JPWO2018016485A1 - フォトマスク、フォトマスク製造方法、及びフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2016年7月21日に日本に出願された特願2016−143333号及び2016年12月9日に日本に出願された特願2016−238997号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
以下、本発明のフォトマスクの第1実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることは可能である。尚、同一の構成要素については便宜上の理由がない限り同一の符号を付け、重複する説明は省略する。また、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、特徴となる部分を拡大して示しており、各構成要素の寸法比率などは実際と同じではない。
尚、本発明のフォトマスクは、着色画素やブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタ基板やシリコン基板の製造方法、及びマイクロレンズが形成されたOCF層の製造方法に適用することができるが、以下、簡略化のためこれらの製造方法を一括して、カラーフィルタの製造方法と呼称する。
すなわち、マルチレンズ33の接続部を含むスキャン露光により転写される領域に存在するフォトマスクの複数のパターンの線幅が、上記接続部を含まないスキャン露光により転写される領域に存在する当該フォトマスクの上記パターンと同形のパターンの線幅に対して補正された線幅となっている。
本発明の第2実施形態のフォトマスクについて説明する。
図9は、本発明の第2実施形態のフォトマスクの一例を示す模式的な平面図である。図10は、本発明の第2実施形態のフォトマスクにおける単独露光用領域の構成を示す模式的な拡大図である。図11は、本発明の第2実施形態のフォトマスクにおける複合露光用領域の構成を示す模式的な拡大図である。
なお、各図面は模式図のため、形状および寸法は拡大されている場合がある(以下の図面も同様)。
一般的には、等倍露光の露光装置に用いるマスクパターンは、被露光体に形成する露光パターンと同一の形状及び大きさにすればよい。しかし、本実施形態におけるマスクパターンPは、場所によっては、露光パターンの形状または大きさとは異なっている。
マスクパターンPは、光透過性基板2の表面において、光透過性基板2の長辺に沿うy方向と、光透過性基板2の短辺に沿うx方向と、において、2次元的に形成されている。光透過性基板2が平面視で正方形である場合には、x方向は光透過性基板2の互いに接続された2辺のうちの一方に沿い、y方向は当該2辺のうちの他方に沿っている。
光透過性基板2上におけるマスクパターンPの位置を記述するため、x方向にはx座標軸(第1の座標軸)が、y方向にはy座標軸(第2の座標軸)がそれぞれ設定されている。図9では、一例として、光透過性基板2の外形の一頂点を原点Oとするx座標軸とy座標軸とが設定されている。ただし、xy座標系の原点Oは、光透過性基板2における適宜の位置に設定されていてもよい。
パターンP1は、x方向の幅がWSとされてy方向に帯状に延びている単独露光用領域RS(第1の領域)に形成されている。
パターンP2は、x方向の幅がWCとされてy方向に帯状に延びている複合露光用領域RC(第2の領域)に形成されている。
単独露光用領域RSと複合露光用領域RCとは、x方向において交互に配列されている。単独露光用領域RSおよび複合露光用領域RCの大きさ、配列ピッチは、後述する露光装置における投影光学系の構成に応じて適宜に設定される。
以下では、WS、WC(ただし、WC<WS)は、それぞれ一定値である場合の例で説明する。このため、x方向における単独露光用領域RSおよび複合露光用領域RCの配列ピッチは、いずれもWS+WCである。
以下では、マスクパターンPの一例として、露光措置の照明光が透過する光透過部の平面視形状が矩形格子の場合の例で説明する。このような矩形格子状の露光パターンは、例えば、液晶装置におけるカラーフィルタに用いられるブラックマトリクス(BM)を形成するために用いられてもよい。
パターンP1は、平面視矩形状の遮光部3bが、x方向およびy方向において矩形格子状に配列されている。例えば、遮光部3bの配列ピッチは、x方向ではPx、y方向ではPyである。例えば、フォトマスク1がBM形成用の場合には、ピッチPx(Py)は、x方向(y方向)におけるサブ画素の配列ピッチに一致している。
