KR20220011153A - 미러 장착 부재, 이것을 사용한 위치 계측용 미러, 및 노광 장치 - Google Patents

미러 장착 부재, 이것을 사용한 위치 계측용 미러, 및 노광 장치 Download PDF

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Abstract

각기둥 형상 또는 각통 형상의 세라믹 구조체로 이루어지고, 외측면으로서 피접합면에 접합하기 위한 접합면과, 피접합면에 대하여 경사진 사면을 구비한 미러 장착 부재이고, 사면은 광원으로부터 출사된 광을 반사하기 위한 반사막을 장착하기 위한 장착면이며, 접합면은 구조체의 길이 방향으로 연장되는 복수의 제 1 홈과, 상기 제 1 홈과 교차하는 복수의 제 2 홈을 구비한다. 제 1 홈은 양단이 개구되어 있으며, 제 2 홈은 광이 상기 반사막에 의해 반사되는 측에 위치하는 단부가 밀봉되어 이루어진다.

Description

미러 장착 부재, 이것을 사용한 위치 계측용 미러, 및 노광 장치
본 개시는, 예를 들면 노광 장치에 있어서 기판 스테이지의 위치 계측에 사용하는 반사막을 장착하기 위한 미러 장착 부재, 이것을 사용한 위치 계측용 미러,및 노광 장치에 관한 것이다.
종래, 레이저 간섭계 및 반사경을 이용하여, 기판을 탑재하는 스테이지의 위치를 계측하는 방법이 액침 노광 장치 등의 전자빔 노광 장치에서 사용되고 있다(특허문헌 1).
이러한 노광 장치에서는 도 5에 나타내는 바와 같이 기판(101)을 유지하는 기판 척(도시하지 않음)과, 기판(101)을 둘러싸는 포위 부재(102)를 갖는 기판 스테이지(100)를 구비한다. 기판 스테이지(100)는 투영 광학계를 통해서 기판(101)을 노광하는 노광 영역 및 기판(101)을 계측하는 계측 영역을 포함하는 영역 내에서 이동가능하고, 구동을 제어 수단에 의해 제어하도록 하고 있다.
기판 스테이지(100)의 위치를 정확하게 계측하기 위해서, 특허문헌 1에는 사면 미러(103)를 기판 스테이지(100)의 측면에 장착된 미러(104)에 부착한 액침 노광 장치가 제안되어 있다. 즉, 도시하지 않은 간섭계로부터 조사된 광축은 사면 미러(103)에 의해 기판 스테이지(100) 상부로 인도되고, 기판 스테이지(100)의 상방에 고정되어 있는 기준 미러(도시하지 않음)에서 반사하고, 기준 미러로부터 리턴된 광축은 사면 미러(103)에서 반사하여 간섭계로 되돌아가 기준광과 간섭하고, 기판 스테이지(100)의 소정 방향에 있어서의 변화량이 계측되어, 기준 위치로부터의 위치가 산출된다.
일본 특허 공개 2008-124219호 공보
본 개시의 미러 장착 부재는 각기둥 형상 또는 각통 형상의 구조체로 이루어지고, 외측면으로서 피접합면에 접합하기 위한 접합면과, 피접합면에 대하여 경사진 사면을 구비한 미러 장착 부재이고, 사면은 광원으로부터 출사된 광을 반사하기 위한 반사막을 장착하기 위한 장착면이고, 접합면은 구조체의 길이 방향으로 연장되는 복수의 제 1 홈과, 상기 제 1 홈과 교차하는 복수의 제 2 홈을 구비하고, 제 1 홈은 양단이 개구되어 있고, 제 2 홈은 광이 상기 반사막에 의해 반사되는 측에 위치하는 단부가 밀봉되어 이루어진다.
본 개시의 위치 계측용 미러는 상기 미러 장착 부재에 있어서의 사면에 반사 막을 장착하여 이루어진다. 본 개시의 노광 장치는 위치 계측용 미러가 접합된 기판 스테이지를 구비한다.
도 1은, (a)는 본 개시의 일 실시형태에 의한 미러 장착 부재를 사면측으로부터 본 개략 사시도, (b)는 동 미러 장착 부재를 접합면측으로부터 본 개략 사시도, (c)는 측면도이다.
