KR102309998B1 - 약액 노즐 조립체 및 이를 구비한 약액 도포 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 약액 도포 장치 및 이에 사용되는 약액 노즐 조립체에 관한 것으로, 피처리 기판의 셀 영역에 대하여 약액을 도포하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체로서, 상기 피처리 기판의 폭에 비하여 작게 형성된 토출구를 통해 약액을 공급받아 약액을 토출하고, 서로 밀착하여 인접하게 배열된 다수의 단위 노즐과; 상기 다수의 단위 노즐들 중에 일부에만 약액이 토출되도록 약액을 공급하는 약액 공급부를; 포함하여 구성되어, 피처리 기판의 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당하는 단위 노즐을 하방으로 이동시키고, 하방으로 이동된 단위 노즐들에서만 약액이 토출되게 하여, 약액 노즐을 교체하지 않고서도, 셀 영역이 어느 위치에 있더라도 그에 맞춰 약액을 셀 영역에 도포할 수 있는 약액 도포 장치 및 이에 사용되는 약액 노즐 조립체를 제공한다.

Description

약액 노즐 조립체 및 이를 구비한 약액 도포 장치 {SLIT NOZZLE USED IN SLIT COATER APPARATUS}

본 발명은 약액 노즐 조립체 및 이를 구비한 약액 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 하나의 피처리 기판에 서로 다른 위치의 셀 영역에 약액을 도포하고자 할 경우에 약액 노즐을 매번 교체하지 않고서도 약액을 도포할 수 있는 약액 도포 장치 및 이에 사용되는 약액 노즐 조립체에 관한 것이다.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. 이 뿐만 아니라, 반도체의 제조를 위한 웨이퍼의 표면에도 다양한 처리를 위하여 약액을 도포하는 공정이 수반된다. 플랫 패널이나 웨이퍼 등의 피처리 기판의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.

그러나, 피처리 기판의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 이제 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 약액 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 약액 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.

도1은 종래의 약액 도포 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도1에 도시된 바와 같이, 종래의 약액 도포 장치는 피처리 기판(G)을 기판척(10)상에 거치시킨 상태에서, 약액 노즐(20)로 공급되어 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 토출구를 구비한 약액 노즐(20)이 이송 기구(40)를 연결하는 크로스 바(45)에 고정된 상태로 20y로 표시된 방향으로 이동하면서, 펌프(30)로부터 약액을 공급받아 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다.

여기서, 기판척(10)은 유리 기판(G)을 안착시키기 위해 통상 유리 기판보다 큰 직사각형 형상으로 형성되고, 상부에는 진공 흡착을 위하여 진공 펌프와 연통된 다수개의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 상기와 같이 구성된 약액 도포 장치(1)는 약액 노즐(20)을 피처리 기판(G)에 대하여 상대이동시키면서 약액(55)을 피처리 기판(G)의 표면에 도포하도록 구성된다.

그러나, 최근에는 고가의 약액을 사용함에 따라 버려지는 기판 상에 약액을 도포하는 것을 회피하는 방안이 모색되고 있다. 예를 들어, 도2에 도시된 기판의 표면의 셀 영역(A)에만 약액을 도포하는 경우에는, 도1에 도시된 바와 같이 피처리 기판(G)의 전체 폭에 대응하는 토출구를 구비한 약액 노즐(20)에 의해서는 셀 영역(A)에만 약액(55)을 도포하는 것이 불가능하다. 따라서, 도2에 도시된 바와 같이, 다수의 셀 영역(A)에 약액(55)을 도포하기 위해서는 도3에 도시된 약액 도포 장치(2)가 사용된다. 즉, 약액 도포 장치(2)의 약액 노즐(20')로부터 도포되는 영역이 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 대응하여 약액(55)이 토출되어야 한다.