各遮光部3bの間には、光透過性基板2の表面が露出した光透過部3aが形成されている。光透過部3aは、x方向に延びる第1線状部3ax(第1の光透過部)と、y方向に延びる第2線状部3ay(第2の光透過部)とに分けられる。すなわち、光透過部3aは、第1線状部3axと、第2線状部3ayと、を有している。
本実施形態における単独露光用領域RSにおいては、第1線状部3axは、一定の線幅L1y(第1の線幅、y方向の線幅)を有する。第2線状部3ayは、一定の線幅L1x(第2の線幅、x方向の線幅)である。例えば、フォトマスク1がBM形成用の場合には、線幅L1y、L1xは、それぞれ、y方向、x方向におけるBMの線幅に等しい。
パターンP2は、パターンP1と同様、平面視矩形状の遮光部3bが、x方向およびy方向において矩形格子状に配列されている。例えば、遮光部3bの配列ピッチは、x方向ではPx、y方向ではPyである。ただし、パターンP2では、遮光部3bの大きさはパターンP1における大きさとは異なる。図11では、対比のため単独露光用領域RS(パターンP1)における遮光部3bの形状が二点鎖線で示されている。
このため、パターンP2では、光透過部3aにおける第1線状部3ax、第2線状部3ayの線幅が、パターンP1における線幅とは異なる。
複合露光用領域RCにおいては、第1線状部3axは、x方向に変化する線幅L2y(x)(第3の線幅)を有する。第2線状部3ayは、x方向に変化する線幅L2x(x)(第4の線幅)を有する。ここで、(x)は、線幅が位置xの関数であることを表している。
本実施形態では、複合露光用領域RCにおける露光量の低下を補正するため、L2y(x)>L1y、L2x(x)>L1xの関係がある。
L2y(x)、L2x(x)の具体的な変化については、フォトマスク1を用いる露光装置について説明した後に説明する。
図12は、本発明の第2実施形態のフォトマスクを用いる露光装置の一例を示す模式的な正面図である。図13は、本発明の第2実施形態のフォトマスクを用いる露光装置の一例を示す模式的な平面図であって、図12におけるA視の平面図である。図14は、露光装置に用いられる視野絞りの一例を示す模式的な平面図である。図15は、露光装置に用いられる視野絞りの他の一例を示す模式的な平面図である。
ベース51は、図示略の駆動装置によって、水平面においてY方向に直交するX方向(図12における紙面奥から手前に向かう方向)に移動できるように構成されてもよい。
被露光体60は、適宜の基板上に、フォトリソグラフィを行うための感光性のレジストが塗布されて構成される。このレジストは、ネガレジストでもよいし、ポジレジストでもよい。
露光装置50におけるフォトマスク1は、y座標軸の正方向がY方向と反対向きとされ、x座標軸がX方向に沿うように配置される。
図14に示すように、視野絞り53は、X方向にw1+w2(ただし、w1<w2)のピッチで配列された複数の第1開口部53Aと、Y方向に距離Δ(ただしΔ>h/2、hの内容は後述する)だけ平行にずれた軸線上でX方向にw1+w2のピッチで配列された複数の第2開口部53Bと、を有する。
第1辺53aは等脚台形の上底であり、第2辺53bは等脚台形の下底である。第1辺53a、第2辺53bの長さはそれぞれw1、w2である。第1辺53a、第2辺53bは、Y方向において距離hだけ離れている平行線である(以下、距離hを開口幅hと称する場合がある)。第3辺53c、第4辺53dは、X方向においてこの順に配置された等脚台形の脚である。第1開口部53Aにおける第3辺53cと第4辺53dとの間隔は、Y方向に向かうに従い次第に拡大している。
このような配置により、第1開口部53Aおよび第2開口部53Bは、X方向に沿う軸線O53(第1の軸線、X方向)に沿って千鳥配列されている。
Y方向から見ると、第1開口部53Aおよび第2開口部53Bにおける第3辺53c同士と、第4辺53d同士とは互いに重なっている。Y方向から見ると、第1開口部53Aの第1辺53a(または第2辺53b)と第2開口部53Bの第2辺53b(または第1辺53a)とにおける端部は同じ位置にある。
(w2−w1)/2は、例えば、14mm以上18mmとされてもよい。hは、例えば、25mm以上45mmとされてもよい。(w1+w2)/2は、例えば、95mm以上100mm以下とされてもよい。距離Δは、例えば、200mm以上300mm以下とされてもよい。
視野絞り54は、X方向に2w3のピッチで配列された複数の第1開口部54Aと、Y方向に距離Δだけ平行にずれた軸線上でX方向に2w2のピッチで配列された複数の第2開口部54Bと、を有する。
