KR100228440B1 - 와이어 본딩방법 및 그 장치 - Google Patents

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도시아키 사사노
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후지야마 겐지
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Abstract

[과제]
본딩점 좌표의 확인 또는 수정을 하고자 하는 경우, 다른 소재를 셋트하여 고칠 필요가 없고, 이것에 따르는 정렬합침에 기인하는 어긋남을 전혀없게 할 수 있고, 본딩점 위치의 확인 및 수정을 용이하게 행할 수 있다.
[해결수단]
정렬을 위한 정점의 정점기준 패턴기억메모리(24)에의 좌표등록과, 그것에 계속해서 행하여지는 본딩점의 본딩점 좌표메모리(34)의 좌표등록의 작업을 할 때, 그 좌표와 그 좌표등록시점의 카메라(12)에 의해서 촬상된 패드 또는 리드의 화상을 화상데이타 기억메모리(23)에 등록하여 놓고 후에 본딩점 좌표의 확인 및 수정을 하는 경우에 등록된 화상을 텔레비젼 모니터(27)에 표시한다.

Description

와이어 본딩방법 및 그 장치
제1도는 본 발명의 와이어 본딩방법 및 그 장치에 사용하는 제어회로부의 실시의 1형태를 나타내는 블럭도이다.
제2도는 본딩점 좌표메모리에 기억되어 있는 본딩점 좌표의 특정의 패드를 텔레비젼 모니터에 표시한 화면도이다.
제3도는 여러개의 패드를 텔레비젼 모니터에 표시한 화면도이다.
제4도는 반도체부품의 일례를 나타내는 평면도이다.
제5도는 본딩의 순서를 나타낸 부호를 붙인 각 패드, 리드, 와이어의 호칭을 나타내는 설명도이다.
제6도는 와이어 본딩장치의 전체적인 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 펠릿 1a1~1a14 : 패드
2 : 리드프레임 2a1~2a14 : 리드
3a1~3a14 : 와이어 5 : X축 모터
6 : Y축 모터 7 : XY테이블
8 : 본딩헤드 9 : 본딩아암
10 : 본딩 툴 11 : 카메라유지부
12 : 카메라 13 : 소재
14 : 프레임 피더 20 : 화상처리부
22 : 화상메모리 23 : 화상데이타 기억메모리
24 : 정점기준 패턴기억메모리 25 : 화상제어메모리
26 : 화상연산제어부 27 : 텔레비젼 모니터
30 : 장치구동부 33 : 장치연산제어부
34 : 본딩점 좌표메모리 40 : 수동조작수단
41 : 체스만 42 : 디지탈 스위치
[발명이 속하는 기술분야]
본 발명은 와이어 본딩방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 본딩점 좌표의 등록 및 수정을 하는 경우의 방법 및 그 장치에 관한다.
[종래의 기술]
일반적으로 반도체부품은 제4도에 도시한 것처럼, 펠릿(1)이 리드프레임(2)에 고착되어 있고 펠릿(1)의 패드(1a1)와 리드프레임(2)의 리드(2a1)가 와이어(3a1)에 의해서 접속된다. 본딩의 순서를 나타낸 부호를 붙인 각각의 패드, 리드, 와이어의 호칭을 제5도에 나타낸다. 이하의 설명으로 패드(1a1,1a2…1a14)를 일반적으로(1an), 리드(2a1,2a2…2a14)를 일반적으로(2an), 와이어(3a1,3a2…3a14)를 일반적으로(3an)으로 한다. 즉, 패드(1an)와 리드(2an)가 와이어(3an)에 의해서 접속된다.
상기 와이어(3an)을 접속하기 위한 와이어 본딩장치는 제6도에 나타내는 것같은 구성으로 되어 있다. X축 모터(5) 및 Y축 모터(6)에 의해 XY방향으로 구동되는 XY테이블(7)상에는 본딩헤드(8)가 탑재되어 있다. 본딩헤드(8)에는 본딩아암(9)이 상하이동 또는 요동가능하게 부착되어 있고 도시하지 않은 Z축 모터로 상하이동 또는 요동시켜 진다. 본딩아암(9)의 선단부에는 본딩 툴(10)이 고정되어 있고 본딩 툴(10)에는 와이어(도시하지 않음)가 끼워 통해지고 있다. 또한 본딩헤드(8)에는 카메라유지부(11)가 고정되어 있고 카메라유지부(11)의 선단부에는 본딩 툴(10)로부터 오프셋트하여 카메라(12)가 부착되고 있다. 와이어가 접속되는 소재(13)는 프레임 피더(14)에 의해 본딩위치에 보내진다.
