CN1278857C - 液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法 - Google Patents

液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法。其中液滴喷出装置通过由通常驱动信号的驱动使压电元件发生机械变形，从开口喷出喷出用液体的液滴，其特征在于：通过由与所述通常驱动信号不同的冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴，其中：当由温度检测单元检测出的喷出用液体的温度超过规定的阈值温度时或当在规定的时间内由通常驱动信号驱动的喷出次数超过规定的阈值次数时，且在不能通过自然冷却将喷出用液体冷却到规定温度时，通过由冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴。由此，可有效地冷却由压电元件的发热被加热的喷出用液体。

Description

液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法
技术领域
本发明涉及使用压电元件将液滴喷出到对象物的液滴喷出装置及方法、和使用这种液滴喷出装置和方法的制膜装置和方法、器件的制造方法和电子设备。
背景技术
在特开平7-304168号公报中公开了作为液滴喷出装置的一个应用例的墨水喷射装置。该墨水喷射装置通过将驱动电路(IC芯片)的工作热量传递到喷墨头(记录头)，将墨水的温度调到合适的温度，从而使喷出特性稳定。即，该现有技术将通过驱动电路的工作产生的热传递到喷墨头而加热墨水，并通过喷出处于该加热状态的墨水，而无须特别设置散热板等来实现驱动电路的冷却。
但是，在使用压电元件的液滴喷出装置中，存在着因压电元件的振动而产生的机械损失产生热量(工作热量)，通过该工作热量加热了墨水等的喷出用液体，因液体粘度降低，而得不到所指定的墨水重量，产生附属物(satelite)，产生墨水变细和墨水飞行弯曲的问题，但现状是对这些问题还没有发现有效的解决方法。将喷出用液体保持到某一温度对得到稳定喷出(稳定的质量)是很重要的，但是检测喷出用液体外围的大概温度，变更头驱动电压或者波形，可试着减少上述问题，但是为了对应于由上述工作热量进行的喷出用液体的加热，需要将复杂的附加机构添加到喷墨头上，从成本和可靠性等方面来看是不是很好的方案。因此，希望不添加新机构，并尽量使用现有的机构的解决方法。
【特许文献1】特开平7-304168号公报
发明内容
本发明鉴于上述问题而作出，其目的如下：
(1)有效地冷却由压电元件的发热而加热的喷出用液体；
(2)在尽量不附加机构的同时，冷却由压电元件的发热而被加热的喷出用液体。
为达到上述目的，作为本发明的液滴喷出装置之1，通过由通常驱动信号使压电元件发生机械变形，从开口喷出喷出用液体的液滴，采用通过由与所述通常驱动信号不同的冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴的构成。
优选地，通过由冷却用驱动信号的驱动多次喷出液滴，将喷出用液体冷却到规定的温度。
优选地，将冷却用驱动信号的重复频率设定为使压电元件不加热喷出用液体程度的低频。
优选地，设定冷却用驱动信号的上升沿和下降沿比通常驱动信号的上升沿和下降沿相对缓和，且冷却用驱动信号的保持时间比通常驱动信号的保持时间长。
优选地，在由通常驱动信号驱动的通常喷出期间进行由冷却用驱动信号驱动的冷却喷出。
优选地，喷出用液体是打印用的墨水。
优选地，喷出用液体是用于形成布线图案的导电性材料。
优选地，喷出用液体是用于形成显微透镜的透明树脂。
优选地，喷出用液体是用于形成滤色镜着色层的树脂。
优选地，喷出用液体是电光物质。
优选地，电光物质是呈现电致发光的荧光性有机化合物。
根据本发明的另一方面，其提供一种制膜装置，其特征在于使用所述液滴喷出装置形成喷出用液体的膜。
根据本发明的另一方面，其提供一种电子设备，具有使用所述的制膜装置制造的器件。