このような配置により、第1開口部54Aおよび第2開口部54Bは、X方向に沿う軸線O54(第1の軸線)に沿って千鳥配列されている。
Y方向から見ると、第1開口部54Aにおける第3辺54cと第2開口部54Bにおける第4辺54dとは互いに重なっており、第1開口部54Aにおける第4辺54dと第2開口部54Bにおける第3辺54cとは互いに重なっている。Y方向から見ると、第1開口部54Aの第1辺54a(または第2辺54b)と第2開口部54Bの第1辺54a(または第2辺54b)とにおける端部は同じ位置にある。
図13に示すように、投影光学ユニット55は、軸線O53に沿って千鳥配列された複数の第1投影光学系55A(投影光学系)と、複数の第2投影光学系55B(投影光学系)とを備える。
図14に示すように、第1投影光学系55Aは、第1開口部53Aの像を被露光体60に投影できるように、第1開口部53Aの下方に配置されている。第2投影光学系55Bは、第2開口部53Bの像を被露光体60に投影できるように、第2開口部53Bの下方に配置されている。
このような位置関係に第1投影光学系55Aおよび第2投影光学系55Bが配置されることから、第1開口部53Aおよび第2開口部53Bの間の間隔は、第1投影光学系55Aおよび第2投影光学系55Bが互いに干渉しないように、両者の間にある程度の距離を確保する必要がある。このため、第1開口部53Aと第2開口部53Bとのy方向における距離Δは、例えば、Y方向の開口幅hの6倍から8倍程度のような大きな値になる。
図16は、露光装置による露光動作について説明する模式図である。図17(a)、(b)は、露光装置における実効的な露光量について説明する模式図である。図17(b)のグラフの横軸はx方向の位置、縦軸は後述する実効的な露光量を表す。
照明光源52が点灯されると、視野絞り53の各第1開口部53A、各第2開口部53Bを透過した照明光が、フォトマスク1に照射される。
フォトマスク1における光透過部3aを透過した光のうち、第1開口部53Aを通過した光は第1投影光学系55Aによって、第2開口部53Bを通過した光は第2投影光学系55Bによって、それぞれ被露光体60に等倍投影される。
この結果、図16に示すように、被露光体60上には、第1開口部53Aを通過した光の光像である第1の光像63Aと、第2開口部53Bを通過した光の光像である第2の光像63Bとが投影される。第1の光像63Aおよび第2の光像63Bには、マスクパターンPなどの物体像に対応する輝度分布が形成される。ただし、図16では簡単のため輝度分布の図示は省略されている。
第1の光像63Aおよび第2の光像63Bは、第1開口部53Aおよび第2開口部53Bと同様、被露光体60上において、x座標軸に平行な軸線O63に沿って千鳥配列される。
ただし、第1開口部53Aおよび第2開口部53BはY方向において距離Δだけずれている。このため、第1の光像63Aと第2の光像63Bとが同時に掃く領域は、x方向において距離(w1+w2)/2だけずれるとともに、y方向において距離Δだけずれている。
ベース51の移動速度をvとすると、第2の光像63Bは、時間差T=Δ/vだけ遅れて、先行して第1の光像63Aが走査した領域とy方向で同じ位置の他の領域に到達する。
例えば、走査が開始された時刻t0とすると、第2の光像63Bは、時刻t0における第1の光像63Aとy方向で同じ位置に、時刻t1=t0+Tにおいて到達する。このとき、第2の光像63Bは、時刻t0において結像された互いにx方向で隣り合う第1の光像63Aの間にちょうど嵌り込む。
すなわち、時刻t0では、第1の光像63Aが並ぶx方向の領域は、第1の光像63Aによって、間隔をあけて露光されるのみであるが、時刻t1においては、同領域の非露光部が、第2の光像63Bによって露光される。これにより、x方向に延びる上記領域は、時間差Tをあけて、隙間なく帯状に露光される。第1の光像63Aにおける等脚台形の脚と第2の光像63Bにおける等脚台形の脚とは、それぞれによる露光領域の継ぎ目の境界を構成している。
走査によって第1の光像63Aが掃く領域では、時刻t0以降の走査によって、フォトマスク1のマスクパターンPが被露光体60上に結像されていく。マスクパターンPの露光時間は、第1開口部53AにおけるY方向の開口幅hを速度vで割った時間である。第1開口部53Aの第1辺53aと第2辺53bとで挟まれた矩形状領域では、露光時間t fはh/vである。以下では、露光時間tfをフル露光時間という。
ところが、第1開口部53Aの、第3辺53cと第2辺53bとで挟まれた三角形領域および第4辺53dと第2辺53bとで挟まれた三角形領域では、x方向における露光時間が0からフル露光時間の間で線形に変化する。
