KR100550891B1 - 액체방울 토출 장치 및 방법, 제막 장치 및 방법,디바이스 제조 방법 및 전자 기기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 압전 소자의 발열(發熱)에 의해 가열된 토출용 액체를 효과적으로 냉각시키는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 통상 구동 신호에 의해 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구(開口)로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시키는 장치로서, 통상 구동 신호와는 다른 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출한다.
압전 소자, 토출, 액체방울, 제막 장치
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액체방울 토출 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에서의 토출 헤드(7)의 상세 구성을 나타내는 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에서의 액추에이터부(23)의 상세 구성을 나타내는 종단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액체방울 토출 장치의 전기적인 기능 구성을 나타내는 블록도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에서의 통상 구동 신호 및 냉각용 구동 신호의 각 파형(1주기분)을 나타내는 모식도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에서의 토출용 액체(L)의 온도 변화의 일례를 나타내는 모식도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
A : 액체방울 토출 장치
B : 본체
C : 제어 컴퓨터
1 : 베이스
2 : X방향 구동축
3 : Y방향 구동축
4 : X방향 구동 모터
5 : Y방향 구동 모터
6 : 스테이지(stage)
7 : 토출 헤드
8 : 제어 장치
8a : 연산 제어부
8b : 구동 신호 생성부
10 : 키보드
11 : 외부 기억부
12 : 표시부
20 : 노즐 형성판
20a : 토출용 개구
21 : 압력 발생실 형성판
22 : 진동판
23 : 액추에이터부(actuator部)
24 : 케이싱(casing)
30 : 압전 소자
31 : 고정 기판
32 : 홀더(holder)
33 : 구동 집적 회로
33a : 전환 신호 생성부
33b : 스위치 회로
33c : 온도 검출부
34 : 플렉시블(flexible) 케이블
L : 토출용 액체
W : 대상물
ND : 통상 구동 신호
CD : 냉각용 구동 신호
본 발명은 압전 소자를 사용하여 액체방울을 대상물에 토출하는 액체방울 토출 장치 및 방법, 이러한 액체방울 토출 장치 및 방법을 이용한 제막 장치 및 방법, 디바이스 제조 방법 및 전자 기기에 관한 것이다.
일본국 특개평7-304168호 공보에는, 액체방울 토출 장치의 일 응용예로서의 잉크 분사 장치가 개시되어 있다. 이 잉크 분사 장치는 구동 회로(IC 칩)의 작동열을 잉크젯 헤드(기록 헤드)에 전달함으로써 잉크의 온도를 적온화(適溫化)하여 토출 특성을 안정화시키는 것이다. 즉, 이 종래 기술은 구동 회로의 작동에 의해 발생하는 열을 잉크젯 헤드에 전달함으로써 잉크를 가열하고, 이 가열 상태에 있는 잉크를 토출함으로써, 특별히 방열판 등을 설치하지 않고 구동 회로를 냉각시키는 것이다.
그러나, 압전 소자를 사용한 액체방울 토출 장치에서는, 압전 소자의 진동에 의한 기계적 손실이 열(작동열)을 발생하고, 이 작동열에 의해 잉크 등의 토출용 액체가 가열되어, 액체 점도의 저하에 의해, 지정된 잉크 중량을 얻을 수 없으며, 새틀라이트(satellite), 잉크 가늘어짐이나 잉크 비행 휨이 발생한다는 문제가 있지만, 이러한 문제점에 대해서는 아직 효과적인 해결 수단이 발견되지 않은 것이 현상(現狀)이다. 토출용 액체를 어느 일정한 온도로 유지하는 것은 안정 토출(안정된 품질)을 얻기 위해 중요한데, 토출용 액체 주변의 온도 검출을 행하고, 헤드 구동 전압 또는 파형을 변경하여, 상술한 문제점을 삭감하는 것이 시도되고 있지만, 상기 작동열에 의한 토출용 액체의 가열에 대응하기 위해 복잡한 추가 기구를 잉크젯 헤드에 부설(附設)하게 되어, 비용이나 신뢰성 면 등에서 적합하지 않다. 따라서, 새로운 기구를 추가하지 않고, 기존의 기구를 최대한 응용한 해결 수단이 요망되고 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 이하의 점을 목적으로 하는 것이다.
(1) 압전 소자의 발열(發熱)에 의해 가열된 토출용 액체를 효과적으로 냉각시킨다.
(2) 추가 기구를 최대한 억제하면서, 압전 소자의 발열에 의해 가열된 토출용 액체를 냉각시킨다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 액체방울 토출 장치에 따른 제 1 수단으로서, 통상 구동 신호에 의해 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구(開口)로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시키는 장치로서, 통상 구동 신호와는 다른 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출한다는 구성을 채용한다.