根据本发明的另一方面，其提供一种液滴喷出方法，通过使压电元件发生机械变形从开口喷出喷出用液体的液滴，其特征在于：通过进行与通常喷出不同的冷却喷出，冷却喷出用液体，其中：当喷出用液体的温度超过规定的阈值温度时或当在规定的时间内通常喷出的喷出次数超过规定的阈值次数时，且在不能通过自然冷却将喷出用液体冷却到规定温度时，进行冷却喷出。
优选地，通过进行多次冷却喷出，将喷出用液体冷却到规定的温度。
优选地，将冷却喷出的重复频率设定为使压电元件不加热喷出用液体程度的低频。
优选地，设定冷却用驱动信号的上升沿和下降沿比通常驱动信号的上升沿和下降沿相对缓和，且冷却用驱动信号的保持时间比通常驱动信号的保持时间长。
优选地，在通常喷出期间进行冷却喷出。
优选地，喷出用液体是打印用墨水。
优选地，喷出用液体是用于形成布线图案的导电性材料。
优选地，出用液体是用于形成显微透镜的透明树脂。
优选地，喷出用液体是用于形成滤色镜着色层的树脂。
优选地，喷出用液体是电光物质。
优选地，电光物质是呈现电致发光的荧光性有机化合物。
根据本发明的另一方面，其提供一种制膜方法，其特征在于：使用所述的液滴喷出方法形成喷出用液体的膜。
并且，作为本发明的器件制造方法，使用上述的制膜方法制造器件。
附图说明
图1是表示本发明一实施例的液滴喷出装置的整体结构的立体图；
图2是表示本发明一实施例的喷出头7的详细结构的分解立体图；
图3是表示本发明一实施例的激励部23的详细结构的纵剖面图；
图4是表示本发明一实施例的液滴喷出装置的电功能结构的框图；
图5是表示本发明一实施例的通常驱动信号和冷却用驱动信号的各波形(一周期)的模式图；
图6是表示本发明一实施例的喷出用液体L的温度变化的一例的模式图。
具体实施方式
下面，参照附图，说明本发明的液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、设备制造方法和电子设备的一实施例。
【液滴喷出装置的整体构成】
图1是表示根据本实施例的液滴喷出装置的整体结构的立体图。如图1所示，本液滴喷出装置A由主体B和控制计算机C构成。主体B由底座1、X方向驱动轴2、Y方向驱动轴3、X方向驱动电机4、Y方向驱动电机5、台6、喷出头7和控制装置8等构成，另一方面，控制计算机C包括键盘10、外部存储部11和显示部12等。
底座1是具有规定面积的方形平板，在其表面(上面)上设有彼此垂直配置的X方向驱动轴2和Y方向驱动轴3。X方向驱动轴2由丝杠等构成，由X方向驱动电机4进行旋转驱动。该X方向驱动电机4例如是步进电机，根据从控制装置8输入的驱动信号使X方向驱动轴2旋转，从而在底座1上使喷出头7沿X方向(主扫描方向)移动。
Y方向驱动轴3与上述X方向驱动轴一样，由丝杠构成，由Y方向驱动电机5进行旋转驱动。该Y方向驱动电机5例如是步进电机，根据从控制装置8输入的驱动信号使Y方向驱动轴3旋转，从而在底座1上使台6沿Y方向(副扫描方向)移动。台6是方形平板，其上在固定状态下装载对象物W。该对象物W是粘附从喷出头7喷出的液滴的对象，是各种用纸和基板等。
喷出头7利用压电元件的机械变形而喷出存储在内部的喷出用液体来作为液滴，其详细结构将在后面描述。另外，喷出用液体可根据本液滴喷出装置A的用途使用各种液体，例如，可以是各种墨水、树脂或电光物质等。控制装置8在控制计算机C进行的控制下，控制·驱动所述X方向驱动电机4、Y方向驱动电机5和喷出头7。
另一方面，作为控制计算机C的构成要素的键盘10用于输入与将液滴喷出到对象物W的喷出有关的喷出条件等的各种设定信息。外部存储部11存储从该键盘10输入的各种设定信息，外部存储部11例如是硬盘装置。另外，显示部12屏幕显示已经存储在外部存储部11中的所述各种设定信号和从键盘10输入的各种设定信息。
这样构成的本液滴喷出装置A在由控制计算机C进行的控制下，通过使X方向驱动电机4和Y方向驱动电机5工作，任意设定对象物W和喷出头7的相对位置关系，同时，从喷出头7将液滴喷出到对象物W的任意位置上，并使其粘附。
【喷出头7的详细结构】
