KR0161508B1 - 수분제거 세정방법, 수분제거 세정장치 및 그에 이용하는 농축형필터 - Google Patents

수분제거 세정방법, 수분제거 세정장치 및 그에 이용하는 농축형필터

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KR0161508B1
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야스타카 이마조
기미아키 가부키
노부히로 사이토
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사토 후미오
가부시키가이샤 도시바
이치세 와타루
도시바실리콘 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 표면에 물과 수계세정제가 부착된 피세정물을 소수성 수분제거 세정제를 이용한 세정통에서 수분제거세정하는 방법, 장치 및 그에 이용하는 농축형 필터에 관한 것으로서, 세정통내의 소수성 수분제거세정제를 세정통과 저장탱크와의 사이에서 순환시키고 이 순환경로속에 설치한 농축형 필터에 의하여 소수성 수분제거 세정제속에 혼입된 물을 제거하고, 농축형필터로서 주로 소수성 필터를 이용하며, 제거후 소수성 수분제거세정제만을 세정통으로 되돌리면서 수분제거세정을 실시하고 이에따라 세정통내에 수용된 소수성 수분제거세정제속의 물농도를 끊임없이 일정값이하로 유지하게 하는 것을 특징으로 한다.

Description

수분제거 세정방법, 수분제거 세정장치 및 그에 이용하는 농축형필터
종래 유용성오염물이나 수용성오염물이 부착된 각종 부품의 세정은 프론계 용제와 염소계 용제 또는 그 중기등에 의하여 실시하는 것이 일반적이었다. 그러나 최근 상기한 바와 같은 프론계 용제등의 인체와 환경에 대한 영향이 문제시 되고 있다
이 때문에 프론계 용제에 필적하는 초정밀세정이 가능한 동시에 환경에 악영향을 미치지 않는 세정방법이 강하게 요구되고 있다.
그래서 프론계 용제에 대신할 수 있는 세정제로서 수계, 비누계를 불문하고 각종 대체 세정제, 예를들어 수계 세정제와 염소를 함유하지 않는 유기용제계 세정제들이 제안되고 있으며 그것을 이용한 세정이 검토되고 있다. 그 중에서도 수계세정은 적절한 물처리설비와 조합하여 사용하면 무공해이며 환경에 대한 악영향이 매우 적은 것으로 유망시되고 있다.
그런데 상기한 바와 같은 대체세정제의 대부분은 세정후 헹굼세정을 실시할 필요가 있기 때문에 물에 의한 헹굼세정을 실시하고 있다. 물에 의한 헹굼세정을 실시한 후에는 세정품질의 점에서 피세정물의 표면에 부착된 수분을 균일한 동시에 신속하게 건조시킬 필요가 있다. 그러나 현재 온풍건조와 같이 강제적으로 수분을 증발시키는 방법에서는 워터마크 (물얼룩)등을 방지하는 것이 매우 어렵다. 또 이소프로필알콜 (이하 IPA라 기재한다)과 같은 비점이 낮은 유기 용제를 이용한 증기세정도 실시되고 있다. 그러나 물이 부착된 피세정물을 그대로 증기세정하는 것은 온풍건조에서처럼 워터마크등을 방지하는 것이 매우 어렵다.
상기한 문제를 해결하기 위해 수분 제거 세정제를 이용하여 물과의 치환세정(수분제거 세정)을 실시하는 것이 검토되고 있다. 상기 수분제거 세정제는 물과의 치환작용을 갖고, 용해되지 않는 동시에 건조시의 온도에서 끓지 않는 비프론계의 세정제이다. 구체적인 세정방법은 표면에 물이 부착되어 있는 피세정물을 수분제거 세정제속에 침지하고 이 침지조작에 의해 물의 치환을 실시한 후 상기 수분제거 세정제를 건조시킨다. 이와같은 수분제서세정을 실시함에 따라서 워터마크등을 방지할 수 있다. 따라서 물에 의한 세정을 포함하는 탈지세정과 수분제거 세정을 조합한 세정방법은 프론계세정을 대신할 수 있는 대체 세정방법으로써 기대되고 있다. 종래의 수분제거 세정에도 자주 소량의 계면활성제를 함유하는 프론계 용제가 이용되어 왔는데, 이에 대신할 수 있는 각종 수분제거 세정제의 실용화가 검토되고 있다.
상기한 바와 같은 비프론계의 수분제거 세정제를 이용하여 표면에 물이 부착되어 있는 피세정물의 수분제거 세정을 실시한 경우, 피세정물에서 제거된 물을 당연하게도 수분제거 세정제내에 혼입하게 된다. 안정된 세정품질을 얻기 위해서는 수분제거 세정제 속에 혼입된 물을 제거하고 수분제거 세정제속의 물의 농도를 일정값이하로 억제하고 물의 재부착을 방지할 필요가 있다.
예를들어 수분제거 세정제로부터 물을 제거하는 방법으로는 이들의 비등점차이를 이용하여 증류조작에 의해 분리제거하는 것이 고려된다. 그러나 이 종류에 의한 분리제거 방법은 증기화하기 위해서 상당한 에너지를 필요로 할 뿐만 아니라 수분제거 제정제로서 가연성 용제를 사용했을 때에는 발화의 위험성을 동반하게 된다. 또 소수성 수분제거 세정제를 이용하는 동시에 그 수분제거 세정제와 물이 충분한 비중 차이를 갖고 있는 경우에는 침강분리시킴에 따라 물을 제거할 수 있다. 그러나 이 침강분리에 의한 제거법에서는 수분제거 세정제속에 보유하는 미세한 물방울을 완전히 제거할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 과제에 대처하기 위해 이루어진 것으로 비프론계의 수분제거 세정제속에 혼입된 물을 유효하게 제거하는 것을 가능하게 함에 따라서 연속적으로 안정된 세정품질을 얻을 수 있는 수분제거 세정방법 및 수분제거 세정장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다. 또한 상기에 적합한 농축형 필터를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다
[발명의 개시]
본 발명의 세정방법은 물 또는 수계세정제에 의해 세정되고 표면에 상기 물 또는 수계세정제가 부착된 피세정물을 소수성 수분제거 세정제를 이용한 세정통에서 수분제거 세정하는 방법에 있어서, 상기 소수성 수분제거 세정제를 상기 세정통과 저장탱크에 순환적으로 이송하고 상기 저장탱크에 이송된 소수성 수분제거 세정제를 순환경로의 일부가 되는 농축형필터를 통하여 순환시키면서 이 농축형필터에 의해 상기 소수성 수분제거 세정제 속에 혼입된 상기 물 또는 수계세정제를 제거하고 이 제거후의 소수성 수분제거 세정제만을 상기 세정통으로 되돌리면서 상기 수분제거세정을 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.
또 본 발명의 세정장치는 소수성 수분제거세정제를 이용한 세정통을 갖고 표면에 물 또는 수계 세정제가 부착된 피세정물을 상기 세정통에서 수분제거 세정하는 세정수단과, 상기 세정통내의 상기 소수성 수분제거 세정제를 일시적으로 수용하는 저장탱크와 농축형필터와 상기 농축형필터를 통하여 상기 저장 탱크내에 수용된 상기 소수성 수분제거 세정제를 순환시키는 순환계를 갖고 상기 소수성 수분제거 세정제속에 혼입된 상기 물 또는 수계세정제를 상기 농축형필터에 의해 제거하고 제거후의 소수성 수분제거 세정제만을 상기 세정통에 반송하는 물분리수단을 구비하고 있다. 또한 본 발명의 농축형필터는,
일반식 : RnSiX4-n... ... (1)
(식중 R은 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기를, X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를 나타낸다)
로 나타내어지는 가수분해성 오르가노실란을 적어도 함유하는 액상계의 소수성 처리제로 처리된 다공질필터를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
소수성 수분제거 세정제속에 혼입된 물을 소수성 수분제거 세정제와 물의 비중차이에 의하여 대략 침강분리할 수 있다. 다만 소수성 수분제거 세정제속에 부유하는 미세한 물방울은 단시간으로 침강분리할 수 없다. 이에 대하여 본 발명에 있어서는 물이 혼입된 소수성 수분제거 세정제를 일시적으로 수용하는 저장탱크를 설치하고 이 저장탱크와 세정통 사이에서 소수성 수분제거 세정제를 순환시키면서 이 순환경로내에 설치한 농축형필터에 의해 소수성 수분제거 세정제내에 혼입된 물 또는 수계 세정제를 제거한고 있다.
농축형필터, 예를들면 농축형 소수성필터에 의하여 미세한 물방울형상의 물을 확실되게 제거할 수 있다. 따라서 물을 포함하지 않는 소수성 수분제거 세정제만을 안정되게 세정통으로 반송할 수 있다. 이에따라 물농도가 허용값 이하의 소수성 수분제거 세정제에 의해 항상 수분제거 세정을 실시할 수 있기 때문에 물의 재부착을 방지하는 것이 가능하게 된다. 따라서 연속적으로 안정된 세정품질을 얻을 수 있다.