또한, 액체방울 토출 장치에 따른 제 2 수단으로서, 상기 제 1 수단에 있어서, 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 복수회 토출함으로써 토출용 액체를 규정 온도까지 냉각시킨다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 3 수단으로서, 상기 제 1 또는 제 2 수단에 있어서, 냉각용 구동 신호의 반복 주파수는, 압전 소자가 토출용 액체를 가열하지 않을 정도의 저주파로 설정된다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 4 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 3 수단 중 어느 하나에 있어서, 냉각용 구동 신호는 최대 중량의 액체방울을 토출시키도록 형 상(形狀) 설정된다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 5 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 4 수단 중 어느 하나에 있어서, 온도 검출 수단에 의해 검출된 토출용 액체의 온도가 소정의 임계값 온도를 초과하면, 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 6 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 4 수단 중 어느 하나에 있어서, 통상 구동 신호에 의한 소정 시간 내에서의 토출 횟수가 소정의 임계값 횟수를 초과하면, 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 7 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 6 수단 중 어느 하나에 있어서, 통상 구동 신호에 의한 통상 토출의 동안에 냉각용 구동 신호에 의한 냉각 토출을 행한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 8 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 인쇄용 잉크라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 9 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 배선 패턴을 형성하는 도전성 재료라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 10 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 투명 수지라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 11 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 컬러 필터의 착색층을 형성하기 위한 수지라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 12 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 전기 광학 물질이라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 장치에 따른 제 13 수단으로서, 상기 제 12 수단에 있어서, 전기 광학 물질은 일렉트로루미네선스를 나타내는 형광성 유기 화합물이라는 구성을 채용한다.
또한, 본 발명에서는 제막 장치에 따른 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 13 수단 중 어느 하나에 기재된 액체방울 토출 장치를 사용하여 토출용 액체의 막을 성막(成膜)한다는 구성을 채용한다.
또한, 본 발명에서는 전자 기기에 따른 수단으로서, 상기 수단에 따른 제막 장치를 사용하여 제조된 디바이스를 구비한다는 구성을 채용한다.
한편, 본 발명에서는 액체방울 토출 방법에 따른 제 1 수단으로서, 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시키는 방법에 있어서, 통상 토출과는 다른 냉각 토출에 의해 토출용 액체를 냉각시킨다는 구성을 채용한다.
또한, 액체방울 토출 방법에 따른 제 2 수단으로서, 상기 제 1 수단에 있어서, 복수회의 냉각 토출을 행함으로써 토출용 액체를 규정 온도까지 냉각시킨다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 3 수단으로서, 상기 제 1 또는 제 2 수단에 있어서, 냉각 토출의 반복 주파수는, 압전 소자가 토출용 액체를 가열하지 않을 정도의 저주파로 설정된다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 4 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 3 수단 중 어느 하나에 있어서, 냉각 토출은 최대 중량의 액체방울을 토출시키는 것이라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 5 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 4 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체의 온도가 소정의 임계값 온도를 초과하면, 냉각 토출을 행한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 6 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 4 수단 중 어느 하나에 있어서, 소정 시간 내에서의 통상 토출의 토출 횟수가 소정의 임계값 횟수를 초과하면, 냉각 토출을 행한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 7 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 6 수단 중 어느 하나에 있어서, 통상 토출의 동안에 냉각 토출을 행한다는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 8 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 인쇄용 잉크라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 9 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 배선 패턴을 형성하는 도전성 재료라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 10 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 투명 수지라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 11 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 컬러 필터의 착색층을 형성하기 위한 수지라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 12 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 7 수단 중 어느 하나에 있어서, 토출용 액체는 전기 광학 물질이라는 구성을 채용한다.
액체방울 토출 방법에 따른 제 13 수단으로서, 상기 제 12 수단에 있어서, 전기 광학 물질은 일렉트로루미네선스를 나타내는 형광성 유기 화합물이라는 구성을 채용한다.
또한, 본 발명에서는 제막 방법에 따른 수단으로서, 상기 제 1 내지 제 13 수단 중 어느 하나에 기재된 액체방울 토출 방법을 이용하여 토출용 액체의 막을 성막한다는 구성을 채용한다.
또한, 본 발명에서는 디바이스 제조 방법에 따른 수단으로서, 상기 수단에 따른 제막 방법을 이용하여 디바이스를 제조한다는 구성을 채용한다.
(실시형태)
이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 액체방울 토출 장치 및 방법, 제막 장치 및 방법, 디바이스 제조 방법 및 전자 기기의 일 실시예에 대해서 설명한다.
[액체방울 토출 장치의 전체 구성]
도 1은 본 실시예에 따른 액체방울 토출 장치의 전체 구성을 나타내는 사시 도이다. 이 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 액체방울 토출 장치(A)는 본체(B)와 제어 컴퓨터(C)로 구성되어 있다. 본체(B)는 베이스(1), X방향 구동축(2), Y방향 구동축(3), X방향 구동 모터(4), Y방향 구동 모터(5), 스테이지(6), 토출 헤드(7), 및 제어 장치(8) 등으로 구성되는 반면, 제어 컴퓨터(C)는 키보드(10), 외부 기억부(11) 및 표시부(12) 등을 구비하고 있다.