接着，图2是表示上述喷出头7的详细结构的分解立体图。喷出头7由喷嘴形成板20、压力产生室形成板21、振动板22、激励部23和保护箱(casing)24等构成。
喷嘴形成板20是按预定间隔形成多个喷出用开口20a的平板，通过蚀刻加工形成压力产生室21a、侧壁(隔板)21b、贮存室21c和导入路径21d。对应于所述喷出用开口20a设置多个压力产生室21a，压力产生室是存储喷出前的喷出用液体的空间。侧壁21b用于分隔各个压力产生室21a。贮存室21c是用于将喷出用液体提供给各压力产生室21a的通路。另外，导入路径21a用于将喷出用液体从贮存室21c导入到各压力产生室21a。
振动板22室可弹性变形的薄板，粘接在压力产生室形成板21上面。即，喷嘴形成板20、压力室形成板21和振动板22具有通过粘接剂胶合的三层构造。在振动板22的上面设置激励部23，振动板22中对应于各压力产生室21a的部位通过激励部23内的压电元件相对表面沿垂直方向变形。另外，所述喷嘴形成板20、压力产生室形成板22、振动板22和激励部23作为整体被容纳在保护箱24内，而形成一体的喷出头7。
【激励部23的详细构成】
图3是表示所述激励部23的详细结构的纵剖面图。如图中所示，将压电元件30的一端粘接固定在对应于所述振动板22的各压力产生室21a的部位上。该压电元件30通过从外部施加的电压沿上下方向进行伸缩。压电元件30的另一端被粘接固定在固定基板31上，固定基板31被粘接固定在支撑物32上。将该支撑物32固定在振动板22上。
另外，将驱动用集成电路33粘接固定在所述固定基板31上。通过柔性电缆34将各种控制信号和驱动信号(通常驱动信号和冷却驱动信号)从控制装置8(参照图1)提供给该驱动用集成电路33。驱动用集成电路33根据上述控制信号选择性地输出各种驱动信号，经柔性电缆34将由驱动用集成电路33选择的各种驱动信号提供给各压电元件30。
即，本液滴喷出装置A的喷出头7根据从驱动用集成电路33选择性地提供给压电元件30的各种驱动信号，使压电元件30沿上下方向伸缩。并且，由于该压电元件30的伸缩位于压电元件30的下方的振动板22的部位在上下方向即振动板22的表面上沿垂直方向变形，从而将存储在压力发生室21a中的喷出用液体L作为液滴D向对象物W喷出。
【电功能结构】
接着，参照图4说明本液滴喷出装置A的电功能结构。如图4所示，被设置在所述主体B上的控制装置8由运算控制部8a、驱动信号生成部8b构成，另一方面，设置在喷出头7内的驱动用集成电路33由切换信号生成部33a、开关电路33b和温度检测部33c等构成。
运算控制部8a根据从控制计算机C输入的所述设定信息和预先存储在内部的控制程序控制·驱动X方向驱动电机4和Y方向驱动电机5，同时，将生成驱动压电元件30用的各种驱动信号a的各种数据(驱动信号生成数据)输出到驱动信号生成部8b。另外，运算控制部8a根据上述控制程序生成选择数据b并输出到切换信号生成部30中。该选择数据b由指定为驱动信号a的施加对象的压电元件30用的喷嘴选择数据和指定施加到压电元件30上的驱动信号用的波形选择数据构成。
另外，本运算控制部8a加入从温度检测部33c输入的温度检测信号c，构成为生成所述波形选择数据。即，本运算控制部8a根据温度检测信号c对切换信号生成部33a选择指定通常驱动信号或冷却用驱动信号的一种。
驱动信号生成部8b根据所述驱动信号生成用数据生成规定形状的各种驱动信号，即，通常驱动信号及冷却用驱动信号，并输出到开关电路33b。
图5是表示通常驱动信号和冷却用驱动信号的各种波形(一周期)的模式图。该图5中，(a)表示通常驱动信号ND的波形，(b)表示冷却用驱动信号CD的波形。通常驱动信号ND的重复频率f被设定为20kHz，相反，冷却用驱动信号CD的重复频率f被设定为例如10Hz。该10Hz左右的重复频率f是可充分驱动压电元件30的频率，同时，是可最小限度地抑制由压电元件30动作产生的热(工作热量)的频率(即，没有加热喷出用液体L的频率)。