또 상기(1)식으로 나타내어지는 가수분해성 오르가노실란을 적어도 함유하는 소수성 처리제로 소수화 처리한 다공질필터는 소수성 필터로서 기능하는 동시에 내구성과 미세 구멍의형상 유지기능이 뛰어나다. 이 때문에 본 발명의 수분제거 세정에 적용함에 따라서 보다 안정되게 물분리조작을 실시 하는 것이 가능하게 된다.
본 발명은 세정품질의 안정성을 높인 수분제거 세정방법 및 수분제거 세정장치, 나아가서는 그들에 적합한 농축형필터에 관한 것이다.
제1도는 본 발명의 한 실시예인 세정장치의 개략 구성을 나타내는 도면.
제2도는 제1도에 나타내는 세정장치에 있어서의 제1세정통의 다른 구성예를 나타내는 도면.
제3도는 제1도에 나타내는 세정장치에 이용한 농축형필터의 개요를 나타내는 도면.
제4도는 제1도에 나타내는 세정장치에 이용한 농축형필터의 기능을 설명하기 위한 단면도.
제5도는 제1도에 타나탠 세정장치에 이용된 역세정기구를 개략적으로 나타내는 도면.
제6도는 제1도에 나타낸 세정장치에 있어서 물리동작의 소수성필터를 이용했을때의 상태를 설명하기 위한 도면.
제7도는 제1도에 나타낸 세정장치에 있어서 물분리동작의 친수성필터를 이용했을대의 상태를 설명하기 위한 도면.
제8도는 본 발명의 세정장치에 있어서의 물분리수단의 다른 구성예를 나타내는 도면이다.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
제1도는 본 발명의 한 실시예의 세정장치의 구성을 나타내는 도면이다.
동일도면에 나타내는 세정장치 차례로 물치환 공정(A), 청정화공정(B) 및 건조공정(C)과 물치환공정(A)에 부수된 물분리기구(D)로 주로 구성되어 있다.
제1공정으로 되는 물치환 공정(A)은 침강 분리기능과 오버플로우기능을 함께 지니는 제1세정통(1)과 오버플로우기능을 갖고 오버플로우기능에 의하여 제1세정통(1) 연결된 제2세정통(2)을 갖고 있다. 또한 본 실시예의 세정장치에서는 물치환공정(A)의 세정통으로써 2통식 연결통을 이용했는데 세정통은 세정시간과 세정품질등에 의해 단통과 다통연결통에서 선택하면 좋고 다통연결통에 있어서의 통수등도 똑같다.
상기 제1 및 제2 세정통(1)(2)에는 물과의 치환작용을 갖고 서로 용해되는 성질을 나타내지 않고 또한 건조시의 온도에서 끓지 않는 소수성 수분제거 세정제(E1)가 각각 수용되어 있다. 이와같은 소수성 수분제거 세정제(E1)로 실리콘계 용제와 이소파라핀계 용제 및 이들의 혼합물등으로 이루어지는 소수성 용제에 수분제거 성능향상제를 첨가한 것이 예시된다. 이 소수성 수분제거 세정제(E1)는 그 비중이 물의 비중보다 작게 설정되어 있다. 상기 실리콘계 용제로서는, 예를들어
일반식 :
(식중 R은 동일 또는 다른 치환 또는 비치환의 1가의 탄화수소기, m은 0~10의 정수를 나타낸다)로 나타내어지는 사슬형상 폴리디오르가노실록산과,
일반식 :
(식중 R은 동일한 또는 다른 치환 또는 비치환의 1가의 탄화수소기, n은 3~7의 정수를 나타낸다)로 고리형상 폴리도르가노실록산등이 예시된다.
또한 상기 (2)식 및 (3)식중의 R기로서, 예를들어 메틸기, 에틸리, 프로필기, 부틸기등의 알칼기, 페닐기등의 1가의 비치환탄화수소기, 트리폴로로메틸기등의 1가의 치환탄화수소기등이 예시되는데 계의 안정성, 휘발성의 유지등에서 메틸기가 바람직하다.
또 이소파라핀계 용제로써는, 예를들어 탄소수가 1~30의 범위의 휘발성 이소파라핀을 들 수 있다. 특히 C3-C15의 유분(留分)을 주체로 하는 이소파라핀이 세정성능의 점에서 바람직하다.
상기한 바와 같은 실리콘계용제와 이소파라핀계용제에 첨가하여 수분제거성능을 향상시키는 수분제거 성능향상제로써는, 예를들어 계면활성제와 친수성용제등이 예시된다. 계면활성제는 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성계 및 이들의 복합계 등 각종의 것을 사용하는 것이 가능하다. 또 친수성용제로써는 메탄올, 에탄올, IPA, 벤질알콜등의 알콜류, 시클로헥사논과 같은 케톤류, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르 등의 다가알콜과 그 유도체등이 예시된다.
소수성 수분제거 세정제(E1)의 구체예로서는 실리콘계 용제에 수분제거 성능향상제로서 계면활성제를 첨가한 테크노케어 FRW-13(상품명, 가부시키가이샤 도시바제)등을 들 수 있다.
상기한 제1세정통(1)은 침강분리부(3)와 오버플로우부(4)를 갖고 있다. 피세정물(X)은 별도로 설치된 세정장치에 의해 수계세정제로 세정된 것, 또는 물에 의해 헹굼세정된 것이다. 이와같은 피세정물(X)은 우선 제1세정통(1)내에 침지된다. 피세정물(X)의 표면에 부착되어있는 물은 소수성 수분 제거세정제(E1)와 치환되어 제거된다. 이 물치환조작에 의하여 소수성 수분제거 세정제(E1)속에는 제거된 물이 혼입된다. 소수성 수분제거세정제(E1)는 물보다 비중이 작게 설정되어 있기 때문에 피세정물(X)에서 제거된 물(Y)은 침강분리부(3) 내에 침강하여 소수성 수분제거세정제(E1)에서 분리된다.
침강분리부(3)와 제1세정통(1)은 가는관(5)으로 연결되어있다. 이 때문에 제1세정통(1)에 대한 피세정물(X)을 넣고 빼는 등에 의해 제1세정통(1)속의 소수성 수분제거세정제(E1)가 교반되어도 이 교반이 침강분리부(3)까지 전해지는 것이 방지된다. 따라서 일단 침강분리부(3)에 침강된 물(Y)은 물방울로써 제1세정통(1)내에 다시 날아올라가는 일은 없다. 또 일정량 이상의 물(Y)이 침강분리부(3)에 저장되면 배수관(6)을 통하여 물(Y)이 배수된다. 따라서 피세정물(X)에 의해 운반된 물(Y)의 대부분은 제1세정통(1)의 아랫쪽에 가는관(5)을 통하여 연결된 침강분리부(3)내에 침강하고 외부로 배제된다.
다만 미세한 에멀죤상태가 된 물을 소수성 수분제거 세정제(E1)속을 부유하고 용이하게는 침강분리되지 않는다. 이 부유하는 물은 오버플로오부(4)를 통하여 소수성 수분제거세정제(E1)와 함께 물분리기구(D)로 송출된다. 또한 제1세정통(1)의 오버플로우부(4)는 제2도에 나타내는 바와같이 침강부리부(3)에 접속하는 것도 가능하다.
제2세정통(2)에서는 제1세정통(1)에서 피세정물(X)로부터 분리되지 않았던 물을, 예를들어 초음파에 의한 물리력을 병용하여 강제적으로 분리한다. 이 때문에 제2세정통(2)내에는 초음파진도자(7)가 설치되어 있다. 또한 물의 강제분리는 초음파에 한정되지 않고 요동, 기계적교반, 세정제 가온, 블래싱등에 의해 실시해도 좋다. 또 필요에 따라서 이들을 병용할 수 있다. 이들 물의 강제 분리수단에 의해 수분제거 성능이 더한층 향상된다.
제2세정통(2)에 있어서는 상기한 바와 같이 초음파, 블래싱등의 물리력에 의하여 강제적으로 물을 피세정물(X)에서 제거한다. 이와같이 물리력에 의하여 강제적으로 물을 소수성 수분제거 세정제(E1)속에서 미세에멀죤상이 된다.
미세에멀죤상의 물은 용이하게는 침강분리되지 않는다. 그래서 에멀존상태가 된 물은 소수성 수분제거세정제(E1)와 함께 제2세정통(2)에서 제1세정통(1)으로 오버플로우관(8)을 통하여 오버플로우시킨다. 이 오버플로우는 물분리기구(D)에 의하여 소수성 수분제거세정제(E1)를 순환시킴에 따라 실시된다. 이 제2세정통(2)에서의 오버플로우에 의해 제1세정통(1)의 액면은 상승한다. 증가한 제1세정통(1)속의 액은 상기한 바와같이 제1세정통(1)에 부속되는 오버플로우부(4)를 통하여 물분리기구(D)로 보내어 진다.