베이스(1)는 소정 면적을 갖는 사각형의 평판(平板)이고, 그 표면(상면) 위에는 서로 직교하여 배치된 X방향 구동축(2) 및 Y방향 구동축(3)이 설치되어 있다. X방향 구동축(2)은 볼나사 등으로 구성되어 있고, X방향 구동 모터(4)에 의해 회전 구동된다. 이 X방향 구동 모터(4)는, 예를 들어, 스테핑 모터이고, 제어 장치(8)로부터 입력되는 구동 신호에 의거하여 X방향 구동축(2)을 회전시킴으로써, 베이스(1) 위에서 토출 헤드(7)를 X방향(주(主)주사 방향)으로 이동시킨다.
Y방향 구동축(3)은 상기 X방향 구동축(2)과 동일하게 볼나사로 구성되어 있고, Y방향 구동 모터(5)에 의해 회전 구동된다. 이 Y방향 구동 모터(5)는, 예를 들어, 스테핑 모터이고, 제어 장치(8)로부터 입력되는 구동 신호에 의거하여 Y방향 구동축(3)을 회전시킴으로써, 베이스(1) 위에서 스테이지(6)를 Y방향(부(副)주사 방향)으로 이동시킨다. 스테이지(6)는 사각형의 평판이고, 그 상면에는 대상물(W)이 고정 상태로 탑재되어 있다. 이 대상물(W)은 토출 헤드(7)로부터 토출된 액체방울을 부착시키는 대상이며, 각종 용지나 기판 등이다.
토출 헤드(7)는 내부에 저장하는 토출용 액체를 압전 소자의 기계적 변형을 이용하여 액체방울로서 토출하는 것이며, 그 상세 구성에 대해서는 후술한다. 또 한, 토출용 액체는 본 액체방울 토출 장치(A)의 용도에 따라 다양한 것이 적용되는데, 예를 들어, 각종 잉크나 수지 또는 전기 광학 물질 등이다. 제어 장치(8)는, 제어 컴퓨터(C)에 의한 제어 하에, 상기 X방향 구동 모터(4), Y방향 구동 모터(5) 및 토출 헤드(7)를 제어 구동하는 것이다.
한편, 제어 컴퓨터(C)의 구성요건인 키보드(10)는, 액체방울의 대상물(W)로의 토출에 관한 토출 조건 등의 각종 설정 정보를 입력하기 위한 것이다. 외부 기억부(11)는 상기 키보드(10)로부터 입력된 각종 설정 정보를 기억하는 것이며, 예를 들어, 하드 디스크 장치이다. 또한, 표시부(12)는 외부 기억부(11)에 이미 기억된 상기 각종 설정 정보나 키보드(10)로부터 입력된 각종 설정 정보를 화면 표시하기 위한 것이다.
이와 같이 구성된 본 액체방울 토출 장치(A)는, 제어 컴퓨터(C)에 의한 제어 하에 X방향 구동 모터(4) 및 Y방향 구동 모터(5)를 작동시킴으로써 대상물(W)과 토출 헤드(7)의 상대 위치 관계를 임의로 설정하는 동시에, 대상물(W)의 임의의 위치에 토출 헤드(7)로부터 액체방울을 토출하여 부착시킨다.
[토출 헤드(7)의 상세 구성]
이어서, 도 2는 상기 토출 헤드(7)의 상세 구성을 나타내는 분해 사시도이다. 토출 헤드(7)는 노즐 형성판(20), 압력 발생실 형성판(21), 진동판(22), 액추에이터부(23) 및 케이싱(24) 등으로 구성되어 있다.
노즐 형성판(20)은 복수의 토출용 개구(20a)가 소정 간격으로 형성된 평판이며, 압력 발생실(21a), 측벽(격벽)(21b), 리저버(reservoir)(21c) 및 도입로(21d) 가 에칭 가공에 의해 형성되어 있다. 압력 발생실(21a)은 상기 토출용 개구(20a)에 대응하여 복수 설치되어 있으며, 토출 직전의 토출용 액체를 저장하는 공간이다. 측벽(21b)은 이러한 각 압력 발생실(21a)을 구획하기 위한 것이다. 리저버(21c)는 토출용 액체를 각 압력 발생실(21a)에 공급하기 위한 유로이다. 또한, 도입로(21d)는 토출용 액체를 리저버(21c)로부터 각 압력 발생실(21a)에 도입하기 위한 것이다.
진동판(22)은 탄성 변형 가능한 박판(薄板)이며, 압력 발생실 형성판(21)의 상면에 접착되어 있다. 즉, 노즐 형성판(20)과 압력 발생실 형성판(21)과 진동판(22)은 접착제로 접합시킨 3층 구조를 갖고 있다. 진동판(22)의 상면에는 액추에이터부(23)가 설치되어 있으며, 진동판(22)에서 각 압력 발생실(21a)에 대응하는 부위는 액추에이터부(23) 내의 압전 소자에 의해 표면에 대하여 연직(鉛直) 방향으로 변형하게 되어 있다. 또한, 상기 노즐 형성판(20), 압력 발생실 형성판(21), 진동판(22) 및 액추에이터부(23)는 전체적으로 케이싱(24) 내에 수용되어 있고, 일체의 토출 헤드(7)를 형성하고 있다.