另外，通常驱动信号ND及冷却用驱动信号CD的上升沿倾斜hr、水平保持时间hs和下降沿hd虽然规定液滴D的大小、即重量，但是相对通常用驱动信号ND的上升沿倾斜hr和下降沿hd，相对缓和地设定冷却用驱动信号CD的上升沿倾斜hr和下降沿倾斜hd，另外相对通常用驱动信号ND的保持时间，较长时间地设定冷却用驱动信号CD的保持时间。这样，设定该冷却用驱动信号CD的上升沿倾斜hr、保持时间hs、下降倾斜hd，使得例如液滴D的大小为最大重量。这里，所谓最大重量表示图2的压力产生室21a的体积的1/2。原理上，喷出超过压力产生室体积的1/2的墨水是不可能的，这是因为至少压力产生室21a内体积的1/2经过导入路径21d进入到贮存室21c侧。即，设定冷却用驱动信号CD的形状，使得在一次喷出动作中从喷出用开口20a喷出最大液滴D。
另一方面，切换信号生成部33a根据选择数据b生成指示导通/不导通各压电元件30的驱动信号a，并输出到开关电路33b。对每个压电元件30设置开关电路33b，并将由切换信号指定的驱动信号输出到压电元件30。温度检测部33c检测驱动用集成电路33的动作温度，并作为温度检测信号c输出到运算控制部8a。
这里，如图3所示，将驱动用集成电路33粘接固定到固定基板31上，另一方面，也将由根据驱动信号工作产生热(工作热量)的各压电元件30的另一端粘接固定在该固定基板31上。即，容纳温度检测部33c的驱动用集成电路33和各压电元件30经过热传导性好的固定基板31而处于紧密的热耦合状态。因此，温度检测部33c检测的驱动用集成电路33的动作温度正确地反映了压电元件30的工作热量。另外，由于压电元件30夹着振动板22(薄板)而与喷出用液体紧密热耦合，所以温度检测部33c多少有点温度差，但是可大致正确地检测出喷出用液体L的温度来作为压电元件30的温度。
下面，参照图6详细说明这样构成的液滴喷出装置的动作。
首先，说明通常动作。
同步进行由运算控制部8a进行的X方向驱动电机4和Y方向驱动电机5的控制·驱动、向切换信号生成部33a的选择数据b的输出和由驱动信号生成部8b向开关电路33b的各种驱动信号的输出。即，由运算控制部8a进行控制·驱动，使X方向驱动电机4和Y方向驱动电机5动作，在适当设定喷出用头7和对象物W之间的相对位置的状态下，将通常驱动信号ND从驱动用集成电路33的开关电路33b连续施加到压电元件30，从而将喷出用液体L的液滴D从喷出用开口20a连续地喷出(通常喷出)到对象物W。
由于这种通常喷出在重复频率f较高的20kHz下进行，所以压电元件30和驱动集成电路33的动作热量的产生变大，因此通过该压电元件30和驱动集成电路33的工作热量而加热喷出用液体L，而呈现出温度上升。并且，经固定基板31与压电元件30紧密热耦合的驱动集成电路33内的温度检测部33等价检测出这种喷出用液体L的温度上升来作为压电元件30的温度上升。
运算控制部8a根据从温度检测部33输入的温度检测信号c来掌握喷出用液体L的温度，当该温度超过规定的阈值温度是，驱动信号生成部8b指示生成冷却用驱动信号CD，同时，生成指示将该冷却用驱动信号CD施加到压电元件30的选择数据b，并输出到切换信号生成部33a。结果，将冷却用驱动信号CD施加到压电元件30，并在10Hz的重复频率f下从喷出用开口部20a喷出(冷却喷出)最大重量的液滴D，从而，通过液滴D向外部放出压电元件30的工作热量的一部分，并进一步经固定基板31放出驱动集成电路33的工作热量，同时，通过将加热程度少的液体从贮存室21c通过导入路径21d，缓缓流入到压力产生室21a，而渐渐冷却喷出用液体L的温度。
图6是表示喷出用液体L的温度变化一例的模式图。在通常喷出期间Tn中，根据通常驱动信号ND的波形在20kHz的重复频率下从喷出开口20a连续喷出通常大小(通常重量)的液滴(通常液滴Dn)，但是，在冷却喷出期间Tc通过冷却用驱动信号CD在10Hz的重复频率下从喷出开关20a向对象物W连续喷出最大大小(最大重量)的液滴(最大液滴Dc)。喷出用液体L的温度在通常喷出期间Tn中从为规定温度的25℃缓缓上升，但是，当超过为所述阈值温度的25.5℃时，进入到冷却喷出期间Tc，温度缓慢降低。并且，若喷出用液体L的温度回到规定温度时，重新进入到通常喷出期间Tn，温度开始上升。