도 2는 본 개시의 일 실시형태에 있어서의 접합면을 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 2의 A 부분의 확대도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 구조체의 관통 구멍을 둘러싸는 내주면의 단면을 확대한 모식도이다.
도 5는 기판 스테이지의 일례를 나타내는 개략 사시도이다.
이하, 본 개시의 일 실시형태에 의한 미러 장착 부재를 도면을 참조해서 설명한다. 도 1(a)∼(c)는 본 실시형태의 미러 장착 부재(1)를 나타내고 있다. 동 도면 (a)∼(c)에 나타내는 바와 같이 미러 장착 부재(1)는 각통 형상의 구조체(2)로 이루어지고, 외측면으로서 피접합면에 접합하기 위한 접합면(3)과, 접합면에 대하여 경사진 사면(4)을 구비한다. 피접합면이란, 예를 들면 도 5에 나타낸 기판 스테이지(100)의 측면에 장착된 미러(104)면을 말한다.
접합면(3)에 대한 사면(4)이 이루는 각도는, 예를 들면 44.8°∼45.2°이다.사면(4)의 평면도는, 예를 들면 316.4㎚ 이하이다.
구조체(2)는 길이 방향을 따라 관통 구멍(8)을 갖고 있으며, 관통 구멍(8)의 길이 방향에 수직한 단면의 형상은 원 형상이다. 관통 구멍(8)의 직경은, 예를 들면 6㎜ 이상 10㎜ 이하이다.
구조체(2)의 재질로서는 높은 치수 안정성, 내열성, 내열 변형성 등이 요구 되는 점에서, 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 세라믹스나 유리 등이 사용가능하다.
이러한 세라믹스의 예로서, 코젤라이트, 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨 또는 뮬라이트를 주성분으로 하는 세라믹스가 예시된다. 코젤라이트가 주성분인 세라믹스는 Ca이 CaO 환산으로 0.4질량% 이상 0.6질량% 이하, Al이 Al2O3 환산으로 2.3질량% 이상 3.5질량% 이하 및 Mn 및 Cr이 MnCr2O4 환산으로 0.6질량%이상 0.7질량% 이하 포함하고 있어도 좋다. 이 세라믹스는 평균 선팽창률을 ±20×10-9/K 이내로 할 수 있다.
리튬알루미노실리케이트가 주성분인 세라믹스는 탄화규소를 20질량% 이하 포함하고 있어도 좋다.
또한, 유리의 예로서, 티타늄규산을 주성분으로 하는 유리가 예시된다. 평균 선팽창률이 작은 세라믹스 또는 유리로 이루어지는 부재를 사용하면, 큰 온도 변화에 노출되어도 형상의 변화가 작기 때문에 구조체는 높은 신뢰성을 갖는다.
여기서, 구조체(2)가 세라믹스로 이루어지는 경우, JIS R 1618:2002에 준거하여 평균 선팽창률을 구하면 된다.
구조체(2)가 유리로 이루어지는 경우, JIS R 3251:1995에 준거하여 평균 선팽창률을 구하면 된다.
또한, 구조체(2)의 평균 선팽창률이 ±1×10-6/K 이내인 경우에는 광 헤테로다인법 1광로 간섭계를 이용하여 측정하면 된다.
세라믹스에 있어서의 주성분이란 착안하는 세라믹스를 구성하는 성분의 합계100질량% 중, 60질량% 이상을 차지하는 성분을 말한다. 특히, 주성분은 착안하는 세라믹스를 구성하는 성분의 합계 100질량% 중, 95질량% 이상을 차지하는 성분이면 된다. 세라믹스를 구성하는 성분은 X선 회절 장치(XRD)를 이용하여 구하면 된다. 각 성분의 함유량은 성분을 동정한 후, 형광 X선 분석 장치(XRF) 또는 ICP 발광 분광 분석 장치를 이용하여, 성분을 구성하는 원소의 함유량을 구하고, 동정된 성분으로 환산하면 된다. 유리에 대해서도 마찬가지이다.
