하는 위치에, 우측의 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 아래 쪽에 배치된 마그넷(91)에 대응하는 위치에 각각 고정된다.

각 가이드 레일(82)의 아래 쪽에는 가이드 레일(82)에 따라 흡인부로서의 복수개의 흡인공(10)이 소정 간격으로 배치된다. 각 흡인공(10)은 도시하지 않은 진공원에 도 3에 나타낸 배관(10a)을 통하여 접속되어 있고, 전자 밸브 등의 배관의 개폐 기구에 의해 적당하게 진공 흡인력을 발생시킬 수 있도록 구성된다. 그리고, 흡인된 공기는 배관(10a)을 통하여, 페이스트 도포 장치(1)가 설치되어 있는 방의 밖으로 배기된다.

제어 장치(7)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 연산부(7a), 기억부(7b), 설정부(7c)를 가진다. 기억부(7b)에는 페이스트의 도포 작업을 행하는 데 필요한 도포 조건, 예를 들면, 도포 패턴 데이터, 이 도포 패턴 데이터에 대응하는 도포 속도인 기판(3)과 도포 헤드(6)의 상대 이동 속도, 페이스트 도포 시의 갭인 기판(3)과 도포 노즐(65) 사이의 간격, 및 페이스트의 토출 압력 등이 기억된다.

상기 설정부(7c)에는 2개의 도포 헤드(6)의 접근 간격 L이 설정된다. 여기서, 접근 간격 L이란, 2개의 도포 헤드(6)가 가이드 장치(8) 상에서 서로 간섭하지 않고 접근할 수 있는 최소 거리이다. 연산부(7a)는 기억부(7b)에 기억된 데이터에 따라 도포 작업시의 도포 헤드(6)나 스테이지(4)의 동작의 제어 및 기억부(7b)에 기억된 데이터의 적부 판정을 행한다.

그리고, 기억부(7b)에 기억된 데이터의 적부 판정에 대하여는 후에 상세하게 설명한다. 기억부(7b) 및 설정부(7c)에 대하여는 도시하지 않은 키보드나 터치 패널 등의 입력 조작부를 통하여 데이터를 입력하는 것이 가능해진다.

다음에, 작동에 대하여 설명한다.

기판(3)에 대한 페이스트의 도포 작업을 행하는 데 있어서, 먼저, 이번에 처리하는 기판(3)에 페이스트의 도포 작업을 행하는 데 필요한 도포 조건을 기억부(7b)에 기억시킨다. 기억부(7b)에 도포 조건이 기억되었다면, 연산부(7a)는 기억부(7b)에 기억된 도포 조건과 설정부(7c)에 설정된 접근 간격 L에 따라, 다음과 같이 하여 기억부(7b)에 기억된 데이터의 적부를 판정한다.

예를 들면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판(3) 상에 직사각형의 패턴 P1, P2를 2개 동시에 묘화하는 경우에 있어서, 기억부(7b)에 좌측의 도포 헤드(6)에 대한 도포 패턴 데이터로서, 기판(3) 상의 위치 S1를 도포 개시 위치로 하여 왼쪽 주위에 직사각형 패턴을 묘화하는 데이터, 또 우측의 도포 헤드(6)에 대한 도포 패턴 데이터로서, 기판(3) 상의 위치 S2를 도포 개시 위치로 하여 우측 주위에 직사각형 패턴을 묘화하는 데이터가 각각 기억되고, 도포 속도 등의 다른 데이터는 2개의 도포 헤드(6)에 관해서 동일 조건이 설정되고, 설정부(7c)에는 미리 접근 간격 L=100mm가 설정된 것으로 한다.

연산부(7a)는 기억부(7b)에 기억된 도포 조건에 따라, 도포 개시부터 도포 종료까지의 경과 시간 t1, t2, t3, t4 마다, 경과 시간에 대응하는 도포 헤드(6)들 사이의 상대 간격 L1, L2, L3, L4를 산출한다. 도 5의 예에서는, 페이스트를 폭치수 300mm의 2개의 직사각형으로 간격이 90mm가 되도록 도포하는 경우로서, 동 도면에 있어서 L1=390mm, L2=690mm, L3=390mm, L4=90mm이다.