제6도는 나타내는 와이어 본딩장치로 본딩을 하기 위해서는 미리 본딩좌표의 등록이 필요하다. 본딩좌표의 등록에는 처음에 소재의 정렬을 하기 위한 기준패턴을 기억하는 조작을 하고, 그 패턴을 기억하여 위치를 정점(定点)으로서 등록한다.
그 후에 계속하여 본딩좌표의 등록이 행하여 진다. 일반적으로, 제4도에 나타내는 것같은 반도체부품에 있어서, 펠릿(1)상의 각 패드의 상대적인 위치관계는 일정하다.
또한 리드프레임(2)의 각 리드(2an)의 상대적인 위치관계도 일정하다. 그러나, 펠릿(1)은 리드프레임(2) 접착에 의해 고정되어 있기 때문에, 펠릿(1)측과 리드프레임(2)측의 좌표 위치관계는소재(13)마다 다른 것이 많다.
그래서 일반적으로 펠릿(1)상의 적어도 2개의 정점의 정규의 위치로부터의 어긋남을 검출하는 것에 의해, 각각의 패드(1an)의 본딩위치를 산출할 수가 있고, 더욱, 리드프레임(2)상의 적어도 2개의 정점의 정규의 위치로부터의 어긋남을 검출하는 것에 의해 각 리드(2an)의 본딩위치를 산출할 수가 있고, 이것에 의해 패드(1an)와 리드(2an)의 옳은 위치로 본딩할 수가 있다. 더욱 복잡한 반도체부품에 있어서는 이보다 많은 정점을 사용하여 위치 어긋남 검출을 하는 것이 있지만, 이하, 펠릿측 2점, 리드프레임측 2점의 정점을 사용하는 예를 계시한다. 이러한 정점의 정렬검출을 하기 위해서는 정점의 기준패턴을 기억하여 놓고 정규화 상관처리를 사용하는 것이 일반적이지만 당연하고, 다른 검출처리를 사용하는 것도 된다. 펠릿(1)측의 정점의 등록은 카메라(12)로 촬상한 화상을 베껴 내는 텔레비젼 모니터에 카메라(12)의 중심을 나타내는 십자형상의 레티클마크를 표시하여 놓고, XY테이블(7)을 구동하는 체스만 또는 디지탈 스위치를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시켜 카메라(12)를 펠릿(1)의 위쪽에 위치시켜 텔리비젼 모니터를 보면서 체스만 또는 디지탈 스위치를 조작하여 텔레비젼 모니터의 레티클마크의 중심을 희망하는 1점에 합친다. 그리고, 등록용 스위치를 누르는 것에 의해 이 시점의 XY테이블(7)의 좌표를 제1의 정점으로서 본딩점 좌표메모리에 등록한다. 동시에 이 정점의 기준패턴을 정점기준패턴 기억메모리에 등록한다. 동일한 방식의 조작에 의해 펠릿(1)상의 별도의 1점을 제2의 정점으로서 등록한다. 또, 정점으로서는 일반적으로 떨어진 2개의 대각의 위치를 선택하고 있다. 또한 리드프레임(2)측의 정점도 같은 조작에 의해 등록한다.
이 정점의 등록에 계속하여 본딩점 좌표의 등록을 한다. 이 본딩점 좌표의 등록은 상기와 동일하게 체스만 또는 디지탈 스위치를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시켜 카메라(12)를 본딩하는 패드(1an) 또는 리드(2an)의 위쪽에 위치시켜 텔레비젼 모니터를 보면서 체스만 또는 디지탈 스위치를 조작하여 텔레비젼 모니터의 레티클마크의 중심을 그 패드(1an) 또는 리드(2an)의 희망하는 위치에 합친다. 그리고, 등록용 스위치를 누르는 것에 의해 이 시점의 XY테이블(7)의 좌표를 본딩좌표로서 본딩점 좌표메모리에 등록한다. 이 조작을 모든 본딩점에 관해 행하고, 각 본딩점 좌표를 본딩점 좌표메모리에 등록한다. 또, 일반적으로 희망하는 본딩위치는 패드(1an) 및 래드(2an)의 중심으로 하는 경우가 많다.