구조체(2)의 형상은 접합면(3)과 사면(4)을 구비하는 형상이면 특별히 제한은 없고, 상기한 각통 형상 외에, 각기둥 형상이어도 좋고, 특히 도 1(c)에 나타내는 바와 같이 대략 삼각통 형상 또는 대략 삼각기둥 형상인 것이 바람직하다.
사면(4)은 위치 계측용의 광원으로부터 출사된 광축을 반사하기 위한 반사 막(도시하지 않음)을 장착하기 위한 장착면이다. 반사막으로서는, 예를 들면 알루미늄, 금, 은 등으로 이루어지는 금속막이 예시된다.
접합면(3)은 도 1(b)에 나타내는 바와 같이 구조체(2)의 길이 방향으로 연장되는 복수의 제 1 홈(5)과, 제 1 홈(5)과 교차하는 복수의 제 2 홈(6)을 구비한다. 구체적으로는, 도 2에 나타내는 바와 같이 제 2 홈(6)은 제 1 홈(5)과 직교하는 방향, 즉 구조체(2)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향으로 연장되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는 3개의 제 1 홈(5)이 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제 1 홈(5)을 3∼6개의 범위에서 형성할 수 있다. 제 2 홈(6)에 대해서도 6∼12개의 범위에서 형성할 수 있다.
제 1 홈(5)은 도 2에 나타내는 바와 같이 양단(51, 52)이 개구되어 있다. 이것은 도 2의 A 부분을 확대한 도 3에 화살표로 나타내는 바와 같이 접합면(3)의 폭 방향의 양측에 위치하는 제 1 홈(5b, 5c)을, 접착제를 도포·충전하는 접착제 도포부(7)(편의상, 접착제 도포부를 해칭으로 나타내고 있다)라고 했을 때, 제 1 홈(5b, 5c)에의 접착제 도포 시 및 피접합면에의 접착 시에 공기의 배출로가 되기 때문이다.
한편, 제 2 홈(6)은 양단이 구조체(2)의 폭 방향 양단에 위치하는 제 1 홈(5b, 5c)에 접촉해 연통함으로써 밀봉되어 있다. 그 때문에, 접착제 도포부(7)로부터 접착제가 제 2 홈(6)을 통해서 외부로 밀려나오는 것을 억제할 수 있어 접합 효율이 향상된다. 또한, 도 3에서는 제 2 홈(6)의 양단을 밀봉하고 있지만, 광이 상기 반사막에 의해 반사되는 측에 위치하는 단부(즉, 도 5에 나타내는 바와 같이 기준 미러가 위치하는 방향에 있는 단부(105))가 밀봉되어 있으면 된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 구조체(2)의 폭 방향의 중앙부에 위치하는 제 1 홈(5a)의 폭(w1)은 중앙부의 양측에 위치하는 다른 제 1 홈(5b, 5c)의 폭(w2)보다 좁아져 있다. 그 때문에, 복수의 제 1 홈(5)의 폭이 모두 같은 경우보다, 구조체(2)의 강성이 손상되기 어려워지고, 반사막을 장착하기 위한 장착면의 평면도의 변화를 억제할 수 있다. 또한, 양측에 위치하는 다른 제 1 홈(5b, 5c)이 접착제 도포부(7)이기 때문에 충분히 넓은 폭을 필요로 하는데 반해, 중앙부에 위치하는 제 1 홈(5a)은 후술하는 바와 같이 제 1 홈(5b, 5c)에의 접착제 도포 시 및 접합 시에 공기의 배출에 충분한 홈 폭이면 되고, 넓은 폭을 필요로 하지 않기 때문이다. 이와 같이, 공기의 배출로를 설치함으로써, 접착제의 접합면(3)으로부터의 밀려나옴을 억제할 수 있다. 예를 들면, 폭(w1)은 1.7㎜ 이상 2.3㎜ 이하이고, 폭(w2)은 2.7㎜ 이상 3.3㎜ 이하이다.