그러나, 피처리 기판(G)에 도포하는 셀 영역(A)의 폭(w1, w2)과 이들(A) 사이의 간격(v)은 항상 일정하지 않고 제조하고자 하는 디스플레이 장치에 따라 변동된다. 따라서, 셀 영역(A)의 폭(w1, w2)이 변동되면, 이에 맞는 약액 노즐(20')을 크로스 바(45)에 매번 교체하여 장착해야 하는 데, 약액 노즐(20')이 2~300kgf 이상이 되어 교체하여 장착하는 것이 매우 까다로울 뿐만 아니라, 약액 노즐(20')을 크로스 바(45)에 장착한 이후에 피처리 기판(G)의 판면과 토출구의 연장 방향을 따라 일정한 간격으로 셋팅하는 데 매우 오랜 시간이 소요되므로 공정 효율을 저해하는 문제가 있었다.

따라서, 피처리 기판(G)에 도포하는 셀 영역(A)의 위치 및 폭이 변동되더라도 짧은 시간 내에 셋팅을 완료하여 약액 도포 공정을 할 수 있게 하는 방안의 필요성이 절실히 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 것으로, 하나의 피처리 기판에 서로 다른 위치의 셀 영역에 약액을 도포하고자 할 경우에 약액 노즐을 매번 교체하지 않고서도 약액을 도포할 수 있는 약액 도포 장치 및 이에 사용되는 약액 노즐 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이를 통해, 본 발명은 하나의 약액 도포 장치를 이용하여 다양한 셀 영역에서의 도포 공정을 셋팅 시간을 최소화하면서 행할 수 있게 되어, 도포 공정의 효율성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 피처리 기판의 셀 영역에 대하여 약액을 도포하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체로서, 상기 셀 영역에 비하여 작게 형성된 토출구를 구비한 단위 노즐들이 다수로 폭방향으로 상호 밀착 배열되어, 상기 단위 노즐들 중에 상기 셀 영역에 부합하는 위치에 배치된 일부의 선택된 단위 노즐에 의해서만 약액을 도포하고, 상기 단위 노즐들 중에 상기 셀 영역에 부합하는 위치에 배치되지 않은 다른 단위 노즐은 약액을 도포하지 않는 약액 도포부와; 상기 단위 노즐들 중에 일부 이상을 상하 방향으로 이동시키는 이송부를; 포함하여 구성되어, 하나의 상기 셀 영역에 약액을 도포하는 데에는 2개 이상의 단위 노즐이 상기 선택된 단위 노즐로 선택된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체를 제공한다.

이는, 피처리 기판의 다수의 셀 영역에 약액을 도포함에 있어서, 다수의 단위 노즐이 연속하는 형태로 서로 밀착 배열되고, 단위 노즐들 중에 일부에 대해서만 개별적으로 상하 이동할 수 있게 구성됨으로써, 피처리 기판의 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당하는 단위 노즐을 하방으로 이동시키고, 하방으로 이동된 단위 노즐들에서만 약액이 토출되게 하여, 셀 영역이 어느 위치에 있더라도 그에 맞춰 약액을 셀 영역에 도포할 수 있도록 하기 위함이다.

이를 통해, 본 발명은 피처리 기판의 셀 영역에 약액을 도포하다가, 피처리 기판에 도포해야 하는 셀 영역의 위치와 크기가 변동하더라도, 새롭게 도포해야 하는 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당 단위 노즐만 하측으로 이동된 상태가 되게 하여, 노즐의 교체 없이도 하방 이동한 단위 노즐들에서만 약액이 도포되어 피처리 기판의 변경된 셀 영역에 도포할 수 있으므로, 하나의 약액 도포 장치로 다양한 셀 영역으로의 도포 공정을 셋팅 시간을 최소화하면서 할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

이 때, 상기 셀 영역의 위치를 감지하는 영역 감지부를; 더 포함하여 구성되어, 피처리 기판이 약액 도포 장치에 공급되면, 상기 영역 감지부에서 감지된 상기 셀 영역의 위치에 해당하는 단위 노즐들에 대해서만 약액 공급부로부터 약액이 공급되어 토출되는 것이 바람직하다. 이 때, 셀 영역에 해당하는 단위 노즐들이 이송부에 의해 약액 도포를 위하여 하방 이동시킨 후, 하방 이동한 단위 노즐들을 통해서만 약액이 셀 영역에 도포된다.

이를 위하여, 피처리 기판에는 셀 영역의 위치에 별도의 표식이 마련되거나, 마커를 통해 피처리 기판이 약액 도포 장치에 도포된 상태에서 표식이나 마커를 읽어들여, 피처리 기판에 도포해야 하는 셀 영역의 위치 정보를 얻을 수 있다.

