JPWO2016194158A1 - 液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法 - Google Patents

液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法 Download PDF

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将司 酒井
将司 酒井
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正佳 田村
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Abstract

発熱素子に直接または間接的に接触する部位から冷却液に接触する部位に至る間の熱抵抗が、冷却液の流通する方向の異なる位置の間で異なる値に設定されたヒートシンクを備え、発熱素子の上流端から下流端の温度差を抑制出来るようにした。

Description

この発明は、発熱体からの熱を冷却液に放出するヒートシンクを備えた液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法に関するものである。
近年、CPU(central processing unit)、LSI(large-scale integration)、パワー半導体素子等の発熱素子の発熱密度が増大し高温になることから、従来の空冷冷却器よりも冷却性能が高い液冷冷却器が用いられることがある。冷却用のフィンを設けたフィン領域が冷却液の流通方向に長く形成された液冷式冷却装置に於いては、冷却液の下流領域では上流領域に配置された発熱素子からの受熱により、冷却液の温度が上流領域よりも高温となる。
そのため、下流領域の冷却液に熱的に接続されている発熱素子は、上流領域の冷却液に熱的に接続されている発熱素子よりも高温となり、発熱素子間に温度差が生じる。発熱素子間に温度差が生じると、発熱素子の寿命のばらつきや、発熱素子の特性のばらつきが生じるという課題があるため、上流領域の冷却液と下流領域の冷却液に温度差が生じたとしても、上流領域の発熱素子と下流領域の発熱素子には温度差を生じさせない工夫を施すことが望まれる。
従来、発熱素子を冷却液の流通方向に対して並列に配置することにより、発熱素子間の温度差を解消する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。又、フィン領域が冷却液の流通方向に長い液冷式冷却装置においては、冷却液の流通方向に垂直な断面では、発熱面に近い領域ほど温度上昇が大きく、発熱面から遠い領域ほど温度上昇が小さくなる。放熱量は、発熱素子と冷却液の温度差に比例することから、冷却液に不均一な温度分布が生じて発熱面に近い領域の冷却液が高温になると、冷却能力が低下する。
冷却性能の低下を抑制するためには、冷却液の温度分布を冷却液の流通方向に垂直な断面で一様にする必要があり、冷却液の温度分布を冷却液の流通方向に垂直な断面で一様にするには冷却液を十分に撹拌する方法が有効である。このため、従来、冷却液通路内の対向する2面にフィンを配置することで冷却液を撹拌するようにした液冷冷却器(例えば、特許文献2参照)や、櫛歯状の放熱フィンの表面に、冷却液を案内する凹凸を設けることで冷却液を撹拌するようにした液冷冷却器(例えば、特許文献3参照)が提案されている。
特許第4699820号公報 特開2002−141164号公報 特開2012−033966号公報
前述の特許文献2に開示された水冷式冷却器は、冷却液の下流領域では上流領域の発熱素子からの受熱により、冷却液の温度が上流領域よりも高温となる。そのため、下流領域の冷却液に熱的に接続されている発熱素子は、上流領域の冷却液に熱的に接続されている発熱素子よりも高温となり、発熱素子間に温度差が生じていた。発熱素子間に温度差が生じると、発熱素子の寿命のばらつきや、発熱素子の特性のばらつきが生じるという課題があった。
又、冷却器の対向する2面にフィンを配置する構造であり、放熱に寄与するフィンは発熱素子と熱的に接続された面に配置されたフィンのみである。他方の面に配置されたフィンは冷却液を撹拌する役割を果たしているが、放熱には寄与していない。このように特許文献2に開示された従来の液冷冷却器は、放熱に寄与しないフィンを冷却器内に設ける必要があるため、冷却器は大型化するという課題があった。