同様に、走査によって第2の光像63Bが掃く領域では、時間差Tだけ遅れて、第1の光像63Aによるのと同様な露光が行われる。このため、第2の光像63Bが掃く領域は、フル露光時間tfで露光される領域と、フル露光時間tf未満で露光される領域とに分かれる。
フル露光時間tf未満で露光される領域は、時刻t0における第1の光像63Aと時刻t1における第2の光像63Bとの継ぎ目に関わる露光領域である。
これに対して、隣り合う単独露光領域AS間の領域の幅(x方向の幅)は(w2−w1)/2で示され、この領域は、第1の光像63Aによってフル露光時間tf未満で露光されるとともに、第2の光像63Bによってフル露光時間tf未満で露光される複合露光領域ACを構成する。
複合露光領域ACにおけるx方向の各位置における露光時間は、第1の光像63Aと第2の光像63Bとの露光割合が異なるだけで、両者の合計の露光時間はいずれも等しい。
このため、単独露光領域ASにおける露光量と、複合露光領域ACにおける露光量とは、第1の光像63Aおよび第2の光像63Bにおける照明光強度が同じであれば、互いに等しくなる。
複合露光領域ACは、一定幅でy方向に延び、かつx方向に等ピッチで形成されるため、線幅の変化が露光パターンにおける帯状の濃度むらとして視認されやすくなっている。
例えば、露光装置50によってBM形成用のフォトマスクを形成すると、サブ画素の開口の大きさのむらになるため、規則的な色むらが視認されやすい液晶装置が形成されてしまう可能性がある。
レジスト(ポジレジスト)は、露光されると光化学反応が進行する結果、現像液によって除去可能になる。ところが、レジストの光化学反応は、反応の立ち上がりにはある程度時間を要する。一方、露光が中断されると急速に反応が停止し、始まった光反応が初期状態に戻ってしまう。
この結果、連続露光よりも断続的な露光の方が、実効的な露光時間が短くなるため、露光量が低下したのと同様な効果が生じると考えられる。
このため、複合露光用領域RCにおいてレジストの正味の感光に用いられる実効的な露光量は、同じ光量であれば、第1の光像63Aと第2の光像63Bとによる露光時間の比率で決まると考えられる。
例えば、点p1で示す位置は、単独露光領域AS1との境界位置であるため、この位置での全露光時間に対する、第1の光像63Aによる露光時間の割合が100%、第2の光像63Bによる露光時間の割合が0%である。
図17(a)に示された各点における露光時間の比率(%)を、pn[tA,tB]のように表すと、例えば、p1[100,0]、p2[90,10]、p3[80,20]、p4[70,30]、p5[60,40]、p6[50,50]、p7[40,60]、p8[30,70]、p9[20,80]、p10[20,80]、p11[0,100]である。以下では、これらの点pnのx方向における位置座標をxnで表す(ただし、n=1,…,11)。
このとき、線幅などに影響する実効的な露光量(以下、単に露光量と称する場合がある)は、図17(b)に示すように、複合露光領域ACでは、下に凸の略V字状のグラフで示される。位置x1、x11における露光量q1、q11は、それぞれ単独露光領域ASにおける露光量q0に等しい。例えば、位置x6における露光量q6は、露光量q0よりも低く、複合露光領域ACにおける露光量の最小値である。位置x1、x11の近傍および位置x6の近傍における露光量の変化率は滑らかに変化している。このグラフは、位置x6を通る縦軸に関して左右対称である。
このように、複合露光領域ACにおける露光量は、x方向の位置座標を独立変数とする連続関数で表されるが、簡易的には、階段状の変化で近似されてもよい。
例えば、区間Anを位置x2n−1と位置x2n+1との間として、区間Anの平均露光量によって、区間An内の各露光量が近似されてもよい。
フォトマスク1のパターンP1は、被露光体60における露光パターンと同一な形状に形成されている。
フォトマスク1のパターンP2は、複合露光領域ACにおける露光量が単独露光領域A Sの露光量と実効的に同等に補正される形状に補正されている。具体的には、複合露光用領域RCにおける光透過部3aの線幅が、L2y(x)、L2x(x)のように、座標xによって変更されている。
例えば、上述の点p1、p11に対応するx=x1,x11では、L2y(x)=L1 y、L2x(x)=L1xである。例えば、上述の点p6に対応するx=x6では、L2 y(x)=Lymin、L2x(x)=Lxminである。ここで、Lymin(またはLxmin)は、y方向(またはx方向)の線幅の最小値であり、L1y(またはL1x)よりも小さい。