또는, 상기 셀 영역의 위치를 입력받는 메모리부를; 더 포함하고, 상기 메모리부에 입력된 상기 셀 영역에 해당하는 단위 노즐에 대해서만 약액 공급부로부터 약액이 공급되어 토출되는 것이 바람직하다. 이 때, 셀 영역에 해당하는 단위 노즐들이 이송부에 의해 약액 도포를 위하여 하방 이동시킨 후, 하방 이동한 단위 노즐들을 통해서만 약액이 셀 영역에 도포된다.

이를 위하여, 각각의 단위 노즐은 독립적으로 상하 방향으로 이동시키는 이송부가 구비된다. 여기서, 상기 이송부는 다양한 공지된 이동 수단에 의해 이루어질 수 있다. 바람직한 실시 형태로서는, 상기 이송부는 정교한 변위 제어가 가능한 리니어 모터에 의하여 상기 단위 노즐을 상하로 이동시킬 수 있다.

그리고, 상기 이송부는 상기 단위 노즐을 2개 이상 한꺼번에 상하로 이동시킬 수도 있다.

그리고, 단위 노즐들은 전체가 모두 동일한 폭으로 형성될 수도 있지만, 서로 다른 폭으로 형성된 2개의 단위 노즐을 포함할 수 있다.

대체로 피처리 기판의 셀 영역의 위치 및 크기가 변동되더라도, 항상 약액이 도포되는 셀 영역이나 항상 약액이 도포되지 않는 셀 영역 이외의 영역은 단위 노즐이 항상 한꺼번에 상하 이동될 것이므로, 이들 영역에 대해서는 단위 노즐의 폭을 더 크게 형성하여, 단위 노즐을 상하 이동시키는 동작을 보다 간편하게 제어할 수 있다.

한편, 본 발명은, 피처리 기판을 거치하는 거치대와; 전술한 구성의 약액 노즐 조립체와; 상기 피처리 기판에 대하여 상기 약액 노즐 조립체를 이동시키는 이동 유닛을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치를 제공한다.

여기서, 상기 단위 노즐 중 어느 2개는 서로 폭이 다르게 형성될 수 있다.

그리고, 상기 셀 영역 중 항상 도포되는 영역과 도포되지 않는 영역 중 어느 하나 이상에 대응하는 상기 단위 노즐의 폭은, 경우에 따라 도포되거나 도포되지 않는 위치에 있는 단위 노즐에 비하여, 더 크게 형성되는 것이 바람직하다.

본 명세서와 특허청구범위에 기재된 '피처리 기판'이라는 용어와 이와 유사한 용어는 표면에 약액이 도포되는 판(plate, substrate)을 지칭하는 것으로 정의하기로 한다. 예를 들어, 디스플레이 장치의 제작을 위하여 유리 등의 취성 재료로 형성된 기판이 포함된다. 따라서, 본 명세서와 특허청구범위에 기재된 '피처리 기판'이라는 용어와 이와 유사한 용어는 셀 영역에만 취성 재료로 형성되는 기판이 장착된 피도포체(예를 들어, 셀 영역에만 유리기판이 배치되도록 기판을 지그로 위치시키는 것)도 포함한다.

본 명세서와 특허청구범위에 기재된 '셀 영역'이라는 용어 및 이와 유사한 용어는 도포 대상물인 피처리 기판에 피처리 기판의 일부 면적에 해당하는 약액의 도포 영역을 지칭한다. 따라서, 피처리 기판 내에 셀 영역이 반드시 다수로 배치될 필요가 없으며, 하나인 경우에도 셀 영역에 포함된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 피처리 기판의 다수의 셀 영역에 약액을 도포함에 있어서, 다수의 단위 노즐이 서로 밀착한 상태로 인접 배열되고, 단위 노즐들 중에 일부에 대해서만 개별적으로 약액이 도포되게 구성됨으로써, 피처리 기판의 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당 위치의 단위 노즐을 통해서만 피처리 기판의 셀 영역에 약액이 도포됨으로써, 약액 노즐의 교체 없이 단위 노즐의 폭에 해당하는 오차만을 허용하면서 하나의 약액 노즐로 다양한 크기의 셀 영역에 약액을 도포할수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이 때, 본 발명은, 피처리 기판의 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당 위치의 단위 노즐을 하방으로 이동시키고, 하방으로 이동된 단위 노즐들에서만 약액이 토출되게 구성되어, 셀 영역에 약액을 토출하는 단위 노즐들이 약액을 토출하지 않는 인접한 단위 노즐에 의해 영향을 받는 것을 방지하여, 셀 영역에 균일한 두께로 약액을 도포할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

