KR100293893B1 - 이방성전도테이프의접착장치및방법 - Google Patents

Abstract

기판(4)상에 이방성 전도 테이프(2)를 접착하는 본 발명의 장치는 대향면 중 하나에 접착된 임의 길이의 이방성 전도 테이프(2)를 가지는 임의 길이의 리더 테이프(1)를 공급하는 테이프 공급장치(21), 이송방향(M)으로 공급된 상기 리더 테이프(1)를 이송하는 테이프 이송장치(22), 소정의 길이의 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)를 제공하도록 상기 이방성 전도 테이프(2)만을 절단하는 절단장치(23), 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)가 접착되는 기판을 위치결정하는 기판위치 결정장치(10) 및 기판(4)쪽으로 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)를 가압하여 상기 세그먼트를 기판에 접착시키는 압착부(19)를 구비하고 있다. 절단장치(23)는 상기 이방성 전도 테이프(2)의 길이와 상기 접착 테이프의 길이에 각각의 절단면을 형성하고, 이 절단면사이에 끼워진 한 조각의 전도 테이프(2)를 제거하며, 상기 이방성 전도 테이프의 길이를 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)와 나머지 이방성 전도 테이프로 분할하는 분리공간(95)을 남기는 두 개의 절단날(93,94)을 포함한다.

Description

이방성 전도 테이프의 접착장치 및 방법

이방성 전도 테이프를 이용하여 액정 패널과 같은 기판의 한 개 이상의 전극에 테이프 캐리어 패키지(tape carrier package)(TCP)와 같은 전자 부품부를 고정하는 것이 최근의 경향이다. 일반적으로, 상기 이방성 전도 테이프는 보강 테이프(backing tape)[리더 테이프(leader tape) 또는 분리 테이프(separator tape)라고 함]의 반대면 중 일면에 접착되어 보강 테이프와 함께 공급 릴(supply reel)주위에 감긴다. 상기 기판에 전자부품부를 설치할 때, 상기 보강 테이프와 함께 이방성 전도 테이프는 기판상의 작업장소에 연속적으로 위치되는 바람직한 길이의 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하기 위해 이방성 전도 테이프의 길이가 절단되는 절단 장소 쪽으로 공급릴로부터 당겨진다. 이렇게 기판에 위치한 이방성 전도 테이프 세그먼트는 테이프 세그먼트를 기판에 접착하기 위해 가압공구에 의해 기판에 단단히 가압된다. 기판에 테이프 세그먼트를 접착한 후, 보강 테이프의 길이는 테이프 세그먼트에서 벗겨진다.

이방성 전도 테이프의 길이를 절단하여 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하는 2가지 방법이 현재 이용되고 있는데, 이 방법에 대하여는 지금부터 제36도, 제37도 및 제38도 내지 제40도를 참조로 설명할 것이다.

선행기술의 테이프 절단방법중 한가지 방법을 도시한 제36도를 참조하면, 이송방향(M)으로 공급된 이방성 전도 테이프(1)의 길이가 리더 테이프(1)의 길이와 함께 절단부에 도달하면, 일반적으로, V자 단면은 상기 이방성 전도 테이프(1)의 선단에서 떨어진 위치에서 절단날(cutter blade)(3)에 의해 리더 테이프(2)의 길이가 아닌 필요한 길이로 선택된 거리로 형성됨으로써, 리더 테이프의 길이로 접착된 나머지 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공한다. 이 방법은 제37도를 참조로 설명될 문제점을 가지고 있다.

제37도에 도시된 바와 같이, 리더 테이프(1)의 길이로 접착된 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이에 연속된 이방성 전도 테이프 세그먼트가 가압공구(5)에 의해 가압될 때, 이송방향(M)에 대하여 위쪽방향으로 절단면의 위치에 대하여 가압공구(5)의 가능한 가로방향 변위는 이방성 전도 테이프가 기판에 가압되게 할 뿐 아니라 이방성 전도 테이프 세그먼트와 주변 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단이 동일한 기판에 대하여 가압되게 한다 따라서, 제36도와 제37도에 도시된 선행기술의 방법은 리더 테이프(1)의 길이가 공급되는 공급 정확성 및 가압공구(5)가 기판에 위치되는 위치 정확성을 엄격히 감독해야 한다.

나머지 선행기술의 절단방법은 제38도 내지 제40도에 도시되는데, 소위 연소기술(burn-out technique)은 연소공구(6)를 이용하여 이방성 전도 테이프(2)의 일부분을 태워서 이방성 전도 테이프의 길이를 이방성 전도 테이프 세그먼트와 나머지 이방성 전도 테이프의 길이로 분할하는 분할공간을 제공하는데 적용된다. 특히, 절단장소에서, 부스러기 제거 테이프(7)는 리더 테이프(1)의 길이에 의해 운반된 이방성 전도 테이프(2)의 길이 아래의 쿠션 지지대(cushioning support)(8)에 지지되어 있다. 제39도에 도시된 바와 같이, 고온으로 가열된 연소 공구(6)는 쿠션 지지대(8)에 남아있는 부스러기 제거 테이프(7)에 대하여 리더 테이프(1)의 해당부분을 통해 이방성 전도 테이프(2)의 일부분을 아래쪽으로 눌러, 상기 이방성 전도 테이프(2)의 일부분을 태워서 부스러기 제거 테이프(7)에 의해 제거된 연소 부스러기(제40도의 2a로 도시)로 분할 공간을 제공함으로써, 상기 이방성 전토 테이프 세그먼트가 남는다.

선행기술의 연소기술이 갖는 문제점은 제40도에 (2b)로 도시된 이방성 전도 테이프 세그먼트의 주변 단 및 나머지 이방성 전도 테이프의 길이가 연소 공구(6)에 의해 전달된 상승온도의 영향을 받아 특성에 변화가 생김으로 인해, 이방성 전도 테이프 세그먼트를 연속적으로 접착하는 공정동안 기판에 만족스럽게 접착되지 않는 점이다. 또한, 주변 테이프단(2b)이 제40도에 파선으로 지시된 바와 같이 부스러기 제거 테이프(7)에 부착될 수 있고, 이것이 발생하자마자, 상기 이방성 전도 테이프 세그먼트는 기판에 완벽하게 부착되지 않을 수 있다.

위에서 설명한 바와 같이, 선행기술의 테이프 접착장치는 이방성 전도 테이프의 길이를 절단하는 것이 불안정할 뿐 아니라 이방성 전도 테이프 세그먼트의 완벽한 접착을 기판에 제공할 수 없다.