다음에, 연산부(7a)는, 산출한 상대 간격과 설정부(7c)에 설정된 접근 간격 L을 비교하여, 접근 간격 L 이하로 되는 상대 간격이 존재하는지 여부를 판별한다. 그리고, 판별의 결과, 접근 간격 L 이하로 되는 상대 간격이 존재하는 경우에는, 기억부(7b)에 기억된 도포 조건에서는 도 5에 나타낸 도포 패턴 P1, P2를 2개의 도포 헤드(6)로 동시에 묘화할 수 없으므로, 부적절하다고 판단하고, 도시하지 않은 모니터나 경보 장치 등을 통해서 오퍼레이터에게 데이터의 수정을 독촉한다. 도 5의 경우, L4=90mm는, 접근 간격 L=100mm 이하로 되므로, 연산부(7a)는, 기억부(7b)에 기억된 도포 조건은 부적절한 것으로 판정한다. 그리고, 전술한 예에서 연산부(7a)는 도포 개시부터 도포 종료까지의 경과 시간마다 도포 헤드(6)들 사이의 상대 간격을 모두 구한 후에 접근 간격 L과의 비교를 행하는 예로 하였으나, 다른 예로서는 도포 개시부터 소정의 경과 시간마다 도포 헤드(6)들 사이의 상대 간격을 구하고, 그 때 마다, 구한 상대 간격과 접근 간격 L을 비교하고, 상대 간격≤접근 간격 L로 된 시점에서, 전술한 판단을 내리도록 해도 된다.

이와 같이 하면, 도포 패턴의 도중에 상대 간격≤접근 간격 L로 되는 부분이 존재하는 것이 판별된 단계에서, 기억부(7b)에 기억된 도포 조건의 적부를 판정할 수 있어 전자에 비해 신속히 판정 작업을 할 수 있다.

연산부(7a)는 모니터나 경보 장치 등을 통해서 오퍼레이터에게 도포 조건의 수정을 독촉한 결과, 기억부(7b)에 기억된 도포 조건이 수정되었을 경우, 그 수정된 도포 조건에 대하여도 마찬가지로 적부의 판정을 행한다. 여기서, 도 6에 나타 낸 바와 같이, 좌우의 도포 헤드(6)에 대하여, 기판(3) 상의 위치 S1, S2를 도포 개시 위치로 하는 같은 우측 주위의 도포 데이터가 설정된 것으로 한다. 이 경우, 각 경과 시간 tl, t2, t3, t4 마다의 도포 헤드(6)들 간의 상대 간격 L1, L2, L3, L4는 L1=390mm, L2=390mm, L3=390mm, L4=390mm가 되어, 모두 접근 간격 L(100mm) 이상으로 된다. 따라서, 연산부(7a)는 기억부(7b)에 기억된 데이터는 적당한 것으로 판정한다.

상기의 판정으로 적당한 것으로 판정된 도포 조건에 따라, 아래와 같은 동작이 행해진다.

도시하지 않은 기판 반송용 로봇에서 공급된 기판(3)이 상승 위치에서 기다리고 있던 리프트 핀 상에서 주고 받게 되면, 리프트 핀이 하강하여 기판(3)이 스테이지(4)의 지지면(4b)에 탑재된다. 스테이지(4) 상에 탑재된 기판(3)은 도시하지 않은 흡착공에 의해 흡착 고정된다. 기판(3)이 스테이지(4) 상에 고정되면, 연산부(7a)는 도시하지 않은 위치 검출용 카메라를 사용하여 기판(3)에 부착된 위치 검출용 마크를 검출하고, 기판(3)의 위치를 인식한다. 그리고, 이 위치 인식 결과와 기억부(7b)에 기억된 데이터에 따라, 각 도포 헤드(6)를 대기 위치, 예를 들면, 가이드 장치(8)의 좌우단 위치로부터 각각이 묘화하는 도포 패턴의 도포 개시 위치 S1, S2 상에 위치시킨다. 그리고, 여기서, 도포 헤드(6)의 이동, 즉 리니어 모터(9)의 구동에 앞서 연산부(7a)는 도시하지 않은 전자 밸브를 개방 조작하여 흡인공(10)에 진공 흡인력을 작용시킨다.

이 후, 연산부(7a)는 기억부(7b)에 기억된 데이터에 따라 스테이지(4), 각각 의 도포 헤드(6) 등의 이동을 제어하여, 기억된 도포 조건에 따라 기판(3) 상에 페이스트를 도포한다. 그리고, 도포 작업시의 도포 헤드(6) 등의 제어에 대하여는, 공지의 기술을 이용할 수 있으므로 상세히 설명하지 않는다.