更に、前述した特許文献1に開示された従来の水冷式冷却器は、発熱素子間の温度差は解消されているが、流路は6並列となり、各発熱素子に流れる冷却液流量は直列流路の場合と比較して1/6となる。そのため発熱素子の上流側と下流側との間の温度差は、直列流路の場合と比較して6倍となり、発熱素子内での温度差により、発熱素子内部の電流分布の悪化、電流集中による発熱素子の局部過熱による破壊、短絡耐量の低下等の新たな課題があった。又、冷却液の流通に対して並列に配置された各発熱素子に均一な流量の冷却液を送るために流路集合部(ヘッダ)を設ける必要があり、小型化が困難であるという課題があった。
前述した特許文献3に開示された従来の液冷冷却器は、櫛歯状の放熱フィンの表面に冷却液を案内する凹凸を設けることで冷却液を撹拌する構造となっており、放熱フィンは発熱素子と熱的に接続された面のみに配置する構造であるため、ある程度の小型化は可能であるものの、放熱フィン表面の凹凸から離れた領域、即ち放熱フィンと放熱フィンの中間付近に流入した冷却液は、凹凸の影響を受けることができず、十分な撹拌効果を得られないという課題があった。
以上述べたように、従来の冷却器の関する技術では、冷却液の上流領域と下流領域に配置された発熱素子間の温度差の抑制と、各発熱素子の上流端側と下流端側の温度差の抑制と、冷却液の温度分布を冷却液の流通方向に垂直な断面で一様にするために冷却液を撹拌する効果が十分にある小型な放熱フィンの実現が課題であった。
この発明は、従来の技術に於ける前述のような課題を解決するためになされたものであり、各発熱素子の上流端から下流端の温度差を抑制出来る液冷冷却器を提供することを目的とする。
又、この発明は、冷却液を効果的に撹拌することが出来る放熱フィンを備えた液冷冷却器を提供することを目的とする。
更に、この発明は、液冷冷却器に於ける放熱フィンを容易に製造することが出来る放熱フィンの製造方法を提供することを目的とする。
この発明による液冷冷却器は、
内部に冷却液を流通させる冷却液通路を備えたジャケットと、少なくとも一つの発熱素子に直接または間接的に接触すると共に前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触するヒートシンクとを備え、前記発熱体が発生した熱を前記ヒートシンクを介して前記冷却液に伝達して放熱するようにした液冷冷却器であって、
前記ヒートシンクは、前記発熱素子に直接または間接的に接触する部位から前記冷却液に接触する部位に至る間の熱抵抗が、前記冷却液の流通する方向の異なる位置との間で異なる値に設定されている、
ことを特徴とする。
又、この発明による液冷冷却器は、
内部に冷却液を流通させるジャケットと、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触するヒートシンクとを備え、発熱体が発生した熱を前記ヒートシンクを介して前記冷却液に伝達して放熱するようにした液冷冷却器であって、
前記ヒートシンクは、
前記ジャケットの内部に対向する第1の面部を有するヒートシンクベース部材と、
前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に設けられ、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触する複数の放熱フィンと、
を備え、
前記複数の放熱フィンは、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液の下流側に向かって傾斜している、
ことを特徴とする。
更に、この発明による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法は、
前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出するプレート状の放熱フィン領域を形成し、
所定間隔で配置した直径が異なる複数の円形刃を回転させ、前記放熱フィン領域を前記複数の円形刃により、前記第1の面部に対して傾斜した角度で同時に切削して前記複数の放熱フィンを形成する、
ことを特徴とする。
又、この発明による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法は、
前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出する互いに平行に配置された複数の突条体を形成し、
前記複数の突条体は、前記第1の面部に接して設けられ、前記第1の面部に対して所定方向に傾斜して傾斜突条部と、前記傾斜突条部に接して設けられ、前記第1の面部に対して直立する直立突条部とからなり、
前記複数の突条体を切削加工することにより、前記複数の放熱フィンを形成する、
ことを特徴とする。
この発明による液冷冷却器によれば、前記ヒートシンクは、前記発熱素子に直接または間接的に接触する部位から前記冷却液に接触する部位に至る間の熱抵抗を、前記冷却液の流通する方向の異なる位置との間で異なる値に設定されているので、各発熱素子の上流端から下流端の温度差を抑制することが出来る。