이를 통해, 본 발명은 피처리 기판의 셀 영역에 약액을 도포하다가, 피처리 기판에 도포해야 하는 셀 영역의 위치와 크기가 변동하더라도, 새롭게 도포해야 하는 셀 영역의 위치와 폭에 맞춰 해당 단위 노즐만 하측으로 이동된 상태가 되게 하여, 노즐의 교체 없이도 하방 이동한 단위 노즐들에서만 약액이 도포되어 피처리 기판의 변경된 셀 영역에 도포할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은, 하나의 약액 도포 장치로 다양한 셀 영역으로의 도포 공정을 셋팅 시간을 최소화하면서 도포 공정을 계속할 수 있으므로, 셀 영역을 도포하는 도포 공정의 효율을 높일 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

도1은 종래의 일반적인 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도,
도2는 셀 영역에만 약액의 도포가 이루어진 기판을 도시한 사시도,
도3은 도2의 피처리 기판의 셀 영역에 약액을 도포하는 종래의 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도,
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도,
도5a는 도4의 약액 노즐 조립체의 구성을 도시한 정면도,
도5b는 도4의 약액 노즐 조립체의 셀 영역에 따라 하방으로 단위 노즐이 하방 이동한 상태를 도시한 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 노즐 조립체(100)가 구비된 약액 도포 장치(9)를 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.

도4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 노즐 조립체(100)가 장착된 약액 도포 장치(9)는, 피처리 기판(G)을 다수의 흡입공으로 흡착하여 견고하게 요동없이 고정시키는 기판 스테이지(10)와, 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐 조립체(100)와, 약액 노즐 조립체(100)를 이동시키는 이동 유닛(40)을 포함하여 구성된다.

상기 기판 스테이지(10)는 약액을 셀 영역(A)에 도포할 피처리 기판(G)을 거치시킨다. 도면에는 하나의 취성 재료로 형성된 피처리 기판(G)이 거치되는 구성을 예로 들었지만, 본 발명의 다른 실시형태에 따르면 약액(55)이 도포될 셀 영역(A)에 작은 기판이 지그(jig)에 배치된 형태로 피처리 기판(G)이 구성될 수도 있다.

상기 이동 유닛(40)은 한 쌍으로 이루어져 기판 스테이지(10)의 종방향(20y)을 따라 이동하면서, 기판 스테이지(10)에 거치된 피처리 기판(G)의 표면에 약액 노즐 조립체(100)로부터 약액을 도포하는 것을 보조한다. 이동 유닛(40)은 약액 노즐 조립체(100)를 고정하는 크로스 바(120)에 의하여 상호 연결된다.

상기 약액 노즐 조립체(100)는, 피처리 기판(G)의 폭에 비하여 작게 형성된 토출구를 통해 약액을 공급받아 약액을 토출하고 서로 밀착하여 인접하게 배열된 다수의 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)로 이루어진 약액 도포부(110)와, 다수의 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)을 고정하고 한 쌍의 이동유닛(40)에 연결되어 약액 노즐 조립체(100)가 기판 스테이지(10)에 대하여 이동하게 하는 크로스 바(120)와, 다수의 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...) 중에 일부 또는 전부를 상하 방향으로 이동시키는 이송부(130)와, 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)에 약액을 공급하는 약액 공급부(P)와, 피처리 기판(G)의 마커(Mk)를 인식하거나 셀 영역(A)의 영역표시를 인식하는 감지부(140)와, 작업자에 의하여 약액이 도포될 예정인 피처리 기판(G)의 셀영역(A)의 위치를 입력하는 입력부(150)를 포함하여 구성된다.

