KR100366522B1 - 액정 표시 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 결함 수정 성공율을 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치를 제공하는 것이다. 액정 표시 장치에서, 액정층을 사이에 두고 대향 배치된 한 쌍의 기판 중의 한 쪽의 기판 상에서, 데이터 신호를 공급하는 데이터 신호 전송선과 타이밍 신호를 공급하는 주사 신호 전송선이 교차하는 상태로 배선되며, 또한, 양 신호 전송선과 전기적으로 접속하여 박막 트랜지스터가 형성되어 이루어지며, 이들 양 신호 전송선 및 박막 트랜지스터의 일부를 덮어서 형성된 층간 절연막 상에 화소 전극이 형성된다. 화소 전극은 이러한 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속되어 배치된다. 드레인 전극에는, 전극 폭을 좁게 하여 형성되는 수정 개소가 형성되어 있다. 화소 전극의 드레인 전극의 수정 개소 상측에 대응하는 영역에는, 개구부가 화소 전극의 외주에 접하여 형성된다. 수정 개소 상에는, 화소 전극이 형성되지 않고, 층간 절연막과 액정층이 형성되어 있다. 이러한 구성에 의해, 결함이 발견되어도, 수정 개소를 레이저 조사함으로써, 결함 수정이 가능해진다.

Description

액정 표시 장치{LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS}

본 발명은 컴퓨터나 AV(audio-visual) 기기 등의 표시 장치로서 이용되고 있는 액정 표시 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 스위칭 소자를 갖는 액정 표시 장치의 전극으로서, 액정층을 구동하는 화소 구동용 화소 전극 이외에 보조 용량을 형성하는 보조 용량 전극이 설치되어 있다. 그리고, 층간 절연막을 사이에 두고 화소 구동용 화소 전극이 개재되는 경우에는, 층간 절연막의 두께가 두껍기 때문에, 그 아래쪽에 보조 용량 전극이 설치되어 있다.

여기서, 도 28a는 상술한 액정 표시 장치의 일례를 나타낸 평면도이고, 도 28b는 도 28a에 도시한 바와 같은 액정 표시 장치의 스위칭 소자로서 사용하는 박막 트랜지스터(TFT)의 부분 단면도이다. 또한, 이러한 구성의 액정 표시 장치는 예를 들면 일본 특허 공개 공보 평9-152625호 등에도 기재되어 있다.

도 28a 및 도 28b에서, 기판(131) 상에는 TFT(124)가 설치되고, 이 TFT(124)의 드레인 전극(136b)에 접속하여 기재(基材) 전극(125)이 형성되어 있다. 이 기재 전극(125)은 드레인 전극(136b)과 일체화된 경우에는 "드레인 전극"이라고 불릴 수도 있다. 이러한 구조의 위를 덮도록 층간 절연막(138)이 형성되고, 그 위에 형성된 화소 전극(121)이 층간 절연막(138)에 설치된 콘택트 홀(126)을 통해 기재 전극(125)과 전기적으로 접속되어 있다.

또한, 상기 기재 전극(125)은 화소 전극(121)의 중앙부까지 연장되어 있고, 보조 용량 전극(125a)은 TFT(124)의 일부를 구성하는 게이트 전극(132)을 덮는 게이트 절연막(133)의 하측에 형성된 보조 용량 배선(127)과 대향하도록 형성되어 있다. 또한, 이 보조 용량 배선(127)과 보조 용량 전극(125a)이 대향하는 부분에는 보조 용량부가 형성되어 있다. 또한, 이 기재 전극(125)은 보조 용량부를 형성하는 것이 목적이므로, 보조 용량부 이외의 영역에서는 부분적으로 폭이 좁게 형성되어 있다.

상술한 바와 같은 스위칭 소자가 형성되는 액티브 매트릭스 기판에서는 제조 공정 중에 불량이 발생할 우려가 있고, 이 불량에 의해 라인 결함이나 휘점(輝點)이나 플리커(flicker) 등의 원치않는 표시 불량 또는 이미지 가시화 실패를 초래한다. 이 때문에, 수율을 향상시키기 위한 각종의 결함 수정 기술이 개발되고 있고, 단독으로 또는 수 종류의 결함 수정 기술을 조합시켜 실시함으로써, 양산 효율을 향상시키는 것이 행해지고 있다.

이러한 결함 수정 기술로서는, 도 29a 및 도 29b에 도시된 바와 같이, MOS형 트랜지스터(408)에서, 데이터 신호 전송선(401)과 주사 신호 전송선(402)이 단락된 경우에 생기는 라인 결함을 수정하는 기술 등이, 예를 들면 일본 특허 공보 평3-55985호 등에 공지되어 있다.

구체적으로는, 도 29a 및 도 29b에 도시된 바와 같이, 주사 신호 전송선(402)으로부터 분기하고 있는 게이트 전극(420)을 주사 신호 전송선(402)으로부터 레이저로 절단하여 분리한다. 그 후, 기판의 위쪽 또는 이면측으로부터 화살표 Y와 화살표 Z의 위치에 레이저를 조사한다. 이에 따라, 레이저 절단 처리된 게이트 전극(420)을 통해, 소스 전극(421)과 드레인 전극(422)을 쇼트시킨다. 이 결과, 데이터 신호의 평균적인 전압이 화소 전극(406)에 인가되게 되어, 결함의 존재를 감소시키거나 최소화시킨다.

이러한 결함 수정 기술은 투과형 액정 표시 장치를 전제로 하여 이루어진 것이다. 본원 출원인들은, 일본 특허 출원 평9-355824호에서, 도 30에 도시된 바와 같은 반사형 액정 표시 장치를 전제로 한 결함 수정 기술을 제안한 바 있다.

그러나, 이 결함 수정 기술은, 도 30에 도시된 바와 같이, 제조 공정상 발생하는 불량을 수정할 때에, 수정 개소를 레이저로 기판(430)의 이면으로부터 조사함으로써 수정 개소를 절단해서 기판으로부터 날려버리는 기술이다. 이 때문에, 이 때에 층간 절연막(434)에 균열이 생기고, 수정 개소의 상부에 화소 전극(435)이 존재하는 경우에는 균열이 생긴 층간 절연막(434)과 함께 상층의 화소 전극(435)도 액정층(454)으로 튀어나오게 된다. 이렇게 튀어나온 화소 전극(435)이 변형되어 대향 전극(451)이나 수정 개소의 단면과 접촉하여, 다른 신호 전송선들을 전기적으로 함께 쇼트시켜 2차 결함을 초래하는 문제를 갖고 있었다.

또한, 도전성의 화소 전극(435)이 부착된 층간 절연막(434)의 파편이액정층(454) 내에 부유하게 되기 때문에, 대향 전극(451)과 그 외의 전극, 특히 화소 전극(435)을 도통시켜 결함을 일으키는 문제도 갖고 있었다.

특히, 도 31에 도시된 바와 같이, 반사형 액정 표시 장치의 경우에는, 화소 전극(435)으로서 Al 등의 도전성 재료를 이용하고 있기 때문에, 화소 전극(435)의 절단 개소의 단면에 보풀(500)이 생기기 쉽고, 이 보풀(500)이 대향 전극(451)이나 화소 전극(435)에 접촉하여 재리크(releakage) 현상을 일으키고 있었다.

또한, 수정 개소의 상부에 화소 전극(435) 등이 존재하고 있기 때문에, 레이저의 파워를 크게 하여 조사할 필요가 있어, 주변부의 구조가 파손되거나, 배향막(453)이 흐트러짐으로써 액정의 배향이 불규칙하게 되어 표시 불량이 생기는 등, 투과형 액정 표시 장치와 비교하여 그 폐해가 많고, 정상적으로 결함 수정을 행할 수 없다는 문제를 갖고 있었다.

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 결함 수정의 성공율을 향상시키고, 또한 개구율의 저하를 방지함과 함께, 양산 효율을 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치를 제공함에 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 서로 대향 배치된 한 쌍의 기판, 상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -, 상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터, 상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및 상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 통해 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -을 포함하되,

상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 드레인 전극의 적어도 일부의 위에 배치되는 액정 표시 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에는 화소 전극이 없다. 이에 따라, 화소의 결함 수정을 위해 드레인 전극의 적어도 일부 내의 수정 개소를 수정한 경우, 화소 전극이 변형이 거의 생기지 않는다. 이 때문에, 화소 전극이 대향 전극이나 수정 개소의 단면 등과 접촉하는 2차 결함을 초래하지 않는다. 또한, 절연막의 파편에 화소 전극이 부착하지 않기 때문에, 대향 전극과 그 외의 전극과의 원치않는 단락에 의한 불량을 일으키지 않는다.

드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에 화소 전극이 없기 때문에, 낮은 전력의 레이저로 드레인 전극의 적어도 일부 내의 수정 개소의 절단을 행할 수 있다. 이에 따라, 수정 개소의 주변부의 구조가 파손된다거나 배향막이 흐트러져 액정의 배향이 흐트러지는 것에 기인하는 표시 불량이 생길 가능성이 저감되거나 최소화된다.

본 발명에서, 화소 전극은 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에 개구부가 위치하기 때문에, 화소 전극이 드레인 전극에 부분적으로 중첩되어도, 화소의 결함 수정 시에 수정해야 할 개소로 되는 드레인 전극의 일부의 위쪽에 화소 전극이 배치되는 것이 확실히 방지된다. 이에 따라, 화소 결함의 수정에 따른 2차 불량, 대향 전극과 그 외의 전극과의 도통에 기인하는 화소의 불량 및 표시 불량이 확실히 방지된다.

본 발명에서, 상기 화소 전극의 개구부는 상기 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 화소 전극에는, 드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에 대응하는 영역에 개구부가 형성됨과 함께, 그 개구부가 화소 전극의 외주에 접하여 형성되어 있기 때문에, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역, 즉 원래 화소 전극이나 층간 절연막이 존재하지 않는 영역을 수정 개소의 위쪽의 화소 전극의 개구부의 일부로서 이용할 수 있고, 이에 따라 화소 전극 면적의 저감을 억제할 수 있으며, 개구율을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 화소 전극을 형성 (패터닝)할 때에는, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역과 수정 개소 위쪽의 화소 전극의 개구부가 연속하고 있기 때문에, 이들 영역의 나머지 화소 전극 재료를 용이하게 제거할 수 있어, 양호한 화소 전극의 패터닝을 행할 수 있게 된다.

본 발명에서, 드레인 전극의 적어도 일부에, 상기 전극의 폭을 좁게 하여 이루어지는 수정 개소가 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 드레인 영역에는, 화소의 결함 수정 시에 수정해야 할 수정 개소로서 수정 개소가 형성되어 있다. 수정 개소의 폭은 드레인 전극의 폭보다도 좁기 때문에, 수정 개소는 용이하게 절단 가능하다. 이에 따라 화소의 결함의 수정이 더욱 용이해진다.