又、この発明による液冷冷却器によれば、複数の放熱フィンは、ジャケットの内部を流通する冷却液の下流側に向かって傾斜するように構成されているので、冷却液は放熱フィンの側面に沿って、ヒートシンクベース部材の第1の面部に対して平行な方向と、垂直な方向の双方向に撹拌され、冷却液の温度分布を冷却液の流通方向に垂直な断面で一様にでき冷却性能の低下を抑制することが出来る。従って、放熱フィンを発熱素子が配置される面にのみ配置するだけでよいため、液冷冷却器を小型化出来るという効果を奏する。又、冷却液の流路集合部分であるヘッダを設ける必要がなく、液冷冷却器を小型化出来るという効果を奏する。
更に、この発明による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法によれば、前記ヒートシンクベース部材の第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出するプレート状の放熱フィン領域を形成し、所定間隔で配置した直径が異なる複数の円形刃を回転させ、前記放熱フィン領域を前記複数の回転刃により、前記第1の面部に対して傾斜した角度で同時に切削して前記複数の放熱フィンを形成するようにしたので、傾斜した放熱フィンを極めて容易に形成することが出来る。
又、この発明による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法によれば、前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出する互いに平行に配置された複数の突条体を形成し、前記複数の突条体は、前記第1の面部に接して設けられ、前記第1の面部に対して所定方向に傾斜して傾斜突条部と、前記傾斜突条部に接して設けられ、前記第1の面部に対して直立する直立突条部とからなり、前記複数の突条体を切削加工することにより、前記複数の放熱フィンを形成するようにしたので、傾斜部とこの傾斜部に接する直立部を有する放熱フィンを、極めて容易に形成することが出来る。
この発明の実施の形態1による液冷冷却器の分解斜視図である。 この発明の実施の形態1による液冷冷却器の平面図である。 図2のW−W線に沿う矢視断面を模式的に示す説明図である。 この発明の実施の形態2による液冷冷却器の分解斜視図である。 この発明の実施の形態2による液冷冷却器の変形例の分解斜視図である。 この発明の実施の形態3による液冷冷却器の冷却液流通方向の断面図である。 この発明の実施の形態4による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図である。 この発明の実施の形態5による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図である。 この発明の実施の形態6による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図である。 この発明の実施の形態6による液冷冷却器に於けるヒートシンクの説明図である。 この発明の実施の形態6による液冷冷却器に於けるヒートシンクの説明図である。 液冷冷却器の放熱性能を説明するグラフである。 この発明の実施の形態6による液冷冷却器の放熱フィンを説明する模式図である。 この発明に対する比較例の液冷冷却器の放熱フィンを説明する模式図である。 この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンを示す説明図である。 この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンの変形例を示す説明図である。 この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンの更に別の変形例を示す説明図である。 この発明の実施の形態8による液冷冷却器の放熱フィンの製造方法を示す説明図である。 この発明の実施の形態8による液冷冷却器の放熱フィンの製造方法を示す説明図である。 この発明の実施の形態9による液冷冷却器のヒートシンクを示す斜視図である。 この発明の実施の形態9による液冷冷却器のヒートシンクを示す側面図である。 この発明の実施の形態9による液冷冷却器の放熱フィンの製造方法を説明するための斜視図である。