本実施形態のフォトマスク製造方法では、走査ビームを露光手段として用いたフォトリソグラフィ法によって、フォトマスク1が製造される。
走査ビームによって光透過部3aの形状を変更するために、フォトマスク1の描画パターン自体を変えることも考えられる。しかし、この手法では、光透過部3aの形状の変更量が微小であるため、高解像度の描画が可能な走査ビームを使用する必要がある。このような走査ビームを形成するビーム走査装置は、光学性能を高めることが必要になり大型化するとともに走査範囲も狭くなる場合がある。
特にフォトマスク1の外形が大きい場合には、必要な走査幅を確保するために大型のビーム走査装置が必要となるため、設備費や製造コストが増大する可能性がある。
光学性能が高く小型のビーム走査装置で複数領域に分けてビーム走査を行うことも考えられるが、走査領域の接続部にパターンの接続誤差が発生しやすくなる可能性もある。
まず、この走査ビームの強度変調について説明する。
図18は、本発明の第2実施形態のフォトマスク製造方法に用いられる走査ビームのビーム強度の例について説明する模式的なグラフである。図18の横軸はx方向の位置、縦軸はビーム強度を表す。図19は、本発明の第2実施形態のフォトマスク製造方法におけるビーム強度データの設定方法について説明する模式図である。
図18の横軸における位置x1からx11は、図17(b)における複合露光領域ACに対応する複合露光用領域RC内における位置を表す。位置x1よりも図示左側、位置x 11よりも図示右側は、それぞれ図17(a)における単独露光領域AS1、AS2に対応する単独露光用領域RS1、RS2をそれぞれ表す。
図18に示すように、走査ビームのビーム強度は、複合露光用領域RCでは、上に向けて凸状(逆V字状)のグラフで示される。位置x1(またはx11)は、単独露光用領域RS1(またはRS2)と複合露光用領域RCとの境界点であるため、それぞれのビーム強度値I1=I(x1)、I11=I(x1)は、単独露光用領域RSにおけるビーム強度値I0に等しい。
例えば、位置x6におけるビーム強度値I6=I(x6)は、ビーム強度値I0よりも高く、複合露光用領域RCにおけるビーム強度の最大値である。位置x1、x11の近傍および位置x6の近傍におけるビーム強度値I(x)の変化率は滑らかに変化している。
このグラフは、位置x6を通る縦軸に関して左右対称である。
このように、複合露光用領域RCにおけるビーム強度値I(x)は、x方向の位置座標を独立変数とする曲線状の連続関数で表される。I(x)の具体的な関数形は、例えば、複合露光領域ACにおいて必要な線幅補正量を実験などによって求めることにより、決定される。線幅補正量を実現するためのビーム強度値は、フォトマスク1の製造工程の条件におけるビーム強度値と線幅との関係によって数値シミュレーションあるいは実験を行うことによって求められる。
なお、ビーム強度値I(x)は、簡易的には、階段状の関数で近似されてもよい。
例えば、区間Anの平均ビーム強度によって、区間An内の各ビーム強度が近似されてもよい(図示の破線参照)。
このような露光率は、xの関数であるため、パラメータλもxの関数である。例えば、位置x1(またはx11)では、E1=1、E2=0(またはE1=0、E2=1)であるため、λ=1であり、位置x6では、E1=0.5、E2=0.5であるため、λ=0である。
f(λ)は、λ=0で最大値をとり、λが0から1に向かうにつれてI0に近づく変化をする。f(λ)は、広義の単調減少関数である。
これに対して、複合露光用領域RCにおいて光透過部3aの線幅に影響する部位を選択して、図18のグラフに基づいてビーム強度が設定されてもよい(以下、選択設定法と称する)。具体的には、少なくとも、複合露光用領域RCにおいて走査ビームをオフする走査位置に隣接して走査ビームをオンする位置(以下、エッジ走査位置と称する)におけるビーム強度を、図18に基づいて設定する。
走査ビームBは、x方向を主走査方向として、光透過性基板2をラスター走査する。単独露光用領域RSにおいては、走査ビームBとして、ビーム強度値I0(第1のビーム強度値)に設定された走査ビームB0が用いられる。
遮光部3bは、単独露光用領域RSにおいては、被露光体60の露光パターンに一致する大きさの矩形状に形成されている。これに対して、本実施形態では、複合露光用領域R Cには、複合露光用領域RCのx方向の中心部に向かって漸次大きさが縮小される遮光部3bF、’3bSを形成する。このため、遮光部3bF、3bSのエッジ走査位置における走査ビームB1、B2は、ビーム強度値I0よりも大きいビーム強度値IF、IS(第2のビーム強度値)にそれぞれ設定される。ただし、IF<ISである。