[액추에이터부(23)의 상세 구성]
도 3은 상기 액추에이터부(23)의 상세 구성을 나타내는 종단면도이다. 상기 진동판(22)의 각 압력 발생실(21a)에 대응하는 부위에는, 도시하는 바와 같이 압전 소자(30)의 한쪽 끝이 접착 고정되어 있다. 이 압전 소자(30)는 외부로부터 인가되는 전압에 의해 상하 방향으로 신축(伸縮)되는 것이다. 압전 소자(30)의 다른쪽 끝은 고정 기판(31)에 접착 고정되어 있고, 고정 기판(31)은 홀더(32)에 접착 고정 되어 있다. 이 홀더(32)는 진동판(22) 위에 고정되어 있다.
또한, 상기 고정 기판(31)에는 구동 집적 회로(33)가 접착 고정되어 있고, 이 구동 집적 회로(33)에는 플렉시블 케이블(34)을 통하여 제어 장치(8)(도 1 참조)로부터 각종 제어 신호나 구동 신호(통상 구동 신호나 냉각용 구동 신호)가 공급된다. 구동 집적 회로(33)는 상기 제어 신호에 의거하여 각종 구동 신호를 선택적으로 출력하는 것이며, 각 압전 소자(30)에는 구동 집적 회로(33)에 의해 선택된 각종 구동 신호가 플렉시블 케이블(34)을 통하여 공급되게 되어 있다.
즉, 본 액체방울 토출 장치(A)의 토출 헤드(7)는, 구동 집적 회로(33)로부터 압전 소자(30)에 선택적으로 공급되는 각종 구동 신호에 의해 압전 소자(30)가 상하 방향으로 신축된다. 그리고, 이 압전 소자(30)의 신축에 의해 압전 소자(30)의 바로 아래에 위치하는 진동판(22)의 부위는 상하 방향, 즉, 진동판(22)의 표면과 연직 방향으로 변형함으로써, 압력 발생실(21a)에 저장된 토출용 액체(L)가 액체방울(D)로서 대상물(W)을 향하여 토출된다.
[전기적 기능 구성]
다음으로, 도 4를 참조하여, 본 액체방울 토출 장치(A)의 전기적인 기능 구성에 대해서 설명한다. 이 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 본체(B)에 설치된 제어 장치(8)는 연산 제어부(8a)와 구동 신호 생성부(8b)로 구성되는 반면, 토출 헤드(7) 내에 설치된 구동 집적 회로(33)는 전환 신호 생성부(33a), 스위치 회로(33b) 및 온도 검출부(33c) 등으로 구성되어 있다.
연산 제어부(8a)는 제어 컴퓨터(C)로부터 입력된 상기 설정 정보 및 내부에 미리 기억된 제어 프로그램에 의거하여 X방향 구동 모터(4) 및 Y방향 구동 모터(5)를 제어 구동하는 동시에, 압전 소자(30)를 구동하기 위한 각종 구동 신호(a)를 생성하기 위한 각종 데이터(구동 신호 생성용 데이터)를 구동 신호 생성부(8b)에 출력한다. 또한, 연산 제어부(8a)는 상기 제어 프로그램에 의거하여 선택 데이터(b)를 생성하여 전환 신호 생성부(33a)에 출력한다. 이 선택 데이터(b)는 구동 신호(a)의 인가 대상으로 되는 압전 소자(30)를 지정하기 위한 노즐 선택 데이터와 압전 소자(30)에 인가하는 구동 신호를 지정하기 위한 파형 선택 데이터로 이루어진다.
또한, 본 연산 제어부(8a)는 온도 검출부(33c)로부터 입력되는 온도 검출 신호(c)를 가미(加味)하여 상기 파형 선택 데이터를 생성하도록 구성되어 있다. 즉, 본 연산 제어부(8a)는 온도 검출 신호(c)에 따라 통상 구동 신호 또는 냉각용 구동 신호 중 어느 한쪽을 전환 신호 생성부(33a)에 대하여 선택 지정한다.
구동 신호 생성부(8b)는 상기 구동 신호 생성용 데이터에 의거하여 소정 형상의 각종 구동 신호, 즉, 통상 구동 신호 및 냉각용 구동 신호를 생성하여 스위치 회로(33b)에 출력한다.
도 5는 통상 구동 신호 및 냉각용 구동 신호의 각 파형(1주기분)을 나타내는 모식도이다. 이 도 5에 있어서, (a)는 통상 구동 신호(ND)의 파형을 나타내고, (b)는 냉각용 구동 신호(CD)의 파형을 나타낸다. 통상 구동 신호(ND)의 반복 주파수(f)는 20㎑로 설정되어 있는 것에 대하여, 냉각용 구동 신호(CD)의 반복 주파수(f)는, 예를 들어, 10㎐로 설정되어 있다. 이 10㎐ 근방의 반복 주파수(f) 는 압전 소자(30)를 충분히 구동할 수 있는 것인 동시에, 압전 소자(30)가 작동함으로써 발생하는 열(작동열)을 최소한으로 억제하는 주파수(즉, 토출용 액체(L)를 가열하지 않을 정도의 주파수)이다.