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1による液冷冷却器について、図面を参照して詳細に説明する。図1は、この発明の実施の形態1による液冷冷却器の分解斜視図、図2は、この発明の実施の形態1による液冷冷却器の平面図、図3は、図2のW−W線に沿う矢視断面を模式的に示す説明図である。図1及び図3に示す矢印Aは、水等の冷却液の流通方向を示している。図1、及び図2に於いて、液冷冷却器100は、内部に冷却液を流通させるジャケットとしてのウォータージャケット7と、ヒートシンク40と、冷却液入口パイプ8と、冷却液出口パイプ9とを備えている。
ウォータージャケット7は、底部71と、この底部71に一体に形成された周壁部72と、底部71と周壁部72とに囲まれた冷却液通路6とを備えている。冷却液通路6の反底部71側は、開放されている。周壁部72は、相対向する一対の短辺部721、722と、相対向する一対の長辺部723、724とを備える。周壁部72に固定された冷却液入口パイプ8は、周壁部72の一方の短辺部721を貫通して冷却液通路6内に開口している。周壁部72に固定された冷却液出口パイプ9は、周壁部72の他方の短辺部722を貫通して冷却液通路6内に開口している。
ヒートシンク40は、ヒートシンクベース部材4と、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に形成された後述する多数の放熱フィン5とを備える。ヒートシンク40は、第1の面部41が冷却液通路6に対向するようにウォータージャケット7の周壁部72に液密に固定され、冷却液通路6を閉塞する。即ち、冷却液通路6は、ウォータージャケット7の底部71と周壁部72とヒートシンクベース部材4とにより形成された空間により形成されている。ヒートシンク40の第1の面部41に形成された放熱フィン5は、ウォータージャケット7の冷却液通路6内に挿入されている。ヒートシンク40の第2の面部42には、パワー半導体素子等の第1の発熱素子1と、第2の発熱素子2と、第3の発熱素子3が夫々固着されている。
水等の液体からなる冷却液は、冷却液入口パイプ8からウォータージャケット7の冷却液通路6内に流入し、冷却液出口パイプ9から冷却液通路6外へ排出される。冷却液通路6内に流入した冷却液は、放熱フィン5及びヒートシンクベース部材4を介して第1の発熱素子1、第2の発熱素子2、及び第3の発熱素子3を冷却する。ここで、第1の発熱素子1は、他の発熱素子に対して冷却液通路6に於ける冷却液の流通方向Aの最も上流側に配置され、第3の発熱素子3は、他の発熱素子に対して冷却液通路6に於ける冷却液の流通方向Aの最も下流側に配置され、第2の発熱素子2は、第1の発熱素子1と第3の発熱素子3との間に配置されている。
次に、図3に於いて、R1Uは発熱素子1の上流側部位と冷却液との間の熱抵抗、R1Dは発熱素子1の下流側部位と冷却液との間の熱抵抗、R2Uは発熱素子2の上流側部位と冷却液との間の熱抵抗、R2Dは発熱素子2の下流側部位と冷却液との間の熱抵抗、R3Uは発熱素子3の上流側部位と冷却液との間の熱抵抗、R3Dは発熱素子3の下流側部位と冷却液との間の熱抵抗、を夫々示している。ここで、夫々の熱抵抗の値の相対的関係は、下記のように、冷却液の温度上昇に鑑みて、冷却液の流通方向に連続的に減少するように設定されている。

1U>R1D>R2U>R2D>R3U>R3D
又、Tw1Uは発熱素子1の上流側部位の直下の冷却液温度、Tw1Dは発熱素子1の下流側部位の直下の冷却液温度、Tw2Uは発熱素子2の上流側部位の直下の冷却液温度、Tw2Dは発熱素子2の下流側部位の直下の冷却液温度、Tw3Uは発熱素子3の上流側部位の直下の冷却液温度、Tw3Dは発熱素子3の下流側部位の直下の冷却液温度、を夫々示している。冷却液は、その下流領域に於いて上流領域に配置された発熱素子からの受熱により、上流領域よりも高温となる。従って、冷却液の前述の温度の相対的関係は下記の通りとなる。

Tw1U<Tw1D<Tw2U<Tw2D<Tw3U<Tw3D
更に、Tc1Uは発熱素子1の上流側部位の温度、Tc1Dは発熱素子1の下流側部位の温度、Tc2Uは発熱素子2の上流側部位の温度、Tc2Dは発熱素子2の下流側部位の温度、Tc3Uは発熱素子3の上流側部位の温度、Tc3Dは発熱素子3の下流側部位の温度、を夫々示している。
ここで、発熱素子1、2、3の発熱量が全て等しいと仮定すると、発熱素子1、2、3は冷却液の温度差の影響を受け、本来は

Tc1U<Tc1D<Tc2U<Tc2D<Tc3U<Tc3D

となり、発熱素子間に温度差が生ずる筈である。
しかし、この発明の実施の形態1による液冷では、前述のように冷却液の温度上昇に応じて熱抵抗を冷却液の流通方向に連続的に減少するように設定されているため、発熱素子1、2、3の間の温度差は抑制される。更に、熱抵抗を適切に調整することにより、全ての発熱素子の温度を等しい温度にすることが出来る。即ち、

c1U=Tc2U=Tc3U

c1D=Tc2D=Tc3D