연산부(7a)는 기판(3)에 대한 페이스트의 도포가 완료되면, 도포 헤드(6)를 각각의 대기 위치로 이동시키고, 도시하지 않은 흡착공에 의한 흡착을 해제한 후, 페이스트가 도포된 기판(3)을 리프트 핀으로 들어 올린다. 또, 도포 헤드(6)의 대기 위치에의 이동이 완료된 시점에서, 연산부(7a)는 도시하지 않은 전자 밸브를 폐쇄 조작하여 흡인공(10)에 작용시키고 있는 진공 흡인력을 정지시킨다. 그리고, 복수개의 기판(3)을 연속하여 처리하는 경우에는 마지막 기판에의 도포가 완료되기까지 흡인공(10)에 진공 흡인력을 계속 작용시켜도 된다.

그리고, 들어 올려진 기판(3)이 기판 반송용의 로봇으로 반출됨으로써 1매의 기판에 대한 페이스트의 도포 작업이 완료된다.

상기의 실시예에 의하면, 스테이지(4)의 상부에 배치된 도포 헤드(6)를 리니어 모터(9)로 이동시키는 동시에, 도포 헤드(6)를 지지하는 가이드 장치(8)의 가이드 레일(82)에 따라 복수개의 흡인공(10)을 소정 간격으로 배치하고, 도포 헤드(6)를 이동시킬 때는 이 흡인공(10)에 진공 흡인력을 작용시키도록 했다. 리니어 모터(9)는 마그넷(91)에 대하여 코일(92)이 비접촉으로 이동함으로써 발진을 억제할 수 있다.

또, 만일, 리니어 모터(9)나, 가이드 레일(82)과 가동대(83) 사이의 슬라이드 이동부에 있어서 금속분 등의 잔여물이 발생해도, 이 잔여물은 흡인공(10)에 발생된 흡인력에 의해 형성되는 공기의 흐름에 의해 흡인공(10) 내로 흡입되므로, 발생한 잔여물이 기판(3) 상에 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(3)이 잔여물에 의해 오염되는 것을 최대한 방지할 수 있고, 페이스트가 도포된 기판(3)을 사용하여 생산되는 제품의 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 흡인공(10)에 작용하는 진공 흡인력에 의해 형성되는 흡인 방향으로의 공기의 흐름에 의해 리니어 모터(9)를 냉각할 수 있다. 이로써, 리니어 모터(9)가 코일(92)에의 통전에 의해 발열하는 경우에도, 이 발열에 의한 온도 상승을 방지할 수 있으므로, 가열에 의한 각 부재의 열팽창을 방지할 수 있다. 그 결과, 열팽창에 기인하는 리니어 모터(9)의 이동 정밀도의 저하를 방지할 수 있으므로, 안정된 정밀도의 양호한 페이스트 도포를 실현할 수 있다.

또, 연산부(7a)가 도포 작업을 개시하기 전, 즉 각 도포 헤드(6)를 도포 개시 위치에 위치시키기 전에 기억부(7b)에 기억된 도포 조건과 설정부(7c)에 설정된 접근 간격 L에 따라, 기억부(7b)에 기억된 도포 조건의 적부, 즉 도포 작업 중에 2개의 도포 헤드(6)가 간섭을 일으키는지 여부를 판정한다.

그러므로, 기억부(7b)에 2개의 도포 헤드(6)가 간섭을 일으키는 조건으로 도포 패턴 데이터, 도포 속도가 설정되었다고 해도, 그 조건으로 도포 작업이 실행되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

따라서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 도포 개시 위치(tl)에서는 도포 헤드들 사이의 서로의 간섭이 없고, 도포 패턴의 도중(t4)에 도포 헤드들이 서로 간섭을 일으키는 도포 조건이 설정되었다고 해도, 그 도포 조건으로 도포 작업이 실행되는 것을 회피할 수 있으므로, 한쌍의 도포 헤드(6)들이 서로 간섭하는 것에 의해 도포 작업이 방해되는 것을 방지할 수 있어 도포 작업을 양호한 효율로 행할 수 있다.

그리고, 도 5에 나타낸 도포 패턴이라도, 도포 헤드(6)의 간섭이 생기지 않는 도포 조건이면 도포 작업은 실행 가능하고, 이와 같은 경우에는, 2개의 도포 헤드(6)가 가이드 장치(8) 상에서 상반되는 방향으로 동시에 같은 속도로 이동하게 되므로, 2개의 도포 헤드(6)의 가감속 시에 도포 헤드(6)의 관성에 의해 작용하는 프레임(5)이 휘게 하는 힘을 상쇄할 수 있어 프레임(5)의 휨 변형에 기인하는 도포 정밀도의 저하를 방지할 수 있다.

