KR100383258B1 - 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출방법 - Google Patents

주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법을 공개한다. 그 방법은 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계, 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 거리들 및 평균값을 이용하여 표준 편차, 및 추세 분석의 제곱값을 계산하는 단계, 및 표준 편차가 설정된 제1임계값보다 크거나, 추세 분석의 제곱값이 설정된 제2임계값보다 작으면 측정 에러로 판단하여 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계로 이루어져 있다. 따라서, 측정된 CD 값의 신뢰성을 높일 수 있다.

Description

주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법{measurement error detecting method of measurement apparatus using scanning electron microscope}
본 발명은 주사 전자 현미경에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼상에 형성된 패턴의 폭과 길이를 측정할 수 있는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 고집적화에 따라 많은 양의 데이터를 필요로 하는데, 이에 따라 측정 장치들은 자동화되고 있다. 이러한 추세에서 자동화로 측정된 결과의 신뢰성을 확보하는 것이 무엇보다도 중요하다.
즉, 측정된 결과중에 측정 에러가 포함되는 경우에 측정된 결과 데이터의 신뢰성을 잃게 되고, 측정 에러가 발생하는 경우에 측정하지 않는 것이 오히려 측정 결과의 신뢰성을 확보하게 된다.
도1은 종래의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 구성을 나타내는 것으로서, 컴퓨터(10), 및 주사 전자 현미경(20)으로 구성되어 있다.
컴퓨터(10)는 본체에 CD(critical dimension) 측정 및 검사(inspection)를 위한 소프트웨어를 저장하고, 해당 소프트웨어를 수행함에 의해서 그래픽 유저 인터페이스(GUI;graphic user interface)를 모니터상에 디스플레이하고 주사 전자 현미경(20)의 동작을 제어한다. 그리고, 주사 전자 현미경(20)으로부터 발생되는 2차 전자들을 검출하여 이미지화하여 디스플레이한다. 주사 전자 현미경(20)은 물체가 로딩되면 컴퓨터(10)의 제어하에 물체의 특정 부분에 전자 빔을 주사한다.
즉, 종래의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치는 반도체 웨이퍼상에 형성된 미세 패턴의 CD(폭과 길이)를 측정하여 모니터상에 디스플레이하는 기능을 구비하고 있다.
이와같은 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 방법에는 수동 CD 측정 방법과 자동 CD 측정 방법이 있다. 그런데, 수동 CD 측정 방법은 운전자가 경험을 통한 소정 레벨의 기술적인 숙련을 요구하고, 측정된 값들이 운전자에 따라 달라질 수 있다는 단점을 가지고 있다. 이에 반하여, 자동 CD 측정 방법은 적절한 패턴의 엣지들이 이미지 프로세싱을 통하여 자동적으로 검출되고, 패턴의 면적(폭/길이)이 엣지들의 위치 데이터로부터 결정된다.
그런데, 종래의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 방법은 수동적으로 측정되거나 자동적으로 측정되거나 측정 점들이 잘못 설정되는 경우에 측정된 값들에 에러가 포함될 수 있으며, 이러한 에러를 자동으로 검출할 수 있는 방법이 없었다.
본 발명의 목적은 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치에 의해서 측정된 CD값들에 에러가 포함되어 있는지를 자동으로 판단할 수 있는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법의 제1형태는 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경, 및 상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서, 상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계, 상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 표준 편차를 계산하는 단계, 및 상기 표준 편차가 설정된 임계값보다 크면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법의 제2형태는 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경, 및 상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서, 상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계, 상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 추세 분석의 제곱값을 계산하는 단계, 및 상기 추세 분석의 제곱값이 설정된 임계값보다 작으면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법의 제3형태는 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경, 및 상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서, 상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계, 상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 표준 편차, 및 추세 분석의 제곱값을 계산하는 단계, 및 상기 표준 편차가 설정된 제1임계값보다 크고, 상기 추세 분석의 제곱값이 설정된 제2임계값보다 작으면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.
도1은 종래의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 구성을 나타내는 것이다.
도2a - c는 일반적인 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 이미지 콘트라스트를 설명하기 위한 것이다.
도3a, b는 웨이퍼상의 패턴의 실시예의 단면도, 및 모니터상에 디스플레이되는 이미지를 나타내는 것이다.