とすることが出来る。その結果、発熱素子間の温度のばらつきに起因する発熱素子の寿命のばらつきや、発熱素子の特性のばらつきが抑制される。
又、夫々の発熱素子内の温度を等しい温度にすることが出来る。即ち、

c1U=Tc1D、Tc2U=Tc2D、Tc3U=Tc3D

とすることが出来る。その結果、発熱素子内の温度差に起因する、発熱素子内部の電流分布の悪化、電流集中による発熱素子の局部過熱による破壊、短絡耐量の低下が抑制される。
前述のように、熱抵抗は冷却液の流通方向に連続的に減少するように設定されているが、その熱抵抗の設定は、具体的には例えば下記の手段のうちの何れか、若しくはそれらの手段を組み合わせることで行うことが出来る。
(1)放熱フィンの放熱能力を冷却液の流通方向の下流側に向かって順次大きくする。
(2)ヒートシンクベース部材4の肉厚を冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次薄くする。
(3)異種材料を接合してヒートシンクベース部材4を形成することにより、ヒートシンクベース部材4の熱伝導率を冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次大きくする。
(4)熱伝導フィラーをヒートシンクベース部材4の材料に混合し、ヒートシンクベース部材4の熱伝導率を冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次大きくする。
尚、以上の説明では、簡単のため発熱素子が3個である場合を例にとって説明したが、当然ながら発熱素子は何個であっても良い。又、前述の説明では発熱素子の発熱量は全て等しいと仮定したが、当然ながら発熱量は発熱素子毎に異なっていて良く、各発熱素子の発熱量に応じて熱抵抗を増減させても良い。
放熱フィン5の形状は、所定の厚さを有する板を複数並べたものや、円柱、楕円柱、円錐、楕円錐、多角柱、多角推等の柱を複数並べたものであって良い。又、熱抵抗は必ずしも冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次減少させる必要は無く、発熱素子の冷却優先順位に応じて、冷却液通路6の内部で適宜増減させても良い。
実施の形態2.
次に、この発明の実施の形態2による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態2による液冷冷却器は、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて冷却液通路の断面積を変化させたことを特徴としている。
図4はこの発明の実施の形態2による液冷冷却器の分解斜視図、図5はこの発明の実施の形態2による液冷冷却器の変形例の分解斜視図である。図4及び図5に示す矢印Aは、冷却液の流通方向を示している。図4、及び図5に於いて、Vは、冷却液通路6の断面積が大きい領域に於ける冷却液の流速、Vは、冷却液通路6の断面積が小さい領域に於ける冷却液の流速、を夫々示している。
この発明の実施の形態2による液冷冷却器は、冷却液通路6に於ける冷却液の最上流側から最下流側に至るまでの連続的冷却液温度上昇に対応して冷却液通路6の断面積を減少するように構成している。そのため、冷却液通路6の断面積の減少に応じて冷却液の流速が増加する(V-1 <V2となる)。冷却液の流速が増加すると、放熱フィン5の放熱能力が増加するため、熱抵抗が減少する。
図4に示すこの発明の実施の形態2の液冷冷却器では、冷却液通路6の断面積をウォータージャケット7の幅方向に、冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次減少させるようにしている。この場合、放熱フィン5の本数は、冷却液通路6の断面積に応じて調整されている。即ち、冷却液の流通方向Aの下流側に向かって放熱フィン5の本数は漸次少なくなっている。
図5に示すこの発明の実施の形態2による液冷冷却器の変形例では、冷却液通路6の断面積を、ウォータージャケット7の厚さ方向、つまり冷却液の流通方向に直交する方向(高さ方向)に、冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次減少させるようにしている。この場合、放熱フィン5の高さは、冷却液通路6の断面積に応じて調整されている。即ち、冷却液の流通方向Aの下流側に向かって放熱フィン5の高さは漸次小さくなっている。
尚、冷却液通路6の断面積は、必ずしも冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次減少させる必要は無く、発熱素子の冷却優先順位に応じて、適宜増減させて良い。
実施の形態3.