또한, 통상 구동 신호(ND) 및 냉각용 구동 신호(CD)의 상승 경사(hr)와 수평인 홀드 시간(hs)과 하강 경사(hd)는 액체방울(D)의 크기, 즉, 중량을 규정하지만, 냉각용 구동 신호(CD)의 상승 경사(hr)와 하강 경사(hd)는 통상 구동 신호(ND)의 상승 경사(hr)와 하강 경사(hd)에 대하여 완만하게 설정되고, 또한, 냉각용 구동 신호(CD)의 홀드 시간(hs)은 통상 구동 신호(ND)의 홀드 시간에 대하여 약간 길게 설정되어 있다. 이렇게 함으로써, 이 냉각용 구동 신호(CD)의 상승 경사(hr)와 홀드 시간(hs)과 하강 경사(hd)는, 예를 들어, 액체방울(D)의 크기가 최대 중량으로 되도록 설정하는 것이 가능하다. 여기서의 최대 중량은 도 2의 압력 발생실(21a) 부피의 1/2의 부피를 나타낸다.
원리적으로 압력 발생실 부피의 1/2을 초과하는 잉크를 토출하는 것은 불가능하며, 그 원인은 적어도 압력 발생실(21a) 내의 1/2의 부피는 도입로(21d)를 경유하여 리저버(21c) 측으로 도망가 버리기 때문이다. 즉, 냉각용 구동 신호(CD)는, 1회의 토출 동작에서 가장 큰 액체방울(D)을 토출용 개구(20a)로부터 토출하도록 형상 설정되어 있다.
한편, 전환 신호 생성부(33a)는 선택 데이터(b)에 의거하여 각 압전 소자(30)로의 구동 신호(a)의 도통/비도통을 지시하는 전환 신호를 생성하여, 스위치 회로(33b)에 출력한다. 스위치 회로(33b)는 각 압전 소자(30)마다 설치되어 있 고, 전환 신호에 의해 지정된 구동 신호를 압전 소자(30)에 출력한다. 온도 검출부(33c)는 구동 집적 회로(33)의 동작 온도를 검출하여, 온도 검출 신호(c)로서 연산 제어부(8a)에 출력한다.
여기서, 구동 집적 회로(33)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 고정 기판(31)에 접착 고정되는 반면, 이 고정 기판(31)에는, 구동 신호에 의거한 작동에 의해 열(작동열)을 발생하는 각 압전 소자(30)의 다른쪽 끝도 접착 고정되어 있다. 즉, 온도 검출부(33c)가 수용된 구동 집적 회로(33)와 각 압전 소자(30)는 열전도성이 우수한 고정 기판(31)을 통하여 밀접하게 열결합된 상태에 있다. 따라서, 온도 검출부(33c)가 검출하는 구동 집적 회로(33)의 동작 온도는, 압전 소자(30)의 작동열을 정확히 반영한 것으로 된다. 또한, 압전 소자(30)는 진동판(22)(박판)을 사이에 두어 토출용 액체(L)와 밀접하게 열결합되고 있기 때문에, 온도 검출부(33c)는 다소의 온도차는 있지만, 토출용 액체(L)의 온도를 압전 소자(30)의 온도로서 거의 정확하게 검출한다.
다음으로, 이와 같이 구성된 액체방울 토출 장치의 동작에 대해서 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다.
우선, 처음으로 통상 동작에 대해서 설명한다.
연산 제어부(8a)에 의한 X방향 구동 모터(4) 및 Y방향 구동 모터(5)의 제어 구동과 전환 신호 생성부(33a)로의 선택 데이터(b)의 출력, 및 구동 신호 생성부(8b)에 의한 스위치 회로(33b)로의 각종 구동 신호의 출력은 동기하여 실행된다. 즉, 연산 제어부(8a)에 의한 제어 구동에 의해 X방향 구동 모터(4) 및 Y방 향 구동 모터(5)가 작동하여, 토출 헤드(7)와 대상물(W)의 상대 위치가 적절히 설정된 상태에서, 구동 집적 회로(33)의 스위치 회로(33b)로부터 압전 소자(30)에 통상 구동 신호(ND)가 연속적으로 인가되고, 토출용 액체(L)가 토출용 개구(20a)로부터 액체방울(D)로서 대상물(W)에 연속하여 토출(통상 토출)된다.