1994년 1월 14일에 공개된 일본 공개 특허 공보 제 6-3690호 및 제 6-6019호는 이송 테이프 또는 리더 테이프에 의해 보강된 이방성 전도 테이프의 일부분이 이방성 전도 테이프의 절단면을 형성함으로써 제거되고, 그 절단면사이의 경계에 이방성 전도 테이프의 조각이 접착 테이프의 길이에 부착될 수 있게 제거하여 액정패널과 같은 기판상에 균일하게 설치되는 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하는 장치를 개시하고 있다. 일본 공개번호 제 6-3690에 따르면, 접착 테이프의 길이는 2개의 절단날사이의 공간내에서 이동하기 위하여 이방성 전도 테이프의 이송방향과 일치하는 방향으로 한 개의 릴로부터 다른 릴로 이송된다. 다른 한편, 일본 공개번호 제 6-6019호는 이방성 전도 테이프의 이송방향에 관하여 절단기의 아래쪽에 위치된 절단기를 개시하고 있다.

공간 절단면의 형성에 관하여, 일본 공개특허는 공개번호 제 6-3690호가 제거될 이방성 전도 테이프의 일부분의 길이와 같은 거리만큼 떨어진 2개의 절단날을 구비한 절단기를 이용하는 반면, 공개번호 제 6-6019호가 2개의 절단면을 연속적으로 형성하기 위하여 반복하여 구동되는 한 개의 절단날만을 구비하는 절단기를 이용한다는 점에서 그 차이점이 있다. 상기 이방성 전도 테이프의 소정의 폭에 대하여, 상기 공개공보중 한 개의 공보에 개시된 절단장치는 매우 바람직하다. 그러나, 폭이 다른 이방성 전도 테이프를 적용할 때, 상기 이방성 전도 테이프의 폭에 해당하는 폭의 다른 접착 테이프로 그 접착 테이프를 대체해야 할 필요성이 있다. 이것은 접착 테이프가 이방성 전도 테이프의 이송방향과 일치하는 방향으로 이송되기 때문이다.

따라서, 본 발명의 목적은 기판에 이방성 전도 테이프를 접착하는 개량된 장치 및 방법을 제공하는 것인데, 이러한 장치 및 방법은 이방성 전도 테이프의 길이를 만족스럽고 원활하게 절단할 수 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 이방성 전도 테이프를 기판에 접착하는 장치를 제공하는데, 이러한 장치는 이방성 전기 전도 테이프의 길이가 접착되는 일면을 가진 리더 테이프의 길이를 한 이송방향으로 제공하는 테이프 공급장치, 상기 리더 테이프 제공장치로부터 제공된 리더 테이프의 길이를 이송방향으로 이송하는 테이프 이송장치, 상기 이송방향에 대해 소정의 길이의 전도 테이프 세그먼트를 제공하기 위해 이방성 전도 테이프의 길이만을 절단하는 테이프 절단장치, 이방성 전도 테이프 세그먼트가 접착되는 기판의 위치를 결정하는 기판 위치 결정장치 및 이방성 전도 테이프 세그먼트를 가압하여 이를 기판에 접착시키는 테이프가압장치를 구비한다. 이 장치의 특징은 테이프 절단장치가 이송방향과 일치하는 방향으로 일정한 거리만큼 서로 떨어져 있는 2개의 절단면을 이방성 전도 테이프의 길이에 형성하여 이 절단면사이의 공간의 거리와 같은 필요한 길이의 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하는 절단면 형성수단 및 떨어져 있는 2 개의 절단면 사이에 접착된 이방성 전도 테이프의 조각을 제거하는 제거수단을 포함하는 것이다.

바람직하게, 상기 절단면 형성부재는 이방성 전도 테이프의 길이에 각각의 절단면을 형성하기 위해 필요한 길이와 같은 거리만큼 서로 떨어져 있는 2개의 절단날을 구비하고 있다.

본 발명에 따라, 절단면 형성부재는 이방성 전도 테이프의 길이로 2개의 절단면을 포함하는데, 이 절단면은 이송방향과 일치하는 방향으로 소정의 거리만큼 떨어져 있다. 이렇게 격리된 절단면 사이에 접착된 이방성 전도 테이프의 조각은 제거수단에 의해 제거됨으로써 이방성 전도 테이프의 나머지 길이의 아래 일측에 이방성 전도 테이프 세그먼트가 남는다. 그 결과로 인한 이방성 전도 테이프의 나머지 길이와 함께 리더 테이프의 길이에 부착한 이방성 전도 테이프 세그먼트는 기판에 접착된다.

따라서, 리더 테이프의 길이가 공급되는 공급 정밀도가 매우 높지 않을 지라도, 이방성 전도 테이프의 조각을 제거함으로써 이방성 전도 테이프의 길이에 남겨진 분리공간은 이방성 전도 테이프의 나머지 길이의 선단이 이방성 전도 테이프 세그먼트와 함께 기판에 대해 가압되어 기판에 접착될 가능성을 피하여 기판에 이방성 전도 테이프를 평활하고 만족스럽게 접착할 수 있다. 또한 본 발명의 실시예는 가열하지 않기 때문에, 이방성 전도 테이프의 주변 단 및 이방성 전도 테이프의 나머지 길이는 특성이 변할 가능성이 없다.

본 발명은 기판에 이방성 전기전도(electroconductive:이하 간단히 “전도(또는 도전)”라 함) 테이프를 접착하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

제2도는 본 발명에 따른 테이프 접착장치의 개략적인 사시도.

제2도는 테이프 접착장치에 이용되는 기판 위치 결정장치 및 테이프 압착부의 확대 사시도.

제3도는 제2도에 도시된 테이프 도포기 및 기판 위치 결정장치의 개략적인 사시도.

제4도는 테이프 접착장치에 적용된 척(chuck)의 확대 사시도.

제5도 내지 제8도는 다른 작동위치에서 척의 개략적인 정면 확대도.

제9도는 본 발명의 테이프 접착장치에 대한 개략적인 정면 확대도.

제10도는 본 발명의 테이프 접착장치에 적용된 리더 테이프 권취장치(take-up unit)의 개략적인 단면도.

제12도 내지 제17도는 다른 작동위치에 유지된 테이프 절단장치에 의한 절단 동작 순서를 나타낸 테이프 절단장치에 관하여 도시된 흡착블록의 개략적인 단면도.

제18도는 본 발명의 테이프 접착장치에 이용되는 제어시스템의 블록도.

제19도 내지 제35도는 다른 작동위치에 유지된 여러 부품을 장착한 본 발명의 테이프 접착장치의 동작 순서를 도시한 개략도.

제36도는 이방성 전도 테이프의 길이가 선행기술의 방법중 한가지 방법에 따라 절단되는 방법을 도시하는 계략도.

제37도는 제36도에 도시된 방법으로 이방성 전도 테이프의 길이로부터 절단된 이방성 전도 테이프 세그먼트가 선행방법에 따라 기판에 접착되는 방법을 도시한 개략도.