상기 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)은 도5a에 도시된 바와 같이 폭방향으로 작게 형성되어 상호 밀착한 상태로 배열되어 약액 도포부(110)를 형성한다. 그리고, 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)은 도포하고자 하는 셀 영역(A)에 부합하는 위치에서만 약액(55)이 도포될 수 있도록, 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)마다 약액 공급부(P)로부터 약액을 공급받아 토출한다. 이를 위하여, 약액 공급부(P)로부터 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)에 각각 연결하는 약액 공급 배관(142)은 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)마다 독립적으로 개폐되어, 다수의 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...) 중에 선택된 단위 노즐(110Z)에 대해서만 약액이 토출되고, 다수의 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...) 중에 선택되지 않은 단위 노즐에서는 약액이 토출되지 않는 것이 가능해진다.

그리고, 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)은 모두 일정한 폭으로 형성될 수도 있다.

한편, 피처리 기판(G) 마다의 셀 영열(A)은 제조하고자 하는 디스플레이 장치에 따라 폭(w1, w2)과 이들 사이의 간격(v)이 변동되지만, 피처리 기판의 면적 대비 도포 영역의 효율성을 고려하여 대체로 항상 약액이 도포되는 영역(도2의 wa)과 항상 약액이 도포되지 않는 영역(도2의 va)이 존재하게 된다. 따라서, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 따르면 서로 다른 폭을 갖는 2개 이상의 단위 노즐을 포함하도록 구성될 수 있으며, 이 중 보다 넓은 폭(wo, vo)을 갖는 단위 노즐(110X, 110Y)은 각각 항상 약액이 도포되는 영역(wa)과 항상 약액이 도포되지 않는 영역(va)에 대응하는 길이로 정해진다. 따라서, 항상 도포되는 영역(wa)과 항상 도포되지 않는 영역(va)에 대응하는 단위 노즐(110X, 110Y)을 상하 이동(110d)시키고 약액을 공급하는 구성이 보다 단순화될 수 있다.

그리고, 약액 도포 공정 중에는 약액 노즐의 토출구와 피처리 기판(G)의 높이를 작게 유지해야 하므로, 이송부(130)에 의하여 약액(55)이 토출될 단위 노즐은 하방으로 이동한 상태에서 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 약액을 토출한다. 마찬가지로, 도포하고자 하는 셀 영역(A)에 부합하는 위치에 배치된 단위 노즐들만이 피처리 기판(G)과 근접한 상태에서 약액(55)을 도포할 수 있도록, 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)마다 독립적으로 상하 방향으로 이동시키는 이송부(130)가 구비된다.

상기 이송부(130)는 상하 방향으로 이동시키는 구동부(M)와, 구동부(M)에 의하여 상하 방향(130d)으로 이동하는 연결축(132)으로 구성된다. 여기서, 연결축(132)은 각각의 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)과 결합되어, 연결축(132)이 상하 방향(130d)으로 이동함에 따라 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)도 각각 상하 방향(110d)으로 이동하게 된다.

그리고, 구동부(M)는 영역(A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7)별 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)을 군별로 제어하는 다수의 군 구동부(M1, M2, M3, M4, M5, M6, M7)로 이루어진다. 각각의 군 구동부(M1, M2, M3, M4, M5, M6, M7)는 각각의 연결축(132)을 개별적으로 상하 이동시키게 제어할 수도 있고, 한꺼번에 상하 이동시키게 제어할 수도 있다.

상기 약액 공급부(P)는 약액 공급관(142)을 통해 각각의 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)에 약액을 공급한다. 따라서, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 대응하는 선택된 단위 노즐(110Z)에서는 약액(55)이 도포되지만, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 대응하지 않는 단위 노즐(110a, 110b, 110c,...)에서는 약액(55)이 도포되지 않는다.

상기 감지부(140)는 피처리 기판(G)이 기판 스테이지(10)에 공급되면, 센서에 의하여 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)이 어느 위치에 있는지를 감지한다. 이는, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 표시된 경계를 직접 인식할 수도 있고, 피처리 기판(G)에 표시된 마커(Mk)를 통해 셀 영역(A)의 위치 정보를 인식할 수도 있다. 감지부(140)에 의해 감지된 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)의 위치 정보는 제어부(170)로 전송된다.

