JPWO2021122810A5

JPWO2021122810A5 -

Info

Publication number: JPWO2021122810A5
Application number: JP2022537645A
Authority: JP
Publication date: 2023-10-19

Claims

特に、機械加工すべき磁化可能な工具の少なくとも１つの基板表面の機械加工中、磁化可能な基板（８）を保持するための保持装置（２）であって、
－端部に配置されて、磁場を発生させることにより前記端部において前記基板（８）を固定するための磁気保持ユニット（４）と、
－前記磁気保持ユニット（４）上に配置されて、前記基板（８）を収容するための収容ユニット（６）と、
－前記収容ユニット（６）内に配置されて、前記基板（８）を案内および遮蔽するための交換可能なアダプタユニット（１０）とを備え、
前記アダプタユニット（１０）は、前記基板（８）を通すための少なくとも１つの凹部（１２）を有し、
前記基板（８）は、前記凹部（１２）によって横方向に支持された態様で前記保持装置（２）内に固定可能である、保持装置（２）。
前記収容ユニット（６）は、中空円筒状に形作られており、基板（８）を前記収容ユニット（６）内において中央に配置することができるように前記交換可能なアダプタユニット（１０）および前記磁気保持ユニット（４）に対して配置される、請求項１に記載の保持装置（２）。
前記収容ユニット（６）は、前記基板に接触させるための凹部（１４）を有し、前記凹部（１４）は、好ましくは、前記収容ユニット（６）内において対称的に配置されており、特に、長手方向側に配置された切欠きの形状に形成されている、請求項１または２に記載の保持装置（２）。
前記交換可能なアダプタユニット（１０）は、前記基板（８）を案内するための少なくとも１つの案内要素（１６）を有し、前記基板（８）を通すための前記凹部（１２）は前記案内要素内に配置されており、前記基板（８）を通すための前記凹部（１２）は、好ましくは、前記案内要素（１６）内において中央に配置される、請求項１～３のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記案内要素（１６）は、平坦な部品の形状で、特に案内ディスクの形状で、形成されている、請求項１～４のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記案内要素（１６）は、２ｍｍ未満の材料厚さ、好ましくは１．５ｍｍ～１ｍｍの材料厚さを有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記交換可能なアダプタユニット（１０）は、前記基板（８）を案内するための少なくとも１つの第２の案内要素（１６′）を有し、前記第２の案内要素（１６′）は、好ましくは、前記基板（８）を通すための凹部（１２）が中央に配置されており、前記凹部は、前記案内要素（１６）内において特に中央に配置されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記第２の案内要素（１６′）は、前記第１の案内要素（１６）から距離を空けて配置されており、特に前記第１の案内要素と合致するように配置されている、請求項１～７のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記交換可能なアダプタユニット（１０）は、前記基板（８）を案内するための３つ以上の案内要素（１６、１６′）、特に４つ以上の案内要素（１６、１６′）を有する、請求項１～８のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記交換可能なアダプタユニット（１０）は、案内要素（１６）を離間させるための離間要素（１８）を有し、前記離間要素（１８）は、好ましくは、前記案内要素（１６）上に直接、特に第１の案内要素（１６）と第２の案内要素（１６′）との間に直接、配置されている、請求項１～９のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記離間要素（１８）は、第１の案内要素（１６）および／または第２のもしくはさらに別の案内要素（１６′）に圧力嵌めさせるためのおよび／または形状をぴったりと嵌合させるための複数の接続片（１７）を有する、請求項１～１０のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記離間要素（１８）は、前記基板（８）に接触させるための凹部（１４）を有し、前記凹部（１４）は、好ましくは、前記収容ユニット（６）内において対称的に配置され、特に、長手方向側に配置された切欠きの形状で形成される、請求項１～１１のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記離間要素（１８）は、中空円筒状に形作られており、前記収容ユニット（６）内に対称的に配置されており、好ましくは、前記離間要素（１８）の凹部（１４）が前記収容ユニット（６）の凹部（１４）と少なくとも部分的に、特に完全に重なり合うように前記収容ユニット（６）内に配置される、請求項１～１２のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記交換可能なアダプタユニット（１０）は、前記交換可能なアダプタユニット（１０）を前記収容ユニット（６）内に固定するための固定要素（２０）を有し、前記固定要素（２０）は、好ましくは、ばね要素の形状で、特に締付けリングの形状で形成される、請求項１～１３のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記磁気保持ユニット（４）は、前記磁気保持ユニット（４）内に完全に封入される磁石（２２）を有し、前記磁石（２２）は、特に永久磁石の形態で形成される、請求項１～１４のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記永久磁石（２２）は、少なくとも０．