제38도 내지 제40도는 부스러기 제거 테이프에 대하여 가압되어 선행기술의 방법중 다른 방법에 따른 연소방법을 이용하여 절단되는 이방성 전도 테이프의 길이를 제공하는 방법을 도시하는 계략도.

제1도 내지 제4도에 도시된 테이프 접착장치는 기판(4)의 위치를 결정하는 기판 위치 결정장치(10)를 포함하는 기계 작업대(9)를 구비하고 있다. 상기 기판 위치 결정장치(10)는 화살표(X)로 도시한 방향으로 X-모터(12)에 의해 구동되는 X-테이블(11), 상기 X-테이블(11)에 장착되어 화살표(Y)로 도시된 방향으로 Y-모터(14)에 의해 구동되며, 상기 방향(X)에 직각인 구동되는 Y-테이블(13) 및 상기 Y-테이블(13)상에 설치되어 수평방향으로 기판(4)을 회전시키는 θ -테이블(15)을 구비하고 있다. 기계 작업대(9)는 기판 위치 결정장치(10)의 각 측면이 위치될 핸들러(16, 17)를 운반하고 아래에 설명되는 바와 같이 이방성 전도 테이프(2) 길이의 이송 방향(M)에 실제로 평행하게 연장하기 위해서 단단히 장착된 직립 지지대(upright support bed)(9a)를 구비한다. 또한, 기계 작업대(9)에는 기판 위치 결정장치(10)를 겹치게하기 위해서 복수의 컬럼 또는 적절한 지지 다리에 의해 장착된 상부 이송판(carrier plate)(18)이 설치되어 있다. 후술될 테이프 압착부(19)는 하부로부터 상부 이송판(18)에 고정된 프레임(20)에 의해 기판 위치 결정 장치(10)상에 지지된다.

또한, 본 장치는 이방성 전도 테이프(2)의 길이의 이송방향(M)에 대해 위쪽에서 아래쪽으로, 이방성 전도 테이프(2)가 접착된 리더테이프(1)의 길이가 공급되는 테이프 공급장치(21), 후술될 이방성 전도 테이프(2)의 길이에 가로방향의 분리공간을 연속적으로 형성하여 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하는 테이프 절단장치(23), 후술될 이방성 전도 테이프 세그먼트의 일단을 검출하는 높이 측정 센서형의 테이프단 검출수단(26), 소정의 이송통로를 따라 이송방향(M)으로 리더 테이프(1)를 이송하는 테이프 이송장치(22) 및 리더 테이프(1)의 길이를 리더 테이프 회수상자(25)에 넣는 권취장치(take-up unit;24)를 구비한다.

제2도 및 제3도에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(20)은 역 L자 형상과 비슷한 형상으로 하부로부터 상부 이송판(18)까지 단단히 고정된 수평벽 및 수직벽을 포함한다. 안내 레일(32 및 33)은 이송방향(M)에 대해 직각으로 연장하여 이송방향(M)과 일치하는 방향으로 서로 일정한 거리만큼 떨어지도록 프레임(20)의 수직벽에 고정된다. 수평부에 고정된 가압공구(35)를 운반하는 U형 슬라이드판(34)은 가압공구(35)가 선택적으로 상·하 이동되도록 슬라이딩 운동하는 안내레일(32 및 33)에 설치되어 있다. 아래쪽으로 향하는 피스톤 로드(piston rod)를 포함하는 가압실린더(36)는 슬라이드 판(34)에 연결된 상기 피스톤 로드(37)의 자유단과 함께 안내 레일(32,33)사이의 중간 위치에 있는 프레임(20)의 수직벽에 고정되어 있다. 따라서, 상기 피스톤 로드(37)가 가압실린더(36)와 상대적으로 진퇴할 때, 상기 가압공구(35)가 각각 하강 또는 상승되는 것을 알 수 있다.

제2도, 제3도 및 제9도에 도시된 바와 같이, 피스톤 로드(28a)를 각각 구비한 복수의 2개의 구동실린더(28)는 피스톤 로드(28a)의 자유단에 설치된 수평 지지판(27)과 함께 상부에는 기계 작업대(9)가 설치되고 하부에는 테이프 압착부(19)가 설치된다. 상기 언급된 테이프 공급장치(21), 테이프단 검출센서(26), 리더 테이프 권취장치(24) 및 리더 테이프 회수상자(25)는 수평지지판(27)과 함께 동시에 상·하운동을 하기 위해 수평지지판(27)에 설치된다.

상기 테이프 공급장치(21)는 리더 테이프(1)의 길이가 감겨지고 이 리더 테이프(1)가 바깥쪽으로 당겨지는 리더 테이프 공급릴(57)을 수용하는 테이프 공급 카셋트(30)를 분리가능하게 장착하는 카셋트 장착판(29)을 포함한다. 또한, 이러한 테이프 공급장치(21)는 이송방향(M)에 대해 카셋트 장착판(29)상의 테이프 공급 카셋트(30)로부터 아래로 일정한 거리만큼 떨어진 위치에 배치된 테이프 흡착블록(suction block)(31)을 포함한다. 이 테이프 흡착블록(31)은 상기 리더 테이프(1)를 흡착하여 그 끝이 수평으로 되도록 하기 위하여 적용된 다공의 하부면을 구비하고, 이러한 목적 때문에, 상기 흡착블록(31)은 하부면에 개방하는 다수의 흡입구를 통해 바깥쪽으로 개방하는 빗 형상의 통로(31a)(제12도 내지 제17도)를 가진다.

상기 기판 위치 결정장치(10) 아래에 위치한 테이프 이송장치(22)는 이송방향(M)으로 일정한 거리를 연장하는 척 구동 테이블(39) 및 척 구동모터(40)를 구동할 때 방향(X)으로 척 구동 테이블(39)을 따라 이동하는 척 구동 테이블(39)상에 설치된 척(38)을 포함한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판 위치 결정장치(10)는 θ-모터(42)에 의해 구동되도록 θ-테이블(15)상에 장착되고, 일정한 위치에 그 끝을 지지하기 위하여 기판(4)의 바닥면 중심부를 흡착하는 흡착 리테이너(suction retainer ;41)를 포함한다.

