JP2008112963A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 平面なワークピースを処理するプラズマ処理システムであって、
   複数のプラズマリアクタチャンバと、
   各々の前記チャンバ間でワークピースを搬送することが可能な、前記複数のリアクタチャンバに結合されたワークピース搬送装置と、
   該ワークピース搬送装置に結合され、前記プラズマ処理システムの外部のファクトリ環境との間でワークピースを搬送するファクトリインタフェースとを備え、前記ファクトリインタフェースは、
   （ａ）内部容積を規定するフレームと、
   （ｂ）前記内部容積内の前記フレーム上に支持された回転可能及び並行移動可能なアームと、
   （ｃ）前記アームの外側端に取り付けられたワークピースハンドリングブレードと、
   （ｄ）前記フレームに締結され、前記フレームの前記内部容積内に延び、ワークピース支持面を規定する支持端を備えた静止ワークピース保持用支持ブラケットとを備え、前記ブラケットは、前記ブラケットの周囲の異なる部分に第１及び第２のワークピース搬送端をさらに具備しているプラズマ処理システム。
2. 前記ワークピースハンドリングブレードは、前記ブラケット上にワークピースを配置し、前記ブラケットの前記第１及び第２のワークピース搬送端の各々の１つのワークピースを前記ブラケットから取り去ることが可能である請求項１記載のシステム。
3. 前記ブラケットは、１８０度のワークピース回転ブラケットであり、前記ブラケットの周囲の異なる部分は、前記ブラケットの周囲の対向部分を備えている請求項１記載のシステム。
4. 前記ブラケットによって規定されたワークピース支持面は長方形又は正方形であり、前記周囲の対向部分は互いに平行であり、前記ファクトリインタフェースのフレームの前記内部容積の対向部分に面している反対の端部である請求項３記載のシステム。
5. 前記ファクトリインタフェースのフレームの前記内部容積は短い寸法と、該短い寸法に直交する長い寸法を有しており、前記ファクトリインタフェースのフレームは前記長い寸法に対応し前記短い寸法から分離した一対の対向長辺を備え、該長辺は前記ウェハ搬送装置及び前記ファクトリ環境に各々面している請求項４記載のシステム。
6. 前記ブラケットの対向端部は、前記フレームの長い寸法に沿った前記内部容積内の反対方向に面している請求項５記載のシステム。
7. 前記短い寸法は前記アームの回転を制限する一方、ワークピースの回転を９０度未満の回転に抑える請求項６記載のシステム。
8. 前記ブラケットは、９０度のワークピース回転ブラケットであり、前記ブラケットの周囲の異なる部分は、前記ブラケットの周囲の隣接部分を備えている請求項１記載のシステム。
9. 前記ブラケットによって規定されたワークピース支持面は長方形又は正方形であり、前記周囲の対向部分は互いに直交する隣接端部である請求項８記載のシステム。
10. 前記ファクトリインタフェースのフレームの前記内部容積は、短い寸法と、該短い寸法に直交する長い寸法とを有しており、前記ファクトリインタフェースのフレームは、前記長い寸法に対応し、前記短い寸法から分離した一対の対向長辺を備え、前記長辺は、前記ウェハ搬送装置及び前記ファクトリ環境に各々面している請求項９記載のシステム。
11. 前記ブラケットの隣接端部は、前記フレームの長い寸法に対して各々４５度の角度に沿って配置されている請求項１０記載のシステム。
12. 前記短い寸法は前記アームの回転を制限する一方、ワークピースの回転を９０度未満の回転に抑え、前記短い寸法は前記アームの４５度の回転を許容する一方、ワークピースを保持するのに十分である請求項１１記載のシステム。
13. 前記ブラケットは、
    前記ワークピース支持面に概して平行な支持アームと、
    該支持アームから前記ワークピース支持面に延びた複数のポストとをさらに備える請求項１記載のシステム。
14. 前記ポストの各々は、前記ワークピース支持面の上の第１の上端部と、前記ワークピース支持面における底部と、前記上端部から前記底部へ前記支持面の中心又は内方箇所に向かって下方に傾斜した少なくとも第１の傾斜ワークピース位置決め壁とを備えている請求項１記載のシステム。
15. 前記複数のポストのワークピース位置決め壁は、前記ワークピースのサイズに対応する寸法に前記ワークピース支持面を制限しており、
    前記ワークピース支持面は長方形あるいは正方形であり、各ポストは第１の上端部に直交する第２の上端部と、該第２の上端部から前記底部へ下方に傾斜する第２の傾斜ワークピース位置決め壁とをさらに備え、前記第１及び第２の上端部は直角コーナで交わっている請求項１４記載のシステム。