상기한 바와같이 초음파와 블래싱등의 물리력에 의하여 피세정물(X)에서 강제적으로 물을 제거하면 물이 에멀존상태가 되어 부유되기 쉬워진다. 따라서 제1세정통(1)에서는 물의 침강분리에 의한 제거효율을 높이기 위해 그들의 물리력을 이용하지 않고 단순히 침지처리로 하는 것이 바람직하다. 제1세정통(1)에서 오버플로우부(4)를 통하여 물분리기구(D)로 보내어진액, 즉 에멀존상태의 물을 포함하는 소수성 수분제거세정제(E1)는 일단 저장탱크(9)에 저장된다. 이 저장탱크(9)를 포함하는 물분리기구(D)는 송수펌프(10)가 끼워진 순환계(11)를 갖고 있다.
상기 순환계(11)에는 농축형필터가 끼워져 있다. 농축형 필터로써는 주로 소수성 필터(12)가 이용된다. 또 친수성 필터(13)를 병용하는 것도 가능하다. 또한 제1도는 친수성필터(13)를 평용한 예를 나타내고 있다. 저장탱크(9)내에 있어서, 소수성 수분제거세정제(E1)가 물에 대하여 충분히 다량으로 있는 경우에는 소수성 수분제거 세정제(E1)가 모상(매트릭스)이 되고 이 매트릭스속에 물이 물방울로서 부유한다. 반대로 물이 소수성 수분제거세정제(E1)에 대하여 충분히 다량으로 있는 경우에는 물이 모상(매트릭스)이 되고 물속에 소수성 수분제거 세정제(E1)가 액방울로써 부유한다. 다만 저장탱크(9)내에서의 액의 체류시간을 충분히 취할 수 있으면 에먼죤상태의 물이어도 침강분리 시킬 수 있다. 따라서 침강분리시킨 물을 제거하는 수단, 예를들어 물배출관과 물흡수제등을 저장탱크(9)에 설치하면 소수성 필터(12)만으로 물분리기구(D)를 구성할 수 있다.
본 실시예에 있어서의 물분리기구(D)는 상기한 바와 같은 에멀죤액의 매트릭스액과 액방울낙하와의 관계를 이용하여 농축형 필터에 의해 매트릭스액과 액방울탁하와의 분리를 실시하는 것이다.
상기한 농축형필터의 작용을 제3도 및 제4도를 참조하여 설명한다. 소수성 수분제거세정제(E1)와 물과의 혼합액(M)이 필터요소(12a)을 통과하면 혼합액(M)의 흐름과는 직작인 방향으로 매트릭스액만이 필터(12a)을 통과한다. 이에 따라 여과가 실시된다. 통상의 상태, 특 매트릭스액(m)이 소수성 수분제거세정제(E1)로, 이 소수성 수분제거세정제(E1)속에 물이 물방울(D)로서 혼입하고 있는 경우에는 농축형 필터로써 소수성 필터(12)를 이용한다. 물방울 (d)이 소수성 필터요소(12a)을 통과하는 것이 방해되고 매트릭스액(m)인 소수성 수분제거세정제(E1)만이 소수성필터요소(12a)을 통과한다. 이때 소수성 필터요소(12a)을 통과한 후의 혼합액(M')의 물의 농도는 소수성 필터요소(12a)로 여과되어 감소한 소수성 필터 수분제거세정제(E1)의 양만큼 높아진다. 여과에 의하여 증가한 물은 상기한 바와 같은 침강분리와 물흡수제등에 의하여 제거한면 좋다.
또 상기한 바와 같은 여과를 계속하여 매트릭스액(m)이 물이고 이 물속에 소수성 수분제거세정제(E1)가 액방울(d)로 혼입된 상태가 된 경우에는 농축형 필터로써 친수성 필터(13)를 이용하여 물의 제거를 실시할 수도 있다. 소수성 수분제거세정제(E1)로 이루어지는 액방울(d)은 친수성필터성분(13a)을 통과하는 것이 생략되고 매트릭스액(m)인 물만이 친수성 필터성분(13a)을 통과한다.
상기 물분리기구(D)의 순환계(11)에 있어서 저장탱크(9)와 농축형 필터(12,13)는 송수펌프(10)가 끼워진 송수용 배관(14)에 의해 접속되어있다. 상기 송수펌프(10)로써 는 다이어프램식 펌프와 로터리식펌프등의 액체에 절단력이 가해지지 않는 타입의 펌프를 이용하는 것이 바람직하다. 이것은 소수성 수분제거세정제(E1)와 물과의 혼합액(M)을 물리적인 힘으로 교반하고 액방울낙하를 보다 미세화하는 것을 방지하기 위함이다.
농축형필터로써 친수성필터(13)를 병용하는 경우에는 소수성 수분제거세정제(E1)와 물과의 혼합액(M)이 소수성필터(12) 또는 친수성필터(13)의 어느 쪽인가에 보내어지는 바와같이 송수액배관(14)에 3방향밸브(15)를 끼우면 좋다. 또 농축형 필터(12)(13)에는 여과후의 혼합액(M')을 저장탱크(9)로 되돌리기위한 순환용배관(16)이 접속되어 있다. 친수성필터(13)를 병용하는 경우에는 순환용배관(16)에도 3방향밸브(17)를 끼운다.
소수성 필터(12)에는 소수성필터요소(12a)를 통과한 소수성 수분제거세정제(E1)만을 제2세정통(2)으로 되돌리는 세정제 재공급용배관(18)이 접속되어 있다. 즉 소수성 수분제거세정제(E1)는 저장탱크(9), 소수성필터(12) 및 세정제 재공급용배관(18)을 통하여 순환되고 있다. 이 계가 본 실시예의 문분리기구(D)에 있어서의 기본적인 순환계를 형성하고 있다. 또 친수성필터(13)에는 친수성필터요소(13a)을 통과한 물을 배출하는 물배출용 배관(19)이 접속되어 있다.
또 상기한 농축형필터(12)(13)에 있어서는 여과가 진행하여 필터요소의 내면에 부착된 액방울(d)이 증대하면 여과효율이 저하한다. 이 때문에 소수성필터(12)는 제5도에는 나타내는 바와 같은 역세정기구(20)를 갖고 있다. 또 친수성 필터(13)를 병요하는 경우에는 친수성 필터(13)에도 역세정기구(20)를 설치해도 좋다.
상기한 역세정기구(2)에 대하여 설명한다. 통상상태에 있어서는 소수성필터(12)를 통과하는 소수성 수분제거세정제(E1)와 물과의 혼합액(M)은 매트릭스(m)인 인 소수성 수분제거세정제(E1)만이 필터막(12b)을 통과하여 여과된다. 이때 필터막(12b)의 표면에 물방울(d)이 부착되는 일이 있다. 이것이 원인이되어 필터막(12b)의 눈막힘이 발생한다. 필터막(12b)의 눈막힘이 진전되면 소수성 수분제거 세정제(E1)의 여과액량이 감소한다. 이것을 원래의 상태로 되돌리기 위해 역세정을 실시한다.
역세정의 순서는 이하와 같다. 우선 여과액의 관로, 예를들어 세정제 재공급용배관(18)을 밸브(21)에 의해 닫는다. 다음으로 여과액이 수용된 역세정실린더(22)를 작동시키고 여과액을 필터막(12b)의 역방향에서 혼압액(M)측에 넣는다. 이때 필터막(12b)을 통과하는 여과액의 흐름에 의해 필터막(12b)의 표면에 부착한 물방울(d)은 필터막(12b)의 표면에서 박리한다. 이에따라 필터막(12b)의 재생복귀가 실시되고 눈막힘이 해소된다. 이 역세정의 시기는 여과액량을 감시하는 등에 의하여 결정하면 좋다.
다음으로 상기한 구성을 갖는 물리기구(D)의 동작을 제6도 및 제7도를 참조하여 보다 상세히 설명한다.
저장탱크(9)에 수용된 소수성 수분제거세정제(E1)와 물과의 혼합액(M)은 통상상태에서는 수분제거세정제(E1)를 매트릭스로 한다. 따라서 제6도에 나타내는 바와같이 혼합액(M)은 송수 펌프(10)에 의해 소수성 필터(12)에 보내진다. 소수성 필터(12)에 있어서는 소수성 수분제거세정제(E1)만이 소수성 필터요소(12a)를 통과하여 여과액에 상당하는 소수성 수분제거세정제(E1')만이 세정제 재공급용배관(18)을 통하여 제2세정통(2)으로 되돌아가게 된다.
