JPWO2022264697A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2022264697A5
JPWO2022264697A5 JP2023529663A JP2023529663A JPWO2022264697A5 JP WO2022264697 A5 JPWO2022264697 A5 JP WO2022264697A5 JP 2023529663 A JP2023529663 A JP 2023529663A JP 2023529663 A JP2023529663 A JP 2023529663A JP WO2022264697 A5 JPWO2022264697 A5 JP WO2022264697A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
contact
section
contact hole
base region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2023529663A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7732510B2 (ja
JPWO2022264697A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/018987 external-priority patent/WO2022264697A1/ja
Publication of JPWO2022264697A1 publication Critical patent/JPWO2022264697A1/ja
Publication of JPWO2022264697A5 publication Critical patent/JPWO2022264697A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7732510B2 publication Critical patent/JP7732510B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2023529663A 2021-06-18 2022-04-26 半導体装置 Active JP7732510B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021101987 2021-06-18
JP2021101987 2021-06-18
PCT/JP2022/018987 WO2022264697A1 (ja) 2021-06-18 2022-04-26 半導体装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2022264697A1 JPWO2022264697A1 (https=) 2022-12-22
JPWO2022264697A5 true JPWO2022264697A5 (https=) 2023-08-10
JP7732510B2 JP7732510B2 (ja) 2025-09-02

Family

ID=84527341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023529663A Active JP7732510B2 (ja) 2021-06-18 2022-04-26 半導体装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20230299078A1 (https=)
JP (1) JP7732510B2 (https=)
CN (1) CN116490960A (https=)
WO (1) WO2022264697A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024098458A (ja) * 2023-01-10 2024-07-23 富士電機株式会社 半導体装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5206541B2 (ja) 2008-04-01 2013-06-12 株式会社デンソー 半導体装置およびその製造方法
JP5056620B2 (ja) 2008-06-30 2012-10-24 新神戸電機株式会社 配線板
JP6561611B2 (ja) 2015-06-17 2019-08-21 富士電機株式会社 半導体装置
JP2017098359A (ja) 2015-11-20 2017-06-01 トヨタ自動車株式会社 逆導通igbt
CN107851666B (zh) 2016-02-15 2021-11-23 富士电机株式会社 半导体装置
CN108604602B (zh) * 2016-08-12 2021-06-15 富士电机株式会社 半导体装置及半导体装置的制造方法
JP6704057B2 (ja) * 2016-09-20 2020-06-03 富士電機株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法
WO2018105729A1 (ja) 2016-12-08 2018-06-14 富士電機株式会社 半導体装置
DE112018001627B4 (de) 2017-11-15 2024-07-11 Fuji Electric Co., Ltd. Halbleitervorrichtung
CN110785852B (zh) 2017-12-06 2023-10-24 富士电机株式会社 半导体装置
CN110914999B (zh) 2018-01-17 2023-11-17 富士电机株式会社 半导体装置
CN111418072B (zh) 2018-06-22 2023-11-21 富士电机株式会社 半导体装置的制造方法及半导体装置
JP6958740B2 (ja) 2018-08-14 2021-11-02 富士電機株式会社 半導体装置および製造方法
CN112470291B (zh) 2019-02-07 2025-03-11 富士电机株式会社 半导体装置以及半导体模块
EP3843132B1 (en) 2019-04-16 2024-11-27 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device and production method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018067744A5 (ja) 逆導通型絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法および逆導通型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ
JP2018113470A5 (ja) トレンチゲート型半導体装置の製造方法
KR970054363A (ko) 다이오드를 내장한 절연게이트 바이폴라 트랜지스터 및 그 제조방법
KR950034767A (ko) Mis형 반도체장치
JP2001244462A (ja) トランジスタ及びその製造方法
JP2003017696A5 (https=)
JP2022058636A5 (https=)
JP2025024190A5 (https=)
JP2019054070A5 (https=)
US10714580B2 (en) Source ballasting for p-channel trench MOSFET
CN115528025A (zh) 半导体装置
JP2019125597A (ja) 半導体装置
JPWO2022158053A5 (https=)
JP2023179936A5 (https=)
JPWO2022264697A5 (https=)
KR930009044A (ko) 반도체 장치
CN113614883B (zh) 半导体装置
CN106449751A (zh) 半导体装置及其制造方法
JP2023157671A5 (https=)
JP7119922B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPWO2023042638A5 (https=)
JPH11289089A5 (https=)
JP2023085505A5 (https=)
JPWO2023189754A5 (https=)
JP2007081229A (ja) 半導体装置