도4a, b는 주사 전자 현미경에 의해서 모니터상에 디스플레이되는 라인 폭 측정 이미지를 나타내는 것이다.
도5a, b는 주사 전자 현미경에 의해서 모니터상에 디스플레이되는 홀 지름 측정 이미지를 나타내는 것이다.
도6은 본 발명의 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도7은 CD 측정 프로그램을 수행함에 의해서 모니터상에 디스플레이되는 실시예의 그래픽 유저 인터페이스를 나타내는 것이다.
도8는 도7에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스를 이용하여 모니터상에 디스플레이되는 실시예의 홀 지름 측정을 위한 그래픽 유저 인터페이스를 나타내는 것이다.
도9는 본 발명의 다른 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도10은 본 발명의 또 다른 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도11a, b는 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 모니터상에 디스플레이되는 정상적인 측정과 측정 에러가 발생한 경우의 측정 점들을 포함하는 홀 지름 측정 이미지를 나타내는 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하면 다음과 같다.
도2a - c는 일반적인 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 이미지 콘트라스트를 설명하기 위한 것으로, 도2a는 평면에 전자 빔이 주사되는 경우, 도2b는 경사면에 전자 빔이 주사되는 경우, 도2c는 엣지에 전자 빔이 주사되는 경우의 이미지 콘트라스트(image contrast)를 설명하기 위한 것이다.
도2a에 나타낸 바와 같이 평면에 전자 빔이 주사되면 이차 전자(e-)가 작게 방출되고, 도2b에 나타낸 바와 같이 경사면에 전자 빔이 주사되면 이차 전자가 도2a에 나타낸 평면에 전자 빔이 주사되는 경우보다 많이 방출된다. 그리고, 도2c에 나타낸 바와 같이 엣지에 전자 빔이 주사되면 이차 전자가 도2b에 나타낸 경사 면에 전자 빔이 주사되는 경우보다 많이 방출된다.
상술한 바와 같이 전자 빔이 주사되는 경우에 모니터상에 디스플레이되는 이미지 콘트라스트는 이차 전자가 많이 방출되는 부분의 이미지가 밝게 디스플레이되고, 이차 전자가 적게 방출되는 부분의 이미지는 어둡게 디스플레이된다.
즉, 모니터상에 디스플레이되는 이미지 콘트라스트는 방출되는 이차 전자의 수에 비례하여 조절된다.
도3a는 웨이퍼상의 패턴의 실시예의 단면도를 나타내는 것이고, 도3b는 모니터상에 디스플레이되는 이미지를 나타내는 것이다.
도3a에 나타낸 바와 같은 패턴을 전자 현미경으로 관측하게 되면 도3b에 나타낸 바와 같은 라인 폭 측정 이미지가 모니터에 디스플레이된다. 즉, 도3a에 나타낸 패턴의 엣지에서 이미지가 밝게 디스플레이된다.
도4a, b는 주사 전자 현미경에 의해서 모니터상에 디스플레이되는 라인 폭 측정 이미지를 나타내는 것으로, 점선으로 나타낸 부분의 +로 나타낸 것이 CD 측정을 위한 점들을 나타낸다.
도4a의 라인 폭 측정 이미지는 CD 측정을 위한 점들이 정확하게 설정되어 있고, 도4b의 라인 폭 측정 이미지는 CD 측정을 위한 점들이 정확하게 설정되어 있지 않다.
도4a에 나타낸 이미지와 도4B에 나타낸 이미지는 동일한 이미지이지만 측정되는 CD값이 달라짐에 의해서 정확하게 측정될 수도 있고 정확하게 측정되지 않을 수도 있다.
즉, 도4a에 나타낸 점들을 이용하여 CD값을 계산하게 되면 정확한 CD값을 측정할 수 있고, 도4b에 나타낸 점들을 이용하여 CD값을 계산하게 되면 에러가 포함된 CD값이 측정된다.
도4a에 나타낸 바와 같이 점들이 연속적이고 부드럽게 변화되면 측정된 CD 값이 정확하나, 도4b에 나타낸 바와 같이 점들이 불연속적이고 부드럽게 변화되지 않으면 측정된 CD값에 에러가 포함되게 된다.
도4a, b에 나타낸 바와 같은 라인 폭 측정 이미지의 CD 값을 측정하는 방법은 좌, 우측에 위치한 +로 표시한 점들의 폭을 측정하고, 이 값들의 평균값을 구함에 의해서 얻어진다.