이러한 통상 토출은, 반복 주파수(f)가 비교적 고속인 20㎑로 실행되기 때문에, 압전 소자(30) 및 구동 집적 회로(33)의 작동열 발생이 크고, 따라서, 토출용 액체(L)는 상기 압전 소자(30) 및 구동 집적 회로(33)의 작동열에 의해 가열되어 온도 상승을 나타낸다. 그리고, 이러한 토출용 액체(L)의 온도 상승은, 고정 기판(31)을 개재시킴으로써 압전 소자(30)와 밀접하게 열결합된 구동 집적 회로(33) 내의 온도 검출부(33c)에 의해 등가적으로 압전 소자(30)의 온도 상승으로서 검출된다.
연산 제어부(8a)는 온도 검출부(33c)로부터 입력되는 온도 검출 신호(c)에 의거하여 토출용 액체(L)의 온도를 파악하고, 이 온도가 소정의 임계값 온도를 초과하면, 구동 신호 생성부(8b)에 냉각용 구동 신호(CD)의 생성을 지시하는 동시에, 상기 냉각용 구동 신호(CD)의 압전 소자(30)로의 인가를 지시하는 선택 데이터(b)를 생성하여 전환 신호 생성부(33a)에 출력한다. 그 결과, 냉각용 구동 신호(CD)가 압전 소자(30)에 인가되고, 최대 중량의 액체방울(D)이 10㎐의 반복 주파수(f)로 토출용 개구(20a)로부터 토출(냉각 토출)됨으로써, 압전 소자(30)의 작동열의 일부, 더 나아가서는 고정 기판(31)을 통하여 구동 집적 회로(33)의 작동열의 일부는 액체방울(D)에 의해 외부로 방출되는 동시에, 가열의 정도가 적은 액체가 리저버(21c)로부터 도입로(21d)를 통과하여, 압력 발생실(21a)에 서서히 유입됨으로써, 토출용 액체(L)의 온도가 서서히 냉각된다.
도 6은 토출용 액체(L)의 온도 변화의 일례를 나타내는 모식도이다. 통상 토출 기간(Tn)에서는, 통상 구동 신호(ND)의 파형에 따른 통상 사이즈(통상 중량)의 액체방울(통상 액체방울(Dn))이 20㎑의 반복 주파수로 토출용 개구(20a)로부터 연속적으로 토출되지만, 냉각 토출 기간(Tc)에서는, 냉각용 구동 신호(CD)에 의해 최대 사이즈(최대 중량)의 액체방울(최대 액체방울(Dc))이 10㎐의 반복 주파수로 토출용 개구(20a)로부터 대상물(W)을 향하여 연속적으로 토출된다. 토출용 액체(L)의 온도는 통상 토출 기간(Tn)에서 규정 온도인 25℃로부터 서서히 온도 상승하지만, 상기 임계값 온도인 25.5℃를 초과하면, 냉각 토출 기간(Tc)으로 이행하여 서서히 온도 저하된다. 그리고, 토출용 액체(L)의 온도가 규정 온도로 복귀되면, 다시 통상 토출 기간(Tn)으로 이행하여 온도 상승을 개시한다.
여기서, 본 실시예의 액체방울 토출 장치에서는, 대상물(W)에 통상 토출을 행하는 동안에 있어서, 즉, X방향의 1라인에 걸친 토출이 종료되어 다음 라인의 토출을 행하는 전단계에 있어서, 상기 다음 라인에서의 정상적인 토출 성능을 확보하기 위해 예비적인 토출 공정(플러싱 공정)이 실행된다. 상기 냉각 토출 기간(Tc)은 이러한 플러싱 공정에 해당되는 것이다. 즉, 본 액체방울 토출 장치는, 통상 토출 전단계의 플러싱 공정에서, 냉각 토출을 행함으로써 토출용 액체(L)의 온도를 규정 온도로 복귀시킨다.
본 실시예에 의하면, 통상 토출에서 토출용 액체(L)의 온도가 임계값 온도를 초과하면, 통상 토출보다 대폭으로 낮은 반복 주파수(f=10㎐), 또한, 최대 액체방울(Dc)로 냉각 토출을 행하기 때문에, 통상 토출에서의 토출용 액체(L)의 온도를 소정의 적정 온도 범위 내로 유지 설정할 수 있다. 또한, 냉각 토출을 플러싱 공정에서 행함으로써, 액체방울 토출 장치로서의 동작 효율을 희생하지 않고, 토출용 액체(L)의 냉각을 실현할 수 있다.
본 액체방울 토출 장치는 다방면의 용도에 응용할 수 있는 것이며, 예를 들어, 이하와 같은 응용을 생각할 수 있다.
(1) 대상물(W)로서의 용지나 각종 필름에 토출용 액체(L)로서의 잉크를 토출함으로써, 문자나 화상을 묘화(描畵)하는 인쇄 장치에 응용한다.
(2) 대상물(W)로서의 기판에 토출용 액체(L)로서의 도전성 액체를 토출함으로써, 전자 회로의 배선 패턴을 묘화하는 패턴 묘화 장치에 응용한다.
(3) 대상물(W)로서의 기판에 토출용 액체(L)로서의 투명 수지를 토출하여, 마이크로 렌즈를 형성하는 마이크로 렌즈 제조 장치에 응용한다. 또한, 이 경우, 기판에 부착된 투명 수지는 자외선 등의 조사에 의해 고화(固化)되어 최종적으로 마이크로 렌즈가 기판 위에 형성된다.