또, 도포 헤드(6)에 대하여 3개의 가이드 레일(82)의 가동대(83)를 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)로부터 좌우 교대로 돌출시킨 지그재그형으로 되도록 배치하여 고정했다. 이로써, 도포 헤드(6)의 화살표 Z방향을 축으로 하는 요동(덜거덕거림)을 최대한 저감할 수 있다.

즉, 리니어 가이드(81)는 가이드 레일(82)과 가동대(83) 사이의 요동을 완전히 없애는 것은 곤란하고, 다소의 요동을 가지고 있다. 그리고 이 요동은 도포 헤드(6)에 화살표 Z방향을 축으로 하는 요동을 일으키게 하는 원인으로 된다.

또한, 이 요동의 크기는 가동대(83)의 이동 방향에 있어서의 단부 사이의 길이(이하, 축약하여 「이동 방향 길이」라고 함)와 반비례의 관계에 있다. 그러므로, 도포 헤드(6)에 있어서의 화살표 Z방향을 축으로 하는 요동을 작게 하기 위해서는 도포 헤드(6)에 설치되는 복수개의 가동대(83)의 이동 방향의 간격을 길게 하면 된다.

따라서, 본 실시예와 같이, 가동대(83)를 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여 좌우로 돌출시켜 배치함으로써, X축 이동 테이블(61)과 동일한 폭(이동 방향 길이)으로 가동대(83)를 설치한 경우에 비해 화살표 Z방향을 축으로 하는 요동을 작게 할 수 있다.

또한, 가동대(83)를, 동일한 가이드 레일(82)에 관해서는 2개의 도포 헤드(6) 사이에서 동일 방향으로, 또한 하나의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 좌우 교대로 지그재그형으로 돌출하도록 배치하고 있으므로, 2개의 도포 헤드(6)가 접근했을 때에 있어서, X축 이동 테이블(61)로부터 돌출하여 배치된 가동대(83)들이 서로 간섭하여, 도포 헤드(6)의 접근을 방해하는 것을 방지할 수 있다.

즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 좌측의 X축 이동 테이블(61)의 우측으로 돌출된 2개의 가동대(83) 사이에, 우측의 X축 이동 테이블(61)의 좌측으로 돌출된 가동대(83)가 들어가므로, 가동대(83)들이 서로 간섭하지 않고, 도포 헤드(6)를 서로 접근시킬 수 있다.

또한, 도 2의 예에서는, 가동대(83)가 X축 이동 테이블(61) 아래로 들어갈 수 있도록, 가동대(83)가 장착된 암부(69)와 X축 이동 테이블(61) 사이에 도 3에 나타낸 바와 같이 스페이서(71)에 의해 간격 Δh를 형성하고 있으므로, 도포 헤드(6)들이 서로 보다 접근하는 것이 가능해진다.

따라서, 이와 같은 구성에 의하면, 도포 헤드(6)의 화살표 Z방향을 축으로 하는 요동을 최대한 방지하면서, 2개의 도포 헤드(6)의 접근 간격 L을 매우 짧게 할 수 있으므로, 근접 패턴에 대하여 페이스트를 2개의 도포 헤드(6)와 병행하여 양호한 정밀도로 도포할 수 있고, 도포 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.

또, 고정자인 마그넷(91)을 상하로 2개 평행하게 배치하고, 가동자로서의 코일(92)을, 2개의 도포 헤드(6) 중, 좌측의 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 상부에 배치된 마그넷(91)에 대응하는 위치에, 우측의 도포 헤드(6)의 X축 이동 테이블(61)에 대하여는 아래 쪽에 배치된 마그넷(91)에 대응하는 위치에 고정했다. 그러므로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 코일(92)의 양단부가 X축 이동 테 이블(61)로부터 좌우로 돌출한 경우라도, 각 도포 헤드(6)의 코일(92)이 서로 간섭하지 않고, 이들 도포 헤드(6)를 접근시키는 것이 가능해진다.

또, 리니어 모터(9)의 추진력의 크기는 마그넷(91)이 동일 하면, 코일(92)의 크기, 예를 들어 코일의 권회수, 복수개의 코일로 구성되는 것이면 코일의 수 등이 많을 수록 커진다. 그로부터, 코일(92)의 마그넷(91)에 따른 방향의 길이를 크게 하면 할수록 큰 추진력을 얻을 수 있고, 같은 중량의 도포 헤드(6)라면 보다 급속한 가감속을 실현할 수 있다.

