JPWO2020054387A1 - 基板搬送ロボット及びターゲット体のエッジ位置教示方法 - Google Patents
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Abstract
Description
主面が水平となる姿勢で設置された前記ターゲット体のエッジよりも外側且つ前記ターゲット体より上方又は下方に規定された所定の初期位置に前記光電センサの光軸を移動させること、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されるまで、前記光軸の所定の前進サイクルを繰り返すこと、及び、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたときの前記基板搬送ロボットの姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの被検出点の位置を求めてそれを記憶すること、を含み、
前記前進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記ターゲット体へ向かう水平な所定の走査方向へ所定の第1移動量の前進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向への前記第1移動量の前進の一連の移動を含むものである。
前記エッジ位置教示プログラムは、前記コントローラが、
主面が水平となる姿勢で設置された板状のターゲット体のエッジよりも外側且つ前記ターゲット体より上方又は下方に規定された所定の初期位置に前記光電センサの光軸が移動するように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されるまで、前記光軸の所定の前進サイクルを繰り返すように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたときの前記ロボット本体の姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの被検出点の位置を求めてそれを記憶するように、構成されており、
前記前進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記ターゲット体へ向かう水平な所定の走査方向へ所定の第1移動量の前進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向へ前記第1移動量の前進の一連の移動を含むものである。
図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボット1の概略側面図、図2は図1に示す基板搬送ロボット1が備えるハンド5の平面図である。図1及び図2に示す基板搬送ロボット1は、ロボット本体10と、ロボット本体10の動作を制御するコントローラ6とを備える。基板搬送ロボット1は、図示されない基板載置部に対し基板3の搬入(積載)及び搬出を行うものである。基板搬送ロボット1は、例えば、EFEM(Equipment Front End Module)、ソータ、基板処理システムなどの、各種の基板3を搬送するシステムに備えられてよい。
ロボット本体10は、基台73と、基台73に支持された水平多関節型ロボットアーム(以下、「アーム7」と称する)と、アーム7の先端に連設された基板保持ハンド(以下、「ハンド5」と称する)と、ハンド5に設けられた透過型の光電センサ4とを有する。なお、本実施形態では光電センサ4として透過型の光電センサが採用されているが、これに代えて回帰反射型の光電センサが採用されてもよい。
図3は、基板搬送ロボット1の制御系統の構成を示すブロック図である。コントローラ6は、いわゆるコンピュータであって、例えば、マイクロコントローラ、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC又はFPGA等のプロセッサ66と、ROM、RAM等のメモリ67とを有する。メモリ67には、エッジ位置教示プログラム70を含むプロセッサ66が実行するプログラムが記憶されている。また、メモリ67には、プロセッサ66が行う処理に使用される初期位置、第1移動量、第2移動量、基板3(ターゲット体30)の形状、基板3のおおよその載置位置などの設定データ、教示点データなどを含む各種データなどが格納されている。
以下、上記構成の基板搬送ロボット1によって行われるターゲット体30のエッジ位置教示方法について、図4及び図5を用いて説明する。図4は、ターゲット体30のエッジ位置教示方法を説明する図であり、図5は、ターゲット体30のエッジ位置教示処理のフロー図である。コントローラ6において、プロセッサ66がエッジ位置教示プログラム70を実行することにより、基板搬送ロボット1でターゲット体30のエッジ位置教示に係る処理が行われる。
(A1)ターゲット体30の高さレベルを通過する上昇(又は、降下)、
(A2)ターゲット体30へ向かう水平な所定の走査方向へ所定の第1移動量の前進、
(A3)ターゲット体30の高さレベルを通過する降下(又は、上昇)、
(A4)ターゲット体30へ向かう走査方向へ第1移動量の前進。
(B1)ターゲット体30の高さレベルを通過する上昇(又は、降下)、
(B2)ターゲット体30のエッジに近づくように走査方向へ所定の第2移動量の後進、
(B3)ターゲット体30の高さレベルを通過する降下(又は、上昇)、
(B4)ターゲット体30のエッジに近づくように走査方向へ第2移動量の後進。
3 基板
10 ロボット本体
30 ターゲット体
4 光電センサ
41 投光器
