JP5392941B2 - プラズマリアクタシステム用のワークピース回転装置 - Google Patents
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Description
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- 平面的な長方形又は正方形のワークピースを処理するプラズマ処理システムであって、
複数のリアクタチャンバと、
各々の前記複数のリアクタチャンバ間でワークピースを搬送することが可能な、前記複数のリアクタチャンバに結合されたワークピース搬送装置と、
該ワークピース搬送装置に結合され、前記プラズマ処理システムの外部のファクトリ環境との間でワークピースを搬送するファクトリインタフェースとを備え、前記ファクトリインタフェースは、
(a)内部容積を規定するフレームと、
(b)前記内部容積内の前記フレーム上に支持された回転可能及び並行移動可能なアームと、
(c)前記アームの外側端に取り付けられたワークピースハンドリングブレードと、
(d)前記フレームに締結され、前記フレームの前記内部容積内に延び、ワークピース支持面を規定する支持端を備えた静止ワークピース保持用支持ブラケットとを備え、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットは、90°又は180°の所望のワークピース回転角を定め、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットを上方から見た際に方向の異なる辺上に配置される第1及び第2のワークピース搬送端をさらに具備しており、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットは、前記フレームから片持ち支持され、
(i)前記ワークピース支持面と平行な支持アームと、
(ii)該支持アームから前記ワークピース支持面に延びた複数のポストとをさらに備え、
(iii)前記ポストの各々は、前記ワークピース支持面の上の第1の上端部と、前記ワークピース支持面における底部と、前記上端部から前記底部へ前記ワークピース支持面の中心又は内方箇所に向かって下方に傾斜した少なくとも第1の傾斜ワークピース位置決め壁とを備えており、
前記アーム及びワークピースハンドリングブレードは、前記第1のワークピース搬送端の上空を通過した状態で下降しながら前記静止ワークピース保持用支持ブラケット上にワークピースを配置し、前記第2のワークピース搬送端の上空を通過した状態で上昇しながら前記静止ワークピース保持用支持ブラケットからワークピースを取り去るように制御されるプラズマ処理システム。 - 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットは、180度のワークピース回転ブラケットであり、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記周囲の前記異なる部分は、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記周囲の対向部分を備えている請求項1記載のシステム。
- 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットによって規定されたワークピース支持面は長方形又は正方形であり、前記周囲の前記対向部分は互いに平行であり、前記ファクトリインタフェースの前記フレームの前記内部容積の対向部分に面している対向端部である請求項2記載のシステム。
- 前記ファクトリインタフェースの前記フレームの前記内部容積は短い寸法と、該短い寸法に直交する長い寸法を有しており、前記ファクトリインタフェースのフレームは前記長い寸法に対応し前記短い寸法によって分離した一対の対向長辺を備え、該長辺は前記ワークピース搬送装置及び前記ファクトリ環境に各々向いている請求項3記載のシステム。
- 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記対向端部は、前記フレームの前記長い寸法に沿った前記内部容積内の反対方向に面している請求項4記載のシステム。
- 前記ファクトリインタフェースのフレームの前記長い寸法のほぼ全域に及ぶレールと、前記回転可能及び並行移動可能なアームを前記長い寸法に沿って並行移動させるための前記レール上に支持される移動要素をさらに含む請求項5記載のシステム。
- 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットは、90度のワークピース回転ブラケットであり、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記周囲の前記異なる部分は、前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記周囲の隣接部分を備えている請求項1記載のシステム。
- 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットによって規定されたワークピース支持面は長方形又は正方形であり、前記周囲の前記対向部分は互いに直交する隣接端部である請求項7記載のシステム。
- 前記ファクトリインタフェースの前記フレームの前記内部容積は、短い寸法と、該短い寸法に直交する長い寸法とを有しており、前記ファクトリインタフェースのフレームは、前記長い寸法に対応し、前記短い寸法によって分離した一対の対向長辺を備え、前記長辺は、前記ワークピース搬送装置及び前記ファクトリ環境に各々向いている請求項8記載のシステム。
- 前記静止ワークピース保持用支持ブラケットの前記隣接端部は、前記フレームの前記長い寸法に対して各々45度の角度に沿って配置されている請求項9記載のシステム。
- 前記ファクトリインタフェースのフレームの前記長い寸法のほぼ全域に及ぶレールと、前記回転可能及び並行移動可能なアームを前記長い寸法に沿って並行移動させるための前記レール上に支持される移動要素をさらに含む請求項10記載のシステム。
- 前記複数のポストのワークピース位置決め壁は、前記ワークピースのサイズに対応する寸法に前記ワークピース支持面を制限しており、
前記ワークピース支持面は長方形又は正方形であり、各ポストは前記第1の上端部に直交する第2の上端部と、該第2の上端部から前記底部へ下方に傾斜する第2の傾斜ワークピース位置決め壁とをさらに備え、前記第1及び第2の上端部は直角コーナで交わっている請求項1記載のシステム。
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