이와같이 제2세정통(2)에는 항상 물을 함유하지 않는 소수성 수분제거세정제(E1')가 공급된다. 이에 따라 소수성 수분제거세정제(E1)의 순환이 실현되는 동시에 제2세정통(2)속의 물의 농도를 피세정물(X)의 품질에 의해 요청되는 허용값 이하로 할 수 있다. 또한 세정제 재공급용배관(18)을 통하여 제2세정통(2)으로 되돌아가게 되는 소수성 수분제거세정제(E1')는 계면활성제와 같은 수분제거 성능향상제가 물속에 녹아 있기 때문에 그 농도가 감소하고 있다. 이것을 해소하기 위해서는, 예를들어 청정화 공정(B)에 반출되는 양에 상당하는 소수성 수분제거 세정제(E1)를 제2세정통(2)에 보충할 때에 물분리기구(D)에 의하여 감소하는 수분제거성능향상제의 양만큼, 수분제거성능향상제를 중량한 소수성 수분제거세정제에 공급하면 좋다. 이에따라 제1 및 제2세정통(1)(2) 내의 소수성 수분제거세정제(E1)에 끊임없이 충분한 수분제거기능을 갖게 할 수 있다. 예를들어 소수성 수분제거세정제(E1)에 상기한 테크노케어(FRW-13)를 이용한 경우, 충분한 물리환성을 내어진다. 소수성 필터(12)에 있어서는 소수성 수분제거세정제(E1)만이 소수성 필터요소(12a)를 통과하여 여과액에 상당하는 소수성 수분제거세정제(E1)만이 세정제 재공급용배관(18)을 통하여 제2세정통(2)으로 되돌아가게 된다.
이와같이 제2세정통(2)에는 항상 물을 함유하지 않는 소수성 수분제거세정제(E1')가 공급된다. 이에따라 소수성 수분제거세정제(E1)의 순환이 실현되는 동시에 제2세정통(2)속의 물의 농도를 피세정물(X)의 품질에 의해 요청되는 허용값 이하로 할 수 있다. 또한 세정제 재공급용배관(18)을 통하여 제2세정통(2)으로 되돌아가게 되는 소수성 수분제거세정제(E1)는 계면활성제와 같은 수분제거 성능향상제가 물속에 녹아 있기 때문에 그 농도가 감소하고 있다. 이것을 해소하기 위해서는, 예를들어 청정화 공정(B)에 반출되는 양에 상당하는 소수성 수분제거세정제(E1)를 제2세정통(2)에 보충할 때에 물분리기구(D)에 의하여 감소하는 수분제거 성능향상제의 양만큼, 수분제거 성능향상제를 중량한 소수성 수분제거세정제에 공급하면 좋다. 이에따라 제1 및 제2세정통(1)(2)내의 소수성 수분제거세정제(E1)에 끊임없이 충분한 수분제거기능을 갖게 할 수 있다. 예를들어 소수성 수분제거세정제(E1)에 상기한 테크노케어(FRW-13)를 이용한 경구, 충분한 물치환성을 부여하기 위해서는 0.1%이상의 계면 활성제가 함유되어 있는 것이 바람직하다.
소수성 필터(12)를 통과하여 수분농도가 높아진 혼합액(M')은 다시 저장탱크(9)로 되돌아가게 된다. 이와같이 혼합액(M1')은 통상 송수펌프(10)와 소수성 필터(12)등을 통하여 상상 순환되고 있다.
그런데 소수성필터(12)에 의한 소수성 수분제거 세정제(E1)의 여과가 진전되면 저장탱크(9)내의 혼합액(M)속에 물이 축적된다. 혼압액(M)속의 물농도는 서서히 상승한다. 다만 상기 한 바와같이 물을 침강분리등에 의해 제거 할 수 있으면 소수성틸터(12)만을 이용하여 소수성 수분제거 세정제를 순환시킬 수 있다.
또 저장탱크(9)속 혼합액(M)의 조성이 변화하고물의 양이 소수성 수분제거 세정제(E1)의 양보다 많아지면 매트릭스액이 물로 되는 경우가 있다. 이와같은 상태에서는 소수성필터(12)에서의 소수성 수분제거세정제(E1)의 여과효율이 저하한다. 이와같은 상태가 된 경우에는 친수성필터(13)를 이용하여 혼합액(M)속의 물을 제거할 수도 있다. 이와같은 경우에는 3방향밸브(15)(17)를 전환하여 제7도에 나타내는 바와같이 혼합액(M2)을 친수성필터(13)로 보낸다. 친수성 필터(13)에서는 소수성필터(12)와 반대로 여과액으로써 물을 내보낸다. 여과에 의해 꺼내어지 물을 물배출용배관(19)에서 외부로 배출된다. 또 친수성필터(13)를 통하여 소수성 수분제거세정제(E1)의 농도가 높아지 혼합액(M2')은 다시 저장탱크(9)로 되돌아가게 된다. 이와같이 혼합액(M)속의 매트릭스액에 따라서 소수성필터(12)와 친수성필터(13)의 전환을 실시할 수도 있다.
이상과 같이 하여 끊임없이 안정된 여과를 실시할 수 있다. 또한 소수성 필터(12)와 친수성 필터(13)의 전환은 여과액량을 감시함에 따라서 실시해도 좋고, 또 자외선 흡광분석등의 수분농도분석에 의해 혼합액(M)속의 수분농도를 측정하여 실시해도 좋다.
상기한 바와같이 물분리기구(D)에 있어서의 농축형 필터로서는 소수성필터(12)와 친수성필터(13)를 병용해도 좋다. 다만 상기한 바와같이 예를들어 저장탱크(9)에 정치(靜置)분리에 의하여 발생한 하층의 물을 밸브조작등에 의해 제거하는 기구를 설치하거나, 또는 물흡수제를 병용하는 등에 의하여 소수성 필터(12)만으로 물분리기구(D)를 구성할 수 있다. 물 흡수제를 병용한 예에 대하여 제8도를 참조하여 설명한다.
즉 제8도에 나타난 저장탱크(9)는 그 내부를 실시(입구부(9a)와 출구부(9b))로 분리하는 차폐만(28)을 갖고 있다. 이 차폐만(28)의 아랫쪽에는 액통로(9c)가 설치되어 있다. 저장탱크(9)의 하부에는 액통로(9c)를 통하여 입구부(9a)에서 출구부(9b)로 이동하는 소수성 수분제거세정제(E1)가 그 내부를 통과하도록 물흡수제(29)가 배치되어 있다.
상기 물흡수제(29)로서는 기름.물 혼합계에서 물만을 충분히 흡수하는 흡수능력을 갖고 소수성 수분제거세정제(E1)에 대하여 불용성 또는 난용인성인 동시에 반응성이 낮은, 예를들어 흡수성 고분자재료를 이용한다. 흡수성 고분자재료란 물과 접촉하면 단시간에 흡수, 팽윤하여 물전체를 겔(ge1)화 시키는 성질을 갖는 고분자이다. 이와같은 흡수성 고분자재료로서 여러 가지 것이 알려져 있으며 상기 조건을 만족하는 것이면 그 재질에 한정되는 것은 아니다. 물 흡수제(29)의 구체예로써는 폴리아크릴산 나트륨가교체계 물흡수제등을 들수 있다.
이와 같은 물 흡수제(29)는 그 분말을 소수성 수분제거세정제(E1)의 통과를 저해하지 않는 그물상 용기에 수용하여 저장탱크(9)내에 배치하거나, 또 시트형상의 물흡수제(29) 이더라도 저장탱크(9)내에 직접배치하는 것도 가능하다. 물흡수제(29)의 배치량은 그 흡수능력, 반입되는 물의 분량, 세정장치의 작업계속시간등을 고려하여 설정하는 것으로한다.
상기한 바와 같은 물습수제(29)로 미리 소수성 수분제거세정제(E1)속의 물을흡수해 둠에 다라 소수성필터(12)에 대한 부하를 경감할 수 있다. 또 저장탱크(9)에 반송하는 혼합액(M')속의 물농도의 상승을 억제할 수 있다. 이들에 의해 친수성필터를 이용하지 않고 소수성필터(12)만으로 물분리기구(D)를 구성하는 것이 가능하게 된다. 또한 물흡수제(29)는 순환용배관(16)속에 끼워도 좋다.
상기한 바와 같은 수분제거 세정공정(A)에 있어서, 수분제거 세정된 피세정물(X)은 이어서 청정화공정(B)으로 보내어진다. 청정화공정(B)은 헹굼세정을 목적으로한 제3세정통(23) 및 제4세정통(24)을 갖고 있다. 또한 청정화공정(B)에 있어서의 세정통의 수는 세정품질등에 따라서 적절히 설정하면 좋다.
이 청정화공정(B)에서는 피세정물(X)에 부착되어있는 소수성 수분제거세정제(E1)속의 계면 활성제등의 농도가 피세정물(X)의 품질에 용청되는 허용값 이하로 되도록 헹굼세정이 실시된다. 따라서 소수성 수분제거세정제(E1)의 조성에 따라서 이 청정화공정(B)을 생략하는 것도 가능하다.
제3세정통(23) 및 제4세정통(24)에는 상기 수분제거 세정공정(A)에서 사용한 소수성 용제와 똑같은 소수성 헹굼세정제(E2)가 수용되어 있다. 또한 헹금세정제(E2)가 수용되어 있다. 또한 헹굼세정제(E2)로서 이용하는 소수성용제는 특정할 필요는 없지만 기본적으로 수분제거 세정공정(A)에 있어서 소수성 수분제거세정제(E1)를 이용한 소수성 용제와 동일하게 하고, 이것에 계면활성제 등을 배합히지 않는 것을 이용하는 것이 실제적인 작업 효율을 유지하는 점에서 바람직하다. 헹굼세정제(E2)의 구체예로써는 실리콘계 용제인 테크노 케어 (FRW-1)(상품명, 가부시키가이샤 도시바제)등을 들수 있다.