본 발명에서, 층간 절연막은 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에는, 화소 전극과 층간 절연막이 존재하지 않는다. 이에 따라, 드레인 전극의 적어도 일부 내의 수정 개소를 수정한 경우, 층간 절연막의 파편에 수정 개소의 드레인 전극이 부착되는 경우가 발생되지 않는다. 이 때문에, 절단부의 재리크가 발생하기 어렵다. 또한, 층간 절연막이 존재하지 않기 때문에, 보다 낮은 전력의 레이저로 드레인 전극의 적어도 일부를 절단할 수 있다.

본 발명은, 서로 대향 배치된 한 쌍의 기판, 상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -, 상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터, 상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및 상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 -상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 통해 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -을 포함하되,

상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 게이트 전극의 적어도 일부의 위에 배치되는 액정 표시 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 게이트 전극의 일부의 위쪽에는 화소 전극이 없다. 이에 따라, 화소의 결함 수정을 위해 게이트 전극의 일부 내의 수정 개소를 수정한 경우, 화소 전극의 변형이 발생하지 않는다. 이 때문에, 화소 전극이 대향 전극이나 수정 개소의 단면 등과 접촉하는 2차 불량을 초래하지 않는다. 또한, 절연막의 파편에 화소 전극이 부착되지 않기 때문에, 대향 전극과 그 외의 전극과의 도통에 의한 불량을 일으키지 않는다.

게이트 전극의 일부의 위쪽에 화소 전극이 없기 때문에, 낮은 전력의 레이저로 게이트 전극의 일부 내의 수정 개소의 절단을 행할 수 있다. 이에 따라, 수정 개소의 주변부의 구조가 파괴된다거나 배향막이 흐트러져 액정의 배향이 흐트러지는 것 등에 기인하는 표시 불량이 생길 가능성이 낮아진다.

본 발명에서, 화소 전극은 게이트 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 게이트 전극의 적어도 일부의 위쪽에 개구부가 위치하기 때문에, 화소 전극이 게이트 전극에 부분적으로 중첩되어 있어도, 화소의 결함 수정 시에 수정해야 할 개소가 되는 게이트 전극의 일부의 위쪽에 화소 전극이 배치되는 것이 확실히 방지된다. 이에 따라, 화소 결함의 수정에 따른 2차 불량, 대향 전극과 그 외의 전극과의 도통에 기인하는 화소의 불량 및 표시 불량이 확실히 방지된다.

본 발명에서, 화소 전극의 개구부는 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 화소 전극에는 게이트 전극의 적어도 일부의 위쪽에 대응하는 영역에 개구부가 형성됨과 함께, 그 개구부가 화소 전극의 외주에 접하여 형성되어 있기 때문에, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역, 즉 원래 화소 전극이나 층간 절연막이 존재하지 않는 영역을 수정 개소 위쪽의 화소 전극의 개구부의 일부로서 이용할 수 있다. 이에 따라, 화소 전극의 면적의 저감을 억제할 수 있고, 최종 개구율을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 화소 전극을 형성 (패터닝)할 때에는, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역과 수정 개소 위쪽의 화소 전극의 개구부가 연속하여 형성되어 있기 때문에, 이들 영역의 화소 전극 재료를 용이하게 제거할 수 있어, 양호한 화소 전극의 패터닝을 행할 수 있게 된다.

본 발명에서, 게이트 전극의 적어도 일부에, 상기 전극의 폭을 좁게 하여 이루어지는 수정 개소가 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 게이트 전극에는 화소의 결함 수정 시에 수정해야 할 개소로서 수정 개소가 형성되어 있다. 수정 개소의 폭은 게이트 전극의 폭보다도 좁기 때문에, 수정 개소는 용이하게 절단 가능하다. 이에 따라, 화소의 결함의 수정이 더욱 용이해진다.

본 발명에서, 층간 절연막은 게이트 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 게이트 전극의 일부의 위쪽에는, 화소 전극과 층간 절연막이 존재하지 않는다. 이에 따라, 게이트 전극의 일부 내의 수정 개소를 수정하는 경우, 층간 절연막의 파편에 수정 개소의 게이트 전극이 부착되는 일이 발생하지 않는다. 이 때문에, 절단부의 재리크가 발생하기 어렵다. 또한, 게이트 전극의 일부 위쪽에 층간 절연막이 존재하기 않기 때문에, 보다 낮은 전력의 레이저로 게이트 전극의 일부를 절단할 수 있다.

본 발명은, 서로 대향 배치된 한 쌍의 기판, 상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선, 보조 용량 형성용 보조 용량 배선 - 상기 데이터 신호 전송선, 상기 주사 신호 전송선 및 상기 보조 용량 배선은 서로 교차하도록 배치됨 -, 상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터, 상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및 상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 통해 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -을 포함하되,

상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 보조 용량 배선으로부터 분기되는 분기부의 일부의 위에 배치되는 액정 표시 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 보조 용량 배선으로부터 분기되는 분기부의 적어도 일부의 위쪽에는 화소 전극이 없다. 이에 따라, 화소의 결함 수정을 위해 보조 용량 배선의 분기부 내의 수정 개소를 수정한 경우, 화소 전극의 변형이 발생하지 않는다. 이 때문에, 화소 전극이 대향 전극이나 수정 개소의 단면 등과 접촉하는 2차 불량을 초래하지 않는다. 또한, 절연막의 파편에 화소 전극이 부착되지 않기 때문에, 대향 전극과 그 외의 전극과의 도통에 의한 불량을 일으키지 않는다.

보조 용량 배선의 분기부 위쪽에 화소 전극이 없기 때문에, 낮은 전력의 레이저로 분기부 내의 수정 개소의 절단을 행할 수 있다. 이에 따라, 수정 개소의 주변부의 구조가 파괴된다거나, 배향막이 흐트러져 액정의 배향이 흐트러지는 것 등에 기인하는 표시 불량이 생길 가능성이 낮아진다.

본 발명에서, 화소 전극은 보조 용량 배선의 분기부의 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 보조 용량 배선의 분기부의 일부의 위쪽에 화소 전극의 개구부가 위치하기 때문에, 화소 전극이 분기부에 부분적으로 중첩되어도, 화소의 결함 수정 시에 절단해야 할 분기부의 일부분의 위쪽에 화소 전극이 배치되는 것이 확실히 방지된다. 이에 따라, 화소 결함의 수정에 따른 2차 불량, 대향 전극과 그 외의 전극과의 원치않는 도통에 기인하는 화소의 불량 및 표시 불량이 확실히 방지된다.

본 발명에서, 화소 전극의 개구부는 상기 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 화소 전극에는, 보조 용량 배선의 분기부의 일부 위쪽에 대응하는 영역에 개구부가 형성됨과 함께, 개구부가 화소 전극의 외주에 접하여 형성되어 있다. 이에 따라, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역, 즉 원래 화소 전극이나 층간 절연막이 존재하지 않는 영역을 수정 개소 위쪽의 화소 전극 개구부의 일부로서 이용할 수 있다. 이에 따라, 화소 전극 면적의 저감을 억제할 수 있고, 최종 개구율을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 화소 전극을 형성 (패터닝)할 때에는, 인접하는 화소 전극 사이 등의 표시에 기여하지 않는 영역과 수정 개소 위쪽의 화소 전극의 개구부가 연속하여 형성되어 있기 때문에, 이들 영역의 화소 전극 재료를 용이하게 제거할 수 있고, 양호한 화소 전극의 패터닝을 행할 수 있게 된다.

본 발명에서, 층간 절연막은 보조 용량 배선의 분기부의 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 보조 용량 배선으로부터 분기한 분기부의 일부의 위쪽에는, 화소 전극과 층간 절연막이 존재하지 않는다. 이에 따라, 분기부 내의 수정 개소를 수정한 경우, 층간 절연막의 파편에 수정 개소의 분기부가 부착되는 일이 발생하지 않는다. 이 때문에, 절단부의 재리크가 발생하기 어렵다. 또한, 분기부의 일부의 위쪽에 층간 절연막이 존재하지 않기 때문에, 보다 낮은 전력의 레이저로 분기부를 절단할 수 있다.

본 발명은, 서로 대향 배치된 한 쌍의 기판, 상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -, 상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터, 상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및 상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 통해 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -을 포함하되,

상기 화소 전극은, 상기 화소 전극의 외주의 데이터 신호 전송선에 가장 근접하는 위치에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 화소 전극에는 개구부가 형성되어 있고, 개구부는 화소 전극의 데이터 신호 전송선에 가장 근접하는 위치의 외주에 접하고 있기 때문에, 데이터 신호 전송선 위쪽으로부터 화소 전극의 데이터 신호 전송선에 가장 근접하는 위치의 외주에 이르는 영역에 화소 전극이 존재하지 않는다. 이에 따라, 라인 결함이나 휘점 등의 결함 수정을 위해 데이터 신호 전송선을 절단하는 경우, 화소 전극의 변형이 발생하지 않는다. 따라서, 개구율을 향상시키면서, 화소 결함의 수정에 따른 2차 불량, 대향 전극과 그 외의 전극과의 원치않는 도통에 기인하는 화소의 불량 및 표시 불량이 확실히 방지된다.

본 발명에서, 화소 전극의 개구부는, 화소 전극의 최외측 주사 신호 전송선에 가장 근접하는 위치와 접촉하고, 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 데이터 신호 전송선 위쪽으로부터 화소 전극이 데이터 신호 전송선에 가장 근접하는 위치의 외주에 이르는 영역 뿐만 아니라, 드레인 전극의 적어도 일부의 위쪽에 대응하는 영역에도 화소 전극이 존재하지 않는다. 이 경우, 개구부는 데이터 신호 전송선의 수정 개소 위쪽의 개구부와 드레인 전극의 수정 개소 위쪽의 개구부를 겸하기 때문에, 액정 표시 장치의 개구율 저하가 더욱 억제된다.

본 발명은, 서로 대향 배치된 한 쌍의 기판, 상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층, 상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 전송선, 상기 하나의 기판 상에 배치된 스위칭 소자, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 스위칭 소자의 적어도 일부를 덮도록 형성된 층간 절연막, 및 상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극을 포함하되, 상기 스위칭 소자는 상기 데이터 신호 전송선과 상기 화소 전극간에 개재되고, 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 형성된 콘택트 홀을 통해 상기 스위칭 소자에 전기적으로 접속되며,

상기 화소 전극은, 상기 층간 절연막과 상기 하나의 기판간에 배치된 부품 내의 화소를 수정할 때, 수정 개소의 상측 영역 이외의 나머지 영역에 배치되는 액정 표시 장치를 제공한다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치에 있어서, 층간 절연막과 한 쪽 기판간의 부품 내의 수정 개소 위쪽에 대응하는 영역에화소 전극이 존재하지 않는다. 이에 따라, 레이저 조사로 수정 개소를 절단하는 경우에도, 화소 전극이 변형되지 않는다. 이 때문에, 화소 전극이 대향 전극이나 수정 개소의 절단면 등과 접촉하는 2차 불량을 초래하지 않는다. 또한, 층간 절연막의 파편에 도전성의 화소 전극이 부착되지 않기 때문에, 대향 전극과 그 외의 전극과의 도통에 의한 불량을 일으키지 않는다.