각각의 척(38) 및 척 구동테이블(39)의 상세한 설명은 제4도를 참고로 설명될 것이다. 도시된 바와 같이, 상기 척 구동테이블(39)은 길이방향으로 연장하기 위해 상부벽(top wall)에 형성된 슬라이드를 구비한 정사각형 단면의 확장 커버(39), 상기 확장 커버 안쪽에 위치되어 길이방향으로 연장하기 위해 바닥벽(bottom wall)에 설치된 안내레일(44), 상기 확장 커버(39)안쪽에 위치되고 안내레일(44)상에 슬라이딩 가능하게 장착된 슬라이더(45), 상기 슬라이더(45)에 설치되고 방향(X)에 평행한 방향으로 연장하여 형성된 관통 구멍을 갖는 운반 블록(carrier block)(46) 및 이러한 운반 블록(46)에 형성된 관통구멍과 일치되게 운반 블록(46)에 고정된 볼 너트(ball nut)(47)를 구비하고 있다. 척(38)의 일부분을 형성하는 베어링(49)은 운반블록(46)에 장착되어 고정되고 상기 확장 커버(43) 외측에 위치된다.

상기 베어링(49)은 척 실린더(51) 및 로크 실린더(52)를 이동시켜 상기 직립지지대를 테이프 이송 경로쪽으로 돌출하게 한다. 상기 척 실린더(51)는 서로 근접하는 방향으로 이동가능한 구동부품(51a 및 51b)과 아래에서 설명한 방식으로 함께 이동하기 위해 구동부품(51a 및 51b)에 의해 각각 운반되는 닙핑롤러(nipping roller)(53 및 54)를 포함한다. 이 닙핑롤러(53 및 54)는 구동부품(513 및 51b)이 서로 근접하는 방향으로 구동될 때, 제4도에 도시된 바와 같이, 이들 사이의 리더테이프(1)의 길이부분을 집도록 서로 협조한다.

다른 한편, 로크 실린더(52)는 서로에 근접하고 서로 멀어지는 방향으로 이동할 수 있는 구동부품(52a 및 52b) 및 후술된 방법과 유사한 방법으로 함께 이동하기 위해 구동부품(52a 및 52b)에 의해 각각 운반되는 로크 손잡이(lock finger)(55 및 56)를 포함한다. 상기 각각의 로크 손잡이(55 및 56)는 구동부품(52a 및 52b)에 고정된 일단 및 닙핑 롤러(53 및 54)의 위/아래의 끝인 반대단을 갖는 형상이고, 일반적으로 그 중간부는 수직으로 구부러진다. 상기 로크 손잡이(55 및 56)가 서로 근접하게 구동될 때, 로크 손잡이(52a 및 52b)가 닙핑롤러 (53 및 54)를 클램프한 다음 리더 테이프(1)의 길이의 일부분을 집도록 일정한 위치에 유지되는 방식으로 서로 협조한다. 상기 닙핑롤러(53 및 54)가 로크 손잡이(55) 및 (56)에 의해 클램프될 때, 상기 닙핑롤러(53 및 54)는 자유롭게 회전하지 못하며, 따라서, 리더테이프(1)의 길이는 닙핑롤러(53 및 54)에 의해 집어지게 제한된다.

상기 베어링(49)이 척 실린더(51) 및 로크 실린더(52)를 지지하여 상기 닙핑롤러(53)의 세로축과 동축인 축 주위를 닙핑롤러(54)에 근접하게 이동하도록 상기 척 실린더 및 로크 실린더(51 및 52)가 회전되는 것을 주목해야 한다. 회전 실린더 형의 척회전 모터(50)는 닙핑롤러(53)의 세로축과 동축인 축 주위로 척 실린더 및 로크 실린더(51 및 52)를 회전시켜 닙핑롤러(54)에 근접하게 이동시키는데 이용된다.

상기 척(38)의 작동을 제5도 내지 제8도를 참고로 설명한다. 상기 척 실린더 및 로크 실린더(51 및 52)가 서로 떨어져 있는 닙핑롤러(53 및 54)에 의해 개방 위치에 위치되는 제5도의 상태를 서로 떨어져 있는 로크 손잡이(55 및 56)는 풀림 위치에 있는 척(38)이라고 하며, 상기 척 실린더 및 로크 실린더(51 및 52)가 서로 근접하게 이동되는 닙핑 롤러(53 및 54) 및 서로 근접하게 이동된 로크 손잡이(55 및 56)에 의해 “폐쇄”위치에 유지한 제6도의 상태를 클램프위치에 유지된 척(38)이라고 한다. 상기 척(38)이 제5도에 도시된 바와 같이 풀림위치에 있는 한, 상기 닙핑롤러(53 및 54)는 서로 떨어지며, 나아가서, 리더 테이프(1)의 길이로부터 떨어지고, 그럼으로써, 상기 척(38)은 리더 테이프(1)의 길이에 대하여 이동이 자유롭게 된다.

그러나, 상기 척(38)이 제6도에 도시된 바와 같이, 클램프위치에 있게될 때, 상기 닙핑롤러(53 및 54)는 이들 사이에 잡아서 서로 근접하는 로크 손잡이(55 및 56)에 의해 일정한 위치에 유지되는 리더 테이프(1)의 길이 부분에 서로 근접하게 됨에 따라, 리더 테이프(1)의 길이는 그 길이방향으로 이동됨이 없이 일정한 위치에 제한된다. 이송방향(M)으로 척(38)의 다음 운동으로 상기 이송 방향(M)으로 리더 테이프(1)의 길이가 당겨진다.

상기 리더 테이프(1)가 이방성 전도 테이프(2)의 길이로부터 풀려질 때, 상기 척 회전 모터(50)는 닙핑롤러(53)의 세로축과 동축인 축에 대하여 반시계방향으로 90° 회전시키기 위해 구동되는데, 이것은 리더 테이프(1)의 길이의 부분이 제7도에 도시된 S자 모양과 비슷한 모양으로 굽어지게 할 수 있다. 이후, 상기 로크 실린더(52)는 척실린더(51)가 폐쇄위치에 있는 동안 개방위치로 되고, 제7도에 도시된 상태로부터 시작하여, 상기 척(38)은 이송방향(M)과 반대방향으로 이동된다. 이렇게 함으로써, 이송방향(M)에 대해 닙핑롤러(54)의 아래쪽으로 연장한 리더 테이프(1)의 부분은 이송방향(H)에 대해 닙핑롤러(53)의 위쪽으로 연장한 리더 테이프(1)의 또 다른 부분과 비교하여 위쪽으로 이동될 수 있다. 제7도에 도시된 상태로부터 개시하고, 척(38)이 흡착 리테이너에 위치한 기판(4)과 인접한 위치로 될 때, 이송방향(M)에 대해 닙핑롤러(54)의 아래쪽으로 연장한 리더 테이프(1)의 부분은 이방성 전도 테이프(2)의 길이에 대해 위쪽으로 이동되고, 따라서, 리더 테이프(4)는 이방성 전도 테이프 세그먼트로부터 벗겨진 다음 기판(4)에 접착된다.