例えば、走査線a上では、遮光部3b、3b’の間では、走査ビームBは、B0、B0、B0、B1としてこの順に走査する。遮光部3b’上では、走査ビームBは、オフされる。遮光部3bF、3bSの間では、走査ビームBは、B1、B0、B0、B2としてこの順に走査する。
遮光部3b、3bF、3bSのエッジ走査位置を通る走査線b、eに沿って走査する走査ビームBは、遮光部3bF、3bSのエッジ走査位置を通る位置で、それぞれ走査ビームB1、B2とされ、それ以外は、走査ビームB0とされる。
遮光部3bF、3bSのエッジ走査位置を通らない走査線c、dでは、走査ビームBは、すべて走査ビームB0とされる。
複合露光用領域RCにおいて、エッジ走査位置以外を走査する走査ビームB0のビーム強度値はI0である。なお、このビーム強度値が第3のビーム強度値ITに設定されていてもよい。ビーム強度値ITは、I0以上かつIS以下の値に設定されている。すなわち、ビーム強度値ITは、複合露光用領域RCでの第2のビーム強度値の最大値以下に設定されている。
図20は、本発明の第2実施形態のフォトマスク製造方法の一例を示すフローチャートである。図21(a)、(b)、(c)、(d)は、本発明の第2実施形態のフォトマスク製造方法におけるビーム強度データの設定例について説明する模式図である。図22(a)、(b)、(c)、(d)、(e)は、本発明の第2実施形態のフォトマスク製造方法における工程説明図である。
以下のステップS1〜S3は、以下の動作を行うための演算処理プログラムが内蔵されたデータ処理装置によって、自動的にもしくは操作者の操作入力に基づいて対話処理的に実行される。ステップS4は、例えば、ビーム走査装置、現像装置、エッチング装置を含むフォトマスク製造システムによって実行される。
以上で、ステップS1が終了する。
データ処理装置には、露光装置50に配置するフォトマスク1の形状および視野絞り53との位置関係、および視野絞り53における第1開口部53A、第2開口部53Bの形状と位置情報とが、予めまたはステップS2の実行中に入力される。
データ処理装置は、これらの入力情報に基づいて、フォトマスク1を形成するためのフォトマスク形成体の表面の座標系に基づいて、単独露光用領域RSと複合露光用領域RCとを区分する情報を生成する。
以上で、ステップS2が終了する。
データ処理装置には、単独露光用領域RSのパターンP1を形成するためビーム強度値と、複合露光用領域RCのパターンP2を形成するためのエッジ走査位置におけるビーム強度値とが、予めまたはステップS3の実行中に入力される。
データ処理装置は、これらの入力情報に基づいて、例えば、単独露光用領域RSにおけるビーム強度値としては、上述のI0を設定する。
データ処理装置は、複合露光用領域RCの描画データを解析して、エッジ走査位置を抽出する。データ処理装置は、エッジ走査位置におけるx座標に対応するビーム強度値I(x)(第2のビーム強度値)をエッジ走査位置におけるビーム強度値として設定する。ビーム強度値I(x)は、データ処理装置において、例えば、マップデータして保持されていてもよいし、関数として保持されていてもよい。関数としては、例えば、上述のI=f(λ)のような関数として保持されていてもよい。
データ処理装置は、複合露光用領域RCにおいて、エッジ走査位置以外のビーム強度データにおけるビーム強度値としては、上述のI0を設定する。
例えば、図21(a)における走査線y1のように、遮光部3bの形成位置を方向に横断する場合、図21(b)に折れ線100で示すように、遮光部3b上では、走査ビームがオフされる。光透過部3a上では、単独露光用領域RSと、エッジ走査位置を除く複合露光用領域RCとでは、ビーム強度値はI0とされる。複合露光用領域RCにおけるエッジ走査位置では、大きさが変化するビーム強度値I(x)が設定される。ビーム強度値I(x)の包絡線101は、図示上側に向けた凸状を示すように変化している。
例えば、図21(a)における走査線y3のように、遮光部3bのx方向に延びるエッジ走査位置を通る場合、図21(d)に曲線103で示すように、単独露光用領域RSと、エッジ走査位置を除く複合露光用領域RCでは、ビーム強度値はI0とされる。複合露光用領域RCにおけるエッジ走査位置では、ビーム強度値I(x)が設定される。ただし、走査線y3では、エッジ走査位置はx方向に延びているため、曲線103は、図示上側に凸の山形の櫛歯状に変化している。
