JPWO2017163729A1 - 接合体および弾性波素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接合体8は、セラミックスからなる支持基板1、支持基板1の表面1aに設けられた接合層3Aであって、ムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる接合層3A、および接合層3Aに接合された圧電性単結晶基板6Aを有する。支持基板1の表面1aの算術平均粗さRaが0.5nm以上、5.0nm以下である。
【選択図】 図2
Description
例えば、特許文献1には、圧電基板とシリコン基板とをエポキシ接着剤からなる接着層によって貼り合わせた構造の弾性表面波デバイスが提案されている。
セラミックスからなる支持基板、
前記支持基板の表面に設けられた接合層であって、ムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる接合層、および
前記接合層に接合された圧電性単結晶基板
を有しており、前記支持基板の前記表面の算術平均粗さRaが0.5nm以上、5.0nm以下であることを特徴とする。
前記接合体、および
前記圧電性単結晶基板上に設けられた電極を備えていることを特徴とする。
図1、図2は、支持基板上に接合層を設け、これを圧電性単結晶基板の表面に直接接合する実施形態に係るものである。
次いで、図1(c)に示すように、平坦面3aに対して矢印Aのように中性化ビームを照射し、接合層3Aの表面を活性化して活性化面4とする。
支持基板はセラミックスからなる。支持基板を構成するセラミックスとしては、ムライト、コージェライトおよびサイアロンからなる群より選ばれた材質が好ましい。
また、粗面化加工の方法は、研削、研磨、エッチング、サンドブラストなどがある。
ビーム照射による活性化時の電圧は0.5〜2.0kVとすることが好ましく、電流は50〜200mAとすることが好ましい。
弾性波素子としては、弾性表面波デバイスやラム波素子、薄膜共振子(FBAR)などが知られている。例えば、弾性表面波デバイスは、圧電性材料基板の表面に、弾性表面波を励振する入力側のIDT(Interdigital Transducer)電極(櫛形電極、すだれ状電極ともいう)と弾性表面波を受信する出力側のIDT電極とを設けたものである。入力側のIDT電極に高周波信号を印加すると、電極間に電界が発生し、弾性表面波が励振されて圧電基板上を伝搬していく。そして、伝搬方向に設けられた出力側のIDT電極から、伝搬された弾性表面波を電気信号として取り出すことができる。
図1〜図2を参照しつつ説明した方法に従って、接合体を作製した。
具体的には、オリエンテーションフラット部(OF部)を有し、直径が4インチ,厚さが250μmのタンタル酸リチウム基板(LT基板)を、圧電性単結晶基板6として使用した。LT基板は、弾性表面波(SAW)の伝搬方向をXとし、切り出し角が回転Yカット板である46°YカットX伝搬LT基板を用いた。圧電性単結晶基板6の表面6aは、算術平均粗さRaが0.3nmとなるように鏡面研磨しておいた。
ウェハーに2×2mmの正方形のスリットを形成する。スリットは、圧電単結晶を貫通し、支持基板の途中まで入り込むような深さにした。試験用テープを圧電単結晶基板に貼り付ける。試験用テープは、JIS Z 1522に規定された粘着テープを使用した。指で5秒間押したあと、テープを基板に垂直になるように強く引っ張り、引き剥がした。
実施例1において、支持基板表面の加工に用いる砥石を変更することで、支持基板表面のRaおよびPV値を表1に示すように変更し、実施例A2〜A4および比較例A1〜A4の接合体を得た。ただし、比較例A4においては、接合層の厚さを300nmに変更した。
実施例A1〜A4、比較例A1〜A3において、接合層2の材質をアルミナとし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして各接合体を製造した。
実施例A1〜A4、比較例A1〜A3において、接合層2の材質を五酸化タンタルとし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして各接合体を製造した。
実施例A1〜A4、比較例A1〜A3において、接合層2の材質を酸化チタンとし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして各接合体を製造した。
実施例A1〜A4、比較例A1〜A3において、接合層2の材質を五酸化ニオブとし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして各接合体を製造した。
実施例A1において、接合層2の材質を窒化珪素とし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして接合体を製造した。
この結果、圧電性単結晶基板の研削および研磨工程中に接合部分の剥がれが発生した。またクラックオープニング法で接合強度を評価した所、0.6J/m2であった。
実施例A1において、接合層2の材質を窒化アルミニウムとし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして接合体を製造した。
この結果、圧電性単結晶基板の研削および研磨工程中に接合部分の剥がれが発生した。またクラックオープニング法で接合強度を評価した所、0.5J/m2であった。
実施例A1において、接合層2の材質を酸化珪素とし、接合層2の成膜にはスパッタリング法を用いた。その他は実施例A1と同様にして接合体を製造した。
この結果、圧電性単結晶基板の研削および研磨工程中に接合部分の剥がれが発生した。またクラックオープニング法で接合強度を評価した所、0.1J/m2であった。
セラミックスからなる支持基板、
前記支持基板の表面に設けられた接合層であって、ムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる接合層、
前記接合層に接合された圧電性単結晶基板、および
前記圧電性単結晶基板と前記接合層との間に設けられた中間層であって、前記中間層がムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる中間層を有しており、前記支持基板の前記表面の算術平均粗さRaが0.5nm以上、5.0nm以下であり、前記接合層の表面と前記中間層の表面とが接合されていることを特徴とする。
Claims (9)
- セラミックスからなる支持基板、
前記支持基板の表面に設けられた接合層であって、ムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる接合層、および
前記接合層に接合された圧電性単結晶基板
を有しており、前記支持基板の前記表面の算術平均粗さRaが0.5nm以上、5.0nm以下であることを特徴とする、接合体。 - 前記支持基板が、ムライト、コージェライトおよびサイアロンからなる群より選ばれた材質からなることを特徴とする、請求項1記載の接合体。
- 前記接合層の表面と前記圧電性単結晶基板の表面とが直接接合されていることを特徴とする、請求項1または2記載の接合体。
- 前記接合層の前記表面の算術平均粗さRaが1nm以下であり、前記圧電性単結晶基板の前記表面の算術平均粗さRaが1nm以下であることを特徴とする、請求項3記載の接合体。
- 前記圧電性単結晶基板と前記接合層との間に中間層を有しており、前記中間層がムライト、アルミナ、五酸化タンタル、酸化チタンおよび五酸化ニオブからなる群より選ばれた一種以上の材質からなり、前記接合層の表面と前記中間層の表面とが接合されていることを特徴とする、請求項1または2記載の接合体。
- 前記圧電性単結晶基板の表面上に前記中間層が設けられており、前記圧電性単結晶基板の前記表面の算術平均粗さRaが0.05μm以上、0.5μm以下であることを特徴とする、請求項5記載の接合体。
- 前記接合層の前記表面の算術平均粗さRaが1nm以下であり、前記中間層の前記表面の算術平均粗さRaが1nm以下であることを特徴とする、請求項5または6記載の接合体。
- 前記圧電性単結晶基板が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体からなることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の接合体。
- 請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の接合体、および前記圧電性単結晶基板上に設けられた電極を備えていることを特徴とする、弾性波素子。
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