따라서, 코일(92)을 X축 이동 테이블(61)의 폭과 동등한 길이로 한 경우에 비해 높은 추진력을 유지한 채, 2개의 도포 헤드(6)의 접근 간격 L을 매우 짧게 할 수 있으므로, 접근된 패턴에 대해서도, 페이스트를 2개의 도포 헤드(6)에 의해 병행하여 고속으로 도포할 수 있고, 도포 작업 효율을 큰 폭으로 향상시킬 수 있다.

그리고, 상기 실시예에 있어서, 도포 헤드(6)가 2개인 예로 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 도포 헤드(6)는 1개이어도 되고, 3개 이상 설치해도 된다.

또, 도포 헤드(6)를 지지하는 프레임(5)이 1개인 예로 설명했지만, 프레임(5)을 2개 이상 배치하고, 각각 도포 헤드(6)를 설치하도록 해도 된다.

또, 프레임(5)을 베이스(2)에 고정하여 배치한 예로 설명했지만, 프레임(5)을 Y축 이동 테이블을 통하여 베이스(2)에 대하여 Y방향으로 이동 가능하게 설치해도 된다. 이와 같이 함으로써, Y방향에 따른 패턴으로 페이스트를 도포할 때, 스테이지(4)와 프레임(5)을 대향하는 방향으로 동시에 이동시키면, 스테이지(4)만을 이동시키는 경우에 비해, 고속으로 페이스트를 도포할 수 있고, 도포 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

또, 가이드 장치(8)의 리니어 가이드(81)를 3개 배치한 예로 설명했지만, 2개 또는 4개 이상이라도 된다.

또, 본 발명에 있어서, 가동대(83)의 지그재그형의 배치란, 3개의 가동대(83)가 1개씩 X축 이동 테이블(61)의 일측과 타측에 좌우 교대로 배치되는 것 만이 아니고, 예를 들면, X축 이동 테이블(61)의 일측에 복수개의 가동대(83) 중 2개를 연속하여 돌출시켜 배치하고, 3개째의 가동대(83)를 타측으로 돌출하도록 한 배치라도 된다. 즉, 가동대(83)는 1개의 X축 이동 테이블(61)에 대하여 이동 방향의 양측에 적어도 1개가 돌출하여 배치되고, 또한 인접하는 도포 헤드(6)에 설치된 가동대(83)가 동일한 가이드 레일(82) 상에서 대향하는 방향으로 돌출하지 않도록 배치되는 것이 바람직하다.

또, 흡인부로서의 흡인공(10)은 빔형 부재(5a)의 앞면에 있어서의 가이드 레일(82)의 아래 쪽에 설치한 예로 설명했지만, 상부에 설치해도 되고, 또 상하 양측에 설치해도 된다. 또, 흡인부는 흡인공으로 한정되지 않으며, 노즐도 가능하다.

또, 도포 헤드(6)의 이동 장치를 리니어 모터로 한 예로 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 다른 이동 장치, 예를 들면, 모터 구동에 의한 이송 나사 기구를 사용한 이동 장치를 사용할 수 있다.

상기 실시예에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이 직사각형의 도포 패턴 P1, P2에 있어서의 각 변에 의해, 도포 헤드(6)들 사이의 상대 간격을 구하는 예로 설명했다. 그러나, 도포 헤드(6)들이 서로 간섭하기 쉬울 때는 적어도 한쪽의 도포 헤드(6)가 도포 패턴 P1, P2의 대향하는 변 상을 이동할 때인 것으로 생각할 수 있다.

따라서, 예를 들면, 한편의 도포 헤드가 인접하는 도포 패턴에 대향하는 측을 이동할 때의, 도포 헤드들 사이의 상대 간격을 해당 측에 있어서의 도포 헤드의 이동 경과 시간마다 구하고, 구한 상대 간격이 설정된 접근 간격 이하로 되는지 여부에 따라 도포 헤드들 사이의 간섭을 판단하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 도포 헤드를 가이드하는 가이드 부재의 근방의 기체를 흡인하는 흡인부를 형성하였으므로, 도포 헤드가 가이드 부재를 따라 이동하는 것에 의해 잔여물이 발생해도, 그 잔여물을 흡인부에 의해 흡인 제거하는 것이 가능해져 페이스트를 양호하게 도포할 수 있다.