화소 전극이 없기 때문에, 낮은 전력의 레이저로 절단을 행할 수 있어, 주변부의 구조가 파괴된다거나, 배향막이 흐트러져, 액정의 배향이 흐트러지는 것 등에 기인하는 표시 불량이 생길 가능성이 낮아진다.

또한, 수정 개소의 상부에 화소 전극과 층간 절연막이 존재하지 않는 경우, 층간 절연막의 파편에 절단된 금속이 부착되는 일이 발생하지 않는다. 이 때문에, 절단 부분의 재리크가 발생하기 어렵다. 또한, 층간 절연막이 존재하지 않기 때문에, 보다 낮은 전력의 레이저로 부품의 수정 개소를 절단할 수 있다.

도 1은 실시예 1의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 확대 부분 단면도.

도 2는 도 1의 액정 표시 장치에 구비된 TFT(24)의 확대 단면도.

도 3은 도 1의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202)의 확대 평면도.

도 4는 도 1의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202), 화소 전극(235)의 확대 평면도.

도 5는 층간 절연막의 두께와 액정층의 두께가 비슷한 경우의 액정 표시 장치의 문제점을 나타낸 도면.

도 6은 드레인 전극(222)의 수정 개소(a, b) 상에 층간 절연막을 형성하지 않는 구성인 실시예 2의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 확대 단면도.

도 7은 실시예 3의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 단면도.

도 8은 실시예 3의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 드레인 전극(222), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202)의 확대 부분 평면도.

도 9는 도 7의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202), 화소 전극(235)의 확대 평면도.

도 10은 실시예 5의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 드레인 전극(222), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202)의 부분 확대 평면도.

도 11은 도 10의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 TFT(24), 데이터 신호 전송선(201), 주사 신호 전송선(202), 화소 전극(235)의 확대 평면도.

도 12는 본 발명의 실시예 6에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 확대 단면도.

도 13은 본 발명의 실시예 6에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역의 확대 평면도.

도 14는 본 발명의 실시예 1에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분의 드레인 전극의 평면도.

도 15는 결함 수정을 위한 화소 전극의 개구부의 사이즈를 설명하기 위한 액티브 매트릭스 기판의 일부분의 확대 평면도.

도 16은 본 발명의 비교예에서의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역의 평면도.

도 17은 본 발명에서 이웃하는 화소 전극을 분할하기 위한 영역에서 이물질에 의해 인접하는 화소 전극이 전기적으로 단락되는 경우를 나타낸 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도.

도 18은 본 발명에서 층간 절연막과 액정층의 두께가 비슷한 경우를 나타낸 확대 단면도.

도 19는 본 발명의 실시예 6에서의 액정 표시 장치를 나타낸 단면도.

도 20은 본 발명의 실시예 7에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분을 나타낸 평면도.

도 21a 및 도 21b는 주사 신호 전송선의 절단 분리에 관한 구성인 도 10에 도시한 액정 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판의 일부분을 도시한 도면.

도 22는 본 발명의 비교예인 도 16의 공정 단면도.

도 23은 본 발명의 실시예 6인 도 13의 공정 단면도.

도 24는 본 발명의 비교예인 도 16의 공정 단면도.

도 25는 본 발명의 실시예 6인 도 13의 공정 단면도.

도 26은 수정 개소가 없는 드레인 전극을 갖는 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역의 평면도.

도 27은 수정 개소가 없는 드레인 전극 및 부가 용량부를 갖는 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역의 평면도.

도 28a는 종래의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이고, 도 28b는 그의 단면도.

도 29a는 종래의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이고, 도 29b는 그의 단면도.

도 30은 종래의 액정 표시 장치에서의 레이저 조사 수정 상태를 나타낸 단면도.

도 31은 종래의 액정 표시 장치에서의 레이저 조사 수정 상태를 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

24 : TFT

201 : 데이터 신호 전송선

202 : 주사 신호 전송선

220 : 게이트 전극

221 : 소스 전극

222 : 드레인 전극

223 : 반도체층

224A, 224B : 콘택트층

226 : 콘택트 홀

234 : 층간 절연막

235 : 화소 전극

236 : 기판 (액티브 매트릭스 기판)

237 : 대향 기판

240 : 게이트 절연막

250 : 기판

251 : 투명 전극

252, 253 : 배향막

254 : 액정층

a, b : 수정 개소

c, d : 개구부

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

(실시예 1 : Cs on Gate/Normally black)

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 부분 확대 단면도이고, 도 2는 그 액정 표시 장치에 구비된 TFT의 단면도이며, 도 3은 도 1의 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 내의 TFT, 데이터 신호 전송선 및 주사 신호 전송선의 확대 평면도이고, 도 4는 도 3에 화소 전극을 추가하여 나타낸 확대 평면도이다. 도 1의 액정 표시 장치는 노멀리 블랙 모드로 동작하도록 되어 있다.

이 액정 표시 장치는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 액정층(254)이 개재되어 있는 1쌍의 기판(250과 230)을 포함한다. 기판들 중의 한 쪽의 기판 - 여기서는, 하부 기판(230) - 상에는 주사 신호 전송선(202; 도 3 참조), 및 그 주사 신호 전송선(202) 중의 대응하는 하나의 전송선으로부터 분기한 게이트 전극(220)이 설치되어 있다. 그 위에, 게이트 절연막(240)이 거의 기판 전면에 형성되어 있다. 게이트 절연막(240) 상에는 데이터 신호 전송선(201)이 또한 설치되어 있다. 주사 신호 전송선(202)의 길이 방향과 데이터 신호 전송선(201)의 길이 방향은, 하부 기판(230)의 법선 방향에서 볼 때, 교차하고 있다. 주사 신호 전송선(202)과 데이터 신호 전송선(201)의 교차부 근방에 TFT(24)가 설치되어 있다. TFT(24)는 게이트 전극(220), 소스 전극(221), 드레인 전극(222), 및 2개의 콘택트층(224A, 224B)을 포함한다. TFT(24)의 게이트 전극(220)에는 주사 신호 전송선(202)을 통해 게이트 신호가 주기적으로 인가된다. 복수 개의 각 주사 신호 전송선(202)에 게이트 신호가 전달되는 타이밍은 서로 다르다. 게이트 신호에 의해 TFT(24)가 구동 제어된다.

또한, 본 명세서에서, 첨부 도면의 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도에서는, 게이트 절연막(240) 및 후술하는 층간 절연막(234) 및 대향 기판의 기재를 생략하고 있다. 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도에 화소 전극(235)이 기재되어 있는 경우, 예를 들면 도 4에서는 화소 전극(235)을 사선으로 나타내고, 화소 전극(235)이 생략되어 있는 경우, 예를 들면 도 3에서는 드레인 전극(222)을 사선으로 나타내고 있다.

게이트 절연막(240) 상에서, TFT(24) 형성 부분에는 반도체층(223)이 설치되고, 그 위에 반도체층(223) 상에서 분리된 상태에서, 2개의 콘택트층(224A, 224B)이 형성되어 있다. 그 위에는, 한 쪽의 콘택트층(224A)에 일부를 중첩시켜 소스 전극(221)이 설치되고, 다른 쪽의 콘택트층(224B)에 일부를 중첩시켜 드레인 전극(222)이 설치되어 있다. 소스 전극(221)은 도 3에 나타낸 바와 같이 데이터 신호 전송선(201)으로부터 분기하여 설치되어 있다. 여기서, 드레인 전극(222)의 주사 신호 전송선(202) 측의 단부는, 주사 신호 전송선(202)과 드레인 전극(222) 사이에 게이트 절연막(240)이 존재하기 때문에, 주사 신호 전송선(202)에 중첩시키고 있다. 이 때, 드레인 전극(222)을 포함하는 TFT(24)가 접속되는 주사 신호 전송선(202)보다 하나 이전의 타이밍에 게이트 신호를 전송하기 위한 주사 신호 전송선(202)과의 중첩 부분에 보조 용량부가 형성되어 있다. 이 보조 용량부는, 소위 "Cs on-gate/normally black"의 구조로 되어 있다. 한편, 드레인 전극(222)의 데이터 신호 전송선(201) 측의 단부는, 데이터 신호 전송선(201)과 동일 공정에서 동일 높이 레벨로 드레인 전극(222)이 형성되지만, 단락 방지를 위해 데이터 신호 전송선(201)과 간격을 두어 이격시키고 있다.

이상과 같이 배치된 부품 상에, 거의 기판 전면에 층간 절연막(234)이 형성되고, 이 층간 절연막(234)에서의 드레인 전극(222)의 상부 위치에 콘택트 홀(226)이 설치되어 있다. 층간 절연막(234) 상에는, 화소 전극(235)이 설치되고, 이 화소 전극(235)의 일부는 콘택트 홀(226)에 충전되어, 드레인 전극(222)과 전기적으로 접속되어 있다. 화소 전극(235)의 형성 영역을 도 4에서 사선으로 나타낸다. 이와 같이 배치된 부품 상에, 배향막(253)이 형성되어 있다.

도 1의 액정 표시 장치에서, 상기한 부품들이 장착되어 있는 하나의 기판(230)을 본 발명이 속하는 분야에서 액티브 매트릭스 기판(236)이라 칭하고 있다. 또한, 도 1은 액정 표시 장치의 1 화소 분의 부분 및 그 주변부를 나타내고 있다. 도 3 및 도 4는 액정 표시 장치의 한 쪽 기판(230)의 1 화소 분의 영역을 나타내고 있다. 도 4에 나타낸 영역 내의 모든 부품의 배치를 1 단위로 하여, 모든 부품이 한 쪽 기판(230) 상에 반복 형성되어, 액티브 매트릭스 기판(236)이 제조된다.

액정층(254)이 개재된 다른 쪽 (도면 상측)의 기판(250)에는, 예를 들면 ITO(indium-tin-oxide)로 이루어진 대향 전극으로서의 투명 전극(251)이 설치되고, 그 위에는 배향막(252)이 설치되어 있다. 도 1의 액정 표시 장치 내에서, 다른 쪽 기판(250) 및 그 다른 쪽 기판 상의 모든 부품(251, 252)으로 구성되는 부분은 대향 기판(237)이라 칭하고 있다. 액티브 매트릭스 기판(236) 및 대향 기판(237)은 배향막(253, 252)이 액정층(254)에 가장 근접하도록 배치되어 있다.