42 受光器
43 光軸
5 ハンド
51 ハンド基部
52 ブレード
6 コントローラ
60 昇降駆動装置
61 第1関節駆動装置
62 第2関節駆動装置
63 手首関節駆動装置
64 エアシリンダ
66 プロセッサ
67 メモリ
70 エッジ位置教示プログラム
73 基台
74 昇降軸
75 第1リンク
76 第2リンク
Claims (6)
- 基板を保持するハンド、当該ハンドを変位させるロボットアーム、及び、前記ハンドの先端部に設けられた光電センサを備えた基板搬送ロボットに、板状のターゲット体のエッジの位置を教示する方法であって、
主面が水平となる姿勢で設置された前記ターゲット体のエッジよりも外側且つ前記ターゲット体より上方又は下方に規定された所定の初期位置に前記光電センサの光軸を移動させること、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されるまで、前記光軸の所定の前進サイクルを繰り返すこと、及び、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたときの前記基板搬送ロボットの姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの位置を求めてそれを記憶すること、を含み、
前記前進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記ターゲット体へ向かう水平な所定の走査方向へ所定の第1移動量の前進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向への前記第1移動量の前進の一連の移動を含む、
ターゲット体のエッジ位置教示方法。 - 前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたあと、前記光軸を所定量だけ前記走査方向へ前進させてから、前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されなくなるまで、前記光軸の所定の後進サイクルを繰り返すこと、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されなくなったときの前記基板搬送ロボットの姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの位置を求めてそれを記憶すること、を更に含み、
前記後進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記走査方向への所定の第2移動量の後進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向へ前記第2移動量の後進の一連の移動を含む、
請求項1に記載のエッジ位置教示方法。 - 前記第1移動量よりも、前記第2移動量が小さい、
請求項2に記載のエッジ位置教示方法。 - 基板を保持するハンド、前記ハンドを変位させるロボットアーム、及び、前記ハンドの先端部に設けられた光電センサを有するロボット本体と、
エッジ位置教示プログラムを記憶したメモリ、及び、前記エッジ位置教示プログラムを実行するプロセッサを有するコントローラとを備え、
前記エッジ位置教示プログラムは、前記コントローラが、
主面が水平となる姿勢で設置された板状のターゲット体のエッジよりも外側且つ前記ターゲット体より上方又は下方に規定された所定の初期位置に前記光電センサの光軸が移動するように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されるまで、前記光軸の所定の前進サイクルを繰り返すように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたときの前記ロボット本体の姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの位置を求めてそれを記憶するように、構成されており、
前記前進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記ターゲット体へ向かう水平な所定の走査方向へ所定の第1移動量の前進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向へ前記第1移動量の前進の一連の移動を含む、
基板搬送ロボット。 - 前記エッジ位置教示プログラムは、前記コントローラが、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されたあと、前記光軸が所定量だけ前記走査方向へ前進するように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されなくなるまで、前記光軸の所定の後進サイクルを繰り返すように前記ロボット本体を動作させ、
前記光電センサで前記ターゲット体のエッジが検出されなくなったときの前記ロボット本体の姿勢に基づいて前記ターゲット体のエッジの位置を求めてそれを記憶するように、構成されており、
前記後進サイクルが、前記ターゲット体の高さレベルを通過する上昇又は降下、前記走査方向へ所定の第2移動量の後進、前記ターゲット体の高さレベルを通過する降下又は上昇、及び、前記走査方向へ前記第2移動量の後進の一連の移動を含む、
請求項4に記載の基板搬送ロボット。 - 前記第1移動量よりも、前記第2移動量が小さい、
請求項5に記載の基板搬送ロボット。
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