복수의 제 1 홈(5)은 접합면(3)의 길이 방향의 중심선, 즉 접합면(3)의 폭 방향의 전체 길이에 대하여 1/2의 길이의 위치에 있는 길이 방향으로 연장되는 선, 도 3의 실시형태에서는 제 1 홈(5a)의 중심선에 대하여 경면 대칭으로 배치되어 있는 것이 좋다. 또한, 복수의 제 1 홈(5)은 구조체(2)의 폭 방향으로 등 간격으로 배치되어 있는 것이 좋다. 이것에 의해, 접합면(3)의 폭 방향에 있어서의 부분적인 변화를 억제할 수 있으므로, 장착면의 평면도의 변화가 억제된다. 여기서, 제 1 홈(5)의 등 간격의 배치란 제 1 홈(5)의 각각의 중심선의 간격이 동등하게 되어 있는 상태를 말한다.
복수의 제 2 홈(6)은 접합면(3)의 폭 방향의 중심선, 즉 접합면(3)의 길이 방향의 전체 길이에 대하여 1/2의 길이의 위치에 있는 폭 방향으로 연장되는 선에 대하여 경면 대칭으로 배치되어 있는 것이 좋다. 또한, 복수의 제 2 홈(6)은 접합면(3)의 길이 방향으로 등 간격으로 배치되어 있는 것이 좋다. 이것에 의해, 접합면(3)의 길이 방향에 있어서의 부분적인 변화를 억제할 수 있으므로, 장착면의 평면도의 변화가 억제된다. 여기서, 제 2 홈(6)의 등 간격의 배치란 제 2 홈(6)의 각각의 중심선의 간격이 동등하게 되어 있는 상태를 말한다.
복수의 제 1 홈(5) 및 복수의 제 2 홈(6) 중, 적어도 접착제 도포부(7)는 홈깊이보다 홈 폭이 큰 것이 좋다. 이것에 의해, 구조체(2)의 강성을 유지하면서 접착 면적이 커지므로 기판 스테이지 등의 피접합 부재에 대한 접착 강도를 높게 할 수 있다.
제 1 홈(5)의 제 1 바닥면(5x)은 블라스트 가공면 또는 레이저 가공면이면 된다. 제 1 홈(5)의 제 1 바닥면(5x)이 블라스트 가공면 및 레이저 가공면 중 어느것이어도, 연삭면에 비해 산술 평균 조도(Ra)를 크게 하기 쉬우므로, 피접합 부재 에 대한 접착 공정에서 높은 앵커 효과가 얻어지고, 진동이 주어져도 접합의 신뢰성은 유지된다.
마찬가지로, 제 2 홈(6)의 제 2 바닥면(6x)은 블라스트 가공면 또는 레이저 가공면이면 된다.
반사막의 장착면인 사면(4)은 산술 평균 조도(Ra)가 0.01㎛ 이상 0.5㎛ 이하인 것이 좋다. 산술 평균 조도(Ra)가 0.01㎛ 이상이면 증착법으로 반사막을 형성하는 경우, 적절한 앵커 효과를 얻을 수 있고, 산술 평균 조도(Ra)가 0.5㎛ 이하이면 깊은 손상이 사면(4)에 상대적으로 적어지므로, 손상의 내부에 조대한 부유 입자가 부착되기 어려워진다. 산술 평균 조도(Ra)가 상기 범위이면 반사막의 접합 강도가 향상됨과 아울러, 반사막의 표면의 평면도도 억제된 것으로 된다.
사면(4)의 산술 평균 조도(Ra)는 JIS B0601:2001에 준거해서 구하고, 예를 들면 Kosaka Laboratory, Ltd.제 표면 조도 측정기(서프 코더) SE500을 사용하고, 측정 조건으로서는 촉침의 반경을 5㎛, 측정 길이를 2.5㎜, 컷오프값을 0.8㎜로 하면 된다.
도 4는 도 1(a)∼(c)에 나타내는 구조체(2)의 관통 구멍(8)을 둘러싸는 내주면의 단면을 확대한 모식도이고, 관통 구멍(8)의 중심선을 포함하는 평면으로 절단한 단면의 일례를 나타내는 도면이다.
구조체(2)의 관통 구멍(8)을 둘러싸는 내주면은 결정 입자 사이에 존재하는 입계상(10)의 노출부(10a)보다 돌출되어 있는 결정 입자(9)를 갖고 있어도 된다.