이와 같이 펠릿(1)측의 2개의 정점과 리드프레임(2)측의 2개의 정점과 각 본딩점의 좌표를 등록하는 것에 의해 그 후의 동일 제품종류의 소재(13)는 본딩하는 소재(13)의 정점의 어긋남을 검출하는 것에 의해 자동적으로 본딩점 좌표가 수정되어, 자동적으로 와이어 본딩이 행하여 진다.
즉, 미리 등록된 정규의 정점상에 카메라(12)가 이동시켜지고 정규의 정점으로부터의 실제의 정점의 위치 어긋남이 검출되고, 이 위치 어긋남 검출치에 따라 각 본딩점의 실제의 본딩점 좌표가 자동적으로 산출되고, 이 보정된 각 본딩점에 본딩 툴(10)을 안내(XY테이블(7)이 각 본딩점 좌표로 이동)하는 것에 의해 본딩작업이 자동적으로 행하여진다.
실제의 본딩작업은 위치 어긋남이 보정된 각 본딩점 좌표에 카메라(12)의 중심과 본딩툴(10)의 중심의 오프셋트량을 더한 좌표에 XY테이블(7)을 이동시켜 본딩 툴(10)을 각 본딩점에 이끌고 있다. 또, 이 종류의 와이어 본딩방법 및 그 장치에 관련하는 것으로는, 예컨대 일본국 특공소 57-11498, 특공소 57-33852, 특공소 57-50059, 특공소 61-6541호 공보 등을 들 수 있다.
[발명이 해결하고자 하는 과제]
그런데, 정점 및 본딩점 좌표를 등록한 후, 이 본딩점위치를 확인하기 위해서는 기억되어 있는 본딩점 좌표위치로 XY테이블(7)을 구동하여 카메라(12)를 이동시키고, 텔레비젼 모니터에 찍히고 있는 패드(1an) 또는 리드(2an)과 레티클마크를 보면서, 본딩점에 위치어긋남이 없는 가를 확인하고 있었다. 그러나, 본딩을 실행한 후 또는 좌표등록에 사용한 소재(13)를 다음 공정에 반송한 후에, 본딩점 좌표의 확인 또는 수정을 하고자하는 경우에는 별도의 동일한 태양의 소재(13)를 사용하여 좌표위치를 확인하는 방법을 채용하지 않으면 안된다.
즉, 두 번째, 상기 한 적어도 2개의 정점의 정규의 본딩점 좌표위치로부터의 어긋남을 검출하여 검출치에 따라 각 본딩점의 실제의 본딩점 좌표위치를 산출하여 이 보정된 본딩점 좌표위치에 XY테이블(7)을 이동시켜, 텔레비젼 모니터에 찍히고 있는패드(1an) 또는 리드(2an)와 레티클마크를 보면서, 본딩점에 위치 어긋남이 없는가를 확인하고 있었다. 이것 때문에, 2개의 정점의 맞춤을 정확히 행할 필요가 있고, 또한 이 정렬이 어긋나고 있으면 각 본딩점의 어긋남을 볼 수 없고 정확한 확인 또는 수정을 할 수 없다.
본 발명의 과제는 본딩점 좌표의 확인 또는 수정을 하고자 할 때, 다른 소재를 설정하여 고칠 필요가 없고 이것에 따르는 정렬합침에 기인하는 어긋남이 전혀 없게 할 수 있고 본딩점위치의 확인 및 수정을 용이하게 행할 수 있는 와이어 본딩방법 및 그 장치를 제공하는 것에 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 방법은 펠릿의 패드와 리드프레임의 리드를 와이어에 의해서 접속하는 와이어 본딩방법에 있어서, 정렬을 위한 정점의 좌표등록과 또한 계속해서 행하여지는 본딩점 좌표등록의 작업을 할 때, 그 좌표와 그 좌표등록시점의 카메라에 의하여 촬상된 패드 또는 리드의 화상을 등록하여 놓고, 후에 본딩점 좌표의 확인 및 수정을 하는 경우에 등록된 화상을 텔레비젼 모니터에 표시하는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 장치는 펠릿의 패드와 리드프레임의 리드를 와이어에 의해서 접속하는 본딩 툴과, 본딩면을 촬상하는 카메라와 본딩 툴 및 카메라를 동시에 XY축 방향으로 구동하는 XY테이블과, 이 XY테이블을 수동으로 이동시키는 수동조작수단과, 카메라에 촬상된 화상을 기억하는 화상메모리 및 그 화상을 찍어 내는 텔레비젼 모니터와, 화상메모리의 화상을 처리하고 정렬을 위한 정점의 어긋남을 연산하는 화상 연산제어부와, 정점의 기준패턴을 기억하는 정점 기준패턴 기억메모리와, 정점 및 본딩점 좌표를 기억하는 본딩점 좌표메모리와, 상기 화상 연산제어부에 의해서 산출된 위치 어긋남 량에 의해서 상기 본딩점 좌표메모리에 기억된 본딩점 좌표를 산출하는 장치연산제어부를 구비한 와이어 본딩장치에 있어서, 상기 화상메모리의 화상데이타를 기억하는 화상데이타 기억메모리를 설치하고, 상기 본딩점 좌표메모리에 본딩점 좌표를 등륵할 때에 그 좌표등록시점의 상기 화상메모리에 기억된 화상데이타를 상기 화상데이타 기억메모리에 기억시키는 것을 특징으로 한다.