次に、この発明の実施の形態3による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態3による液冷冷却器は、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて放熱フィンの高さを変化させるようにしたことを特徴とする。
図6は、この発明の実施の形態3による液冷冷却器の冷却液流通方向の断面図である。図6に示す矢印Aは、冷却液の流通方向を示している。図6に示すように、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子1から最も下流側に配置した発熱素子3に至るまでの間に於いて、放熱フィン5の高さは、冷却液の流通方向Aの下流側に向かって漸次大きくなるように構成されている。その結果、放熱フィンの表面積は、放熱フィン5の高さの増加に応じて増加する。放熱フィン5の表面積が増加すると、放熱フィン5の放熱能力が増加するため、熱抵抗が減少する。
尚、放熱フィン5の高さは、必ずしも冷却液の流通方向の下流側に向かって漸次大きくする必要は無く、発熱素子の冷却優先順位に応じて、適宜増減させて良い。
実施の形態4.
次に、この発明の実施の形態4による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態4による液冷冷却器は、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて、放熱フィンが配置される領域の単位面積当たりの放熱フィンの個数を変化させることを特徴とする。
図7は、この発明の実施の形態4による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図であって、放熱フィンが図の上方となるようにして示したものである。図7に於ける矢印Aは、冷却液の流通方向を示している。図7に示すように、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて、つまり冷却液の流通方向の下流側に向かって、放熱フィンが配置される領域の単位面積当たりの放熱フィン5の個数は、漸次増加する。
放熱フィン5の個数が増加すると、放熱フィン5の表面積が全体として増加すると共に、冷却液通路6の断面積も減少するため、冷却液の流速が増加する。放熱フィン5の表面積が増加し、冷却液の流速が増加することにより、放熱フィン5の放熱能力が増加するため、熱抵抗が減少する。
尚、放熱フィン5が配置される領域の単位面積当たりの放熱フィン5の個数は、必ずしも冷却液の流通方向に下流側に向かって増加させる必要は無く、発熱素子の冷却優先順位に応じて、適宜増減させても良い。
実施の形態5.
次に、この発明の実施の形態5による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態5による液冷冷却器は、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて、放熱フィンの1個当たりの体積を変化させたことを特徴とする。
図8は、この発明の実施の形態5による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図であって、放熱フィンが図の上方となるようにして示したものである。図8に於ける矢印Aは冷却液の流通方向を示している。図8に示すように、冷却液の流通方向の最も上流側に配置した発熱素子から最も下流側に配置した発熱素子に至るまでの間に於いて、冷却液の温度上昇に応じて、放熱フィン5の太さを漸次大きくして放熱フィン5の1個当たりの体積を増加させている。
放熱フィン5の体積が増加すると、放熱フィン5の表面積が増加するとともに、冷却液通路6の断面積も減少するため、冷却液の流速が増加する。放熱フィン5の表面積が増加し、冷却液の流速が増加することにより、放熱フィン5の放熱能力が増加するため、熱抵抗が減少する。
尚、放熱フィン5の1個当たりの体積は、必ずしも冷却液の流通方向に下流側に向かって増加させる必要は無く、発熱素子の冷却優先順位に応じて、適宜増減させても良い。
実施の形態6.