드레인 전극(222)은 도 3에 나타낸 평면 형상으로 형성되어 있다. 즉, 드레인 전극(222)은 그 외주로부터 내부로 연결되는 오목부(222A)를 갖는다. 오목부(222A)가 설치되어 있기 때문에, 드레인 전극(222)은 1개의 도전로를 구성한다. 본 명세서에서는, 드레인 전극(222)의 콘택트층(224B)과 중첩되는 단부측을 도전로의 상류, 드레인 전극(222)의 주사 신호 전송선(202)과 중첩되는 단부측을 도전로의 하류로 하고 있다. 1개의 도전로를 구성하는 드레인 전극(222)의 도중에, 상기 콘택트 홀(226)이 위치해 있어, 이 콘택트 홀(226)을 통해 화소 전극(235)과 드레인 전극(222)의 전기적 접속이 행해진다. 여기서, 그 전기적 접속이 행해지는 부분을 전기적 접속부 D라 한다. 드레인 전극(222)에는, 전기적 접속부 D의 TFT(24) 측의 도전로 상류측과 전기적 접속부 D의 하류측에 수정 개소(a, b)가 형성되어 있다. 또한, 수정 개소의 수는 도전로 상류측과 하류측에 각각 1개 이상 또는 복수 개 설치해도 된다. 실시예 1에서, 수정 개소는 드레인 전극의 잘록한 부분이며, 드레인 전극의 수정 개소(a, b)의 폭은 드레인 전극의 수정 개소 이외의 개소의 폭보다 좁게 되어 있다.

수정 개소는, 화소 결함의 수정을 위해 층간 절연막(234)과 한 쪽 기판(230)간의 부품을 수정할 때에 처리 대상이 되는 개소이다. 수정 개소는 드레인 전극(222)의 전기적 접속부 D의 상류측 및 하류측 중 적어도 한 쪽에 형성될 수 있다. 이후의 설명은, 드레인 전극(222)의 전기적 접속부 D의 상류측 및 하류측 양쪽에 수정 개소가 설치되어 있는 예로 되어 있다. 드레인 전극(222)의 전기적 접속부 D의 상류측 및 하류측 중 어느 한 쪽에만 수정 개소가 형성되어 있는 경우, 어느 한 쪽만의 수정 개소에 관련하는 구성만이 액정 표시 장치에 설치된다.

화소 전극(235)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 드레인 전극(222)의 수정 개소(a, b)의 상측에 놓이는 화소 전극(235)의 부분에, 수정 개소(a, b)와 거의 같은 면적의 홀 또는 절결부(cutaway)인 개구부(c, d)를 갖도록 형성되어 있다. 설계상, 개구부(c, d)는 아래의 수정 개소(a, b)와 거의 같은 면적이면 되지만, 제조에 있어서는 마진을 갖기 때문에, 수정 개소(a, b)보다는 큰 면적이다.

이와 같이 드레인 전극(222)에 2 개의 수정 개소(a, b)가 형성되어 있기 때문에, 테스트/검사 공정에서 액정 표시 장치에 결함이 발견되어도, 이하의 표 1에 나타낸 바와 같은 결함 수정이 가능해진다.

실시예 1의 액정 표시 장치는, 노멀리 블랙 모드이기 때문에, 표 1의 노멀리 블랙 란에 나타낸 바와 같이, 적당한 수정을 행한다.

각 결함 장소에 의한 결함 수정 방법
표시 모드	결함의 장소	수정 내용
노멀리 블랙	TFT부	A점	a 절단
	화소 전극	B점	a 절단
	하류측	C점	b 절단
	TFT부 ＋ 하류측	A점 ＋ C점	a 절단 ＋ b 절단
	화소 전극 ＋ 하류측	B점 ＋ C점	(한 쪽의 화소의) a 절단 ＋b 절단
	TFT부 ＋ 화소 전극	A점 ＋ B점	(한 쪽의 화소의) a 절단
노멀리 화이트	TFT부	A점	하기 수정 방법 #1
	화소 전극	B점	(한 쪽의 화소의) a 절단
	하류측	C점	b 절단 ＋ 수정 방법 #1
	TFT부 ＋ 하류측	A점 ＋ C점	b 절단 ＋ 수정 방법 #1
	화소 전극 ＋ 하류측	B점 ＋ C점	(한 쪽의 화소의) a 절단 ＋ b 절단
	TFT부 ＋ 화소 전극	A점 ＋ B점	(한 쪽의 화소의) a 절단

[수정 방법 #1]

· TFT부가 주사 신호 전송선 상에 형성되어 있지 않을 때, TFT부의 게이트 전극을 주사 신호 전송선으로부터 절단 분리하고, 분리된 게이트 전극을 통해 소스 전극과 드레인 전극을 단락시킨다.

· TFT부가 주사 신호 전송선 상에 형성되어 있을 때, 공통 브랜치를 공통라인으로부터 절단 분리하고, 분리된 공통 브랜치를 통해 소스 전극과 드레인 전극을 단락시킨다.

[결함의 장소]

A점 : 게이트 전극과 드레인 전극이 단락

B점 : 화소 전극과 이웃의 화소 전극이 단락

C점 : 드레인 전극과 주사 신호 전송선 (또는 공통 라인)이 단락

도 3에 도시된 바와 같이, TFT(24)의 A점에서 게이트 전극(220)과 드레인 전극(222)이 단락되어, TFT(24)가 정상 동작하지 않게 된 경우, 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다. 이에 따라, 화소 전극(235)이 드레인 전극(222)으로부터 절단 분리되어 전기적 부유 상태로 되기 때문에, 그 화소 전극(235)을 포함하는 결함 화소는 턴 오프되어 "비구동(undriven)" 셀이 되어, 결함이 눈에 띄지 않게 할 수 있다.

전기적 접속부 D의 도전로 하류측의 C점에서 드레인 전극(222)과 주사 신호 전송선(202)이 전기적으로 단락되어 있는 경우에는, 하류측의 수정 개소(b)를 절단한다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, B점에서 화소 전극(235)과 이웃의 화소 전극(235)이 단락되어 있는 경우에는, 양쪽의 화소 전극(235)에 각각 접속되는 드레인 전극(222)의 수정 개소(a)를 절단한다. TFT(24)의 A점과 하류측의 C점이 함께 단락되어 있는 경우, 또한 A점과 B점과 C점이 전부 단락되어 있는 경우에는, 상류측 및 하류측의 수정 개소(a, b) 양쪽을 절단한다.

이와 같이 테스트/검사 공정에서 발견된 결함은 상류측 수정 개소(a) 또는하류측 수정 개소(b)를 레이저 조사하여 절단함으로써 용이하게 수정 또는 치유할 수 있기 때문에, 이와 같이 수정된 액정 표시 장치의 화면 상에, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 화소는 표시되지 않는다. 이에 따라, 액정 표시 장치의 양산 효율 및 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 층간 절연막(234)의 두께와 액정층(254)의 두께가 비슷한 경우, 수정 개소의 층간 절연막(234)의 파편에 수정 개소의 드레인 전극(222)이 부착된 것이, 액정층(254)으로 튀어나가기 어렵기 때문에, 절단부에 남게 되고, 진동이나 가압에 의해 원래 위치로 돌아가, 절단 개소의 재리크를 일으킬 가능성이 있다.

이러한 방식에서, 층간 절연막(234)의 두께와 액정층(254)의 두께가 비슷한 구성의 액정 표시 장치에서도 수정할 수 있도록 하기 위해, 드레인 전극(222)의 수정 개소(a, b)와 화소 전극(235)의 개구부(c, d) 사이에 놓이는 특정 부분에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 층간 절연막(234)을 형성하지 않는다. 드레인 전극(222)의 수정 개소(a, b) 위에는 배향막(253)과 액정층(254)이 퇴적되어 있다. 따라서, 층간 절연막이 존재하지 않으므로, 전력이 보다 낮은 레이저로 절단할 수 있다. 수정 방법은, 표 1의 설명과 동일하다. 다음에 설명하는 실시예 2 내지 실시예 5의 경우에 대해서도, 드레인 전극(222)의 수정 개소와 화소 전극(235)의 개구부에 끼워진 부분에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(234)이 형성되어 있지 않아도 된다. 도 4에서는, 층간 절연막(234)이 형성되지 않은 영역, 즉 층간 절연막(234)의 홀을 파선으로 도시한다. 층간 절연막(234)이 형성되지 않은 영역을 비형성 영역이라 한다.

단, 설계상, 층간 절연막을 형성하지 않는 경우에도, 제조상에서는 얇게 층간 절연막이 남는 경우가 있다. 이러한 경우, 층간 절연막이 충분히 얇기 때문에, 상기와 마찬가지의 효과가 있다. 또한, 그 외의 절단 수정을 행하는 부분에 대해서도, 화소 전극을 형성하지 않고, 층간 절연막은 형성하고 있어도 되지만, 형성하지 않는 편이 바람직하다. 이러한 구성에서도, 상기와 마찬가지의 효과가 있다.

(실시예 2: Cs on Gate/Normally white)

실시예 2는 실시예 1의 액정 표시 장치가 노멀리 화이트의 표시 모드의 구성으로 되어 있는 경우이다. 도 3 및 도 4는 실시예 1의 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도이지만, 실시예 2에서의 액정 표시 장치의 구성은, 표시 모드가 노멀리 화이트 모드이며, 게이트 전극의 일부와 중첩되는 비형성 영역(e)을 가지며, 게이트 전극의 상부의 상측에는, 층간 절연막이 형성되어 있지 않은 구성 이외에는, 실시예 1과 동일하다. 화소 전극(235)의 개구부와 중첩되는 비형성 영역과 마찬가지로, 게이트 전극(220) 상측의 비형성 영역(e)에도, 층간 절연막(234)이 형성되어 있어도 되지만, 형성되지 않는 편이 바람직하다. 도 3, 도 4를 참조하여 설명한다.

이 노멀리 화이트 모드의 액정 표시 장치의 수정을, 상기한 표 1에 기초하여 설명한다. 테스트/검사 공정에서 발견된 결함이, 도 3의 TFT(24)의 A점에서의 게이트 전극(220)과 드레인 전극(222)간의 전기적 단락인 경우에는, 일본 특허 공보 평3-55985호에 개시된 수정 방법, 즉 게이트 전극(220)을 주사 신호 전송선(202)으로부터 분리하고, 소스 전극(221)과 드레인 전극(222)을 전기적으로 단락시키는 방법으로 수정을 행한다. 표 1의 수정 방법 ①의 경우이다. 이에 의해, 화소 전극(235)은 항상 데이터 신호의 평균적인 전압이 인가되므로, 주위에 대해 결함 화소 전극이 눈에 띄지 않게 된다.