이후 피제정물(X)은 건조공정(C)으로 보내어지고 피세정물(X)의 표면에서 헹굼세정제(E2)가 휘발되어 제거되어 수분제거 세정이 종료된다. 이 건조공정(C)으로서는 온풍건조를 이용해도 좋지만 IPA와 환경에 문제를 일으키지 않는 불소계 비활성액체등의 증기에 의한 증기건조를 적용하는 것이 바람직하다. 이에 따라서 보다 더 세정품질의 향상을 꾀할 수 있다. 증기 건조에 이용하는 불소계 비활성액체로써는 프론계 용제를 이용하는 것도 가능한데 환경과 인체에 대한 영향을 생각할 경우 염소를 실질적으로 함유하지 않는 페로플루오르카본을 이용하는 것이 바람직하다.
페로플루오르카본은 분자구조속의 탄소원자에 결합할 수 있는 실질적으로 모든 치환기가 불소원자인 탄소화합물이며 통상 상온에서는 액상이며 불연성, 무독, 무취이고 매우 안정성이 높은 것인 동시에 실질적으로 염소를 함유하지 않은 것에서 환경파괴를 초래하는 일이 없다. 또 페로플루오르카본은 프론계용제와 동등한 휘발성을 가지고 도한 금속, 플라스틱, 유리등의 각종 재료를 침범하지 않는 것에서 각종 재질로 이루어지는 피세정물에 대하여 유효한 동시에 충분한 건조성능을 발휘한다. 또한 페로플루오르카본은, 예를들어 실리콘계용제와 이소파라핀계용제와 같은 수송성용제와 상온 근처에서는 서로 용해되지 않고, 또 적당한 비중차를 가지므로 건조공정(C)시 세정제 성분이 반입되었을 때에도 각각 분리하여 회수, 재사용할 수 있다.
페로플루오르카본의 예로써는 C3F6, C4F8, C5F10, C6F12, C6F120, C6F14, C7F14, C7F14O, C7F16, C8F16O, C8F18, C9F18O, C10F20O등의 분자식으로 나타내어지는 것등을 들 수 있다. 구체적으로 테크노케어 (FRW-1)(상품명, 가부시키가이사 도사바제)등이 사용된다.
본 실시예의 세정장치에 있어서는 건조공정(C)으로써 증기건조를 이용하고 있다. 이 때문에 건조공정(C)은 페로플루오르카본에 의한 증기세정제(E3)가 수용된 증기세정통(25)을 갖고 있다. 증기세정통(25)중에 투입된 히터(26)에 의해 중기세정제(E3)의 증기를 생성하도록 구성되어 있다. 또 별도 설치한 증기 발생탱크에서 발생시킨 페로플로오르카본의 증기를 증기세정통(25)에 공급하도록 구성해도 좋다. 증기세정통(25)의 상부에서 증기세정통(25)내에서 페로플루오르카본의 증기가 휘발하는 것을 방지하도록 냉각파이프(27)가 설치되어 있다.
또 청정화공정(B)으로 헹굽세정제(E2)로서 테크노케어(FRW-1)등을 이용한 경우에는 테크노케어(FRW-1)의 휘발성을 이용하여 건조공정(C)으로서 온풍건조등을 적용할 수 있다.
상기한 바와같이 본실시예의 세정장치에 있어서는 수분제거 세정공정(A)을 문분리가구(D)에 의하여 지원하고 있다. 이 때문에 수분제거 세정공정(A)의 제2세정통(2)내에 수용된 소수성 수분제거세정제(E1)속의 물농도를 피세정물(X)의 수분 제거 세정품질에 대응하여 끊임없이 일정값이하, 예를들어 2%~3%이하 정도는 지킬 수 있다. 물분리가구(D)는 부요하는 물방울을 확실하게 제거하는 것이 가능한 농축형 필터를 이용하고 있기 때문에 소수성 수분제거세정제(E1)속의 물농도를 확실하게 일정값 이하로 할 수 있다. 또 저장탱크(9)와 농축형필터 사이에서 물을 함유하는 소수성 수분제거세정제(E1)를 순환시키는 동시에 물을 제거한후에 소수성 수분제거세정제(E1)를 제2세정통(2)에 반송하고 있다. 이와같이 소수성 수분제거세정제(E1)를 순환시킴에 따라 세정자체에는 악영향을 주는 일 없이 제2세정통(2)에 수용된 소수성 수분제거세정제(E1) 속의 물농도를 끊임없이 일정값 이하로 유지 할 수 있다. 따라서 수분제거 세정공정(A)에 있어서는 물의 재부착이 확실하게 방지되어 끊임없이 일정한 수분제거 세정품질을 유지할 수 있다. 또 물과의 치환에 의하여 피세정물(X)의 표면에 부착한 소수성 수분제거세정제(E1)는 청정화 공정(B)의 헹굼세정제 (E2)에 의해 제거된다. 즉 소수성 수분제거세정제(E1)속에 함유되는 계면활성제등의 성분은 소수성용제만으로 구성된 헹굼세정제(E2)에 의해 제거된다. 따라서 청정화공정(B)을 거친 피세정물(X)의 표면에는 건조후의 품질에 악영향을 주는 일 없는 소수성용제만이 남게된다. 이들에 따라 세정품질을 저하시키는 워터마크등을 확실히 방지할 수 있다. 따라서 예를들어 초정밀세정이 가능하게 된다.
또한 상기 실시예의 세정장치에 있어서는, 수분제거 세정공성(A)에서 침지형의 세정통을 이용한 예의 대하여 설명했는데 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를들어 완충액통을 더욱 추가하는 등에 의하여 샤워 세정통등을 적용하는 것도 가능하다.
다음으로 상기 세정장치에 있어서의 농축형필터에 대하여서 술한다. 상기한 바와 같은 물분리가구(D)에 이용하는 농축형필터(12)(13)의 각 성분(12a)(13a)은 여과대상이 되는 매트릭스액의 재질과 내용에 따라서 여러 가지로 선택한다. 예를들면, 재질과 표면처리의 유무등에 다라 다른데, 예를들어 0.01㎛ ~200㎛ 정도, 보다 바람직하게는 0.5㎛~10 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.1 ㎛~2㎛ 정도의 공극크기를 갖는 다공질필터가 이용된다. 다공질필터의 구체예로써는 세라믹필터, 유리필터, 유기고분자계 필터, 나아가서는 이들의 복합계필터 등을 들 수 있다. 이들은 성분의 재질과 표면처리의 유무등에 따라서 소수성필터(12) 또는 친수성필터(13)로 된다. 예를들어 친수성을 갖는 성분재질에 소수성의 표면코팅을 실시함에 따라서 소수성필터(12)로 할 수도 있다. 또한 상기한 세정장치에 있어서, 농축필터로서 상기한 각종 필터를 예를들어 직렬 또는 병렬로 편성하는 등으로 하여 사용할 수 있다.
상기한 바와 같은 농축형필터 중 소수성필터(12)로서는 특히 하기(1)식으로 나타내어지는 가수분해성 오르가노실란을 적어도 함유하는 소수성처리제로 처리된 다공질필터가 가장 적합하디.
일반식 RnSiX4-n... ...(1)
(식중, R은 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기를, X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를 나타낸다)
친수성이 높은 다공질필터를 상기 (1)식으로 나타내어지는 가수분해성 오르가노실란을 적어도 함유하는 소수성처리제로 내구성과 미세구멍의 형상유 뛰어난 소수성필터(12)가 얻어진다.
또 상기 소수성처리제는 비교적 저온에서의 처리가 가능한 것으로부터 소수화 처리공정상에도 뛰어 나다고 할 수 있다.
이와같은 소수성 코팅을 실시한 다공질 필터는 물의 양이 80% 정도까지 효율있게 여과를 실시하는 것이 가능하기 때문에 보다 안정된 물분리조작이 가능하게 된다. 또 소수성 필터(12)와 친숭성필터(13)를 병용하는 경우에는 이들 전환을 매트릭스액에 따라서 실시해야 한다. 그때 일반적인 필터에서는 소수성 수분제거세정제(E1)와 물의 양이 동량정도의 범위에서 전환을 빈번하게 실시해야 할 가능성이 있다. 그래서 본 발명에 의한 상기 소수성 코팅을 실시한 다공질필터를 이용함에 따라서 보다 안정되게 물분리 조작을 실시할 수 있다.
상기 소수성처리제로 처리하는 다공질필터의 재료로서 상기한 필터를 이용하는 것이 가능한데 특히 세라믹스필터가 바람직하다. 세라믹스필터의 모(母)재질로는 유리, 실리카, 규회석등의 규질재료, 또는 알루미나, 산화니켈, 티탄석등의 비규질재료등이 예시된다.
이들중 알루미나가 바람직하게 유용된다.