제10도를 참조하여 리더 테이프 이송 장치(24)에 대하여 상세히 설명한다. 상기 리더 테이프 이송 장치(24)는 후술된 바와 같이, 리더 테이프 이송 장치(24)의 여러 부품을 포함하는 하우징(60)을 포함한다. 상기 하우징(60)은 이중 베어링(63)이 제공된 정면 직립벽을 가진다. 또한, 상기 리더 이송 장치(24)는 함께 회전하기 위해 수평으로 연장한 축(61 및 62)에 설치되고, 이것을 잡는 동안 리더 테이프(1)의 길이를 제공하기 위해 서로 협조하는 이송롤러(58 및 59)를 구비하고 있다. 상기 축(61 및 62)은 회전할 수 있게 연장하고 베어링 (63)에 의해 지지되며, 드럼(64 및 65)은 함께 회전하기 위해 관련된 이송롤러(58 및 59)로부터 멀리 떨어진 축(61 및 62)의 각 단에 설치되어 있다. 하우징(60)내에 수용되고 그 바닥에 설치된 이송모터(66)는 상기 이송모터(66)의 모터 축상의 구동 풀리(67)와 마찰 클러치(70)를 통해 상기 축(62)에 결합된 구동 풀리(69)사이에 구동할 수 있게 조종되는 유한 구동벨트(68)를 통해 상기 축(62)과 구동할 수 있게 결합된다. 상기 마찰클러치(70)는 소정의 량의 토오크만 이송모터(66)로부터 축(62)으로 전달되도록 설계된다.

하우징(60)내에서, 로크 실린더(71)는 위쪽으로 지향하는 피스톤 로드(72)를 구비하며 바닥에 설치된다 이러한 피스톤 로드(72)에는 상· 하 마찰패드(73 및74)를 고정시켜 드럼(64 및 65)사이에 위치된 마찰 패드(73) 및 드럼(65) 아래에 위치된 마찰 패드(74)와 함께 가로방향으로 돌출한다. 상기 마찰패드(73 및 74)는 드럼(64 및 65)과 접촉할 때, 상기 회전 축(61 및 62)은 정지되어, 결과적으로, 서로 반대방향으로 이송롤러(58 및 59)의 회전에 의해 리더 테이프(1)의 길이의 공급은 중단될 수 있다.

이후, 테이프 절단장치(23)의 상세한 설명은 제11도를 참고로 설명될 것이다. 복수의 슬리브형 안내 다리 중 2개의 다리는 제11도에 도시되는데, 이것은 테이프 공급장치(21)에 인접하고 아래의 위치에 있는 기계 작업대(9)상에 설치된다. 상기 안내 다리(76)는 직립 프레임(78) 아래쪽으로 연장하여 고정된 해당하는 다리(77)를 수용하여 상하이동이 가능하게 한다. 안내다리(76)내에 안내된 로드(77)와 직립 프레임(78)의 수직운동은 기계 작업대(9) 상부에 장착된 실린더 몸체 및 직립 프레임(78)에 결합된 피스톤 로드를 포함하는 테이프 절단 실린더(75)에 의해 이루어진다.

상기 테이프 절단장치(23)는 직립 프레임(78)에 수직인 축에 관하여 회전하는 직립 프레임(78)상에 설치된 접착테이프 공급릴(80) 및 직립 프레임(78)에 설치되어 접찰테이프 공급릴(80)의 회전축에 평행한 축에 관하여 회전하는 접착테이프이송 릴(81)을 포함한다 서로 대향하는 접착 피복면 및 비 피복면을 갖는 접착테이프(79)의 길이는 직립 프레임(78)에 회전할 수 있게 장착된 안내롤러(82, 83, 84)에 의해 접착 테이프 공급릴(80)로부터 접착 테이프 회수릴(81)로 연장하는데, 상기 안내롤러(83 및 84)는 이들 안내롤러(83 및 84) 사이를 연장한 접착테이프(79)의 길이의 일부분이 흡착블록(31) 아래 및 절단부를 따라 연장하도록 직립 프레임상에 배치된다. 주목해야 할 점은 접착 테이프(79)의 길이가 후술될 이유 때문에 절단부를 따라 이동함으로써 테이프 흡착블록(31)쪽으로, 즉, 위쪽으로 지향하는 접착 피복면을 갖는 것이다.

상기 접착 회수릴(81)은 접착테이프(79)의 길이가 안내롤러(82, 83, 84)에 의해 공급릴(80)로부터 회수릴(81)쪽으로 절단 장소를 가로질러 이동하도록 순환벨트에 의해 테이프 권취모터(86)와 결합된다. 안내롤러(83 및 84)사이에 연장한 접착 테이프(79) 길이의 상기 부분 바로 아래로 연장하는 것은 지지안내판(85)으로 이 안내판(85)은 위쪽으로, 즉, 지지안내판(85)과 반대방향으로 접착 피복면에 의해 접착테이프(79)의 길이의 일부분을 아래로부터 지지하기 위하여 직립프레임(78)의 상부에 고정된다.

블래킷(90)을 고정시킨 슬라이더(89)는 수직으로 연장하기 위해서 지지안내판(85) 아래의 위치에 직립프레임(78)이 고정된 수직가이드(88)에 슬라이딩 가능하게 맞물려 있다. 상기 블래킷(90)은 블래킷(90)에 설치된 절단 고정물(91)을 운반하여 블래킷(90)과 직립 프레임(78) 사이에 위치한 스프링(92)에 의해 위쪽으로 밀쳐진다. 이방성 전도 테이프(2)의 길이의 폭보다 크거나 같은 폭을 가진 한 쌍의 절단날(93 및 94)은 안내롤러(83 및 84) 사이를 연장하는 접착테이프(79)의 길이의 일부분의 각 측면 위쪽으로 연장하기 위해서 절단 고정물(91)에 설치된다 각 절단날(93 및 94)은 이방성 전도 테이프(2)의 폭방향과 일치하는 전체 폭에 대하여 예리한 절단 고정물(91)로부터 멀리 떨어진 자유단을 갖는 형태이다.

상기 설명한 구조의 테이프 절단장치(23)는 제12도 내지 제17도를 참고로 설명되는 방법으로 작동한다. 실제 절단동작이 시작되기 전에, 테이프 흡착블록(31)의 흡착 통로(31a)는 테이프 흡착블록(31) 바로 아래로 연장한 리더 테이프(1)의 해당 부분과 함께 이방성 전도 테이프(2)의 길이의 일부분이 제12도에 도시된 바와 같이 수평으로 이방성 전도 테이프(2)의 상기 부분을 유지하기 위해서 상기 테이프 흡착 블록(31)의 구멍 뚫린 밑면에 흡착되도록 흡착 장치(104)(제18도)에 의해 진공된다.