次に、この発明の実施の形態6による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態6による液冷冷却器は、放熱フィンを冷却液の流通方向の下流側に向かって傾斜したことを特徴としている。
図9は、この発明の実施の形態6による液冷冷却器に於けるヒートシンクを示す斜視図であって、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41が図の上方に位置するように、図1に示すヒートシンク40の上下を反転させて表示している。図9に示すように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41には、縦横に整列した多数の放熱フィン5が設けられている。これ等の放熱フィン5の長さ方向は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41と直交する方向Vに対して所定の角度θで冷却液の流通方向Aの下流側に向かって傾斜している。ここで、角度θを傾斜角度と称する。
図10及び図11は、この発明の実施の形態6による液冷冷却器に於けるヒートシンクの説明図である。図10及び図11に示すように、夫々の放熱フィン5は、その長さ方向に対して直交する方向の断面が四角形を成している。ここで、四角形とは、正方形、長方形、若しくは菱形の何れをも含むものとする。放熱フィン5の第1の稜線51は、その放熱フィン5の他の部位よりも冷却液の流通方向Aの最も上流側に位置し、第1の稜線51に対向する第2の稜線52は、その放熱フィン5の他の部位よりも冷却液の流通方向Aの最も下流側に位置している。
ここで、冷却液の流通方向Aに対して直交する方向に整列する複数の放熱フィン群を「放熱フィン行群」と称し、冷却液の流通方向Aに整列する複数の放熱フィン群を「放熱フィン列群」と称する。放熱フィン行群に於いては、隣接する放熱フィン5同士の間には第1の間隙50aが設けられている。又、放熱フィン列群に於いては、隣接する放熱フィン5同士の間には第2の間隙50bが設けられている。第1の間隙50aの大きさと第2の間隙50bの大きさは、同一であると否とを問わない。
一つの放熱フィン行群の個々の放熱フィン5は、隣接する放熱フィン行群の前述の第1の間隙50aに対応する位置に配置されている。同様に、一つの放熱フィン列群の個々の放熱フィン5は、隣接する放熱フィン列群の前述の第2の間隙50bに対応する位置に配置されている(図1参照)。
尚、前述のように放熱フィン5は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41と直交する方向Vに対して所定の角度θで冷却液の流通方向Aの下流側に向かって傾斜した柱状体であり、図9、図10、及び図11では、その断面形状が四角形である四角柱としているが、放熱フィン5の形状は、円柱、楕円柱、円錐、楕円錐、四角柱以外の多角柱、多角推等であってもよい。
前述したように、放熱フィン5は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41と直交する方向Vに対して所定の傾斜角度θで冷却液の流通方向Aの下流側へ傾斜しているため、図10及び図11に示すように、冷却液の流通方向Aの上流側に位置する第1の稜線51に接する第1のフィン面53と第2のフィン面54は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して鈍角を成して延びている。一方、冷却液の流通方向Aの下流側に位置する第2の稜線52に接する第3のフィン面55と第4のフィン面56は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して鋭角を成して延びている。
次に、放熱フィン5の周辺に於ける冷却液の流れについて説明する。図10に示すように、冷却液は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41と成す角度が鈍角である放熱フィン5の側面を成す第1のフィン面53と第2のフィン面54に接触すると、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向に流れの向きを変える(細い実線で示す矢印参照)だけでなく、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41から離れるように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直な方向にも流れの向きを変える(細い波線で示す矢印参照)。
更に、図11に示すように、冷却液は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41との成す角度が鋭角である放熱フィン5の側面を成す第3のフィン面55と第4のフィン面56に接触すると、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向に流れの向きを変える(図4の細い実線で示す矢印参照)だけでなく、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に近付くように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直な方向にも流れの向きを変える(図4の細い波線で示す矢印参照)。