필터의 미세 구멍의 평균구멍직경은 0.01㎛~200㎛ 의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5㎛~10㎛의 범위이다. 미세구멍의 평균구멍직경이 0.01㎛보다는 작으면, 살란으로 처리할 때 미세 구멍의 폐쇄가 일어나기 쉽고, 또 200㎛ 보다 크면 물의 분리능력이 저하한다. 또한 여기에서 말하는 평균구명직경이란 필터의 적어도 다섯곳을 임의로 선택하여 주사형 전자 현미경사진(배율 : 100 ~ 50000배)을 찍고, 또한 사진의 임의의 미세 구멍 10점의 가장 긴 직경을 측정한 정규 분포에서 구한 것이다.
(1)식중의 R로 나타내어지는 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기로는 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 페틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 노닐기, 데실기, 운데실기, 트리데실기, 테트라데실기, 펜타데실기, 헥사데실기, 헵타데실기, 옥타데실기등의 알킬기, 시클로 헥실기 등의 시클로알킬기, 페닐기등의 아릴기, 비닐기, 아릴기등의 알케닐기, β-페닐에틸기, γ-페닐프로필기 등의 아랄킬기가 예시된다. 이들중에서도 뛰어난 발수성(撥水性)을 부여할 목적으로 알킬기가 바람직하다. 또한 발수성(撥水性)을 특히 뛰어난 동시에 원료의 입수와 합성 및 정제가 용이한 것으로는 탄소수 3~16의 알킬기가 바람직하고 탄소수 4~10의 알킬 리가 특히 바람직하다. 또한 (1) 식중의 n이 2 또는 3인 경우에는 R은 각각 동일하거나 다를 수도 있다. 다만 실란의 반응속도가 빠른 것으로는 n은 1인 것이 바람직하다.
또 (1)식중의 X로 나타내어지는 가수분해성기로서는 알콕시기, 아실록시기, 아미노기, 아미녹시기, 옥심기, 케토옥심기, 아미드기, 알케닐옥시기, 할로겐원자등이 예시된다. 이들중에서도 필터를 구성하는 재질을 침해할 염려가 없는 것, 경화반응시의 부생성물의 처리가 용이한 것, 저장안정성이 양호한 것등으로 알콕시기가 바람직하다. 또한 적합한 경화속도를 주는 것으로 메톡시기가 특히 바람직하다.
(1)식으로 나타내어지는 실란은 부분 가수분해물로서 사용해도 좋고, 또 1종류 또는 2종류 이상을 임의로 병용해도 좋다. 특히 R이 탄소수 5~18의 1가 탄화수소기인 실란과 R이 1~4의 1가 탄화수소기인 실란을 병용하는 것이 바람직하다.
이에따라 필터의 미세구멍의 소수화처리를 보다 신속하게 할 수 있고 미처리부분등이 발생하기 어려워진다. 이 경우 충분한 소수성이 얻어지는 것으로서, R이 탄소수 5~18의 1가 탄화수소기인 실란이 50중량%이상의 것이 바람직하다.
또한 처리된 필터의 미세구멍에 형성되는 소수성막의 강도와 내구성을 향상시키기 위해 양 말단에 수산기를 갖는 폴리오르가노실록산을 첨가혼합한 소수성처리제를 이용할 수도 있다. 이 폴리오르가실록산의 유기기로써는 R과 똑같은 것이 예시되는데 그 중에서도 막의 강도 향상 효과와 원료입수를 하기 쉬운 것에서 알킬기와 아릴기가 바람직하다. 특히 메틸기가 바람직하다. 이 폴리오르가노실록산의 점도는 200000cSt 미만이 바람직하다. 점도가 200000cSt이상이 되면 점도가 높아서 취급하기 어려워지고 필터의 소수화처리를 하기 어려워진다. 특히 바람직하게는 200~200000cSt의 범위이다.
이 폴리오르가노실록산의 배합량은 (1)식으로 나타내어지는 실란과의 상호용해성이 양호하고 작업성이 뛰어난 것에서 상기 실란 100중량부에 대하여 1~100중량부의 범위가 바람직하다. 특히 바람직하게는 5~20중량부의 범위이다.
또 미세구멍에 형성되는 막의 필터에 대한 밀착성을 개선하고 소수성능의 내구성을 향상시키는 데에는 (1)식중의 R이 글리시딜기, 이크릴기, 메타크릴기, 아미노기등을 함유한 알킬기인 실란을 사용할 수도 있다. 이경우의 R로서는 예를들어 γ-글리시독시프로필기, γ-메타크릴록시프로필기. γ-아미노프로필기 등이 예시된다. 이때 이와같은 실란의 배합량은 전체 실란중의 0.1~10중량% 정도로 하는 것이 바람직하다. 필터 미세구멍에 형성되는 막의 소수성이 양호하도록 하기 위해서는 10중량% 이하로 하는 것이 바람직하다. 또 막의 밀착성 향상을 꾀하기 위해서는 0.1중량%이상 배합하는 것이 바람직하다. 이 경우 (1)식중의 n은 막을 형성하는 경우 경화속도의 관점에서 1로 하는 것이 바람직하다.
상기한 (1)식으로 나타내어지는 가수분해성 실란을 적어도 함유하는 소수성처리제에는 필터처리시의 경화반응을 촉진시키기 위해 가수분해 촉매를 첨가하는 것이 바람직하다. 이와같은 촉매로서는 디부틸주석디라울레이트, 디부틸주석디아세테이트, 부틸주석트리-2-에틸렉소에이트, 카르릴산 제1주석, 나프텐산주석, 올레인산주석, 철-2-에헥소에이트, 아연-2-에틸옥토에이트, 망간-2-에틸헥소에이트, 아연-2-에틸헥소에이트, 나프텐산티탄, 나프텐산아연, 나프텐산코발트, 스테아린산 아연등의 유기카본산의 금속염, 테트라부틸티타네이트, 테트라-2-에틸헥실티타네이트, 트리에타놀아민 티나네이트, 테트라(이소프로페닐옥시) 티타네이트등의 유기티탄에스테르, 오르가실록시티탄, γ-카보닐티탄등의 유기티탄화합물, β-아미노프로필트리에토시실란, N-(트리메톡시실릴프로필)에틸렌디아민등의 아미노알킬기치환알콕시실란, 헥실아민, 인산도데실아민등의 아민화합물 및 그염, 벤질트리에틸암모늄 아세테이트등의 제4급 암모늄염, 초산칼륨, 초산나트륨, 옥살산리튬등의 알칼리금속의 저급지방산염, 디메틸히드록실아민, 디에틸히드록실아민등의 디알킬 히드록실아민, 테트라메틸구아니닌등이 구아니딘 화합물 및 구아니딜기 함유실란 및 실록산화합물이 예시된다.
이들 가수분해 촉매의 배합량은 가수분해성 실란 100중량부에 대하여 0.01~10중량부의 범위가 바람직하다. 특히 바람직하게는 0.1~5중량부이다. 경화속도를 빠르게 하고 처리의 효율을 올리기 위해서는 0.1중량부 이상 첨가하는 것이 바람직하다. 또 처리액의 포트라이프를 충분한 것으로 하기 위해서는 5중량부이하가 바람직하다.
상기한 바와 같은 가수분해성 실란, 나아가서는 폴리오르가노실록산과 가수분해촉매를 배합한 소수성 처리제는 필터에 대한 처리작업을 용이하게 하기 위해 용매로 용해하여 사용하는 것이 바람직하다. 이와같은 용매로써는 메탄올, 에탄올, IPA와 같은 알콜류, 에틸렌 글리콜모노메틸 에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 테트라히드로푸란, 디옥산과 같은 에테르알콜 및 에테르류, 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에킬케톤과 같은 케톤류, 초산에틸, 초산부틸과 같은 지방족 탄화수소, 벤젠, 틀루엔, 키실렌과 같은 방향족 탄화수소등의 유기용제를 예시할 수 있다.
용매의 사용량은 가수분해성 실란 100중량부에 대하여 50~2000중량부의 범위가 바람직하고 특히 바람직하게는 100~1000중량부의 범위이다. 필터를 침지등에 의하여 처리할 때 처리 하기 쉽게 하기 위해서는 용매는 50중량부상 사용하는 것이 바람직하고 필터미세 구멍에 양호한 소수성막을 형성하기 위한 처리액 농도로 하기 위해서는 2000중량부 이하가 바람직하다.
(1)식으로 나타내어지는 가수분해성 실란에는 또한 다른 소수제와 유기수지 및 그 원료인 단량체를 병용할 수도 있다. 이와같은 소수제로서는 고래왁스, 게왁스, 카르나우바왁스등의 천연왁스, 팔미틴산세틸, 팔미틴산실리실, 셀로틴산메틸, 셀로틴산세릴등의 합성왁스, 옥타데칸, 아이코산, 도코산, 테트라코산, 옥타코산, 트리아콘탄, 펜타트리아콘탄등의 지방족 탄화수소, 나프탈렌, 안트라센, 페난트렌, 글리센, 필렌등의 다고리식 방향족 탄화수소가 예시된다. 또 유기수지로서는 폴리스틸렌, 폴리에스테르 폴리우레탄, 폴리아미드, 폴리초산수지, 에폭시수지, 아크릴수지 등이 예시된다.