(4) 대상물(W)로서의 기판에 토출용 액체(L)로서 착색용 수지를 토출함으로써, 컬러 필터의 착색층을 형성하는 컬러 필터 제조 장치에 응용한다.
(5) 대상물(W)로서의 기판에 토출용 액체(L)로서의 전기 광학 물질, 즉, 일렉트로루미네선스를 나타내는 형광성 유기 화합물을 토출함으로써, 유기 일렉트로루미네선스(EL) 표시판을 형성하는 유기 EL 표시판 제조 장치에 응용한다.
(6) 또한, 본 실시예에 따른 액체방울 토출 장치 및 방법은, 토출용 액체의 막을 성막하는 제막 장치 및 방법, 또는 이러한 제막 장치 및 방법을 이용함으로써 디바이스를 제조하는 디바이스 제조 방법이나 이러한 디바이스가 구성된 전자 기기에 응용할 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는 온도 검출부(33c)를 설치하고, 이 온도 검출부(33c)로부터 입력되는 온도 검출 신호(c)에 의거하여 냉각 토출을 행하도록 구성했지만, 이러한 온도 검출부(33c)를 설치하지 않고, 통상 토출의 토출 횟수가 소정의 임계값 횟수를 초과하면 냉각 토출을 행하도록 할 수도 있다. 즉, 통상 토출의 토출 횟수를 계수(計數)하여, 이 계수 결과가 임계값 횟수를 초과한 시점에서 냉각 토출을 행하도록 연산 제어부(8a)를 구성한다.
또한, 상기 실시예에서는, 통상 토출에 의해 토출용 액체(L)의 온도가 임계값 온도를 초과하면 냉각 토출을 행하도록 했지만, 다음 통상 토출까지의 기간에 시간적인 여유가 있을 경우에는, 반드시 냉각 토출을 행할 필요는 없다. 즉, 자연 냉각에 의해 토출용 액체(L)를 규정 온도까지 냉각시킬 수 있을 경우에는, 냉각 토출을 행하지 않고 토출용 액체(L)의 냉각을 자연 냉각에 맡기며, 자연 냉각에 의해 토출용 액체(L)를 규정 온도까지 냉각시킬 수 없을 경우에만, 냉각 토출을 행하도록 할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 통상 구동 신호에 의해 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시킬 때 에, 통상 구동 신호와는 다른 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출하기 때문에, 즉, 액체방울에 의해 토출용 액체의 열이 빼앗기기 때문에, 압전 소자의 발열에 의해 가열된 토출용 액체를 효과적으로 냉각시킬 수 있다.
Claims (30)
- 통상 구동 신호에 의해 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구(開口)로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시키는 장치로서,상기 통상 구동 신호와는 다른 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 복수회 토출함으로써 토출용 액체를 규정 온도까지 냉각시키고,냉각용 구동 신호의 반복 주파수는, 압전 소자가 토출용 액체를 가열하지 않을 정도의 저주파로 설정되는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
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- 제 1 항에 있어서,냉각용 구동 신호는 최대 중량의 액체방울을 토출시키도록 형상(形狀) 설정되는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,온도 검출 수단에 의해 검출된 토출용 액체의 온도가 소정의 임계값 온도를 초과하면, 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,통상 구동 신호에 의한 소정 시간 내에서의 토출 횟수가 소정의 임계값 횟수를 초과하면, 냉각용 구동 신호에 의해 액체방울을 개구로부터 토출하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,통상 구동 신호에 의한 통상 토출의 동안에 냉각용 구동 신호에 의한 냉각 토출을 행하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,토출용 액체는 인쇄용 잉크인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,토출용 액체는 배선 패턴을 형성하는 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,토출용 액체는 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 투명 수지인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,토출용 액체는 컬러 필터의 착색층을 형성하기 위한 수지인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,토출용 액체는 전기 광학 물질인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 12 항에 있어서,전기 광학 물질은 일렉트로루미네선스를 나타내는 형광성 유기 화합물인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 장치.
- 제 1 항에 기재된 액체방울 토출 장치를 사용하여 토출용 액체의 막을 성막(成膜)하는 것을 특징으로 하는 제막(製膜) 장치.
- 제 14 항에 기재된 제막 장치를 사용하여 제조된 디바이스를 구비하는 전자 기기.