[발명의 실시의 형태]
이하, 본 발명의 실시의 1형태를 제1도 내지 제6도에 의해 설명한다. 제6도의 와이어 본딩장치의 제어회로부는제1도에 도시한 것처럼, 주로 카메라(12)의 영상을 화상처리하는 화상처리부(20)와 와이어 본딩장치를 구동하는 장치구동부(30)와 XY테이블(7)을 수동조작하는 수동조작수단(40)으로 되어 있다.
화상처리부(20)는 카메라(12)보다 화상입력수단(21)을 통해 입력된 영상의 화상형상을 기억하는 화상메모리(22)와, 이 화상메모리(22)의 화상데이타를 기억하는 화상데이타 기억메모리(23)와 정점의 기준패턴을 기억하는 정점기준패턴 기억메모리(24)와 화상메모리(22)의 화상처리순서가 기억된 화상제어메모리(25)와 이 화상제어메모리(25)의 순서에 따라서 화상메모리(22)의 화상을 처리하는 화상연산제어부(26)로 되어 있다.
또한 상기 화상메모리(22)의 화상은 텔레비젼 모니터(27)에 찍어 내여진다.
장치구동부(30)는 X축 모터(5) 및 Y축 모터(6)를 제어하는 XY축 모터제어부(31)와 본딩동작을 위해 X축 모터(5) 및 Y축 모터(6)를 제어하는 제어순서 및 본딩점 좌표의 산출순서가 기억된 본딩용 제어메모리(32)와 XY축 모터제어부(31) 및 본딩용 제어 메모리(32)를 제어함과 함께 상기 화상연산제어부(26)에 의해서 산출된 위치 어긋남량과 수동조작수단(40)에 의해 입력된 본딩점 좌표데이타에 의해, 실제의 본딩점 좌표를 산출하는 장치연산제어부(33)와 수동조작수단(40)으로 입력된 또는 장치연산제어부(33)로 산출된 정점 및 본딩점 좌표를 기억하는 본딩점 좌표메모리(34)로 되어 있다.
수동조작수단(40)은 체스만(41), 디지탈스위치(42), 등록용 스위치(43) 및 호출용 스위치(44)로 이루어지고, 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)중의 어느 하나를 사용하여 XY테이블(7)을 조작한다.
다음에 등록 방법에 관해서 설명한다. 정점의 좌표 및 각 본딩점 좌표의 등록은 종래와 동일하다. 본 실시의 형태는 화상데이터 기억메모리(23)를 가지고, 각 본딩점 좌표의 각 화상을 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되는 대응하는 각 본딩점 좌표와 같은 순서에 배열하여 화상데이타 기억메모리(23)에 기억한다. 또한 각 본딩 좌표데이타는 실제로 본딩좌표를 등록할때의 XY테이블 좌표치와 후기하는 수정량을 더한 것을 가산하여 나타낸다. 즉, 본딩좌표를 등록할때의 XY테이블의 X좌표치를 Tx, 본딩 좌표를 등록할 때의 XY테이블의 Y좌표치를, Ty, 좌표위치에 수정을 더한 경우의 X좌표 수정량을 Dx, 좌표위치에 수정을 더한 경우의 Y좌표수정량을 Dy로 하면, 각 본딩좌표의 좌표 데이터 B(Bx,By)는 수 1로 표시된다. 본딩좌표메모리(34)에는 Tx, Ty, Dx, Dy를 각각 기억하여 놓도록 한다.