상기 입력부(150)는 피처리 기판(G)이 기판 스테이지(10)에 공급될 때에, 작업자에 의하여 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)의 위치 정보가 입력된다. 입력부(150)는 감지부(140)가 마련된 상태에서는 구비되지 않을 수 있으며, 입력부(150)에 입력된 정보는 제어부(170)로 전송된다.

상기 제어부(170)는 감지부(140)와 입력부(150) 중 어느 하나 이상으로부터 전송받은 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 따라 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...)로 이루어진 약액 노즐 조립체(100)를 제어한다. 즉, 도포하고자 하는 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)의 폭(w1, w2)과 이들의 간격(v)에 대응하는 위치 정보를 감지부(140)와 입력부(150) 중 어느 하나 이상으로부터 전송받으면, 셀 영역(A)에 대응하는 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...) 중 일부를 선택하여, 약액 공급부(P)로부터 선택된 단위 노즐들(110Z)까지 연장된 약액 공급로만을 개방시키고 나머지 약액 공급로는 폐쇄시킨다.

그 다음, 도5b에 도시된 바와 같이 이송부(130)에 의하여 선택된 단위 노즐들(110Z)만을 하방으로 이동시켜, 선택된 단위 노즐들(110Z)과 피처리 기판(G) 사이의 간격을 도포하기에 적당한 높이(예를 들어, 50㎛ 내지 150㎛)로 유지한다. 이에 따라 선택되지 않은 단위 노즐들(110U)은 선택된 단위 노즐들(110Z)에 비하여 토출구가 보다 상측에 위치하고 약액이 토출되지 않는 상태가 되므로, 선택된 단위 노즐들(110Z)만에 의해 약액에 토출되는 동안에 인접 위치한 선택되지 않은 단위 노즐들(110U)에 의하여 토출 영역의 가장자리에서 영향을 받지 않고 셀 영역(A)에 정확하게 약액(55)을 도포할 수 있게 된다. 도5b에 도시된 바와 같이, 정해진 폭(w1, w2)을 갖는 셀 영역(A)에 약액을 도포하기 위하여, 하나의 셀 영역(A)에 약액을 도포하는 데에 2개 이상의 단위 노즐이 선택된 단위 노즐(110Z)로 선택될 수 있다.

이와 같이, 이동 유닛(40)이 기판 스테이지(10)를 따라 종방향(120y)으로 이동하면서 약액 노즐 조립체(100)의 선택된 단위 노즐들(110Z)의 토출구로부터 셀 영역(A)을 통과할 때에는 약액(55)이 토출되고 셀 영역(A)의 사잇 영역에서는 약액의 토출을 단속하도록 제어하면서 약액(55)을 토출하여, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에만 약액을 도포할 수 있게 된다.

상기와 같이 구성된 약액 노즐 조립체(100) 및 이를 구비한 약액 도포 장치(1)는, 피처리 기판(G)의 다수의 셀 영역에 약액을 도포함에 있어서, 다수의 단위 노즐이 서로 밀착한 상태로 인접 배열되고, 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...) 중에 일부의 선택된 단위 노즐(110Z)에 대해서만 개별적으로 약액이 도포되게 구성됨으로써, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)의 위치와 폭에 맞춰 해당 위치의 선택된 단위 노즐(110Z)을 통해서만 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 약액(55)이 도포됨으로써, 약액 노즐의 교체 없이 단위 노즐의 폭(wu)에 해당하는 오차만을 허용하면서 하나의 약액 노즐로 다양한 크기의 셀 영역(A)에 약액(55)을 도포할수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은, 약액 노즐 조립체(100)의 단위 노즐들(110a, 110b, 110c,...)이 독립적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 구성됨에 따라, 피처리 기판의 셀 영역(A)에 대응하는 선택된 단위 노즐들(110Z)만이 하방으로 이동하여, 하방으로 이동된 단위 노즐들(110Z)에서만 약액(55)이 토출되게 구성되어, 셀 영역(A)에 약액을 토출하는 선택된 단위 노즐들(110Z)이 약액을 토출하지 않는 인접한 단위 노즐(110U)에 의해 영향을 받지 않고 선택된 단위 노즐(110Z)의 폭을 갖는 도3의 노즐(20')과 마찬가지로, 하나의 약액 노즐 조립체(100)를 이용하여 다양한 위치와 크기의 셀 영역(A)에 약액을 도포할 수 있으면서, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 균일한 두께로 약액을 도포할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다. 예를 들어, 도면에 예시된 본 발명의 실시예에서는 피처리 기판이 기판 스테이지(10) 상에 고정되고 약액 노즐 조립체(100)가 이동(120y)하면서 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 약액을 도포하는 구성을 예로 들었지만, 대한민국 등록특허공보 제10-1071583호, 제10-1078310호,제10-1051767호 등에 개시된 바와 같이, 약액 노즐 조립체(100)가 위치 고정되고 피처리 기판이 부상된 상태로 종방향으로 이송되면서 약액이 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 도포하는 구성도 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 본 발명에 속하는 것이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
9: 약액 도포 장치 10: 기판 스테이지
40: 이송 유닛 110: 단위 노즐
110Z: 선택된 단위노즐 110U: 선택되지 않은 단위노즐
130: 이송부 P: 약액 공급부
120: 크로스바 M: 구동부
140: 감지부 150: 입력부
170: 제어부 G: 피처리 기판
A: 셀 영역

