JPWO2020262674A5 - - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910000502 Li-aluminosilicate Inorganic materials 0.000 description 2
- GTFLXERTAGJFBN-UHFFFAOYSA-K P(=O)([O-])([O-])[O-].[Zr+4].[K+] Chemical compound P(=O)([O-])([O-])[O-].[Zr+4].[K+] GTFLXERTAGJFBN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Description
本開示のミラー装着部材は、角柱状または角筒状の構造体からなり、外側面として、被接合面に接合するための接合面と、接合面に対して傾斜した斜面とを備えたミラー装着部材であり、斜面は、光源から出射された光を反射するための反射膜を装着するための装着面であり、接合面は、構造体の長手方向に延びる複数の第１溝と、該第１溝と交差する複数の第２溝とを備え、第１溝は、両端が開口しており、第２溝は光が前記反射膜で反射する側に位置する端部が封止されてなる。
本開示の位置計測用ミラーは、上記ミラー装着部材における斜面に反射膜を装着してなる。本開示の露光装置は、位置計測用ミラーが接合された基板ステージを備える。
本開示の位置計測用ミラーは、上記ミラー装着部材における斜面に反射膜を装着してなる。本開示の露光装置は、位置計測用ミラーが接合された基板ステージを備える。
以下、本開示の一実施形態に係るミラー装着部材を、図面を参照して説明する。図１（ａ）～（ｃ）は、本実施形態のミラー装着部材１を示している。同図（ａ）～（ｃ）に示すように、ミラー装着部材１は、角筒状の構造体２からなり、外側面として、被接合面に接合するための接合面３と、接合面３に対して傾斜した斜面４とを備える。被接合面とは、例えば、図５に示した基板ステージ１００の側面に装着されたミラー１０４面をいう。
接合面３に対する斜面４のなす角度は、例えば、４４．８°～４５．２°である。斜面４の平面度は、例えば、３１６．４ｎｍ以下である。
構造体２は、長手方向に沿って貫通孔８を有しており、貫通孔８の長手方向に垂直な断面の形状は円状である。貫通孔８の直径は、例えば、６ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。
接合面３に対する斜面４のなす角度は、例えば、４４．８°～４５．２°である。斜面４の平面度は、例えば、３１６．４ｎｍ以下である。
構造体２は、長手方向に沿って貫通孔８を有しており、貫通孔８の長手方向に垂直な断面の形状は円状である。貫通孔８の直径は、例えば、６ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。
構造体２の材質としては、高い寸法安定性、耐熱性、耐熱変形性などが要求されることから、４０℃～４００℃における平均線膨張率がいずれも±２×１０-６／Ｋ以内であるセラミックスやガラス等が使用可能である。
このようなセラミックスの例として、コージェライト、リチウムアルミノシリケート、リン酸ジルコニウムカリウムまたはムライトを主成分とするセラミックスが挙げられる。コージェライトが主成分であるセラミックスは、ＣａがＣａＯ換算で０．４質量％以上０．６質量％以下、ＡｌがＡｌ ２ Ｏ ３ 換算で２．３質量％以上３．５質量％以下ならびにＭｎおよびＣｒがＭｎＣｒ ２ Ｏ ４ 換算で０．６質量％以上０．７質量％以下含んでいてもよい。このセラミックスは、平均線膨張率を±２０×１０-９／Ｋ以内にすることができる。
リチウムアルミノシリケートが主成分であるセラミックスは、炭化珪素を２０質量％以下含んでいてもよい。
このようなセラミックスの例として、コージェライト、リチウムアルミノシリケート、リン酸ジルコニウムカリウムまたはムライトを主成分とするセラミックスが挙げられる。コージェライトが主成分であるセラミックスは、ＣａがＣａＯ換算で０．４質量％以上０．６質量％以下、ＡｌがＡｌ ２ Ｏ ３ 換算で２．３質量％以上３．５質量％以下ならびにＭｎおよびＣｒがＭｎＣｒ ２ Ｏ ４ 換算で０．６質量％以上０．７質量％以下含んでいてもよい。このセラミックスは、平均線膨張率を±２０×１０-９／Ｋ以内にすることができる。
リチウムアルミノシリケートが主成分であるセラミックスは、炭化珪素を２０質量％以下含んでいてもよい。
複数の第１溝５は、接合面３の長手方向の中心線、すなわち接合面３の短手方向の全長に対して１/２の長さの位置にある長手方向に延びる線、図３の実施形態では第１溝５ａの中心線、に対して鏡面対称に配置されているのがよい。また、複数の第１溝５は、接合面３の短手方向に等間隔で配置されているのがよい。これにより、接合面３の短手方向における部分的な変化を抑制することができるので、装着面の平面度の変化が抑制される。ここで、第１溝５の等間隔の配置とは、第１溝５のそれぞれの中心線の間隔が等しくなっている状態を言う。
本開示のミラー装着部材１は、斜面４に反射膜を装着した状態で位置計測用ミラーとして使用可能である。すなわち、図５に示す斜面ミラー１０３と同様にして、基板ステージ１００等の側面に接合して、位置を計測することができる。その際、本開示のミラー装着部材１は、斜面４に装着した反射膜の平面度が抑制されるので、基板ステージ１００等の正確な位置計測が可能となる。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019122425 | 2019-06-28 | ||
| JP2019122425 | 2019-06-28 | ||
| PCT/JP2020/025391 WO2020262674A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-06-26 | ミラー装着部材、これを使用した位置計測用ミラー、および露光装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2020262674A1 JPWO2020262674A1 (ja) | 2020-12-30 |