[수학식 1]
BxTx+Dx
ByTy+Dy
더욱 상기 등록방법을 상술한다. 우선, 정점의 등록을 한다. 이 등록은 수동조작수단(40)의 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시키고 카메라(12)를 제1의 정점의 윗쪽에 위치시킨다. 이것에 의해, 제1의 정점이 카메라(12)에 의해서 촬상된다. 이 촬상된 영상은 화상입력수단(21)에 의해서 디지탈신호로 변환되어 화상메모리(22)에 기억된다. 이 화상메모리(22)에 기억된 화상형상은 화상연산제어부(26)에 의해서 화상처리됨과 동시에, 텔레비젼 모니터(27)에 찍어 내여진다.
또한 텔레비젼 모니터(27)를 보면서 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시켜, 텔레비젼 모니터(27)의 레티클마크의 중심을 제1의 정점에 합친다.
그리고, 등록용 스위치(43)를 누른다. 이것에 의해, 이 시점의 화상메모리(22)에 기억된 화상은 화상연산제어부(26)로부터 정점 기준패턴 기억메모리(24)에 기억(등록)되고, 또한 XY테이블(7)의 좌표는 장치연산제어부(33)로부터 본딩점 좌표메모리(34)에 제1의 정점으로서 기억(등록)된다. 이 경우, 제1의 정점의 화상 및 좌표는 정점 기준패턴 기억메모리(24) 및 본딩점 좌표메모리(34)의 정해진 번지에 등록된다. 제2의 정점도 동일한 조작에 의해 등록한다.
다음에 본딩점 좌표의 등록을 한다. 이 본딩점 좌표의 등록은 상기와 동일하게 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시키고 카메라(12)를 본딩하는 패드 또는 리드(2an)의 윗쪽에 위치시킨다. 이것에 의해, 패드(1an) 또는 리드(2an)는 텔레비젼 모니터(27)에 찍힌다. 그래서, 텔레비젼 모니터(27)를 보면서, 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)를 조작하여 XY테이블(7)을 이동시키고 텔레비젼 모니터(27)의 레티클마크의 중심을 패드 또는 리드(2an)의 희망하는 위치에 합친다.
그리고, 등록용 스위치(43)를 누른다. 각 본딩 좌표데이타를 등록할때는 실제로 본딩좌표를 등록할때의 XY테이블좌표치 Tx, Ty를 기억하여 수정량 Dx, Dy의 기억을 클리어시킨다.
이것에 의해, 이 시점의 화상메모리(22)에 기억된 화상은 화상연산제어부(26)로부터 화상데이타 기억메모리(23)에 기억시키고, 또한 XY테이블(7)의 좌표는 장치연산제어부(3)로부터 본딩점 좌표메모리(34)에 본딩점 좌표로서 기억된다.
이 경우, 그 본딩점의 화상 및 좌표는 화상데이타 기억메모리(23) 및 본딩점 좌표메모리(34)에 같은 순서로 배열한 번지에 등록된다. 이 조작을 모든 본딩점에 관해서 행하고 각 본딩점의 화상 및 좌표를 화상데이타 기억메모리(23) 및 본딩점 좌표메모리(34)에 등록한다.
다음에 기억하고 있는 특정한 본딩 점좌표의 확인 또는 수정하는 경우에 관해서 설명한다. 화상데이타 기억메모리(23) 및 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되어 있는 본딩점의 화상 및 좌표를 호출하는 경우에는 그 등록한 바와 같은 순서에 배열한 번호를 호출용 스위치(44)를 눌러 장치연산제어부(33)에 입력하고, 장치연산제어부(33)는 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되어 있는 본딩점 좌표를 판독하고, 또한 화상연산제어부(26)를 통해서 화상데이타 기억메모리(23)에 기억된 화상을 판독하고, 그 화상을 화상메모리(22) 보다 텔레비젼 모니터(27)에 찍어낸다.
제2도는 판독된 패드(1an)의 화상데이타를 텔레비젼 모니터(27)에 찍어낸 경우를 나타낸다. 찍어낸 화상의 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되어 있던 본딩점 좌표위치를 화상의 중심위치 C점으로 한다. 그래서, 희망하는 본딩점 P로 변경하는 경우는 체스만(41) 또는 디지탈 스위치(42)를 조작하여 레티클마크(27a)의 중심 P점을 이동한다. 그리고, 등록용 스위치(43)를 눌러서, C점에서 P점으로 이동시킨 이동량 △x, △y를 수 2에 도시한 것처럼 XY테이블의 이동량으로 환산하여, Dx, Dy를 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되어 있는 본딩점 좌표의 수정량으로 기억한다.
또, 수 2에 있어서, k는 화상 픽셀치로부터 XY테이블 펄스의 변환계수이다.