전기적 접속부 D의 도전로 하류측의 C점에서 드레인 전극(222)과 주사 신호 전송선(202)이 단락된 경우는, 하류측의 수정 개소(b)를 절단하고, 또한 수정 방법 ①의 수정 방법을 행한다. 이에 의해, 주사 신호 전송선(202)으로부터 화소 전극(235)을 분리할 수 있으며, 데이터 신호의 평균적인 전압이 인가되게 되므로, 주위에 대해, 결함 화소 전극이 눈에 띄지 않게 된다. 또한, TFT(24)의 A점과 하류측의 C점이 모두 단락되어 있는 경우, 하류측의 수정 개소(b)를 절단하고, 또한 수정 방법 ①의 수정 방법을 행한다. 또한, 도 4에 도시한 바와 같이, B점에서 화소 전극(235)과 이웃의 화소 전극(235)이 단락되어 있는 경우는, 한 쪽의 화소 전극(235)에 접속된 드레인 전극의 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다. 상류측의 B점과 하류측의 C점이 모두 단락되어 있는 경우, 상류측 및 하류측의 수정 개소(a, b)를 절단한다.

이와 같이 수정함으로써, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않고, 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시킬 수 있다.

(실시예 3: Cs on Common / Normally black)

상기의 실시예 1, 2에서는 보조 용량을 하나 이전의 주사 신호 전송선 상에형성하고 있는 "Cs on Gate" 구조인 것에 반해, 실시예 3은 주사 신호 전송선과는 별도로 공통 라인을 형성하고, 그 위에 보조 용량을 형성하는 경우이다.

제3 실시예의 액정 표시 장치의 구성 중의 도 7 내지 도 9에 도시한 액티브 매트릭스 기판의 구성 이외의 구성은 제1 실시예와 동일하다. 또, 본 명세서에서는, 이후의 액정 표시 장치의 설명에서, 앞서 설명한 실시예의 액정 표시 장치 내의 부품과 동일한 작용 효과를 갖는 부품이 후술할 실시예의 액정 표시 장치에 포함되는 경우, 그 부품에는 전술한 실시예와 동일한 참조 부호를 부여하고, 설명은 생략한다.

도 8은 1 화소 분의 TFT, 드레인 전극, 데이터 신호 전송선, 및 주사 신호 전송선을 도시한 평면도, 도 9는 화소 전극을 부가하여 도시한 평면도이다. 도 7은 제3 실시예의 액정 표시 장치의 단면도이다. 실시예 3에서는, 주사 신호 전송선(202)과는 별도로 보조 용량용 공통 라인(300)을 드레인 전극(222)과 대향하도록 형성하여, 이른바 "Cs on Common" 구조로 되어 있다. 실시예 3의 드레인 전극(222)에서, 하류측의 수정 개소(b)는 전기적 접속부 D와 보조 용량용 공통 라인(300)간에 배치된다. 그 외의 구조는 실시예 1과 동일하다.

이와 같이, 드레인 전극(222)이 형성되어 있으므로, 테스트/검사 공정에서 액정 표시 장치에 결함이 발견되어도, 이하와 같은 결함 수정이 가능해진다. 실시예 3의 액정 표시 장치는 노멀리 블랙 모드이므로, 표 1의 노멀리 블랙란에 도시한 바와 같이, 결함 장소에 따른 수정을 행한다.

도 7에 도시한 바와 같이, TFT(24)의 A점에서 게이트 전극(220)과 드레인 전극(222)이 전기적으로 단락되어, TFT(24)가 정상 동작하지 않게 된 경우, 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다. 이에 의해, 화소 전극(235)이 드레인 전극(222)으로부터 분리되어, 전기적 부유 상태가 되어, 비점등 화소가 됨으로써, 표시 화면 상에서 결함이 눈에 띄지 않게 할 수 있다.

전기적 접속부 D의 도전로 하류측의 C점에서, 드레인 전극(222)과 공통 라인(300)이 단락되어 있는 경우는, 하류측의 수정 개소(b)를 절단한다. 또한, 도 8에 도시한 바와 같이, B점에서 화소 전극(235)과 이웃의 화소 전극(235)이 단락되어 있는 경우, 양측의 화소 전극에 접속되는 드레인 전극(222)의 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다. TFT(24)의 A점과 하류측의 C점이 함께 단락되어 있는 경우, 그리고 A점과 B점과 C점이 전부 단락되어 있는 경우에는, 상류측 및 하류측의 수정 개소(a, b)의 양측을 절단한다.

이와 같이, 검사 공정에서 발견된 결함은, 상류측의 수정 개소(a) 또는 하류측의 수정 개소(b)를 레이저 조사하여 절단함으로써 용이하게 수정할 수 있으므로, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않고, 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시킬 수 있었다.

(실시예 4: Cs on Common / Normally white)

실시예 4의 액정 표시 장치는, 노멀리 화이트 모드의 "Cs on Common"이며, 표 1을 참조하여 수정 방법을 설명한다. 표시가 노멀리 화이트 모드인 점 이외에는, 실시예 4의 액정 표시 장치의 구성은 실시예 3과 동일하며, 도 7, 도 8을 참조하여 설명한다.

테스트/검사 공정에서 발견된 결함이, 도 7의 TFT(24)의 A점에서의 게이트 전극(220)과 드레인 전극(222)간의 전기적 단락인 경우에는, 일본 특허 공보 평3-55985호에 개시된 수정 방법, 즉, 비형성 영역(e)에서, 게이트 전극(220)을 주사 신호 전송선(202)으로부터 분리하고, 소스 전극(221)과 드레인 전극(222)을 전기적으로 단락시키는 방법으로 수정을 행한다. 표 1의 수정 방법 ①의 경우이다. 이에 의해, 화소 전극(235)에 항상 데이터 신호의 평균적인 전압이 인가되므로, 주위에 대해 결함 화소 전극이 눈에 띄지 않게 된다.

전기적 접속부 D의 도전로 하류측의 C점에서 드레인 전극(222)과 공통 라인(300)이 전기적으로 단락된 경우는, 하류측의 수정 개소(b)를 절단하고, 또한 수정 방법 ①의 수정 방법을 행한다. 이에 의해, 공통 라인(300)으로부터 화소 전극(235)을 분리할 수 있어, 화소 전극에 항상 데이터 신호의 평균적인 전압이 인가되므로, 주위에 대해 결함 화소 전극이 눈에 띄지 않게 된다.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, B점에서 화소 전극(235)과 이웃의 화소 전극(235)이 단락되어 있는 경우는, 한 쪽의 화소 전극에 접속되는 드레인 전극(222)의 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다.

또한, TFT(24)의 A점과 하류측의 C점이 함께 단락되어 있는 경우, 하류측의 수정 개소(b)를 절단하고, 또한 수정 방법 ①의 수정 방법을 행한다. 상류측의 B점과 하류측의 C점이 함께 단락되어 있는 경우, 상류측 및 하류측의 수정 개소(a, b)를 절단한다.

이와 같이 수정함으로써, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않아, 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시킬 수 있다.

(실시예 5: Cs on Common/Normally white)

실시예 5의 액정 표시 장치는, 노멀리 화이트 모드의 "Cs on Common"이며, 도 10, 도 11, 표 1을 참조하여 수정 방법을 설명한다.

실시예 5의 액정 표시 장치의 구성 중의 도 10, 도 11에서 설명하는 액티브 매트릭스 기판의 구성 이외의 구성은 실시예 3과 동일하다.

실시예 5에서는 개구율을 향상시키기 위해, TFT(24)를 주사 신호 전송선(202) 상에 형성하고 있다. 즉, "TFT on Gate" 구조로 되어 있다. 공통 라인(300)으로부터 공통 브랜치(301)가 분기되어 있고, 데이터 신호 전송선(201)으로부터 데이터 브랜치(2011)가 분기되어 있다. 공통 브랜치(301)에 대해 데이터 브랜치(2011) 및 드레인 전극(222)은 게이트 절연막(240)을 개재하여 중첩되어 있다. 상기 구조와 표시가 노멀리 화이트 모드인 점 이외에는, 그 구성은 실시예 3과 동일하다.

화소 전극(235)은 상기 공통 브랜치(301)의 공통 라인(300)측의 단부의 상측의 위치에, 홀 또는 절결부인 개구부(f)를 갖도록 형성되어 있다. 층간 절연막(234)은 공통 브랜치 상의 개구부(f)의 바로 아래에 있으며 비형성부(f)와 거의 동일 면적의 비형성 영역(g)에 홀 또는 절결부를 갖도록 형성되어 있다. 공통 브랜치 상의 비형성 영역(g)에는, 수정 개소(a, b) 상의 비형성 영역과 마찬가지로 층간 절연막(234)이 형성되어 있어도 되지만, 형성되지 않는 편이 바람직하다. 상기 구조는 수정 개소(a, b)를 분리하여도 수정에 사용할 수 있도록, 전기적접속부 D에 가능한 가깝게 설치하는 편이 좋다.

이와 같이, 액정 표시 장치가 형성되어 있으므로, 테스트/검사 공정에서 결함이 발견되어도, 이하와 같은 결함 수정이 가능해진다.

테스트/검사 공정에서 발견된 결함이 도 10의 TFT(24)의 A점에서 게이트 전극(220)과 드레인 전극(222)간의 전기적 단락으로 인한 경우에는, 일본 특허 공보 평3-55985호에 개시된 수정 방법, 즉 공통 브랜치 상의 개구부(f) 및 비형성 영역(g)의 바로 아래에서, 공통 브랜치(301)를 공통 라인(300)으로부터 분리하고, 데이터 신호 전송선(201)과 분리된 공통 브랜치(301)를 단락시키고, 드레인 전극(222)과 분리된 공통 브랜치(301)를 단락시키는 방법으로 수정을 행한다. 표 1의 수정 방법 ①의 경우이다. 이에 의해, 화소 전극(235)에는 항상 데이터 신호의 평균적인 전압이 인가되므로, 주위에 대해 결함 화소 전극이 눈에 띄지 않게 된다.

이와 같이, 검사 공정에서 발견된 결함은, 공통 브랜치(301)를 사용하여 수정할 수 있어, 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 12는 본 발명의 실시예 6에 따른 액정 표시 장치의 1 화소 분의 영역 및 그 주위의 부분 확대 단면도이다. 도 13은 본 발명의 실시예 6에 따른 액정 표시 장치의 1 화소의 영역의 확대 부분 평면도이다. 도 14는 도 13의 액티브 매트릭스 기판으로부터 화소 전극을 제외한 상태를 설명하기 위한 액티브 매트릭스 기판의 1 화소 분의 영역의 부분 확대 평면도이다.

본 실시예 6에서의 액정 표시 장치는, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이,액정층(1)을 개재하여 한 쌍의 기판(2, 3)이 설치되어 있다. 그리고, 한 쪽의 기판 - 여기서는, 하부 기판(3) - 상에는, 주사 신호 전송선(4)과, 그 주사 신호 전송선(4)으로부터 분기한 게이트 전극(5)이 설치되어 있으며, 그 위에, 게이트 절연막(6)이 거의 기판(3)의 전면에 형성되어 있다.