ステップS3の後、ステップS4が行われる。ステップS4では、描画データおよびビーム強度データに基づく走査ビームを用いたリソグラフィによってマスク形成体の表面がパターニングされる。
図22(a)に示すように、フォトマスク形成体11は、光透過性基板2の表面にマスク部3を構成する材料で形成される遮光層13が積層されて構成される。遮光層13の積層方法としては、例えば、蒸着、スパッタリングなどが用いられてもよい。
フォトマスク形成体11が形成された後、遮光層13をパターンニングするため、遮光層13上にレジスト14が塗布される。
レジスト14は、後述する走査ビームBによって感光する適宜のレジスト用材料(ポジレジスト)が用いられる。
図22(c)に示すように、フォトマスク製造システムのビーム走査装置15から出射される走査ビームBによって、レジスト14が2次元的に走査される。
走査ビームBとしては、レジスト14を感光させる適宜のエネルギービームが用いられる。例えば、走査ビームBは、レーザービーム、電子ビームなどのエネルギービームが用いられてもよい。
走査ビームBのオンオフおよびオン時のビーム強度値は、ビーム走査装置15に入力された描画データおよびビーム強度データに基づいて、ビーム走査装置15によって制御される。
図22(e)に示すように、このようなエッチングにより、遮光層13は、残存レジスト14Aと同形状にパターニングされる。この結果、光透過性基板2上にマスク部3が形成されたフォトマスク1が製造される。
例えば、本実施形態とは異なり、走査ビームのビーム強度を一定として、補正形状の範囲に走査ビームをオンオフする製造方法も考えられる。しかしながら、このような製造方法では、微小量の補正を行うために、補正範囲を十分細かく分割できるように、高解像度のビーム走査装置が必要となる。このため、設備費用と製造時間とが増大する場合がある。
これに対して、走査ビームの強度変調によれば、ビーム強度データを適切に設定するのみで、露光範囲の大きさを細かく変えることができる。描画データは、補正量の大きさによらず設計上の露光パターンに対応する描画データが使用できる。
このため、本実施形態では、補正を行わない場合と略同様の走査を行う間に、強度変調によって、迅速かつ高精度に補正形状を形成することができる。
マスクパターンPの形状は、被露光体60の露光パターンの必要に応じて変更することができる。その際、上述した線幅は、露光パターンにおいて、走査方向および走査方向に直交する方向成分の間隔に置き換えて、ビーム強度データが設定されればよい。
また、この場合のエッジ走査位置でのビーム強度値I(x)を、上記式(1)に基づくパラメータλの関数f2(λ)として表すと、f2(λ)は、λ=0で最小値をとり、λが0から1に向かうにつれてI0に近づく変化をする、広義の単調増加関数となる。
すなわち、本発明においては、複合露光用領域RCにおけるエッジ走査位置のビーム強度値が、単独露光用領域RSにおけるビーム強度値と異なっていればよい。
なお、複合露光用領域RC内のマスクパターンの線幅を単独露光用領域RS内のマスクパターンの線幅に比べて大きくする場合は、複合露光用領域RCのx方向の中心部に近づくに従い次第に線幅が大きくなるように設定してもよい。一方、複合露光用領域RC内のマスクパターンの線幅を単独露光用領域RS内のマスクパターンの線幅に比べて小さくする場合は、複合露光用領域RCのx方向の中心部に近づくに従い次第に線幅が小さくなるように設定してもよい。すなわち、複合露光用領域RCと単独露光用領域RSとの間のマスクパターンの線幅の差が、複合露光用領域RCのx方向の中心部に近づくに従い次第に大きくなるように設定してもよい。
また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
32 フォトマスク
33 投影レンズ
34 基板
35 ステージ
36 露光領域
36a 接続部
37 遮光領域
38 着色画素パターンを有するフォトマスク
38a、38b 着色画素パターンを有するフォトマスクの一部
39 ブラックマトリックスパターンを有するフォトマスク
39a ブラックマトリックスパターンを有するフォトマスクの一部
CL1 測定値による特性曲線
CL2 補正曲線
SA1 接続部を含まないスキャン領域
SA2 接続部を含むスキャン領域
C3n 1個の着色画素パターン
Claims (14)