Claims (6)

1. 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치에 있어서,

   상기 기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와,

   상기 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와,

   상기 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이면서 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 장치와,

   상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따라 설치된 가이드 부재와,

   상기 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 지지된 도포 헤드와,

   상기 가이드 부재를 따라 설치되어 상기 가이드 부재 근방의 기체를 흡인하는 복수개의 흡인부를 포함하는 페이스트 도포 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 흡인부는 상기 빔형 부재의 앞면에, 상기 가이드 부재의 하부에 설치되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
3. 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치에 있어서,

   기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와,

   상기 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와,

   상기 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이면서 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 제1 이동 장치와,

   상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따라 설치된 가이드 부재와,

   상기 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 지지된 복수개의 도포 헤드와,

   상기 복수개의 도포 헤드를 상기 가이드 부재를 따라 개별적으로 이동시키는 제2 이동 장치와,

   상기 복수개의 도포 헤드에 의해 상기 기판 상에 도포하는 페이스트의 도포 패턴 데이터를 기억하는 기억부와,

   상기 복수개의 도포 헤드의 허용되는 접근 간격을 설정하는 설정부와,

   상기 기억부에 기억된 도포 패턴 데이터에 따라 상기 도포 헤드가 이동할 때의 복수개의 도포 헤드의 상대 간격을 도포 헤드의 이동 경과 시간마다 구하고, 구한 상대 간격이 상기 설정부에 설정된 접근 간격 이하로 되는지 여부를 판별하는 연산부를 포함하는 페이스트 도포 장치.
4. 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치에 있어서,

   상기 기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와,

   상기 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와,

   상기 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이면서 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 장치와,

   상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따라 설치된 가이드 부재와,

   상기 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 지지된 복수개의 도포 헤드를 구비하고,

   상기 가이드 부재는 상기 빔형 부재에 평행하게 배치된 복수개의 가이드 레일과, 상기 각 도포 헤드를 상기 가이드 레일에 각각 이동 가능하게 장착시키는 가동대를 가지고,

   상기 각 도포 헤드의 가동대는 각 도포 헤드에 대하여 도포 헤드의 이동 방향으로 지그재그형으로 배치되고, 또한 복수개의 도포 헤드 사이에서는 복수개의 가동대의 돌출 방향이 동일하게 설정된 페이스트 도포 장치.
5. 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 장치에 있어서,

   상기 기판을 탑재하는 지지면을 가지는 스테이지와,

   상기 스테이지의 상부에서 상기 지지면에 따른 방향으로 연장된 빔형 부재와,

   상기 빔형 부재와 상기 스테이지를 상기 지지면에 따른 방향이면서 상기 빔형 부재의 연장 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 제1 이동 장치와,

   상기 빔형 부재에 이 빔형 부재의 연장 방향에 따르는 동시에 연장 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 평행하게 설치된 복수개의 가이드 부재와,

   상기 가이드 부재에 이동 가능하게 지지된 복수개의 도포 헤드와,

   상기 복수개의 도포 헤드를 상기 각각의 가이드 부재를 따라 개별적으로 이동시키는 제2 이동 장치를 포함하며,

   상기 제2 이동 장치는, 상기 빔형 부재에 각각의 가이드 부재를 따라 평행하게 설치된 복수개의 고정자와, 상기 각 도포 헤드에 설치된 복수개의 가동자를 갖는 리니어 모터이며,

   상기 가동자는 각각의 도포 헤드의 이동 방향에 따른 폭치수보다 길게 형성되는 동시에, 인접하는 도포 헤드의 각각의 가동자는 각각 상이한 위치의 고정자에 대향하여 설치된 페이스트 도포 장치.
6. 복수개의 도포 헤드에 의해 기판에 페이스트를 미리 설정된 패턴으로 도포하는 도포 방법으로서,

   상기 기판을 스테이지의 지지면에 탑재하는 단계와,

   상기 기판을 상기 도포 헤드에 대하여 소정 방향으로 상대적으로 이동시키는 단계와,

   상기 복수개의 도포 헤드를 개별적으로 이동시키는 단계와,

   상기 복수개의 도포 헤드에 의해 상기 기판 상에 도포하는 페이스트의 도포 패턴 데이터를 기억시키는 단계와,

   상기 복수개의 도포 헤드의 허용되는 접근 간격을 설정하는 단계와,

   상기 도포 패턴 데이터에 따라 상기 도포 헤드가 이동할 때의 복수개의 도포 헤드의 상대 간격을 도포 헤드의 이동 경과 시간마다 구하고, 구한 상대 간격이 상기 접근 간격보다 작은지 여부를 판별하는 단계로 이루어지는 페이스트 도포 방법.

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