| JPWO2020262674A5 true JPWO2020262674A5 (ja) | 2022-03-11 |
| JP7261298B2 JP7261298B2 (ja) | 2023-04-19 |
Family
ID=74061283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021528283A Active JP7261298B2 (ja) | 2019-06-28 | 2020-06-26 | ミラー装着部材、これを使用した位置計測用ミラー、および露光装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220269040A1 (ja) |
| EP (1) | EP3992716A4 (ja) |
| JP (1) | JP7261298B2 (ja) |
| KR (1) | KR20220011153A (ja) |
| CN (1) | CN113994267B (ja) |
| WO (1) | WO2020262674A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022145470A1 (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-07 | 京セラ株式会社 | 構造体、これを使用した位置計測用ミラーおよび露光装置 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373906U (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-25 | ||
| JP3799228B2 (ja) | 2000-12-14 | 2006-07-19 | アルプス電気株式会社 | 樹脂成形光学部品及びそれを備えた光ピックアップ装置 |
| JP2002277782A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Sharp Corp | 光学部品の取付構造 |
| JP2004163491A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光学素子及びその製造方法 |
| JP3946132B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2007-07-18 | 太平洋セメント株式会社 | 位置測定用ミラーおよびミラー用部材 |
| JP3795869B2 (ja) * | 2003-02-18 | 2006-07-12 | 株式会社東芝 | 光モジュール |
| JP2004309733A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Seiko Epson Corp | 凹部付き基材の製造方法、凹部付き基材、マイクロレンズ用凹部付き基材、マイクロレンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ |
| JP2008124219A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Canon Inc | 液浸露光装置 |
| JP4851953B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2012-01-11 | 株式会社日立製作所 | 光学部材 |
| JP2012203371A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Nippon Shokubai Co Ltd | 金属膜を用いた光導波路のミラー部の製造方法、及び光導波路 |
| JP6301067B2 (ja) * | 2013-04-26 | 2018-03-28 | 富士通コンポーネント株式会社 | 光学部材、光モジュール |
| CN105589170A (zh) * | 2016-01-28 | 2016-05-18 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 一种桁架式线性菲涅尔太阳能反射镜框架 |
| CN105652393B (zh) * | 2016-03-18 | 2018-01-05 | 武汉华工正源光子技术有限公司 | 基于光学基座的单纤双向器件的封装结构及封装方法 |
| JP2018004956A (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-11 | 恵和株式会社 | 光学ユニット及び光学ユニットの製造方法 |
| US10580932B2 (en) * | 2016-12-21 | 2020-03-03 | Nichia Corporation | Method for manufacturing light-emitting device |
-
2020
- 2020-06-26 KR KR1020217041608A patent/KR20220011153A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-06-26 EP EP20831467.4A patent/EP3992716A4/en active Pending
- 2020-06-26 JP JP2021528283A patent/JP7261298B2/ja active Active
- 2020-06-26 US US17/621,962 patent/US20220269040A1/en active Pending
- 2020-06-26 WO PCT/JP2020/025391 patent/WO2020262674A1/ja active Application Filing
- 2020-06-26 CN CN202080043907.XA patent/CN113994267B/zh active Active
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