단량체로서는 아크릴산메틸, 아크릴산에틸, 아크릴산이소부틸, 메타크릴산메틸, 메타크릴산에틸, 트리메티롤프로판트리메타크릴레이트, 말레인산메틸, 푸말산메틸, 푸탈산디아릴, 초산비닐등의 에스테르가 예시된다. 소수성막의 강도를 향상시키고 내구성의 개선을 꾀하는 데에는 유기수지와 단량체, 특히 메타크릴산과 아크릴산의 에스테르가 바림직하게 이용된다.
이들 소수제와 유기수지 및 그 단량체의 배합량은 양호한 소수성을 유지시키면서 내구성의 향상을 꾀하기 위해 가수분해성 실란 100중량부에 대하여 0.1~100중량부의 범위로 하는 것이 바람직하다. 특히 0.5~50중량부의 범위가 바람직하다. 또 그밖에 이들 유기수지단량체의 중합개시제와 보존안정제를 배합해도 좋다
상기한 바와 같은 농축형필터는 가수분해성 실란 및 다른 성분을 용제로 희석하여 처리용액을 조정하고 이 용액에 다공질필터를 침지한후 바람으로 건조하여 가열경화시킴에 따라 얻을 수 있다. 용제는 일반적으로 가수분해성 실란 및 다른 성분을 용해하여 균일한 용액으로 하고 처리액의 점도를 저하시켜서 처리성을 향상시키고 또 처리용액속의 실란의 농도를 바꿈에 따라 필터 미세구멍의 처리향을 조정할 수 있으므로 바람직하게 이용된다. 다만 점도가 낮은 실란과 상호용해성이 좋은 다른 성분을 이용함으로써 용제를 사용하지 않고 처리액으로 하는 것이 가능하다. 또 이 경우 바람으로 건조시키지 않고 가열경화 시킬 수 있다. 또 필터의 처리는 일반적으로 처리액에 필터를 침지함에 따라 실시되는데 필터내에 처리액을 반송함에 의해서도 처리할 수 있다. 이 경우 필터 미세구멍의 처리를 단시간으로 보다 확실히 실시할 수 있다.
상기한 바와 같은 처리액은 비교적 저온에서 경화가 가능한데, 일반적으로 실내온내지 250℃정도의 온도범위에서 처리된다. 유기수지와 단량체를 사용하지 않는 경우에는 비교적 저온에서의 경화가 가능하며 실온 내지 150℃ 의 온도범위가 바람직하다. 또 유기수지와 그 단량체를 사용하는 경우는 50~200℃ 정도의 온도범위에 의한 처리가 바람직하고 일반적으로는 50~150℃ 정도로 처리된다. 가열시간은 일반적으로 10분 내지 2시간 정도의 범위에서 임의로 선택된다.
이하에 상기한 농축형필터의 구체예 및 그 평가 결과에 대하여 서술한다.
[실시예 1~4, 비교예 A]
제1표에 나타내는 조성으로 처리액을 각각 조제하고 이들 처리액에 미세구멍의 평균구멍직경이 0.5㎛의 세라믹스필터, MEMBRALOX(상품명, 도시바세라믹스 가부시키가이샤제 : 고순도 알루미나 세라믹스필터 A2O3순도 = 99.9%)를 각각 3시간 침지하여 바람으로 건조시킨후 50㎛ 에서 1시간 가열경화 시켰다.
이와같이 하여 억은 각 세라믹스필터를 이용하여 기름과 물의 혼합액으로서 실리콘오일(옥타메틸시클로테트라실록산)과 물의 등량혼합물을 실온으로 순환여과했다. 순환여과는 교반기를 갖는 탱크내에 상기 기름과 물의 혼합액을 수용하고, 이 유수혼합액을 세라믹필터를 통하여 순환시킴에 따라서 실시했다. 또한 여과액인 실리콘오일 및 여과잔액을 각각 원래의 탱크에 회수했다. 이와같은 순환여과시험을 실시하여 여과액측에 수분이 흘러나오거나 눈막힘이 발생하는 등에 의하여 불가능해지기 까지의 시간에서 내구성을 측정했다.
또 상기와 똑같은 구멍직경과 성분으로 이루어지는 원형(직경6cm)의 세라믹스필터판을 바닥부에 갖는 원통상 용기에 물을 넣어, 필터에 침투하여 물이 새어나올때의 물깊이에서 내수압을 측정했다. 이 결과를 아울러서 표1에 나타낸다.
또한 제1표에 나타난 내구성(시간)은 필터내의 액흐름이 일정방향인 경우의 결과이다. 실제의 장치에서는 상기한 바와 같은 역세정을 실시함에 따라서 실제적인 내구성의 영속적이 되도록 사용할 수 있다.
[실시예5~7, 비교예 B]
제2표에 나타내는 조성으로 처리액을 각각 조제 하고미세구멍의 평균구멍지경이 2.0㎛(주사형 전자현미경사진(배율 : 1000배)를 임의의 다섯곳에서 찍고 각 사진의 임의의 미세구멍 10점을 측정했을때의 정규분포에서 구한값)인 세라믹스필터를 이용하고 가열경화조건을 100℃에서 1시간으로 하는 이외에는 실시예1과 똑같이 하여 소수화처리를 실시하고 그들의 내구성을 실시예1과 똑같이 하여 측정했다. 그 결과를 아울러서 제2표에 나타낸다.
[실시예 8~11]
제3표에 나타내는 조성으로 처리액을 각각 조제하고 실시예1과 똑같은 세라믹스필터에 동일한 소수화처리를 실시한후, 이들 세라믹스필터를 이용하여 기름과 물 혼합액의 온도를 60℃로 하는 이외에는 실시예1과 동일하게 내구성을 측정했다. 그결과를 아울러서 제3표에 나타낸다.
[실시예 12]
상기 실시에 5와 동일 조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 미세구멍의 평균구멍직경이 3.0㎛(주사형전자형미경사진(배율 : 1000매)을 임의의 5개소에서 찍고 각 사진의 임의의 미세구멍 10점을 측정했을때의 정규분포에서 구한 값)인 유리필터를 2시간 침지하고 바람으로 건조시킨후 100℃에서 1시간 가열경화시켰다. 이와같이하여 얻은 유리필터를 이용하여 실시예 1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그결과 내구시간이 620시간이라는 양호한 결과가 얻어졌다.
[실시예 13]
상기 실시예 1과 동일한 조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 미세구멍의 평균입자 직경이 0.5㎛(주사형전자현미경사진(배율 : 10000배)을 임의의 10개소에서 찍고 각 사진의 임의의 미세구멍 10점을 측정했을때의 정규분포에서 구한 값)인 유리필터를 3시간 침지하고 바람건조후 50℃에서 1시간 가열경화시켰다. 이와같이 하여 얻은 유리필터를 이용하여 실시예 1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그결과 내구시간이 500시간이라는 양호한 결과가 얻어졌다.
[실시예 14]
상기 실시예 10과 동일조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 유기고분자계 필터(플리아미드섬유를 묶은 필터, 순수제조용 : 미츠미시카세이고교가부시키가이샤제)를 1시간 침지하고 바람으로 건조시킨후 50℃에서 2시간 가열경화시켰다. 이와같이 하여 얻은 유기고분자계 필터를 이용하여 실시예1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그 결과 내구시간 720시간이라는 양호한 결과가 얻어졌다.
[실시예 15]
상기 실시예 1과 동일한 조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 미세구멍의 평균구멍직경이 1.0㎛의 유기고분자계필터,셀포어W-01(상품명, 세키스이카가쿠고교 가부시키가이샤제 : 폴리에틸렌수지제 필터)을 3시간 침지하고 바람으로 건조시킨후 50℃에서 1시간 동안 가열경화시켰다. 이와같이 하여 얻은 유기고분자계필터를 이용하여 실시예1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그결과 내구시간이 300시간이라는 양호한 결과를 얻어졌다.
[실시예 16]
상기 실시예2와 동일한 조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 미세구멍의 평균구멍직경이 2.0㎛(주사형전자현미경사진 (배울 : 1000배)을 임의의 5개소에서 찍고 각 사진의 임의의 미세구멍(10점을 측정했을때의 정규뷴포곡선에서 구한값)인 복합계필터(가교형폴리비닐알콜과 알루미나세라믹스)의 혼합계필터)를 4시간동안 침지하고 바람으로 건조시킨후 40℃에서 2시간 동안 가열졍화시켰다. 이와같이 하여 얻은 복합계필터를 이용하여 실시예1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그결과 내구시간이 550시간이라는 양호한 결과가 얻어졌다.
[실시예 17]
상기 실시예1과 동일한 조성으로 처리액을 조제하고 이 처리액에 미세구멍의 평균직경이 1.0㎛(주사형전자현미경사진(배율 : 1000배)을 임의의 5개소에서 찍고 각 사진의 임의의 미세구멍 10점을 측정했을 때의 정규분포에서 구한 값)인 복합계 필터(폴리페닐렌설피드와 유리와의 혼합계필터)를 3시간 침지하고 바람으로 건조시킨후 50℃에서 1시간동안 가열경화시켰다. 이와같이 하여 얻은 복합계필터를 이용하여 실시예1과 똑같이 내구성을 측정했다. 그결과 내구시간 350시간이라는 양호한 결과가 얻어졌다.