５ｍｍの材料厚さの前記磁気保持ユニット（４）が、前記永久磁石（２２）と前記磁気保持ユニット（４）上に直接配置された前記収容ユニット（６）との間に配置されるように、前記磁気保持ユニット（４）内に配置される、請求項１～１５のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記保持装置（２）の内側に配置することのできる前記基板（８）を保護するための保護カバー（２４）が設けられ、前記保護カバー（２４）は開口部（２６）を有し、前記開口部（２６）を介して、前記保護カバー（２４）を好ましくは前記端部において前記磁気保持ユニット（４）に締結することができ、特に、前記磁気保持ユニット（４）に形状をぴったりと嵌合させて、および／または圧力嵌めで、締結することができる、請求項１～１６のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記保護カバー（２４）は、前記保持装置（２）において配置可能な基板（８）の向きを検出するための第２の開口部（２６′）を含み、前記第２の開口部（２６′）は、好ましくは、前記開口部（２６）の反対側に配置される、請求項１～１７のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
前記保護カバー（２４）は、少なくとも部分的に、好ましくは完全に、プラスチックから形成されており、前記プラスチックは、特にポリエチレンおよび／またはポリ塩化ビニルおよび／またはポリエチレンテレフタレートおよび／またはポリスチレンの形態で形成される、請求項１～１８のいずれか１項に記載の保持装置（２）。
複数の基板（８）を搬送および／または加工するためのシステム（１）であって、
－請求項１から２２のいずれか１項に記載の基板（８）を保持するための複数の保持装置（２）と、
－前記複数の保持装置（２）を収容するための収容ユニット（３０）とを備え、
前記複数の保持装置（２）は、基板（８）を別々に収容するとき、いずれの場合も、収容された前記複数の基板（８）を保持装置（２）内において一緒に搬送および／または一緒に加工することができるように、前記収容ユニット（３０）内に配置される、システム（１）。
前記収容ユニット（３０）は、前記保持装置（２）を収容するための複数の収容要素（３２）を備えたバスケットの形状で形成され、前記保持装置（２）は、好ましくは、前記収容要素（３２）において形状をぴったりと嵌合させた態様で、および／または圧力嵌めの態様で、締結される、請求項２０に記載のシステム（１）。
前記収容ユニット（３０）を収容するための搬送ボックス（３４）が設けられ、前記収容ユニット（３０）は、減衰要素（３６）によって前記搬送ボックス（３４）内に固定することができ、前記減衰要素（３６）は、好ましくは発泡体インサートの形態で形成される、請求項２０または２１に記載のシステム（１）。
前記収容ユニット（３０）の前記保持装置（２）内に配置された前記基板（８）を加工するために、特にコーティングするために前記収容ユニット（３０）をｘ方向、ｙ方向およびｚ方向に並進させるための回転可能な並進ユニットが設けられる、請求項２０に記載のシステム（１）。
複数の基板（８）を搬送および／または加工するための方法であって、
－複数の基板（８）の各々を１つの保持装置（２）に保持するステップ（５０）と、
－各々が基板（８）を備えた前記複数の保持装置（２）を収容するために前記複数の保持装置（２）を収容ユニット（３０）に収容するステップ（５２）と、
－収容された前記複数の基板（８）を一緒に搬送および／または一緒に加工するステップ（５４）とを含む、方法。
前記保持装置（２）は、前記基板（８）を一緒に搬送する前に前記収容ユニット（３０）の収容要素（３２）において形状をぴったりと嵌合させた態様で、および／または圧力嵌めの態様で、締結され、前記収容ユニット（３０）は、好ましくは、前記基板（８）を一緒に搬送する前に搬送ボックス（３４）内に移送され、前記収容ユニット（３０）は、特に減衰要素（３６）によって、前記基板（８）を一緒に搬送する前に前記搬送ボックス（３４）内に固定される、請求項２４に記載の方法。
前記収容ユニット（３０）内の前記保持装置（２）は、前記基板（８）を一緒に加工する前に前記収容ユニット（３０）を並進させるために回転可能な並進ユニットに移送され、前記収容ユニット（３０）は、好ましくは、前記基板（８）を一緒に加工する間、少なくとも２つの空間方向ｘおよびｙに動かされる、請求項２４に記載の方法。
前処理および／または後処理および／または表面処理が提供され、前記前処理および／または前記後処理は、好ましくは、超音波浴中での洗浄および／または化学洗浄および／または乾燥を含み、表面処理は、特にプラズマコーティングプロセスを含む、請求項２４から２６のいずれか１項に記載の方法。