또한, 게이트 절연막(6) 상의 TFT(7) 형성 부분에는, 반도체층(8)이 설치되며, 그 위에는 반도체층(8) 상에 2 개로 분단된 상태의 콘택트층(9A, 9B)이 형성되어 있다. 그리고, 그 위에는, 한 쪽의 콘택트층(9A)에 일부를 중첩시켜 소스 전극(10)이 설치됨과 함께, 다른 쪽의 콘택트층(9B)에 일부를 중첩시켜 드레인 전극(11)이 설치되어 있다.

이 소스 전극(10)은, 도 14에 도시한 바와 같이, 데이터 신호 전송선(12)으로부터 분기하여 설치되어 있으며, 드레인 전극(11)은 액정 표시 장치 완성 후에 화소 전극의 TFT(7)가 접속되어 있는 단부와는 반대측의 단부의 근방의 주사 신호 전송선(4)과 게이트 절연막(6)을 통해 중첩되어 있다. 그리고, 드레인 전극(11)과, 반대측의 단부의 근방의 주사 신호 전송선(4), 즉 하나 이전에 게이트 신호를 보내기 위한 주사 신호 전송선(4)의 중첩 부분에 보조 용량부(17)가 형성되어 있다. 이 보조 용량부(17)는, 이른바 "Cs on Gate"의 구조로 되어 있다. 한편, 드레인 전극(11)과 데이터 신호 전송선(12)은, 동일 공정에 의해 동일한 높이 레벨로 양자가 형성되므로, 단락 방지를 위해 격리시켜 형성되어 있다.

이 상태에서, 거의 기판(3) 전면에 층간 절연막(13)이 형성되며, 이 층간 절연막(13)에서의 드레인 전극(11)의 상부에, 콘택트 홀(14)이 설치되어 있다. 그리고, 층간 절연막(13) 상에는, 도 1에 도시한 바와 같은 반사 전극 재료로 이루어지는 화소 전극(15)이 설치되며, 이 화소 전극(15)의 일부는, 콘택트 홀(14)에 충전됨으로써 드레인 전극(11)과 전기적으로 접속되어 있다. 최후로, 화소 전극(15)을 포함하는 기판(3) 상에 배향막(16)을 형성하여 본 실시예 6에서의 액티브 매트릭스 기판이 완성된다.

도 13은, 액정 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판의 1 화소 분의 영역의 부품 배치를 도시한 것이며, 이러한 배치를 1 단위로 하여 한 쪽 기판 상에 부품을 반복하여 형성함으로써, 액티브 매트릭스 기판이 제작된다. 또한, 하부 기판(3)과의 사이에 액정층(1)이 끼워진 도면 중 상측의 기판(2)에는, 예를 들면 ITO로 이루어지는 대향 전극(18)으로서의 투명 전극이 설치되며, 그 위에는 배향막(19)이 설치되어, 대향 기판이 구성된다. 그리고, 이들 양 기판(2, 3)간에 액정층(1)을 개재하여 액정 표시 장치가 완성된다.

여기서, 상술한 본 실시예 6에서의 액정 표시 장치의 드레인 전극(11)에 대해, 도 14의 평면도를 참조하여 설명한다. 이 드레인 전극(11)은 도 14에 도시한 바와 같이, 오목부(11A)가 형성되어 있으므로, 일체의 도전로를 구성한다. 드레인 전극(11)의 도중에, 콘택트 홀(14)이 위치하고 있으며, 이 콘택트 홀(14)을 통해 드레인 전극(11)은 화소 전극(15)과 전기적으로 접속되어 있다. 이 콘택트 홀(14)에 의해 전기적 접속이 행해지는 부분을 전기적 접속부 D라 한다. 실시예 6에서는, 이 전기적 접속부 D의 TFT(7)측의 도전로 [드레인 전극(11)] 상류측과, 전기적 접속부 D의 도전로 [드레인 전극(11)] 하류측에, 각각 드레인 전극(11)의 폭을 좁게 하여 이루어지는 수정 개소(a, b)를 구비하도록, 드레인 전극(11)을 구성하였다. 또, 이 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)의 수는, 도전로 상류측과 하류측에 각각 1개 또는 복수 개 설치하도록 해도 좋다.

또한, 이 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)의 상층에 존재하는 반사 전극 재료로 이루어지는 화소 전극(15)의 영역에는, 이 수정 개소(a, b)와 거의 동일 면적의 개구부(c, d)가 형성되어 있다. 설계상, 이 개구부(c, d)는 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)와 거의 동일 면적이면 되지만, 실제의 면적에 있어서는 여러 가지의 마진을 취하기 때문에, 수정 개소(a, b)보다 큰 면적으로 형성해 둘 필요가 있다.

여기서, 이러한 여러 가지의 마진으로는, TFT 패턴의 중합 마진, 레이저 쇼트에 의한 수정 위치 정합 마진, 수정 개소의 비산 영역 마진, 확실한 수정을 행하기 위한 레이저 쇼트 전력 마진, 레이저 쇼트 영역 마진 등의 각종 위치 정합 마진을 고려할 수 있다. 이들을 고려하면, 예를 들면, 드레인 전극(11)의 수정 개소(b)의 폭 방향의 폭 WH는 수정 개소(b)의 선 폭 WB보다 약 1∼30 ㎛ 정도 넓게 하는 것이 바람직하다. 물론, 모든 마진을 무시할 수 있는 경우에는, 개구부(d)의 폭과 드레인 전극(11)의 수정 개소 (b)의 선 폭을 동일하게 하여도 지장은 없으며, 또한 드레인 전극(11)의 수정 개소(b)의 선 폭은, 드레인 전극(11)의 상류측의 부분과 하류측의 부분이 수정 개소(b)를 통해 전기적으로 도통하고 있으므로, 기계적으로 액정 패널의 프로세스에서 절단되지 않을 정도의 선 폭이 있으면 된다. 또한, 본 실시예 1에서는, 개구부(d)를 드레인 전극(11)의 수정 개소(b)의 선 폭보다10 ㎛ 정도 크게 하여 형성하였다.

또한, 드레인 전극(11)의 수정 개소(b)에 대한 비화소 전극 형성부 (개구부)(d)의 수정 개소(b)의 폭 방향으로 수직인 방향의 폭 WV에 대해서는, 레이저의 조사 면적과 조사 전력에 의존하게 된다. 레이저의 위치 정합 정밀도와 드레인 전극(11)의 비산 등을 고려하면, 5∼50 ㎛ 정도이면 좋다. 물론, 이 때에도 모든 마진을 무시할 수 있는 경우에는, 개구부(d)의 수직측의 폭 WV을 레이저의 조사폭과 동일하게 하여도 상관없고, 또한, 개구부(d)의 형상에 대해서도, 정사각형이어도 직사각형이어도 그 이외의 형상이어도 좋다. 이러한 점에서, 본 실시예 6에서는, 개구부의 크기 (WH×WV)를 40 ㎛×30 ㎛의 직사각형으로 하였다.

여기서, 상술한 본 실시예 6에서의 액정 표시 장치의 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)에 대해 설명한다. 도 16은 본 발명의 비교예로서의 액정 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판의 1 화소 분의 영역의 평면도를 도시한다. 비교예에서는, 도 16에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(11)의 수정 개소(b)가 화소 전극(15)의 중앙 부근에 존재하고 있다. 이 비교예와 같이, 드레인 전극(11)의 수정 개소가 화소 전극(15)의 중앙 부근에 존재하면, 드레인 전극(11)의 수정 개소보다 큰 개구부가 100% 화소 전극(15)으로부터 삭제되어 버리게 되므로, 액정 표시 장치로서의 개구율이 대폭 저하되고 만다.

그래서, 본 실시예 6에서는, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)를 형성할 때에, 화소 전극의 개구부(c, d)가 화소 전극(15)의 외주에 접하도록 배치 형성하였다. 이에 의해, 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)보다 큰 개구부(c, d)의 일부가 서로 이웃하는 화소 전극(15)을 분할하기 때문에, 화소 전극이 형성되어 있지 않은 영역 (이하 "화소 분할 영역"이라 함)에 중첩하여 형성되게 되어, 이 중첩된 분만큼 개구율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 되고 있다. 또한, 본 실시예 6에서는, 화소 전극 개구부와 화소 분할 영역을 약 50% 중첩시킴으로써, 개구율의 저하를 억제하였다.

이와 같이, 본 발명의 실시예 6에서의 액정 표시 장치의 드레인 전극(11)에는 수정 개소(a, b)가 형성되어 있으므로, 검사 공정에서 액정 표시 장치의 결함이 발견되어도, 이하와 같이 하여 결함을 수정할 수 있게 된다. 또한, 본 실시예 6에서의 액정 표시 장치는, 노멀리 블랙 모드이므로, 표 1의 노멀리 블랙란에 도시한 바와 같이, 결함 장소에 따른 수정을 행한다.

우선, 도 14에 도시한 바와 같이, TFT(7)의 A점에서 게이트 전극(5)과 드레인 전극(11)이 단락되어, TFT(7)가 정상 동작하지 않게 된 경우에는, 드레인 전극(11)의 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다. 이에 의해, 화소 전극(15)이 드레인 전극(11)으로부터 분리되어 부유 상태가 되며, 비구동 화소가 되어 결함을 눈에 띄지 않게 할 수 있다.

마찬가지로, 보조 용량부(17)의 C점에서 드레인 전극(11)과 주사 신호 전송선(4)이 단락된 경우에는, 드레인 전극(11)의 하류측의 수정 개소(b)를 절단한다. 또한, 서로 이웃하는 화소 전극(15)을 분할하는 영역의 B점에서 이물질 등에 의해 화소 전극(15)과 이웃의 화소 전극(15)이 단락된 경우에는, 화소 전극(15)과 이웃의 화소 전극(15)의 양측의 드레인 전극(11)의 상류측의 수정 개소(a)를 절단한다.그리고, 상술한 TFT(7)의 A점과 보조 용량부(17)의 C점이 함께 단락된 경우, 상술한 A점과 B점과 C점이 전부 단락된 경우 등에는, 드레인 전극(11)의 상류측 및 하류측의 수정 개소(a, b)의 양쪽을 절단한다.

이와 같이, 본 실시예 6에서는, 검사 공정에서 발견된 결함을 드레인 전극(11)의 상류측의 수정 개소(a) 또는 하류측의 수정 개소(b)를 레이저 조사하여 절단함으로써 수정할 수 있으므로, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않으며, 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시키는 것이 가능해지고 있다.