이러한 구성이면 입계상(10)이 결정 입자(9)로부터 우묵한 상태로 위치하게 된다. 그 때문에, 순수, 초순수 등과의 접촉각이 작아져서 친수성(습윤성)이 보다 향상되므로 세정 효율이 높아진다.
위치 계측용 미러는 사면(4)과 반사막 사이에 하지층(도시하지 않음)을 구비하고, 하지층은 크롬, 산화크롬, 산화이트륨, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄, 산화알루미늄 및 알루민산마그네슘 중 적어도 어느 하나로 이루어지고 있어도 된다.
이들 성분으로 이루어지는 하지층은 사면(4)과 반사막의 밀착성을 높임과 아울러, 사면(4) 상에서 개구하는 기공 내에 포함되는 수증기의 반사막에의 접촉에 의한 부식을 억제할 수 있다.
산화크롬, 산화이트륨, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄, 산화알루미늄 및 알루민산마그네슘의 각 조성식은, 예를 들면 CrO, Cr2O3, Y2O3, LaTiO3, La2Ti3O8, SiO2, TiO2, Al2O3 및 MgAl2O4이다.
하지층의 두께는, 예를 들면 10∼200㎚, 특히 30∼80㎚이면 좋다.
위치 계측용 미러는 반사막의 표면 상에 증반사막(도시하지 않음)을 구비하고, 증반사막은 산화이트륨, 불화마그네슘, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄 및 산화알루미늄 중 적어도 어느 하나로 이루어지고 있어도 된다.
증반사막은 광의 간섭 효과에 의해 반사율을 높게 할 수 있다.
이들 성분으로 이루어지는 증반사막은 반사율을 높게 할 수 있음과 아울러, 공기 중에 포함되는 수증기의 반사막에의 접촉에 의한 부식을 억제할 수 있다.
산화이트륨, 불화마그네슘, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄 및 산화알루미늄의 각 조성식은, 예를 들면 Y2O3, MgF, LaTiO3, La2Ti3O8, SiO2, TiO2, Al2O3이다.
또한, 증반사막은 저굴절률층과, 저굴절률층과 두께가 다른 고굴절률층으로 이루어지는 적층체를 복수 구비하고 있어도 된다.
이러한 구성으로 함으로써 넓은 파장 영역에서 높은 반사율을 얻을 수 있다.
적층체는, 예를 들면 저굴절률층이 SiO2 또는 MgF, 고굴절률층이 Nb2O5, TiO2 또는 HfO2로 이루어지고, 두께(물리층 두께)의 차는 1㎚ 이상 50㎚ 이하이고, 적층체의 개수는 20개 이상(층수는 40층 이상)이다. 적층체의 두께의 합계는, 예를 들면 400㎚ 이상 3000㎚ 이하이다.
본 개시의 미러 장착 부재(1)는 접합면(3)이 구조체(2)의 길이 방향으로 연장되는 복수의 제 1 홈(5)과, 상기 제 1 홈(5)과 교차하는 복수의 제 2 홈(6)을 구비하고, 제 1 홈(5)은 양단이 개구되어 있고, 제 2 홈(6)은 광이 반사막에서 반사 하는 측에 위치하는 단부가 밀봉되어 이루어지기 때문에 접착제를 이용하여 기판 스테이지(100)의 측면에 장착해도 반사막, 하지층 및 증반사막은 접착제의 수축에 의한 영향을 받기 어려워져 기판 스테이지의 위치를 정확하게 계측할 수 있다.
본 개시의 미러 장착 부재(1)는 사면(4)에 반사막을 장착한 상태에서 위치 계측용 미러로서 사용가능하다. 즉, 도 5에 나타내는 사면 미러(104)와 마찬가지로 해서 기판 스테이지(100) 등의 측면에 접합하여 위치를 계측할 수 있다. 그 때, 본 개시의 미러 장착 부재(1)는 사면(4)에 장착한 반사막의 평면도가 억제되므로 기판 스테이지(100) 등의 정확한 위치 계측이 가능해진다.