상기 이방성 전도 테이프(2) 부분이 리더 테이프(1)의 해당 부분과 함께 테이프 흡착블록(31)에 의해 유지된 후, 제13도에 도시된 바와 같이, 테이프 절단 실린더(75)는 직립 프레임(78)을 상승시키기 위해 구동되는데, 이로써 떨어져 있는 절단날(83 및 84)이 상기 이방성 전도 테이프(2) 부분을 절삭하지만 리더 테이프(1) 부분은 절삭하지 않는다. 상기 절단날(83 및 84)이 상기 설명한 방법으로 상기 이방성 전도 테이프 부분을 절삭하는 동안, 상기 직립프레임은 더 상승된다. 그러나, 상기 절단날(93 및 94)이 이전에 설명된 바와 같이, 블래킷과 함께 스프링(92)에 의해 위쪽으로 향하기 때문에, 상기 직립프레임(78)은 절단날(93 및 94)과 무관하게 상승하여 스프링(92)이 축 바깥쪽으로 밀어내는 동안 상기 이방성 전도 테이프(2) 부분이 절삭되는 위치에 유지될 수 있다.

직립 프레임(78)을 위쪽으로 이동시키는 동안, 상기 직립 프레임(70)에 고정된 지지 안내판(back-uP guide plate)(85)에 의해 지지된 접착 테이프(79)의 일부분은 상기 절단날(93 및 94) 사이에 한정되어 제14도에 도시된 바와 같이, 흡착블록(31)에 의해 유지된 이방성 전도 테이프(2) 부분으로 남게되는 한 조각의 이방성전도 테이프(2)와 접촉을 일으킬 때까지 직립프레임(78)과 함께 위쪽으로 이동된다.

이후, 상기 테이프 절단 실린더(75)는 지지안내판(85)에 의해 지지된 접착테이프(79)의 일부분에 해당하는 아래쪽의 축과 동반하여 직립 프레임(78)을 하강시키고, 상기 절단날(93 및 94)에 의해 절단되어 상기 접착 테이프(79)의 접착 피복표면에 접착하는 이방성 전도 테이프(2)의 한 조각은 도 15에 도시된 바와 같이 리더 테이프(1)로부터 제거되어, 이방성 전도 테이프(2)의 길이, 즉, 절단날(93 및 94)사이의 공간 길이에 해당하는 분리 공간(95)이 남는다. 또한, 직립 프레임(78)을 하강시키면 이송방향(M)으로 리더 테이프(1)의 해당길이와 함께 이방성 전도 테이프(2)의 길이를 용이하게 제공하도록 제16도에 도시된 바와 같이 흡착블록(31)에서 떨어지게 절단날(93 및 94)이 아래쪽으로 이동됨으로써, 한 싸이클의 테이프 절단이 종료된다.

제17도에 도시된 바와 같이, 이방성 전도 테이프의 길이를 절단장소로부터 일정한 거리만큼 이송방향(M)으로 제공될 때, 그러나, 이방성 전도 테이프(2)의 길이에 형성된 분리공간(95)이 흡착블록(31)으로부터 완전히 떨어지기 전에, 상기 테이프단 검출센서(26)는 이송방향(M)에 관하여 분리공간(95)의 선단 및 종단의 위치를 측정하기 위해 분리공간(95)의 통로를 검출한다.

따라서, 본 발명의 실시예에서, 이방성 전도 테이프의 길이를 절단하기 위해 어떠한 가열수단도 이용하지 않지만, 분리공간(95)이 절단날(93 및 94)에 의해 형성되는 것을 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 절단날(93 및 94)에 의해 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이와 분리된 이방성 전도 테이프(2) 세그먼트의 종단 및 다음의 연속 절단 사이클 동안 연속적으로 형성될 이방성 전도 테이프(2) 세그먼트의 선단은 양호한 절단 모서리를 갖는다. 이것은 가열수단을 이용하여 이방성 전도 테이프의 길이의 부분을 태워서 유사한 분리공간을 제공하며, 불규칙적인 모양의 분리공간 뿐만 아니라 이방성 전도 테이프의 최소의 절단 영역의 특성을 변경시키기 쉬운 이전에 토론된 연소기술과 반대이다.

제18도는 본 발명의 테이프 접착장치에 이용되는 제어시스템의 블록도를 도시한다. 제18도의 참조번호(96)는 가열하기 위해 가압공구(35)에 설치된 히터를 나타내고, 참조번호(97)는 히터(96)에 전압을 가하는 히터구동회로를 나타내고, 참조번호(98)는 로크 실린더와 같은 다양한 실린더를 구동하는 실린더 구동장치를 나타내고, 참조번호(99)는 척 구동모터(40)와 같은 여러 모터를 구동하는 축 제어장치를 나타내고, 참조번호(100)는 중앙처리장치(CPU)와 같은 메인 제어장치를 나타내고, 참조번호(101)은 메인 제어장치(100)에 의해 데이터를 저장하는 여러 개의 메모리로 구성된 기억장치를 나타내는데, 이들은 바람직한 절단길이(L1), 거리(D1, D2 및 D3) 및 절단날(93 및 94) 사이의 공간(C)을 포함하고, 참조번호(102)는 테이프단 검출센서(26)로부터 출력을 처리하여 이방성 전도 테이프(2)의 존재여부를 나타내는 높이 정보를 출력시키는 높이 산출장치를 나타내고, 참조번호(103)는 입력 및/또는 출력을 제어하는 입력/출력 제어장치를 나타내고, 참조번호(105)는 테이프 공급장치(21)를 제어하는 테이프 제어장치를 나타내며, 참조번호(106)는 핸들러(16 및 17)의 작동을 제어하는 핸들러 제어장치를 나타낸다.

위에서 설명한 테이프 접착장치는 제19도 내지 제35도를 참고로 설명될 다음과 같은 방법으로 동작한다. 본 발명의 테이프접착장치의 동작을 설명할 때, 이방성전도 테이프(2)의 길이는 기판(4)에 접착되는 바람직한 절단길이(L1)와 동일한 길이의 이방성 전도 테이프(107)의 세그먼트를 제공하기 위하여 절단되는 것이 바람직하다.

제19도를 참조하면, 테이프 접착장치의 초기상태가 도시된다.

상기 테이프 접착장치는 절단날(94)이 위치되는 절단위치(P3), 이송방향(M)에 대해 아래쪽 방향으로 절단위치(P3)로부터 일정한 거리(3)만큼 떨어져 있고 테이프단 검출센서(26)가 이방성 전도 테이프 길이의 일단의 통로를 검출하는 감지위치(P0), 이송방향(M)에 대해 아래쪽 방향으로 감지위치(PO)로부터 일정한 거리(D1)만큼 떨어져 있고 이러한 이방성 전도 세그먼트(107)가 가압공구(35)에 의해 기판(4)에 가압될 때 이송방향(M)에 대한 이방성 전도 세그먼트(107)의 위쪽단이 취해지는 테이프단 위치(Pl) 및 이송방향(M)에 대해 아래쪽 방향으로 감지위치(P0)로부터 일정한 거리(D2)만큼 떨어져 있고 이송방향(M)에 대해 가압공구(35)의 아래쪽 위치에 형성된 척 복귀 위치(P2)를 포함한다.