这里，在本实施例的液滴喷出装置中，在通常喷出到对象物W期间，即终止横贯X方向的一条线的喷出后到进行下一条线的喷出之前的阶段中，为确保该下一条线的正常喷出性能，执行预备的喷出工序(冲洗(flushing)工序)。所述冷却喷出期间Tc相当于该冲洗工序。即，本液滴喷出装置在通常喷出的前一阶段的冲洗工序中，通过进行冷却喷出而使喷出用液体L的温度回到规定温度。
根据本实施例，当在通常喷出中喷出用液体L的温度超过阈值温度时，在大大低于通常喷出的低重复频率(f＝10Hz)和最大液滴Dc下进行冷却喷出，所以可将通常喷出的喷出用液体L的温度维持.设定在规定的合适温度范围内。并且，通过在冲洗工序中进行冷却喷出，可实现喷出用液体L的冷却，而不牺牲液滴喷出装置的动作效率。
本液滴喷出装置可应用于各种用途，例如可考虑下述应用。
(1)通过将作为喷出用液体L的墨水喷出到作为对象物W的纸或各种薄膜中，而应用于画图或者写字的打印装置中。
(2)通过将作为喷出用液体L的导电性液体喷出到作为对象物W的基板上，而应用于描绘电子电路的布线图的绘图装置。
(3)通过将作为喷出液体L的透明树脂喷出到作为对象物W的基板上，而应用于形成显微透镜的显微透镜制造装置。这时，粘附在基板上的透明树脂通过紫外线等的照射而固化，并最终在基板上形成显微透镜。
(4)通过将上色用树脂喷出到作为对象物W的基板上来作为喷出用液体L，而应用于形成滤色镜的着色层的滤色镜制造装置。
(5)通过将作为喷出用液体L的电光物质，即呈现电致发光的荧光性有机化合物喷出到作为对象物W的基板上，而应用于形成有机电致发光(EL)显示板的有机EL显示板制造装置。
(6)进一步，根据本实施例的液滴喷出装置及方法可应用于通过成膜喷出用液体的膜的制膜装置和方法、或者通过使用这种制膜装置和方法来制造设备的设备制造方法和嵌入该设备的电子设备。
另外，在上述实施例中，虽然构成为设置了温度检测部33c，根据从该温度检测部33c输入的温度检测信号c来进行冷却喷出，但是也可在通常喷出的喷出次数超过规定的阈值次数时进行冷却喷出而不设置这种温度检测部33c。即，构成运算控制部8a，使其计数通常喷出的喷出次数，在该计数结果超过阈值次数的时间点上进行冷却喷出。
在上述实施例中，当通过通常喷出喷出用液体L的温度超过阈值温度时，进行冷却喷出，但是，当到下一次通常喷出的期间时间有充裕的话，则不必进行冷却喷出。即，在可通过自然冷却将喷出用液体L冷却到规定温度时，喷出用液体L的冷却尽量使用自然冷却，而不进行冷却喷出；只有在不能通过自然冷却将喷出用液体L冷却到规定温度时，才进行冷却喷出。
如上所述，根据本发明，每次通过通常驱动信号使压电元件机械变形而从开口喷出喷出用液体的液滴时，由通过与通常驱动信号不同的冷却用驱动信号从开口喷出液滴，即，通过液滴降低喷出用液体的热量，所以可有效地冷却由压电元件发热加热的喷出用液体。

Claims (26)

1.一种液滴喷出装置，通过由通常驱动信号的驱动使压电元件发生机械变形，从开口喷出喷出用液体的液滴，其特征在于：
通过由与所述通常驱动信号不同的冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴，其中：
当由温度检测单元检测出的喷出用液体的温度超过规定的阈值温度时或当在规定的时间内由通常驱动信号驱动的喷出次数超过规定的阈值次数时，且在不能通过自然冷却将喷出用液体冷却到规定温度时，通过由冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：
通过由冷却用驱动信号的驱动多次喷出液滴，将喷出用液体冷却到规定的温度。
3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
将冷却用驱动信号的重复频率设定为使压电元件不加热喷出用液体程度的低频。
4.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