- 압전 소자를 기계적으로 변형시킴으로써 개구로부터 토출용 액체를 액체방울로서 토출시키는 방법에 있어서,통상 토출과는 다른 냉각 토출을 복수회 행함으로써 토출용 액체를 규정 온도까지 냉각시키고,냉각 토출의 반복 주파수를, 압전 소자가 토출용 액체를 가열하지 않을 정도의 저주파로 설정하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
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- 제 16 항에 있어서,냉각 토출은 최대 중량의 액체방울을 토출시키는 것인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체의 온도가 소정의 임계값 온도를 초과하면, 냉각 토출을 행하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,소정 시간 내에서의 통상 토출의 토출 횟수가 소정의 임계값 횟수를 초과하면, 냉각 토출을 행하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,통상 토출의 동안에 냉각 토출을 행하는 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체는 인쇄용 잉크인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체는 배선 패턴을 형성하는 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체는 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 투명 수지인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체는 컬러 필터의 착색층을 형성하기 위한 수지인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 있어서,토출용 액체는 전기 광학 물질인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 27 항에 있어서,전기 광학 물질은 일렉트로루미네선스를 나타내는 형광성 유기 화합물인 것을 특징으로 하는 액체방울 토출 방법.
- 제 16 항에 기재된 액체방울 토출 방법을 이용하여 토출용 액체의 막을 성막하는 것을 특징으로 하는 제막 방법.
- 제 29 항에 기재된 제막 방법을 이용하여 디바이스를 제조하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 방법.
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Families Citing this family (9)
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|---|---|---|---|---|
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| WO2012098578A1 (ja) * | 2011-01-19 | 2012-07-26 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子の製造方法、有機表示パネル、有機発光装置、機能層の形成方法、インク、基板、有機発光素子、有機表示装置、および、インクジェット装置 |
| JPWO2012098577A1 (ja) * | 2011-01-19 | 2014-06-09 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子の製造方法、有機表示パネル、有機発光装置、機能層の形成方法、インク、基板、有機発光素子、有機表示装置、および、インクジェット装置 |
| US9153782B2 (en) | 2011-01-19 | 2015-10-06 | Joled Inc. | Method for producing organic light-emitting element, organic display panel, organic light-emitting device, method for forming functional layer, ink, substrate, organic light-emitting element, organic display device, and inkjet device |
| JP2022024188A (ja) * | 2018-09-26 | 2022-02-09 | 日本電産マシナリー株式会社 | 液体塗布装置 |
| CN110901073B (zh) * | 2019-12-02 | 2022-04-15 | 共享智能装备有限公司 | 一种3d打印机打印头控制系统和打印管理板 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62201267A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Canon Inc | 熱記録方式およびサ−マルヘツド |
| JPH03272871A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-04 | Furuno Electric Co Ltd | 強制熱冷却式サーマルヘッド |
| JPH04201460A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Victor Co Of Japan Ltd | サーマルヘッドの恒温装置 |
| JPH11291525A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | サーマルプリント方法及び装置 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60184860A (ja) * | 1984-03-03 | 1985-09-20 | Fujitsu Ltd | サーマルヘッド制御方法 |
| EP0352726B1 (en) * | 1988-07-26 | 1994-04-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid-jet recording head and recording apparatus employing the same |
| US5861895A (en) * | 1991-01-09 | 1999-01-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method and apparatus controlling driving signals in accordance with head temperature |
| JP3332569B2 (ja) * | 1994-04-26 | 2002-10-07 | キヤノン株式会社 | 液体噴射プリント装置およびプリント方法 |
| JPH07304168A (ja) | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
| JP3273716B2 (ja) * | 1995-08-29 | 2002-04-15 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置およびその駆動方法 |
| JPH10278309A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-20 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
| EP0931650B1 (en) * | 1997-06-17 | 2010-04-21 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| JP3223891B2 (ja) * | 1998-10-20 | 2001-10-29 | 日本電気株式会社 | インクジェット記録ヘッドの駆動回路 |
| US6499821B1 (en) * | 1999-07-22 | 2002-12-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet printing apparatus and printing head |
| JP4158291B2 (ja) * | 1999-08-18 | 2008-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置 |
| JP3782920B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2006-06-07 | セイコーインスツル株式会社 | インク噴射式印刷装置 |
| US6502914B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-01-07 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus and method for driving ink-jet recording head |
| US6714173B2 (en) * | 2000-06-16 | 2004-03-30 | Tdk Corporation | Three dimensional screen display |
| JP4103375B2 (ja) * | 2000-11-29 | 2008-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷装置及び印刷ヘッドの駆動制御方法 |
| JP2003039673A (ja) * | 2001-05-24 | 2003-02-13 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置、並びにインクジェット記録ヘッドの駆動方法 |
| JP4247704B2 (ja) * | 2001-09-11 | 2009-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置とその液体充填方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法 |
-
2002
- 2002-11-01 JP JP2002319773A patent/JP2004148788A/ja not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-10-21 KR KR1020030073304A patent/KR100550891B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-10-28 CN CNB2003101044066A patent/CN1278857C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-30 TW TW092130261A patent/TWI225449B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-10-30 US US10/698,001 patent/US7497541B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62201267A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Canon Inc | 熱記録方式およびサ−マルヘツド |
| JPH03272871A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-04 | Furuno Electric Co Ltd | 強制熱冷却式サーマルヘッド |
| JPH04201460A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Victor Co Of Japan Ltd | サーマルヘッドの恒温装置 |
| JPH11291525A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | サーマルプリント方法及び装置 |
Also Published As
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