도5a, b는 주사 전자 현미경에 의해서 모니터상에 디스플레이되는 홀 지름측정 이미지를 나타내는 것으로, 웨이퍼상의 콘택 홀의 엣지를 검출함에 의해서 얻어지는 이미지로서, +로 나타낸 것이 CD측정을 위한 점들을 나타낸다.
도5a의 홀 지름 측정 이미지는 CD측정을 위한 점들이 정확하게 설정되어 있고, 도5b의 홀 지름 측정 이미지는 CD측정을 위한 점들이 정확하게 설정되어 있지 않다.
따라서, 도4a, b에 나타난 이미지와 마찬가지로 도5a에 나타낸 이미지의 점들은 연속적이고 부드럽게 변화하므로 정확한 CD값이 측정되고, 도5b에 나타낸 이미지의 점들은 연속적이고 부드럽게 변화되지 않으므로 에러가 포함된 CD값이 측정된다.
도5a, b에 나타낸 바와 같은 홀 지름 측정 이미지의 CD값을 측정하는 방법은 마주보는 곳에 위치한 +로 표시한 점들의 지름을 측정하고, 이 값들의 평균값을 구함에 의해서 얻어진다.
그런데, 종래의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 방법은 단순하게 CD값을 측정하여 모니터상에 디스플레이할 뿐, 측정된 CD값에 에러가 포함되었는지를 확인할 수 있는 방법이 없었다.
본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 방법은 CD값을 측정할 뿐만아니라, CD값을 측정하기 위한 점들이 연속적이고 부드럽게 변화하는지 여부를 판단함에 의해서 측정된 CD값의 신뢰성을 확인하는 것이다.
도6은 본 발명의 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도로서, 도1에 나타낸 컴퓨터(10)의 본체에 탑재되는 응용 프로그램의 수순을 나타내는 것이다.
운전자가 컴퓨터(10)의 CD측정 프로그램을 실행하면 도7에 나타낸 바와 같은 실시예의 그래픽 유저 인터페이스가 모니터상에 디스플레이된다.
도7에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스는 CD 측정을 위하여 필요한 기능들을 포함하고 있다.
도7에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스에서, A로 표시한 부분의 버튼 기능은 이미지를 확대하고 축소하기 위하여 사용되고, B로 표시한 부분의 버튼 기능은 이미지 디스플레이 조건을 설정하기 위하여 사용된다. 그리고, C로 표시한 부분의 버튼 기능은 수동 CD 측정을 위하여 사용되고, D로 표시한 버튼의 기능은 자동 CD 측정 시작을 위하여 사용되고, E로 표시한 버튼의 기능은 초점을 자동으로 조절하기 위하여 사용되고, F로 표시한 버튼의 기능은 자동 CD 파라메타를 설정하기 위한 윈도우를 열기 위하여 사용된다.
그리고, 도7에 나타낸 바와 같은 실시예의 그래픽 유저 인터페이스를 이용하여 CD 측정을 위한 기본 값들을 설정한다.
그러면, 그래픽 유저 인터페이스에 설정된 기본 값들에 따라 웨이퍼의 특정 부분의 패턴의 이미지가 모니터상에 디스플레이된다(제100단계).
도7에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스의 D로 표시한 버튼을 클릭하면 도8에 나타낸 바와 같은 실시예의 홀 지름 측정을 위한 그래픽 유저 인터페이스가 모니터상에 디스플레이된다.
도8에 나타낸 바와 같은 실시예의 그래픽 유저 인터페이스에서 G로 표시한부분은 측정 값의 종류를 지정하기 위한 것으로, 어느 방향의 지름을 측정할 것인지를 설정하기 위한 것이다. 그리고, H로 표시한 부분은 측정되는 패턴의 내부 지름을 측정할 것인지, 외부 지름을 측정할 것인지를 설정하기 위한 것이다.
도8에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스에 설정된 값에 따라 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 점들사이의 거리를 측정한다(제110단계).
그리고, 복수개의 점들사이의 거리들을 이용하여 평균값, R2값, 및 3σ값을 계산한다(제120단계).
평균값(AVE)은 복수개의 점들사이의 거리들을 d1, d2, ..., dn이라고 가정하면 (d1+d2+...+dn)/n에 의해서 얻어진다.