상기한 구체예의 평가결과에서도 확실한 바와같이 (1)식으로 나타내어지는 가수분해성 실란을 함유하는 소수성 처리제로 소수화안 다공질필터(농축형필터)는 유상(油相)속에 포함되는 수분의 분리, 또는 유분의 추출을 효율있게 실시할 수 있고, 또한 소수성능의 내구성이 뛰어난 것을 알수 있다. 따라서 본 발명에 있어서의 소수성필터로서 이용함에 따라 수분제거세정을 보다 효율있게 실시하는 것이 가능하게 된다. 또 상기 가수분해성 실란은 다공질필터의 처리가 용이하고 비교적 저온에서의 경화가 가능하기 때문에 처리공정상의 효과도 크다.
또한 상기한 농축형필터는 본 발명의 수분제거 세정에 한정되지 않고 각종 유상속의 수분의 분리와 유분의 추출에 유효하게 이용할 수 있다.
이상 설명한 바와같이 본 발명에 따르면 수분제거 세정제속의 물농도를 끊임없이 일정값 이하로 유지하는 것이 가능하게 된다. 이에따라 물의 재부착을 확실하게 방지할 수 있고 끊임없이 안정된 세정품질을 얻는 것이 가능하게 된다.
따라서 현재의 프로계세정의 대체세정법으로써 각종 수분제거세정에 유효하게 이용할 수 있다. 또 본 발명의 농축형필터는 유상속의 수분분리와 유분의 추출을 장시간에 걸쳐서 안정되게 실시할 수 있기 때문에 각종 유상속의 수분의 분리와 유분의 추출에 유효하는 것이 가능하다.

Claims (33)

  1. 부품의 표면으로부터 잔류 물과 수계세정제의 적어도 하나를 제거하는 방법에 있어서, 상기 부품의 표면으로부터 물과 수계세정제의 적어도 하나를 제거하도록 상기 부품을 적어도 하나의 세정통내에서 소수성처리제로 처리하여, 제거된 물과 수계세정제의 적어도 하나를 소수성처리제가 있는 적어도 하나의 세정통내에 혼입하는 단계; 혼입된 물과 수계세정제의 적어도 하나를 포함한 소수성처리제를 적어도 하나의 세정통으로부터 저장탱크로 반송하여 상기 소수성처리제 및 혼입된 물과 수계세정제의 적어도 하나를 일시적으로 저장하는 단계; 상기 저장통내에 혼입된 물과 수계세정제의 적어도 하나를 포함한 소수성처리제를 기공의 내부표면상에 코팅막이 형성된 다공성 기질로 이루어진 필터를 통하여 순환시켜, 상기 적어도 하나의 필터가 혼입된 물과 수계세정제의 적어도 하나를 소수성처리제로부터 제거하는 단계; 및 물과 수계세정제의 적어도 하나로부터 상기 적어도 하나의 필터에 의해 제거된 소수성처리제를 적어도 하나의 세정통으로 되돌리는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터는 소수성 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터로서 소수성 필터와 친수성 필터를 병용하여 사용하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 소수성처리제는 실리콘계 용제 및 이소파라핀계 용제에서 선택된 적어도 1종류를 포함하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  5. 부품의 표면으로부터 잔류 물과 수계세정제의 적어도 하나를 제거하는 장치에 있어서, 부품의 표면으로부터 물과 수계세정제의 적어도 하나를 제거할 수 있는 소수성처리제를 수용하는 적어도 하나의 세정통; 소수성처리제를 일시적으로 저장하는 저장탱크; 상기 소수성처리제로부터 물과 수계세정제의 적어도 하나를 제거하기 위해 기공의 내부 표면상에 코팅막이 형성된 다공성 기질로 이루어진 적어도 하나의 필터; 및 상기 저장탱크로부터 상기 적어도 하나의 농축형 필터로 상기 소수성처리제를 순환시켜 상기 적어도 하나의 세정통으로 되돌리는 순환계로 이루어진 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터는 소수성 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터로서 소수성 필터와 친수성 필터를 갖고, 상기 소수성처리제로부터 제거되어지는 물 또는 수계세정제의 양에 따라 상기 소수성 필터와 친수성 필터의 어느 쪽을 선택하여 사용하도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 필터가 일반식 : RnSiX4-n(식중 R은 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기를, X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를 나타낸다)로 나타내어지는 적어도 하나의 가수분해성 오르가노실란을 함유하는 소수성 처리제로 처리된 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 다공질 필터가 세라믹 필터인 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터는 여과의 장애를 없애는 역류 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  11. 제5항에 있어서 상기 필터는 여과막을 구비한 적어도 하나의 여과 요소를 가지며, 여과 동안 단지(i )소수성처리제 또는 (ii )물과 수계세정제의 적어도 하나가 상기 여과 요소를 통과하는 방향에 수직 방향으로 모두 상기 여과 요소에 침투되어 상기 물 또는 수계세정제의 적어도 하나를 여과에 의해 상기 소수성처리제로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  12. 제5항에 있어서, 상기 필터는 소수성 필터이며, 단지 소수성 처리제만이 상기 필터에 삼투되는 것을 특징으로하는 수분제거 세정장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 필터가 일반식 : RnSiX4-n(식중 R은 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기를, X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를 나타낸다)로 나타내어지는 적어도 하나의 가수분해성 오르가노실란을 함유하는 소수성 처리제로 처리된 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 다공질 필터가 세라믹 필터인 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  15. 제4항에 있어서, 상기 소수성처리제가 계면 활성제와 친수성 용제의 적어도 하나를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  16. 제1항에 있어서, 상기 다공질 필터의 코팅막은 가수분해성 실란을 함유하는 용액내로 상기 다공질 필터를 침지시켜, 이 적셔진 필터를 건조시키고, 필터내의 기공의 내부표면상에 상기 가수분해성 실란을 열경화시키는 것에 의해 공급되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 용액은 가수분해성 실란과 가수분해 촉매를 함유하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  18. 제1항에 있어서, 상기 필터상의 코팅막은 처리액을 필터와 접촉시키는 것에 의해 공급되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 코팅막은 상기 코팅막을 함유하는 용액내로 필터를 침지시키는 것에 의해 공급되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법,
  20. 제1항에 있어서, 상기 필터는 여과막을 구비한 적어도 하나의 여과 요소를 가지며, 여과 동안 단지(i ) 소수성처리제 또는 (ii )물과 수계세정제의 적어도 하나가 상기 여과 요소를 통과하는 방향에 수직 방향으로 모두 상기 여과 요소에 삼투되어 상기 물 또는 수계세정제의 적어도 하나를 상기 소수성처리제로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 필터는 소수성 필터이며, 단지 소수성 처리제만이 상기 필터에 삼투되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 필터는 친수성 필터이며, 단지 물과 수계세정제의 적어도 하나만이 상기 필터에 삼투되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  23. 제1항에 있어서, 상기 필터의 기공은 0.01~200 마이크로미터의 평균 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정방법.
  24. 제5항에 있어서, 상기 필터는 친수성 필터이며, 단지 물과 수계세정제의 적어도 하나만이 상기 필터에 삼투되는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  25. 제5항에 있어서, 상기 필터의 기공은 0.01~200마이크로미터의 평균 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 수분제거 세정장치.
  26. 적어도 하나의 기공의 내부 표면상에 일반식 : RnSiX4-n(식중 R은 탄소수 1~18의 1가의 탄화수소기를, X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를 나타낸다)로 나타내어지는 적어도 하나의 가수분해성 오르가노실란을 함유하는 소수성 처리제로 처리된 다공질 필터로 이루어진 것을 특징으로 하는 필터.
  27. 제26항에 있어서, 상기 다공질 필터가 세라믹 필터인 것을 특징으로 하는 필터.
  28. 제26항에 있어서, 상기 필터의 기공은 0.01~200 마이크로미터의 평균 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 필터.
  29. 제26항에 있어서, 상기 소수성처리제는 하나는 탄소수 5~18의 1가의 탄화수소기의 R을, 하나는 탄소수 1~4의 1가의 탄화수소의 R을 갖는 2개의 가수분해성 오르가노실란을 함유하는 것을 특징으로 하는 필터.
  30. 제26항에 있어서, 상기 소수성처리제는 폴리오르가노실란을 더 함유하는 것을 특징으로 하는 필터.
  31. 제26항에 있어서, 상기 소수성처리제는 가수분해 촉매를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 필터.
  32. 제26항에 있어서, 상기 소수성처리제는 일반식 : RnSiX4-n(식중 X는 가수분해성기를, n은 1~3의 정수를, R은 글리시딜, 아크릴, 메타크릴 또는 아미노기를 포함하는 알킬기를 나타낸다)의 실란을 더 함유하는 것을 특징으로 하는 필터.
  33. 제26항에 있어서, 상기 X는 알콕시기인 것을 특징으로 하는 필터.
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