여기서, 도 18은 본 실시예 6에서의 액정 표시 장치의 결함 수정 개소를 도시한 단면도이다. 도 18에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(13)의 두께와 액정층(1)의 두께가 근사한 경우에는, 수정 개소의 드레인 전극(11)이 부착된 층간 절연막(13)의 파편이, 액정층(1)에 분출되기 어렵기 때문에 절단부, 즉 결함 수정 개소에 머물게 되며, 진동이나 가압에 의해 원래의 위치로 되돌아오게 되어, 절단 부분의 재리크를 초래할 가능성을 갖고 있다.

이와 같이, 층간 절연막(13)의 두께와 액정층(1)의 두께가 근사한 구성의 액정 표시 장치의 경우에도 결함을 수정할 수 있도록 하기 위하여, 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)와, 화소 전극(15)의 개구부(c, d)에 끼워진 영역에는, 도 19에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(13)을 형성하지 않는 것이 바람직하다. 도 19에 도시한 구성의 액정 표시 장치에서는, 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)의 영역 위에는, 배향막(16), 액정층(1)이 적층되어 있다.

이러한 구성의 액정 표시 장치에서는, 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)의 영역 위에 층간 절연막(13)이 존재하고 있지 않으므로, 보다 낮은 전력의 레이저로 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)를 절단하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 결함 수정 방법에 대해서는, 상술한 바와 마찬가지이다.

또한, 설계상으로는 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b)의 영역 위에 층간 절연막(13)을 형성하지 않는 경우에도, 제조상으로는 얇게 층간 절연막(13)이 남게 되는 경우가 있다. 그러나, 이러한 경우에도, 층간 절연막(13)의 막 두께가 충분히 두꺼우므로, 상술한 구성의 액정 표시 장치와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예 6에서는, 액정 표시 장치로서 반사 전극 재료로 이루어지는 화소 전극을 갖는 반사형 액정 표시 장치를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 반사형 액정 표시 장치에 한정되지 않는다.

본 실시예 7에서는, 도 20을 참조하면서, 주사 신호 전송선(4)으로부터 분기한 게이트 전극(5)의 일부에 형성된 수정 개소에 대해 설명한다. 실시예 7에서, 수정 개소는 게이트 전극의 잘록한 부분이며, 게이트 전극의 수정 개소의 폭은 게이트 전극의 다른 개소 폭보다 좁다.

일반적으로, 게이트 전극(5)이 주사 신호 전송선(4)으로부터 분기한 형상의 TFF(7)를 구성하는 투과형 액정 표시 장치에서는, 투명 전극 재료를 이용하지 않는 게이트 전극(5) 분기부나 드레인 전극(11) 및 소스 전극(10)이 배치된 영역이 광을 투과하지 않는 영역이 되기 때문에, 투명 화소 전극(15)을 형성하는 일은 없다. 그러나, 반사형 액정 표시 장치에서는, 패널 전면으로부터의 외광을 이용하여 표시를 행하기 때문에, TFT(7)의 상부 영역에까지 반사 화소 전극(15)을 형성하는 것이 가능하게 되어 있다.

그 때문에, 도 20에 도시한 게이트 전극(5)의 수정 개소를 반사형 액정 표시 장치의 결함 수정을 위해 절단하는 경우에는, 상술한 실시예 6과 마찬가지로, 화소 전극(15)에 개구부를 형성해 둘 필요가 있다. 그리고, 게이트 전극(5)의 수정 개소가 형성되어 있을 때에, 게이트 전극의 수정 개소 상측에, 화소 전극의 개구부를 화소 전극(15)의 외주에 접하도록 배치 형성한다. 이에 의해, 게이트 전극(5)의 수정 개소보다 큰 개구부의 일부가 서로 이웃하는 화소 전극(15)을 분할하기 위한 화소 분할 영역에 중첩하여 형성되게 되며, 이 중첩된 분 만큼 개구율의 저하를 억제할 수 있게 되어 있다. 또한, 본 실시예 7에서는, 화소 전극의 개구부와 화소 분할 영역을 약 60% 중첩시킴으로써, 개구율의 저하를 억제할 수 있게 되었다.

상술한 실시예 1 내지 7에서는, 결함 수정 개소인 드레인 전극(11)의 수정 개소(a, b), 게이트 전극의 수정 개소, 공통 라인의 일부의 상층에 존재하는 화소 전극(15)의 영역에, 이 결함 수정 개소와 거의 동일 면적의 개구부를 형성하고, 이에 의해, 검사 공정에서 발견된 결함을 결함 수정 개소에 레이저 조사하여 절단함으로써 수정할 수 있어, 표시 특정에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않아, 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시키는 것을 설명하였다.

본 실시예 8에서는, 도 21을 참조하면서, 액정 표시 장치의 결함을 수정하기 위해, 데이터 신호 전송선(12)을 절단하는 경우에 대해 설명한다. 실시예 8의 액정 표시 장치의 구성 중의 도 21a, 도 21b에서 설명하는 화소 전극의 구성 이외의구성은, 실시예 1 내지 7의 어느 하나와 동일하다.

결함 수정을 위해 데이터 신호 전송선(12)을 절단하는 경우도, 상술한 실시예 6과 마찬가지로, 결함 수정 개소인 데이터 신호 전송선(12)의 선 폭과 동일한 정도의 크기의 비화소 전극 형성부를 형성해 둘 필요가 있다. 따라서, 도 21a에 도시한 바와 같이, 데이터 신호 전송선(12)을 개재하여 인접하는 화소 전극(15)의 외주 부분에는, 각각 오목 형상의 개구부(20)가 대향하여 형성되어 있다. 이에 의해, 상술한 실시예 6과 마찬가지로, 검사 공정에서 발견된 결함을 데이터 신호 전송선(12)에 레이저 조사하여 절단함으로써 수정할 수 있어, 표시 특성에 라인 결함이나 휘점 등의 악영향을 미치는 것은 표시되지 않아, 액정 표시 장치의 양산 효율을 향상시킬 수 있게 되어 있다.

또한, 본 실시예 8에서는, 도 21b에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(11)의 결함 수정 개소의 상층에 존재하는 개구부(20)를 화소 전극(15)의 외주 부분에 형성함으로써 개구율의 저하를 억제하고, 아울러, 개구부(20)를 화소 전극(15)의 외주 부분에 형성함으로써, 상술한 데이터 신호 전송선(12)의 결함 수정 개소의 상층에 존재하는 개구부(20)를 겸하는 것도 가능하다. 본 실시예 8에서는, 이러한 구성으로 함으로써, 드레인 전극 상측 및 데이터 신호 전송선 상측의 개구부가 독립하여 각각 설치되어 있는 경우와 비교하여 약 30%의 개구율 저하를 억제하는 것이 가능하게 되었다. 데이터 신호 전송선 상측에 있는 화소 전극 개구부는, 드레인 전극 상측에 있는 화소 전극 개구부를 겸하고 있는 구성으로 한정되지 않고, 게이트 전극 상측에 있는 화소 전극 개구부, 또는 공통 브랜치 상측에 있는 화소 전극개구부를 겸하고 있어도 된다.

도 22 내지 도 25를 참조하면서, 액정 표시 장치에서의 반사 전극의 패터닝에 대해 설명한다.

도 22는 상술한 실시예 6에서 설명한 비교예의 액정 표시 장치 액티브 매트릭스 기판의 제조 도중의 상태를 도시한 부분 확대 단면도이다. 도 22에 도시한 바와 같이, 비교예에서는, 기판(3) 전면에 반사 전극 재료로 이루어지는 박막(15A)이 형성된 후, 박막(15A)을 패터닝하기 위해, 포토레지스트(21) (예를 들면, OFPR800)이 약 1.0 ㎛의 막 두께로 스핀 코트법에 의해 도포되어, 소정의 포토 마스크(22)를 사용하여 노광 처리가 실시된다.

여기서, 도 22에 도시된 바와 같이, 도면 중의 W1의 레지스트 막 두께를 갖는 영역은, 서로 이웃하는 화소 전극(15)을 분할하는 영역인 화소 분할 영역이 되고 있으며, 도면 중의 W2의 레지스터 막 두께를 갖는 영역은, 결함 수정을 위한 화소 전극의 개구부가 되고 있으며, 이들 양쪽의 영역 모두 박막(15)을 제거하는 영역이 되고 있다.

이 비교예와 같이, 결함 수정을 위한 개구부가 독립하여 화소 전극(15)의 중앙부에 존재하면, 기판(3) 위에는 층간 절연막(13)이 존재하지 않는 영역을 평탄화하도록 레지스트가 도포되기 때문에, 결함 수정을 위한 개구부의 레지스트의 막 두께 W2가, 화소 분할 영역의 레지스트의 막 두께 W1보다 두꺼운 막으로 되고 만다.

즉, 화소 분할 영역의 레지스트의 막 두께 W1에 노광 조건을 맞추면, 막 두께 W2가 막 두께 W1보다 두껍기 때문에, 결함 수정을 위한 개구부에는, 현상 시에레지스트가 남게 되어, 화소 전극(15)의 에칭 불량이 발생하게 된다.

반대로, 결함 수정을 위한 개구부의 막 두께 W2로 노광 조건을 맞추면, 막 두께 W1이 막 두께 W2보다 얇기 때문에 화소 분할 영역에는, 화소 전극(15)의 분할 영역이 오버 노광이 되어, 원하는 화소 전극 폭을 얻을 수 없게 되어 개구율이 저하된다.

이 비교예와 같이, 화소 전극의 개구부가 독립하여 화소 전극(15)의 중앙부에 존재하게 되면, 화소 전극(15)의 노광 조건이 결정되기 어려워, 화소 전극(15)의 패터닝에 대단히 불리한 구조가 되고 만다.

도 23은, 상술한 실시예 6에서 설명한 액정 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판의 제조 도중의 상태를 도시한 단면도이다. 도 23에 도시한 바와 같이, 본 구성에서도 마찬가지로, 기판(3) 전면에 반사 전극 재료로 이루어지는 박막(15A)이 형성된 후, 박막(15A)을 패터닝하기 위한 포토레지스트(21) (예를 들면, OFPR800)가 약 1.0 ㎛의 막 두께로 스핀 코트법에 의해 도포되어, 소정의 포토마스크(22)를 이용하여 노광 처리가 실시된다.

여기서, 도 23에 도시한 바와 같이, 도면 중의 W3의 레지스트 막 두께를 갖는 영역은, 서로 이웃하는 화소 전극(15)을 분할하는 영역인 화소 분할 영역이 되고 있으며, 도면 중의 W4의 레지스트 막 두께를 갖는 영역은, 결함 수정을 위한 개구부가 되어 있으며, 이들 양쪽의 영역 모두 박막(15A)을 제거하는 영역으로 되어 있다.