추세 분석의 제곱값(R2)은 복수개의 점들사이의 거리들을 d1, d2, ..., dn이라고 하면 아래의 수학식1에 의해서 구해진다.
, i=1, ..., n
R2값은 측정된 값을 추세 분석하여 구해진 값(R)을 제곱한 값이다.
R2값이 1인 경우에 이상적인 추세 방정식을 나타내고, 0에 가까울수록 추세 곡선의 에러가 크다는 것을 나타낸다.
R2값이 설정된 임계값보다 작은지를 판단한다(제130단계). 즉, R2값은 1보다클 수가 없으므로 1보다 작은 적절한 값을 설정하여 두고 이 값보다 작아지게 되면 정상적인 라인 또는 곡선이 아니라고 판단한다.
만일 제130단계의 판단 결과를 만족하면, CD 측정 에러로 판단하고 모니터상에 에러임을 디스플레이한다(제140단계). 즉, 정상적인 라인 또는 곡선인지 아닌지를 판단하여 측정 에러로 디스플레이한다.
만일 제130단계의 판단 결과를 만족하지 않으면, 모니터상에 평균값과 R2값을 디스플레이한다(제150단계).
도9는 본 발명의 다른 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도로서, 도1에 나타낸 컴퓨터(10)의 본체에 탑재되는 프로그램의 동작 흐름도를 나타낸다.
제200, 제210단계의 동작은 도6에 나타낸 제100, 110단계의 동작과 동일하다.
제120단계에서, 복수개의 점들사이의 거리들을 이용하여 평균값 및 3σ값을 계산한다(제220단계).
3σ값은 복수개의 점들사이의 거리들을 d1, d2, ..., dn 이라고 하면 아래의 수학식2에 의해서 구해진다.
, i=1, ..., n
여기에서, σ는 표준 편차를 나타내는 것으로, 3σ는 표준 편차에 3을 곱한값이다.
복수개의 점들사이의 거리들(d1, d2, ..., dn)의 분산이 넓을수록 측정되는 라인 또는 곡선의 불연속성이 존재하는 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 거리들(d1, d2, ..., dn)이 어느 정도 벗어났는지를 나타내는 3σ값을 계산하여 라인 또는 곡선의 불연속성을 판단하는 것이다.
3σ값이 설정된 임계값보다 큰지를 판단한다(제230단계). 즉, 3σ값이 설정된 임계값보다 크게 되면 측정되는 라인 또는 곡선의 불연속성이 큰 것으로 판단하게 된다.
만일 제230단계의 판단 결과를 만족하면 측정 에러로 판단하고 모니터상에 에러임을 디스플레이한다(제240단계).
만일 제230단계의 판단 결과를 만족하지 않으면 모니터상에 평균값과 3σ값을 디스플레이한다(제250단계).
도10은 본 발명의 또 다른 실시예의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도로서, 도6의 측정 에러 검출 방법과 도9의 측정 에러 검출 방법을 혼합한 방법이다.
제300, 310단계의 동작은 제100, 110단계의 동작과 동일하다.
제320단계에서, 복수개의 점들사이의 거리들을 이용하여 평균값, R2값, 3σ값을 계산한다(제320단계).
R2값, 및 3σ값은 상술한 수학식 1, 2에 의해서 구해진다.
R2값이 설정된 제1임계값보다 작은지를 판단한다(제330단계).
만일 제330단계를 만족하면 3σ값이 설정된 제2임계값보다 큰지를 판단한다(제340단계).
만일 제340단계를 만족하면 측정 에러로 판단하고 모니터상에 에러임을 디스플레이한다(제350단계).
만일 제330, 및 340단계를 만족하지 않으면 모니터상에 평균값, R2값, 3σ값을 디스플레이한다(제360단계).
도11a, b는 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 모니터상에 디스플레이되는 정상적인 측정과 측정 에러가 발생한 경우의 측정 점들을 포함하는 홀 지름 측정 이미지를 나타내는 것이다.
도11a에 나타낸 이미지는 측정 점들사이의 거리들을 d1, d2, ..., d16이라고 할 때, 상술한 식1, 2에 의해서 R2값과 3σ값을 계산함에 의해서 0.998, 0.139가 각각 얻어지고, 도11b에 나타낸 이미지는 측정 점들사이의 거리들을 c1, c2, ..., c16이라고 할 때, 상술한 식1, 2에 의해서 R2값과 3σ값을 계산함에 의해서 0.978, 0.403가 각각 얻어졌다.