- マルチレンズからなる投影レンズを備えたスキャン方式の投影露光に用いるフォトマスクであって、前記マルチレンズの接続部を含むスキャン露光により転写される領域に存在する前記フォトマスクの複数のパターンの線幅が、前記接続部を含まないスキャン露光により転写される領域に存在する前記フォトマスクの前記パターンと同形のパターンの線幅に対して補正された線幅であるフォトマスク。
- 前記複数のパターンの前記補正された線幅は、スキャン方向と直交する方向に前記パターンごとに段階的に変化する線幅である請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記複数のパターンの前記補正された線幅は、さらにスキャン方向に前記パターンごとに段階的に変化する線幅である請求項2に記載のフォトマスク。
- 前記段階的に変化する線幅は、乱数に基づく補正成分を含む請求項2または3に記載のフォトマスク。
- 平面視において第1の座標軸に沿う方向に線状に延びる第1の光透過部と、前記平面視において前記第1の座標軸に交差する第2の座標軸に沿う方向に線状に延びる第2の光透過部と、が形成されたフォトマスクであって、
前記第1の光透過部が一定の第1の線幅を有し、前記第2の光透過部が一定の第2の線幅を有する、前記第1の座標軸に沿う方向における第1の領域と、
前記第1の光透過部が前記第1の線幅よりも広い第3の線幅を有し、前記第2の光透過部が前記第2の線幅よりも広い第4の線幅を有する、前記第1の座標軸に沿う方向における第2の領域と、
を備え、
前記第1の座標軸に沿う方向において、前記第1の領域と前記第2の領域とが交互に配列されている、フォトマスク。 - 平面視において第1の軸線に沿って千鳥配列された複数の投影光学系による光像を用いて、前記第1の軸線と交差する第2の軸線に沿う方向に被露光体が走査されることによって前記被露光体が露光される露光装置に用いる前記光像の形成用のフォトマスクを製造するフォトマスク製造方法であって、
フォトマスク形成体上において前記第1の軸線に対応する第1の座標軸と前記第2の軸線に対応する第2の座標軸とを設定し、前記被露光体上の露光パターンの形状に合わせて、前記フォトマスク形成体上で走査ビームをオンオフするための描画データを作成することと、
前記フォトマスク形成体の表面を、前記露光装置において前記複数の投影光学系のうちの単独の第1投影光学系による第1の光像または単独の第2投影光学系による第2の光像によって前記第2の軸線に沿う方向の走査が行われる単独露光用領域と、前記第1及び第2投影光学系による前記第1及び第2の光像によって前記第2の軸線に沿う方向の走査が行われる複合露光用領域と、に、区分することと、
前記走査ビームのビーム強度データを、前記単独露光用領域と前記複合露光用領域とに分けて設定することと、
前記フォトマスク形成体上にレジストを塗布することと、
前記レジスト上に、前記描画データおよび前記ビーム強度データに基づいて駆動された前記走査ビームを走査することと、
を含み、
前記ビーム強度データは、
前記単独露光用領域では、第1のビーム強度値に設定され、
前記複合露光用領域において前記走査ビームをオフする走査位置に隣接して前記走査ビームをオンするエッジ走査位置では、前記第1のビーム強度値と異なる第2のビーム強度値に設定される、フォトマスク製造方法。 - 前記第2のビーム強度値は、前記第1のビーム強度値より高い、請求項6に記載のフォトマスク製造方法。
- 前記ビーム強度データは、前記複合露光用領域において前記エッジ走査位置以外の走査位置では、前記第1のビーム強度値以上前記第2のビーム強度値の最大値以下の第3のビーム強度値に設定される、請求項7に記載のフォトマスク製造方法。
- 前記第3のビーム強度値は、前記第1のビーム強度値と等しい、請求項8に記載のフォトマスク製造方法。
- 前記第2のビーム強度値は、
λ=0で最大値をとり、λが0から1に向かうにつれて前記第1のビーム強度値に近づく、請求項10に記載のフォトマスク製造方法。 - 前記第2のビーム強度値は、前記第1のビーム強度値より低い、請求項6に記載のフォトマスク製造方法。
- 前記描画データは、
前記第1の座標軸および前記第2の座標軸に沿って延びる格子状の領域で前記走査ビームをオンするように設定されている、請求項6から12のいずれか1項に記載のフォトマスク製造方法。 - マルチレンズからなる投影レンズを備えたスキャン方式の投影露光によるカラーフィルタの製造方法であって、請求項1から4のいずれか1項に記載のフォトマスクを用いてガラス基板またはシリコン基板上に設けたレジストをパターン露光するカラーフィルタの製造方法。
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