이 도 23에 도시한 본 실시예 6의 액정 표시 장치의 구성과 도 22에 도시한비교예의 액정 표시 장치의 구성을 비교하면, 결함 수정을 위한 개구부와 화소 분할 영역이 연속하여 구성되어 있다는 점이 크게 다르다. 따라서, 도 23에 도시한 본 실시예 6의 구성에서는, 결함 수정을 위한 개구부의 레지스트의 막 두께 W4와 화소 분할 영역의 레지스터의 막 두께 W3의 차가, 도 22에 도시한 비교예의 구성과 비교하여 작아지며, 이에 의해, 화소 분할 영역과 결함 수정을 위한 개구부에서, 레지스트를 노광하기 위한 조건을 용이하게 도출할 수 있게 되며, 화소 전극(15)의 패터닝에 대단히 유리한 구조가 되고 있다.

그리고, 도 24 및 도 25에 도시한 바와 같이, 화소 분할 영역과 결함 수정을 위한 개구부에서, 기재의 막 두께의 상태가 다르다고 해도, 양자가 연속하여 구성되어 있으므로, 레지스트 막 두께가 얇은 쪽에 노광 조건을 맞춤으로써, 패터닝은 양호하게 행해진다.

이것은, 레지스트를 현상하는 공정 시에는, 통상, 현상 공정에서 현상액에 의해 행해지기 때문에, 등방적으로 현상되어 가는 것이 일반적이지만, 도 22에 도시한 바와 같이, 결함 수정을 위한 비화소 전극 형성부가 독립하여 화소 전극(15) 내에 존재하고 있는 경우에는, 도 24에 도시한 바와 같이, 주로 상 방향으로부터의 현상 효과밖에 기대할 수 없어, 레지스트의 막 잔여물이 생기고 만다.

도 25는 상술한 본 실시예 6에서의 레지스트를 현상하는 공정을 도시한 단면도이다. 상술한 바와 같이, 레지스트를 현상하는 공정 시에는, 통상, 현상 공정에서 현상액에 의해 행해지기 때문에, 등방적으로 현상되어 가는 것이 일반적이며, 도 23에 도시한 바와 같이, 화소 분할 영역과 결함 수정을 위한 개구부가 연속하여구성되어 있는 경우에는, 도 25에 도시한 바와 같이, 상방향으로부터의 현상 효과만이 아니라 횡방향으로의 현상 효과도 기대할 수 있으며, 레지스트막 두께가 얇은 영역이어도 양호하게 패터닝하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 이러한 도 22 내지 도 25에서 설명한 현상은, 레지스트의 현상 공정 뿐만 아니라 반사 전극 재료의 습식 에칭 공정 등에서도 마찬가지의 작용을 얻을 수 있다.

이상 설명한 실시예 1 내지 8에서는, 드레인 전극은, 화소 전극의 크기 및 형상에 가깝도록, 비교적 크게 형성되어 있다. 이것은, 화소 전극이 배치된 영역 내에 층간 절연막으로서 형성되는 수지막의 형성 프로세스에서, 드레인 전극과 화소 전극의 크기 및 형상으로 기인하는 영향, 예를 들면 수지막의 밀착성, 열전도성 및 수지막에 대한 광의 조사량 등을, 영역 내에서 균일하게 하기 때문이다. 이와 같이, 크게 형성된 드레인 전극을 레이저광을 사용하여 수정하기 위해서는, 수정 시에 절단해야할 위치인 수정 개소의 전극 형상을, 드레인 전극의 다른 부분보다 미세하게 해 두는 것이 바람직하다. 이에 의해, 드레인 전극의 수정 개소의 절단이 용이해진다. 또한, 게이트 전극의 수정 개소에 대해서도, 수정 개소의 전극 형상을 잘록한 부분으로 형성해 둠으로써, 게이트 전극의 수정 개소의 절단이 용이해진다. 또한, 드레인 전극 및 게이트 전극의 형상은, 상술한 바와 같은 형상에 한정되지 않고, 임의의 형상으로 되어 있어도 좋다.

예를 들면, 본 발명의 액정 표시 장치가 부가 용량부를 갖지 않는 경우, 도26에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(11)은, 화소 전극(15)과 콘택트 홀(14)을 통해 접속가능하면, 화소 전극(15)보다 충분히 작아도 된다. 또한, 예를 들면, 본 발명의 액정 표시 장치가 부가 용량부를 갖는 경우, 도 27에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(11)은, 화소 전극(15)과 콘택트 홀(14)을 통해 접속가능하며, 또한 부가 용량부의 한 쪽의 전극을 겸하는 것이 가능한 형상 및 크기이면, 화소 전극(15)보다 충분히 작은 형상으로 되어 있어도 된다.

도 26 및 도 27의 경우, 드레인 전극의 TFT(7) 측의 단부와 콘택트 홀의 사이의 부분이 절단 대상이 되는 수정 개소(11A)가 되며, 드레인 전극(11)의 수정 개소(11A)의 상측에 상당하는 화소 전극(15) 내의 영역에는, 개구부(15A)가 설치되어 있다. 이 경우, 드레인 전극(11)의 수정 개소(11A)의 폭은, 드레인 전극(11)의 다른 부분의 폭과 동일한 폭으로 되어 있어도 된다. 즉, 드레인 전극(11)의 수정 개소(11A)에는 잘록한 부분이 없어도 된다. 또한, 층간 절연막(13)의 드레인 전극(11)의 수정 개소(11A)의 상측에 위치하는 영역에도, 개구부가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 드레인 전극과 마찬가지로, 게이트 전극에서도, 수정 부분에 잘록한 부분이 없어도 된다. 이상 설명한 바와 같이, 수정 개소가 없는 드레인 전극(11) 및 게이트 전극(5), 및 화소 전극(15)과 형상 및 크기가 크게 다른 드레인 전극 중의 어느 하나인가를 액정 표시 장치가 갖고 있는 경우, 그 액정 표시 장치의 전극의 수정 개소의 상측에 상당하는 화소 전극(15)의 일부분에는, 개구부가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명은 그 정신 또는 주요한 특징으로부터 벗어나지 않고, 다른 여러 가지 형태로 실시할 수 있다. 따라서, 전술한 실시예는, 모든 점에서 단지 예시적일 뿐이며, 본 발명의 범위는 특허 청구 범위에 기재된 바와 같으며, 명세서 본문에는 전혀 구속되지 않는다.

그리고, 특허 청구 범위의 균등 범위에 속하는 변형이나 변경은 모두 본 발명의 범위 내에 포함된다.

Claims (17)

1. 액정 표시 장치에 있어서,

   서로 대향 배치된 한 쌍의 기판,

   상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층,

   상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선,

   상기 기판들 중 상기 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -,

   상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터,

   상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및

   상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -

   을 포함하되,

   상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 드레인 전극의 적어도 일부의 위에 배치되고,

   상기 화소 전극은 상기 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
2. 삭제
3. 제2항에 있어서, 상기 화소 전극의 개구부는 상기 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 액정 표시 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 드레인 전극의 적어도 일부에, 상기 전극의 폭을 좁게 하여 이루어지는 수정 개소(a to-be-corrected portion)가 형성되는 액정 표시 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 층간 절연막은 상기 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
6. 액정 표시 장치에 있어서,

   서로 대향 배치된 한 쌍의 기판,

   상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층,

   상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선,

   상기 기판들 중 상기 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -,

   상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터,

   상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및

   상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -

   을 포함하되,

   상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 게이트 전극의 적어도 일부의 위에 배치되고,

   상기 화소 전극은 상기 게이트 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
7. 삭제
8. 제7항에 있어서, 상기 화소 전극의 개구부는 상기 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 액정 표시 장치.
9. 제6항에 있어서, 상기 게이트 전극의 적어도 일부에, 상기 전극의 폭을 좁게 하여 이루어지는 수정 개소가 형성되는 액정 표시 장치.
10. 제6항에 있어서, 상기 층간 절연막은 상기 게이트 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
11. 액정 표시 장치에 있어서,

    서로 대향 배치된 한 쌍의 기판,

    상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층,

    상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선,

    상기 기판들 중 상기 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선,

    보조 용량 형성용 보조 용량 배선 - 상기 데이터 신호 전송선, 상기 주사 신호 전송선 및 상기 보조 용량 배선은 서로 교차하도록 배치됨 -,

    상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터,

    상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및

    상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -

    을 포함하되,

    상기 층간 절연막 및 액정층은 상기 보조 용량 배선으로부터 분기되는 분기부의 일부의 위에 배치되고,

    상기 화소 전극은 상기 보조 용량 배선의 분기부의 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
12. 삭제
13. 제12항에 있어서, 상기 화소 전극의 개구부는 상기 화소 전극의 외주와 접촉하도록 형성되는 액정 표시 장치.
14. 제11항에 있어서, 상기 층간 절연막은 상기 보조 용량 배선의 분기부의 일부의 상측 영역에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
15. 액정 표시 장치에 있어서,

    서로 대향 배치된 한 쌍의 기판,

    상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층,

    상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 공급용 데이터 신호 전송선,

    상기 기판들 중 상기 하나의 기판 상에 배치된 타이밍 신호 공급용 주사 신호 전송선 - 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선은 서로 교차하도록 배치됨 -,

    상기 주사 신호 전송선으로부터 분기되는 게이트 전극을 포함하며, 상기 데이터 신호 전송선 및 상기 주사 신호 전송선에 전기적으로 접속되는 박막 트랜지스터,

    상기 데이터 신호 전송선과 상기 주사 신호 전송선 및 트랜지스터의 일부를 덮도록 배치된 층간 절연막, 및

    상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극 - 상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 제공되는 콘택트 홀을 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속됨 -

    을 포함하되,

    상기 화소 전극은, 상기 화소 전극의 외주의 상기 데이터 신호 전송선에 가장 근접하는 위치에 형성된 개구부를 갖는 액정 표시 장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 화소 전극의 개구부는, 상기 화소 전극이 최외측 주사 신호 전송선에 가장 근접하는 위치와 접촉하고, 상기 드레인 전극의 적어도 일부의 상측 영역에 형성되는 액정 표시 장치.
17. 액정 표시 장치에 있어서,

    서로 대향 배치된 한 쌍의 기판,

    상기 한 쌍의 기판들간에 개재된 액정층,

    상기 기판들 중 하나의 기판 상에 배치된 데이터 신호 전송선,

    상기 하나의 기판 상에 배치된 스위칭 소자,

    상기 데이터 신호 전송선 및 상기 스위칭 소자의 적어도 일부를 덮도록 형성된 층간 절연막, 및

    상기 층간 절연막 상에 배치된 화소 전극

    을 포함하되,

    상기 스위칭 소자는 상기 데이터 신호 전송선과 상기 화소 전극간에 개재되고,

    상기 화소 전극은 상기 층간 절연막에 형성된 콘택트 홀을 개재해서 상기 스위칭 소자에 전기적으로 접속되며,

    상기 화소 전극은, 상기 층간 절연막과 상기 하나의 기판간에 배치된 부품 내의 화소를 수정할 때, 수정 개소의 상측 영역 이외의 나머지 영역에 배치되는 액정 표시 장치.