따라서, 본 개시는 위치 계측용 미러가 접합된 기판 스테이지를 구비한 노광 장치에 적합하게 적용가능하다. 또한, 본 개시의 위치 계측용 미러는 노광 장치뿐만 아니라, 정확한 위치 계측이 요구되는 용도에도 적용가능하다.
이어서, 본 개시의 미러 장착 부재의 제조 방법의 일례에 대해서 설명한다. 구조체가 코젤라이트를 주성분으로 하는 세라믹스로 이루어지는 경우에 대해서 설명한다.
우선, 탄산마그네슘, 산화알루미늄, 산화규소의 각 분말이 소정 비율이 되도록 조합한 혼합 분말을 가소하고, 분쇄한 합성 코젤라이트 분말과, 산화알루미늄 분말과, 탄산칼슘 분말을 이용하여 소정의 비율로 칭량해서 1차 원료로 한다.
여기서, 예를 들면 1차 원료의 합계 100질량%에 포함되는 산화알루미늄 분말의 함유량은 3질량% 이상, 탄산칼슘 분말은 CaO 환산으로의 함유량이 0.4질량% 이상 0.6질량% 이하와, 합성 코젤라이트 분말은 95질량% 이상이 되도록 하면 된다.
이러한 비율로 함으로써 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률의 절대값이 0.03ppm/℃ 이하이며, 비강성이 57GPa·㎤/g 이상이며, 4점 굽힘 강도가 250MPa 이상인 세라믹스로 할 수 있다.
세라믹스의 기계적 강도 및 내약품성을 향상시키기 위해서, 1차 원료의 합계100질량% 중, 산화지르코늄의 분말을 3질량% 이하 포함하고 있어도 된다.
그리고, 이 1차 원료를 습식 혼합한 후, 바인더를 추가하여 슬러리를 얻는다. 그리고, 분무 조립법(스프레이 드라이법)으로 슬러리를 분무, 건조해서 과립을 얻는다. 과립을 성형틀에 충전해서 정수압 프레스 성형(러버 프레스)법이나 분말 프레스 성형법으로 성형해 각기둥 형상의 성형체를 얻는다. 필요에 따라, 절삭 가공에 의해 관통 구멍을 형성한 후, 대기 분위기 중 1400℃를 초과하고 1450℃ 이하인 최고 온도에서 소성함으로써, 각기둥 형상 또는 각통 형상의 구조체를 얻을 수 있다.
또한, 소성 후에 압력을 100∼200MPa, 온도를 1000∼1350℃로서 열간 등방 가압 프레스함으로써 보다 치밀화시킬 수 있다.
그리고, 연마 후에 접합면이 되는 소성면 중, 가공을 실시하지 않은 부분에 마스크를 실시하고, 그 상태에서 블라스트 가공 또는 레이저 가공으로 홈을 형성하면 된다.
홈을 형성한 후, 마스크를 분리하고, 적어도 연마 후에 사면이 되는 제 1 소성면 및 접합면이 되는 제 2 소성면을 연마함으로써 본 개시의 미러 장착 부재를 얻을 수 있다.
연마의 상세에 대해서는, 예를 들면 우선 평균 입자지름이 1㎛의 산화알루미늄의 연마 입자를 사용하고, 폴리우레탄 패드 상에서 2∼10시간 연마한다. 이어서, 평균 입자지름이 1㎛인 산화세륨 연마 입자를 사용하고, 폴리우레탄 패드 상에서 2∼10시간 정도 연마함으로써 사면 및 접합면을 얻을 수 있다.
소성으로 생긴 잔류 응력을 저감하는 등의 목적으로 제 1 소성면과 제 2 소성면을 접속하는 제 3 소성면 및 구조체의 길이 방향 양단에 위치하는 끝면의 적어도 어느 하나를 연마해도 좋다.
그리고, 하지층, 반사막, 증반사막 등을 구비한 위치 계측용 미러는, 예를 들면 진공 증착, 이온 어시스트 증착 등의 증착법, 스퍼터링 또는 이온 플레이팅에 의해 형성할 수 있다.