만일 제1임계값을 0.99로 설정하고, 제2임계값을 0.200으로 설정하였다면, 도11a에 나타낸 이미지의 CD값은 정확하게 측정된 것으로 판단되어 모니터상에 평균값과 R2값을 디스플레이하고, 도11b에 나타낸 이미지의 CD값은 측정 에러가 발생된 것으로 판단되어 모니터상에 에러임을 디스플레이한다.
본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법은 R2또는 3σ값을 이용하여 라인 또는 곡선의 불연속성을 검출함에 의해서 측정 에러가 있는지를 판단한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 CD 측정 에러 검출 방법은 측정된 CD 값의 신뢰성을 높일 수 있다.

Claims (10)

  1. 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경; 및
    상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서,
    상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계;
    상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 표준 편차를 계산하는 단계; 및
    상기 표준 편차가 설정된 임계값보다 크면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 표준 편차가 상기 설정된 임계값보다 작으면 상기 모니터상에 상기 평균값과 표준 편차를 디스플레이하는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 표준 편차는
    상기 거리들 각각과 상기 평균값의 차 값을 제곱한 값들을 합한 제1값을 상기 거리들의 수로 나눈 제2값의 루트 값에 3을 곱함에 의해서 구하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  4. 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경; 및
    상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서,
    상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계;
    상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 추세 분석의 제곱값을 계산하는 단계; 및
    상기 추세 분석의 제곱값이 설정된 임계값보다 작으면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 추세 분석의 제곱값이 상기 설정된 임계값보다 크면 상기 모니터상에 상기 평균값과 상기 추세 분석의 제곱값을 디스플레이하는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 추세 분석의 제곱값은
    상기 거리들 각각과 평균값의 차 값을 제곱한 값들을 합하여 제1값을 구하고, 상기 거리들 각각을 제곱한 값들을 합한 값에서 상기 거리들 각각을 합한 값을 제곱한 값을 상기 거리들의 수로 나눈 값을 뺀 제2값을 구하고, 상기 제1값을 상기 제2값으로 나누어 제3값을 구하고, 1에서 상기 제3값을 뺌에 의해서 구하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  7. 물체에 전자 빔을 주사하기 위한 주사 전자 현미경; 및
    상기 주사 전자 현미경을 제어하고 상기 물체의 특정 부분의 패턴의 이미지를 모니터상에 디스플레이하기 위한 제어수단을 구비한 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법에 있어서,
    상기 모니터상에 디스플레이되는 이미지의 복수개의 측정 점들사이의 거리들을 측정하는 단계;
    상기 복수개의 측정 점들사이의 거리들의 평균값을 계산하고, 상기 거리들 및 평균값을 이용하여 표준 편차, 및 추세 분석의 제곱값을 계산하는 단계; 및
    상기 표준 편차가 설정된 제1임계값보다 크고, 상기 추세 분석의 제곱값이 설정된 제2임계값보다 작으면 측정 에러로 판단하여 상기 모니터상에 에러임을 디스플레이하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 표준 편차가 상기 설정된 제1임계값보다 작고, 상기 추세 분석의 제곱값이 상기 설정된 제2임계값보다 크면 상기 모니터상에 상기 평균값, 상기 표준 편차, 및 상기 추세 분석의 제곱값을 디스플레이하는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 표준 편차는
    상기 거리들 각각과 상기 평균값의 차 값을 제곱한 값들을 합한 제1값을 상기 거리들의 수로 나눈 제2값의 루트 값에 3을 곱함에 의해서 구하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 추세 분석의 제곱값은
    상기 거리들 각각과 평균값의 차 값을 제곱한 값들을 합하여 제3값을 구하고, 상기 거리들 각각을 제곱한 값들을 합한 값에서 상기 거리들 각각을 합한 값을 제곱한 값을 상기 거리들의 수로 나눈 값을 뺀 제4값을 구하고, 상기 제3값을 상기 제4값으로 나누어 제5값을 구하고, 1에서 상기 제5값을 뺌에 의해서 구하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경을 이용한 측정 장치의 측정 에러 검출 방법.
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