JPWO2017145530A1 - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜図3を参照して、本発明に基づく実施の形態1における圧電デバイスについて説明する。本実施の形態における圧電デバイス101の斜視図を図1に示す。図1におけるII−II線に関する矢視断面図を図2に示す。
本実施の形態における圧電デバイスの具体的な製造方法について説明する。
図18および図19を参照して、本発明に基づく実施の形態2における圧電デバイスについて説明する。本実施の形態における圧電デバイス102を図18に示す。圧電デバイス102の断面図を図19に示す。
図20〜図22を参照して、本発明に基づく実施の形態3における圧電デバイスについて説明する。本実施の形態における圧電デバイス103を図20に示す。図20におけるXXI−XXI線に関する矢視断面図を図21に示す。圧電デバイス103は、基板32を備えている。基板32の表面には、第1パッド電極33と、第2パッド電極34とが配置されている。圧電デバイス103においては、第3電極23には第1パッド電極33が電気的に接続されており、第4電極24には第2パッド電極34が電気的に接続されており、第1パッド電極33と第2パッド電極34とは互いに電気的接続の有無が切替え可能である。
図25〜図27を参照して、本発明に基づく実施の形態4における圧電デバイスについて説明する。本実施の形態における圧電デバイス104を図25に示す。圧電デバイス104は、複数のメモリ部を備える。図25に示した例では、圧電デバイス104は、第1から第nの合計n個のメモリ部を備えている。圧電デバイス104は、n個のメモリ部に対応してn個のセンサ部を備える。圧電デバイス104において、強誘電体層1は、n個のメモリ部およびn個のセンサ部にわたって共通して単一の層であってよい。絶縁膜5についても、同様に単一の膜として一括して形成されていてよい。
図28〜図29を参照して、本発明に基づく実施の形態5における圧電デバイスについて説明する。本実施の形態における圧電デバイス105を図28に示す。本実施の形態における圧電デバイス105は、実施の形態4における圧電デバイス104においてn=2とし、さらにいくつかの部品を追加したものに相当する。図28から絶縁膜5などいくつかの要素を取り去った状態を図29に示す。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
Claims (10)
- 互いに逆の側を向く第1面および第2面を有する強誘電体層と、
前記第1面の一部を覆い、焼結金属によって形成された第1電極と、
前記第1電極から離隔しつつ前記第1面の前記第1電極に覆われていない領域のうちの一部を覆い、焼結金属によって形成された第2電極と、
前記第2面のうち前記第1電極に対向する領域を含むように前記第2面の一部を覆い、焼結金属によって形成された第3電極と、
前記第3電極から離隔しつつ前記第2面の前記第3電極に覆われていない領域のうちの一部を覆い、焼結金属によって形成された第4電極とを備え、
前記第4電極は、前記第2電極の少なくとも一部に対して前記強誘電体層を挟んで対向している、圧電デバイス。 - 前記強誘電体層は、厚みが1μm以上100μm以下である、請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記第1電極は円形であり、前記第2電極は前記第1電極を取り囲むように配置されている、請求項1または2に記載の圧電デバイス。
- 前記第1電極と前記第2電極とは、ダイオードを介して互いに電気的に接続されている、請求項1から3のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 前記第3電極には第1パッド電極が電気的に接続されており、前記第4電極には第2パッド電極が電気的に接続されており、前記第1パッド電極と前記第2パッド電極とは互いに電気的接続の有無が切替え可能である、請求項1から4のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 前記第1電極および前記第2電極の少なくとも一部を覆う絶縁膜を備える、請求項1から5のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 圧電デバイスであって、
nを2以上の整数とすると、
互いに逆の側を向く第1面および第2面を有する強誘電体層を備え、
さらに、前記圧電デバイスは、1からnまでの整数kの各々について、
前記第1面に焼結金属によって形成された第k第1電極と、
前記第1面に焼結金属によって形成された第k第2電極と、
前記第2面に焼結金属によって形成された第k第3電極と、
前記第2面に焼結金属によって形成された第k第4電極とを有し、
前記第k第3電極は、前記第k第1電極に対して前記強誘電体層を挟んで対向する領域を含み、
前記第k第4電極は、前記第k第2電極の少なくとも一部に対して前記強誘電体層を挟んで対向する領域を含み、
前記第1第1電極、前記第2第1電極、前記第3第1電極、…、前記第n第1電極、前記第1第2電極、前記第2第2電極、前記第3第2電極、…、前記第n第2電極は、互いに離隔し、互いに異なる領域に配置されており、
前記第1第3電極、前記第2第3電極、前記第3第3電極、…、前記第n第3電極、前記第1第4電極、前記第2第4電極、前記第3第4電極、…、前記第n第4電極は、互いに離隔し、互いに異なる領域に配置されており、
1からnまでの整数の中から任意に選択される互いに異なる2つの整数k1,k2について、前記第k1第1電極と前記第k2第1電極とは、面積が異なっている、圧電デバイス。 - 前記強誘電体層は、厚みが1μm以上100μm以下である、請求項7に記載の圧電デバイス。
- 1からnまでの整数kの各々について、前記第k第1電極は円形であり、前記第k第2電極は前記第k第1電極を取り囲むように配置されている、請求項7または8に記載の圧電デバイス。
- 1からnまでの整数kの各々について、前記第k第1電極と前記第k第2電極とは、ダイオードを介して互いに電気的に接続されている、請求項7から9のいずれかに記載の圧電デバイス。
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