1 : 미러 장착 부재 2 : 구조체
3 : 접합면 4 : 사면
5, 5a, 5b, 5c : 제 1 홈 5x : 제 1 바닥면
6 : 제 2 홈 6x : 제 2 바닥면
7 : 접착제 도포부 8 : 관통 구멍
9 : 결정 입자 10 : 입계상
10a : 노출부 100 : 기판 스테이지
101 : 기판 102 : 포위 부재
103 : 사면 미러 104 : 미러
105 : 단부

Claims (18)

  1. 각기둥 형상 또는 각통 형상의 구조체로 이루어지고, 외측면으로서 피접합면에 접합하기 위한 접합면과, 상기 접합면에 대하여 경사진 사면을 구비하고,
    상기 사면은 광원으로부터 출사된 광을 반사하기 위한 반사막을 장착하기 위한 장착면이고,
    상기 접합면은 상기 구조체의 길이 방향으로 연장되는 복수의 제 1 홈과, 상기 제 1 홈과 교차하는 복수의 제 2 홈을 구비하고,
    상기 제 1 홈은 양단이 개구되어 있고, 상기 제 2 홈은 적어도, 광이 상기 반사막에 의해 반사되는 측에 위치하는 단부가 밀봉되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 미러 장착 부재.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구조체는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 세라믹스 또는 유리로 이루어지는 미러 장착 부재.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 홈은 양단이 밀봉되어 이루어지는 미러 장착 부재.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접합면에 있어서 상기 구조체의 길이 방향에 교차하는 폭 방향의 중앙부에 위치하는 상기 제 1 홈의 폭은 상기 중앙부의 양측에 위치하는 다른 상기 제 1 홈의 폭보다 좁은 미러 장착 부재.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 홈은 상기 접합면의 길이 방향의 중심선에 대하여 경면 대칭으로 배치되어 이루어지는 미러 장착 부재.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 홈은 상기 접합면의 폭 방향으로 등간격으로 배치되어 이루어지는 미러 장착 부재.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 2 홈은 상기 접합면의 폭 방향의 중심선에 대하여 경면 대칭으로 배치되어 이루어지는 미러 장착 부재.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 2 홈은 상기 접합면의 길이 방향으로 등간격으로 배치되어 이루어지는 미러 장착 부재.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 홈 및 복수의 상기 제 2 홈 중, 적어도 접착제 도포부는 홈 깊이보다 홈 폭이 큰 미러 장착 부재.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 홈의 제 1 바닥면은 블라스트 가공면 또는 레이저 가공면인 미러 장착 부재.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 제 2 홈의 제 2 바닥면은 블라스트 가공면 또는 레이저 가공면인 미러 장착 부재.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 사면의 산술 평균 조도(Ra)는 0.01㎛ 이상 0.5㎛ 이하인 미러 장착 부재.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체는 상기 길이 방향을 따라 관통 구멍을 갖고, 상기 관통 구멍을 둘러싸는 내주면은 결정 입자 사이에 존재하는 입계상의 노출부보다 돌출되어 있는 결정 입자를 갖는 미러 장착 부재.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 미러 장착 부재에 있어서의 상기 사면에 반사막을 장착해서 이루어지는 위치 계측용 미러.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 사면과 상기 반사막 사이에 하지층을 구비하고, 상기 하지층은 크롬, 산화크롬, 산화이트륨, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄, 산화알루미늄 및 알루민산마그네슘으로부터 선택되는 적어도 1종으로 이루어지는 위치 계측용 미러.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 반사막의 표면 상에 증반사막을 구비하고, 상기 증반사막은 산화이트륨, 불화마그네슘, 티탄산란탄, 산화규소, 산화티탄 및 산화알루미늄으로부터 선택되는 적어도 1종으로 이루어지는 위치 계측용 미러.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 반사막의 표면 상에 증반사막을 구비하고, 상기 증반사막은 저굴절률층과, 상기 저굴절률층과 두께가 다른 고굴절률층으로 이루어지는 적층체를 복수 구비하고 있는 위치 계측용 미러.
  18. 제 14 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 기재된 위치 계측용 미러가 접합된 기판 스테이지를 구비한 노광 장치.
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