[수학식 2]
Dxk·△x
Dyk·△y
이 경우, 수정하는 본딩점 좌표의 화상을 텔레비젼 모니터(27)에 표시할 때, 그 화상을 확대 처리하여 텔레비젼 모니터(27)에 표시하면, 화상은 더욱 보기 쉽게 확인작업이 용이하게 행할 수 있다. 또한 제3도에 도시한 것처럼, 복수, 예컨대 4개의 표시화면(27A,27B,27C,27D)를 설치하여 본딩점 좌표메모리(34)에 기억되어 있는 복수개의 패드의 본딩점 좌표의 화상을 1화면으로 표시하는 것도 할 수 있다. 이것에 의해, 1화면으로 복수의 장소의 본딩점 좌표가 확인할 수 있기 때문에, 작업능률이 대폭 향상한다. 또한 리드측의 본딩점 좌표의 확인, 수정도 마찬가지로 행할 수 있다.
이와 같이, 본딩점 좌표를 본딩점 좌표메모리(34)에 등록할 때에, 그 시점의화상메모리(22)의 화상형상을 화상데이터 기억메모리(23)에 등록하여 놓기 때문에, 후에 본딩점 좌표의 확인 또는 수정을 하고자 할 경우, 그 확인 또는 수정을 하고자 하는 본딩점의 화상을 텔레비젼 모니터(27)에 찍어 낼 수 있다. 이것 때문에 다른 소재를 셋트하여 고칠 필요는 없고 항상 정점의 기준패턴을 기억할 때와 같은 좌표계 위에서 수정할 수가 있다. 특히 이것에 의해, 정렬합침에 기인하는 어긋남을 전혀 없게 할 수 있어 희망하는 본딩점의 확인 또는 수정을 정확하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하여, 정점의 좌표등록과 그것에 계속해서 행하여지는 본딩점 좌표등록의 작업을 할때, 그 좌표와 그 좌표등록시점의 카메라에 의해서 촬상된 패드 또는 리드의 화상을 등록하여 놓고, 후에 본딩점 좌표의 확인 및 수정을 하는 경우에 등록된 화상을 텔레비젼 모니터에 표시하기 때문에 본딩점 좌표의 확인 또는 수정을 하고자 하는 경우, 다른 소재를 셋트하여 고치거나 할 필요가 없고, 이것에 따르는 정렬합침에 기인하는 어긋남을 전혀 없게 할 수 있고 본딩점 위치의 확인 및 수정을 용이하게 행할 수 있다.

Claims (2)

  1. 펠릿의 패드와 리드프레임의 리드를 와이어에 의해서 접속하는 와이어 본딩방법에 있어서, 정렬을 위한 정점의 좌표등록과, 그것에 계속해서 행하여지는 본딩점 좌표등록의 작업을 할 때, 그 좌표와 그 좌표등록시점의 카메라에 의하여 촬상된 패드 또는 리드의 화상을 등록한 후에 본딩점 좌표의 확인 및 수정을 하는 경우에 등록된 화상을 텔레비젼 모니터에 표시하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩방법.
  2. 펠릿의 패드와 리드프레임의 리드를 와이어에 의해서 접속하는 본딩 툴과, 본딩면을 촬상하는 카메라와, 본딩 툴 및 카메라를 동시에 XY축 방향으로 구동하는 XY테이블과, 이 XY테이블을 수동으로 이동시키는 수동조작수단과, 카메라에 촬상된 화상을 기억하는 화상메모리 및 그 화상을 찍어 내는 텔레비젼 모니터와, 화상메모리의 화상을 처리하고 정렬을 위한 정점의 어긋남을 연산하는 화상 연산제어부와, 정점의 기준패턴을 기억하는 정점 기준패턴 기억메모리와 정점 및 본딩점 좌표를 기억하는 본딩점 좌표메모리와, 상기 화상 연산제어부에 의해서 산출된 위치 어긋남 량에 의해서 상기 본딩점 좌표메모리에 기억된 본딩점 좌표를 산출하는 장치연산제어부를 구비한 와이어 본딩장치에 있어서, 상기 화상메모리의 화상데이타를 기억하는 화상데이타 기억메모리를 설치하고, 상기 본딩점 좌표메모리에 본딩점 좌표를 등록할 때에, 그 좌표등록시점의 상기 화상메모리에 기억된 화상데이타를 상기 화상데이타 기억메모리에 기억시키는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩장치.
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