设定冷却用驱动信号的上升沿和下降沿比通常驱动信号的上升沿和下降沿相对缓和，且冷却用驱动信号的保持时间比通常驱动信号的保持时间长。
5.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
在由通常驱动信号驱动的通常喷出期间进行由冷却用驱动信号驱动的冷却喷出。
6.根据权利要求1或2中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于：
喷出用液体是打印用的墨水。
7.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
喷出用液体是用于形成布线图案的导电性材料。
8.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
喷出用液体是用于形成显微透镜的透明树脂。
9.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
喷出用液体是用于形成滤色镜着色层的树脂。
10.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
喷出用液体是电光物质。
11.根据权利要求10所述的液滴喷出装置，其特征在于：
电光物质是呈现电致发光的荧光性有机化合物。
12.一种制膜装置，其特征在于：
使用权利要求1-11中任意一项所述的液滴喷出装置形成喷出用液体的膜。
13.一种电子设备，具有使用权利要求12所述的制膜装置制造的器件。
14.一种液滴喷出方法，通过使压电元件发生机械变形从开口喷出喷出用液体的液滴，其特征在于：
通过进行与通常喷出不同的冷却喷出，冷却喷出用液体，其中：
当喷出用液体的温度超过规定的阈值温度时或当在规定的时间内通常喷出的喷出次数超过规定的阈值次数时，且在不能通过自然冷却将喷出用液体冷却到规定温度时，进行冷却喷出。
15.根据权利要求14所述的液滴喷出方法，其特征在于：
通过进行多次冷却喷出，将喷出用液体冷却到规定的温度。
16.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
将冷却喷出的重复频率设定为使压电元件不加热喷出用液体程度的低频。
17.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
设定冷却用驱动信号的上升沿和下降沿比通常驱动信号的上升沿和下降沿相对缓和，且冷却用驱动信号的保持时间比通常驱动信号的保持时间长。
18.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
在通常喷出期间进行冷却喷出。
19.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
喷出用液体是打印用墨水。
20.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
喷出用液体是用于形成布线图案的导电性材料。
21.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
出用液体是用于形成显微透镜的透明树脂。
22.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
喷出用液体是用于形成滤色镜着色层的树脂。
23.根据权利要求14或15所述的液滴喷出方法，其特征在于：
喷出用液体是电光物质。
24.根据权利要求23所述的液滴喷出方法，其特征在于：
电光物质是呈现电致发光的荧光性有机化合物。
25.一种制膜方法，其特征在于：
使用权利要求14或15所述的液滴喷出方法形成喷出用液体的膜。
26.一种器件制造方法，其特征在于：
使用权利要求25所述的制膜方法制造器件。
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