제19도에 도시된 초기상태 동안, 리더 테이프(1)의 선단부분은 리더 테이프 권취장치(24)로 당겨지지만, 이방성 전도 테이프가 리더 테이프(1)의 선단부분에 접착되지 않는 것을 주목해야 한다. 또한, 척(38)의 닙핑롤러(53 및 54)는 척 복귀위치에 유지된다.

제20도에 도시된 바와 같이, 척(38)의 닙핑롤러(53 및 53)는 가압공구(35) 아래에 위치되어 반복 운동할 수 있는 반면, 척(38)은 한 시간에 한번 제5도에 도시된 풀림 위치 및 제6도에 도시된 클램프 위치로 반복되어, 테이프단 검출센서(26)가 이방성 전도 테이프(4)의 길이의 선단의 통로를 검출할 때까지 이송방향으로 리더 테이프(1) 길이를 당긴다. 이러한 시간동안, 상기 리더 테이프 권취장치(24)는 상술한 바와 같이 척(38)에 의해 수행되는 테이프 당김작동과 동시에 공급 동작(feeding operation)을 실행한다.

다음, 제21도에 도시된 바와 같이, 상기 테이프단 검출센서(26)가 이방성 전도 테이프(2)의 길이단의 통로를 검출할 때, 상기 척(38)은 서로 분리된 닙핑롤러(53 및 54)에 의해 풀림위치에 위치된 다음 제22도에 도시된 감지위치(P0)로부터 일정한 거리(DE1=D2-B1-L1)만큼 떨어진 소정의 위치(I)로 이동하는데, 상기 척(38)은 리더 테이프(1)를 집기위해 서로 근접한 닙핑롤러(53 및 54)를 클램프위치로 이동시킨다. 이후, 제22도에 도시된 상태를 시작하고, 상기 리더 테이프(1)를 잡는 척(38)은 절단날(94)의 절단 가장자리가 제23도에 도시된 이방성 전도 테이프의 길이의 선단으로부터 안쪽으로 소정의 절단길이(Ll)와 동일한 거리만큼 떨어진 이방성 전도 테이프 길이의 일부분에 일치할 때까지 이송방향(M)에 대해 아래쪽 방향으로 척(38)을 이동시킴으로써 일정한 거리(A1)(=L1-D3)만큼 당겨진다.

이후, 제12도 내지 제16도를 참조하여 상세히 설명된 테이프 절단동작이 수행된다. 테이프 절단 동작의 결과로써, 상기 분리공간(95)은 이방성 전도 테이프(2)의 길이에 형성되어 이송방향(M)에 관하여 절단날(94)의 아래쪽에 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)를 제공한다. 제12도 내지 제16도를 참조로 설명된 바와 같이, 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이와 분리된 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)의 종단 및 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단은 불규칙적으로 변형되지 않을 것이다.

테이프 절단 동작후, 제26도에 도시된 바와 같이, 상기 테이프단 검출센서(26)가 분리공간(95)의 통로를 검출할 때까지, 특히, 감지위치에서 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)와 분리된 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단에 도달할 때까지, 상기 리더 테이프(1)는 상기 기술된 방법과 비슷한 방법으로 닙핑롤러(53 및 54) 및 리더 테이프 권취장치(24)를 포함하는 척(38)에 의해 다시 제공된다. 상기 감지위치에서 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단이 도달한 것을 검출할 때, 절단날(93)이 배열된 위치로부터 이송방향(M)으로 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단을 이동시키는 제26도에 도시된 거리(X)에 대한 정보는 기억장치 (10)에 기억된다.

이방성 전도 테이프 세그먼트(107)를 포함하여 이방성 전도 테이프 세그먼트(2)의 길이를 운반하는 리더 테이프(1)의 길이는 이방성 전도 테이프(2)의 나머지길이로부터 분리공간(95)만큼 떨어져 있는 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)의 종단이 제27도에 도시된 테이프단 위치(P1)에 정렬될 때까지 이송방향으로 척(38)의 운동에 의해 아래쪽으로 이동된다. 이러한 정렬후, 도 28에 도시된 바와 같이, 상기 실린더(28)는 이들 부품[테이프 공급장치(21), 테이프단 검출센서(26), 리더 테이프 권취장치(24) 및 일점쇄선에 의해 포위된 리더 테이프 회수상자(25)]과 함께 수평 지지판(27)을 하강시켜, 상기 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)가 기판(4)에 놓여지게 한다.

이방성 전도 테이프 세그먼트(107)는 상기 기술된 방법으로 기판(4)에 놓여 진 후, 제29도에 도시된 바와 같이, 상기 가압실린더(36)는 가압공구(35)를 하강시켜, 리더 테이프(1)를 통해 압력을 비등방 전도 테이프(107)에 가함으로써 기판(4)에 접착된다. 이때, 이방성 전도 테이프 세그먼트(107) 사이의 분리공잔(95) 앞의 기판(4) 및 이방성 전도 테이프의 나머지 길이에 접착되기 때문에, 리더 테이프(1)의 공급 정밀도와 가압공구(35)의 위치 결정 정밀도가 약간 떨어질지라도, 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단이 잘못 기판(4)에 접착될 가능성은 없다.

이후, 상기 가압공구(35)는 가압실린더(36)를 구동함으로써 상승되고, 상기 척(38)은 척회전 모터(50)를 구동함으로써 닙핑롤러(53)의 수평축에 관하여 반시계방향으로 회전함으로써, 제7도 및 제30도에 도시된 바와 같이, 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)로부터 리더 테이프(1)를 벗기기 위한 준비 상태로 척(38)을 이동시킨다. 상기 척(38)이 벗김 준비상태에 유지되는 동안, 척(38)은 도 31에 도시된 바와 같이 이송방향에 대해 위쪽으로 이동하여 리더 테이프(1)의 길이를 이방성 전도 테이프 세그먼트(107)로부터 떨어지게 벗긴다. 이때, 리더테이프 권취장치(24)의 이송롤러(58 및 59)의 회전을 정지시켜 리더 테이프 회수상자(25)에 회수된 리더테이프(25)의 일부 길이에 대한 인출 가능성을 없앤다.