Claims (11)

1. 피처리 기판의 셀 영역에 대하여 약액을 도포하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체로서,
   상기 셀 영역에 비하여 작게 형성된 토출구를 구비한 단위 노즐들이 다수로 폭방향으로 상호 밀착 배열되어, 상기 단위 노즐들 중에 상기 셀 영역에 부합하는 위치에 배치된 일부의 선택된 단위 노즐에 의해서만 약액을 도포하고, 상기 단위 노즐들 중에 상기 셀 영역에 부합하는 위치에 배치되지 않은 다른 단위 노즐은 약액을 도포하지 않는 약액 도포부와;
   상기 단위 노즐들 중에 일부 이상을 상하 방향으로 이동시키는 이송부를;
   포함하여 구성되어, 하나의 상기 셀 영역에 약액을 도포하는 데에는 2개 이상의 단위 노즐이 상기 선택된 단위 노즐로 선택된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
2. 제 1항에 있어서,
   다수의 상기 단위 노즐 중에 상기 선택된 단위노즐을 선택적으로 상하 방향으로 이동시키는 이송부를;
   더 포함하여 구성되어, 약액이 토출되는 상기 선택된 단위 노즐을 상기 이송부에 의하여 하방 이동시킨 상태에서 약액이 토출되게 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 이송부는 리니어 모터에 의하여 상기 선택된 단위 노즐을 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
4. 제 2항에 있어서,
   상기 이송부는 상기 선택된 단위 노즐을 2개 이상 한꺼번에 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
5. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 셀 영역의 위치를 감지하는 영역 감지부를;
   더 포함하고, 상기 단위 노즐들 중에 상기 영역 감지부에서 상기 셀 영역에 해당하는 것으로 감지된 상기 선택된 단위 노즐에 대해서만 약액 공급부로부터 약액이 공급되어 토출되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
6. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 셀 영역의 위치를 입력받는 메모리부를;
   더 포함하고, 상기 메모리부에 입력된 상기 셀 영역에 해당하는 상기 선택된 단위 노즐에 대해서만 약액 공급부로부터 약액이 공급되어 토출되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
7. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 단위 노즐 중 어느 2개는 서로 폭이 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
8. 제 7항에 있어서,
   상기 셀 영역 중 항상 도포되는 영역과 도포되지 않는 영역 중 어느 하나 이상에 대응하는 상기 단위 노즐의 폭은 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치용 약액 노즐 조립체.
   
9. 피처리 기판을 거치하는 거치대와;
   제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 약액 노즐 조립체와;
   상기 피처리 기판에 대하여 상기 약액 노즐 조립체를 이동시키는 이동 유닛을;
   포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
   
10. 제 9항에 있어서,
    상기 단위 노즐 중 어느 2개는 서로 폭이 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
    
11. 제 10항에 있어서,
    상기 셀 영역 중 항상 도포되는 영역과 도포되지 않는 영역 중 어느 하나 이상에 대응하는 상기 단위 노즐의 폭은 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치
    

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