이방성 전도 테이프 세그먼트(107)로부터 리더 테이프(1)의 일부분을 완전하게 제거할 때, 제32도에 도시된 바와 같이, 상기 실린더(28)는 일점 쇄선으로 둘러싸인 구성부품과 함께 수평지지판(27)을 상승시키고, 상기 척(38)은 닙핑롤러(58 및 59)에 의해 초기위치로 복귀된다. 이후, 도 33에 도시된 바와 같이, 상기 척(38)은 풀림위치로 된 다음, 이송방향 아래의 감지위치(PO)로부터 일정한 거리(DE2)만큼 떨어져 있는 소정의 위치(E2)로 이동하여, 다음 연속 사이클에 대하여 리더 테이프(1) 길이를 중지한다. 주목해야 할 점은 거리(DE2)가 D2=D3-L1-x 라는 점이다. 이후, 제35도에 도시된 바와 같이, 리더 테이프(1)의 길이는 앞선 싸이클을 연속적으로 반복하는 테이프 접착장치로써 이방성 전도 테이프(2)의 나머지 길이의 선단이 테이프 절단위치(P3)로부터 길이(L3)만큼 떨어진 위치로 될 때까지 클램프 위치의 척(38)에 의해 이송방향으로 당겨진다.

따라서, 전문의 설명으로부터, 본 발명의 테이프 접착장치는 이방성 전도 테이프의 길이가 접착되는 일면을 가진 리더 테이프의 길이를 한 이송방향으로 공급하는 테이프 공급장치, 상기 이송방향으로 리더 테이프 공급장치로부터 제공된 리더 테이프의 길이를 이송하는 테이프 이송 장치, 이송방향에 대해 소정의 길이의 이방성 전도 테이프 세그먼트를 제공하기 위해 이방성 전도 테이프의 길이만을 절단하는 테이프 절단장치, 이방성 전도 테이프 세그먼트가 접착된 기판을 위치시키는 기판 위치장치 및 이방성 전도 테이프 세그먼트를 가압하여 기판에 접착하는 테이프 가압장치를 구비한다.

본 발명의 접착장치에 이용되는 테이프 절단장치는 이방성 전도 테이프의 길이방향으로 서로 소정의 거리만큼 떨어져 있는 이방성 전도 테이프의 길이에 2개의 절단면을 형성하는 절단면 형성 부재 및 상기 리더 테이프의 길이로부터 떨어져 있는 절단면 사이에 접착된 이방성 전도 테이프를 제거하는 제거수단을 구비하고 있다. 이 절단장치는 이방성 전도 테이프 세그먼트와 이방성 전도 테이프의 나머지 길이로 이방성 전도 테이프의 길이를 나누는 분할 공간을 제공하기 위해서 설계된다. 따라서, 리더 테이프의 길이를 공급하는 공급 정밀도가 그렇게 높지 않을지라도, 기판에 접착되지 않은 이방성 전도 테이프의 나머지 길이의 부분이 기판에 잘못 접착될 가능성은 없다, 따라서, 신뢰성 있는 접착동작을 실행할 수 있다. 또한, 이방성 전도 테이프는 본 발명의 실시예에서 가열처리되지 않기 때문에, 이방성 전도 테이프의 길이단부의 특성이 바람직하지 않게 변형되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 기판을 위치결정하는 위치결정부(위치결정 테이블); 상기 위치결정부의 상방으로 숭강가능한 가압공구; 상기 가압공구의 측방으로 배치되고, 한쪽 면에 이방성 전도테이프를 접착한 리더 테이프를 공급하는 리러 테이프 공급부(리더 테이프 공급기구), 상기 리더 테이프의 이방성 전도 테이프 측면을 아래쪽으로 한 상태에서 리더 테이프를 상기 리더 테이프 공급부로부터 잡아 당겨서 상기 가압공구의 상하로 이송하는 리더 테이프 이송기구; 상기 가압공구와 상기 리더 테이프 공급부 사이의 상기 리더 테이프에 접극되어 있는 이방성 전도 테이프만을 절단하는 절단수단(절단면 형성부); 상기 절단수단으로 절단된 이방성 전도 테이프를 상기 가압공구의 하방에 위치결정하도록 상기 리더 테이프 이송기구를 제어하는 제어수단; 상기 가압공구의 하방에 위치결정된 상기 이방성 전도 테이프를 상기 기판 위치결정부에 위치결정된 기판에 부착하기 위하여 상기 가압공구를 상기 기판을 향하여 가압하는 압력부여기구; 및 상기 기판에 부착된 이방성 전도 테이프로부터 상기 리더 테이프를 벗기는 리더테이프박리기구를 구비한 접착장치에 있어서; 상기 리더 테이프공급부와 가압공구의 사이에서 상기 리더테이프를 흡인, 유지하는 테이프유지수단(테이프흡착블록;31)을 구비하며; 상기 절단수단은 상기 리더 테이프 이송기구에 의해 이방성 전도 테이프의 이송 방향으로 소정의 간격만큼 떨어져 있는 2개의 절단기; 상기 2개의 절단기를 상기 테이프유지수단을 향해 전진, 후퇴시키는 것에 의해 상기 테이프유지수단에서 유지되어 있는 부분의 이방성 전도 테이프에 압력을 부여하여 절단면을 2개소 형성하는 절단기 구동수단(실린더, 75); 및 상기 2개소의 절단면에 끼워진 이방성 전도 테이프를 제거하는 제거수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이방성 전도 테이프의 접착장치.
2. 기판 위치결정부에 위치 결정된 기판의 상방에 이방성 전도 테이프를 접착한 리더 테이프를 이방성 전도 테이프 측면을 아래쪽으로 한 상태로 위치시켜, 그 상방에 배치된 가압공구를 이용하여 기판에 이방성 전도테이프를 접착시키는 이방성 전도 테이프 접착방법에 있어서; 상기 가압공구의 측방으로 배치된 리더 테이프 공급부로부터 리더 테이프를 상기 가압공구측으로 잡아 당기는 공정; 상기 가압공구와 상기 리더 테이프 공급부사이에 있어서 테이프유지수단에 의해 리더 테이프를 흡인, 유지하는 공정; 절단수단의 절단기를 상기 테이프유지수단을 향해 전진, 후퇴시키는 것에 의해 상기 테이프유지수단에서 유지되어 있는 부분의 리더 테이프의 하면의 이방성 전도테이프에 절단면을 2개소 형성하는 공정; 상기 2개소의 절단면에 끼워진 이방성 전도 테이프를 제거하는 공정; 상기 리더 테이프를 상기 가압공구의 하방으로 이송하여 이 가압공구의 상기 리더 테이프 공급부측의 단부에 이방성 전도 테이프가 제거된 부분을 일치시키는 공정; 상기 가압공구에 의해 리더 테이프의 위로부터 절단된 이방성 전도 테이프를 기판에 눌러서 압착하는 공정; 및 상기 기판에 부착된 이방성 전도 테이프로부터 상기 리더 테이프를 벗기는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 전도 테이프의 접착방법.

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