以上述べたように、この発明の実施の形態6による液冷冷却器によれば、冷却液が、放熱フィン5により、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向と、垂直な方向と、の双方向に撹拌される。放熱フィン5は、前述のように放熱フィン行群と放熱フィン列群に整列して配置されており、放熱フィン行群の個々の放熱フィン5は、隣接する放熱フィン行群に於ける個々の放熱フィン5間の第1の所定の間隙50に対応する位置に配置されている(図1参照)。
従って、冷却液は、必ず放熱フィン5の側面としての第1のフィン面53と第2のフィン面54に衝突するため、冷却液通路6の内部を直進して進むことができず、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向と垂直な方向との双方向に十分に撹拌される。そのため、放熱フィン5は、発熱素子を固定しているヒートシンクベース部材4にだけ設ければよく、ウォータージャケット7の底部71に設ける必要がない。従って、液冷冷却器の小型化が可能となる。
図12Aは液冷冷却器の放熱性能を説明するグラフであって、放熱フィンの熱伝達率を数値シミュレーションで計算し、傾斜方向の違いによる放熱性能を比較したグラフである。図12Aに於いて、縦軸は「熱伝達率」[a.u](arbitrary unit:任意単位)、横軸は「放熱フィン上流からの距離」[a.u]である。ここで、「放熱フィン上流からの距離」とは、1個の放熱フィン5に於ける冷却液の流通方向Aの最上流側の部位からその放熱フィンの長さ方向の各部位までの距離である。
つまり、前述の実施の形態6の場合、及び図12Bに示すように、放熱フィン5が前述の傾斜角θで冷却液の流通方向Aの下流側へ傾斜している場合には、放熱フィン5に於ける冷却液の流通方向Aの最上流側の部位はヒートシンクベース部材4の第1の面部41と接する放熱フィン5の根本部分であるから、「放熱フィン上流からの距離」とは、放熱フィン5の根元部分から冷却液の流通方向Aの下流側に向かって傾斜して延びる放熱フィン5の長さ方向の各部位までの距離を意味する。一方、図12Cに示すように、放熱フィン5が前述の傾斜角θで冷却液の流通方向Aの上流側へ傾斜している場合には、放熱フィン5に於ける冷却液の流通方向Aの最上流側の部位は放熱フィン5の根本部分とは逆の先端部分であるから、「放熱フィン上流からの距離」とは、放熱フィン5の根元部分とは逆の先端部分から放熱フィン5の長さ方向の各部位までの距離を意味する。
図12Aに於いて、実線Xは、この発明の実施の形態6、及び図12Bに示すように、放熱フィン5が冷却液の流通方向Aの下流側に向かって傾斜角θで傾斜している場合の放熱フィンの放熱特性を示している。破線Yは、図12Cに示すように、放熱フィン5が冷却液の流通方向Aの上流側に向かって傾斜角θで傾斜している場合の放熱フィンの放熱特性を示している。図12Cに示す放熱特性Xと放熱特性Yとの比較から、放熱フィンの各部位に於ける熱伝達率は、冷却液の流通方向Aの上流からの距離の如何にかかわらず、冷却液の流通方向Aの下流側に向かって傾斜している実施の形態1、及び図12Bに示す放熱フィンの方が、冷却液の流通方向Aの上流側に向かって傾斜している放熱フィンよりも、熱伝達率が高く、放熱性能が優れていることが分かる。
以上述べたこの発明の実施の形態6による液冷冷却器に於ける放熱フィン5は、アルミニウム、銅、セラミックス等の良熱伝導性材料を用いて、切削、鍛造、ダイカスト、3Dプリンタ等による加工により製作することが出来る。
又、放熱フィンの製作の初期段階では、ヒートシンクベース部材の第1の面部に垂直に放熱フィンを形成し、その後、その垂直に形成された放熱フィンに外力を加えて冷却液の流通方向の下流側に向かって傾斜させることにより、放熱フィン5を製作するようにしてもよい。
尚、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に於ける放熱フィン5の存在していない領域に凹凸を設け、冷却液の流れを攪乱して放熱能力を向上させるようにしても良いし、放熱フィン5の傾斜角θを、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に於ける放熱フィン5の存在位置に応じて変えるようにしても良い。
実施の形態7.
次に、この発明の実施の形態7による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態7による液冷冷却器は、放熱フィンの形状を、三角柱、四角柱、若しくは六角柱とし、個々の放熱フィンの側面が、隣接する他の放熱フィンの側面と平行に配置するようにしたことを特徴としている。その他の構成は、前述の実施の形態1の場合と同様である。
図13は、この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンを示す説明図である。図13に於いて、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41(図1−図4参照)に設けられた個々の放熱フィン501は、その長さ方向に直交する横断面が三角形状をなした三角柱で構成され、隣接する放熱フィン501の互いに対向するフィン面501a同士が平行となるように配置されている。冷却液は、矢印Aの方向に流通する。各放熱フィン501は、夫々冷却液の流通方向Aに向かって、傾斜角θで傾斜している。その他の構成は、前述の実施の形態6の場合と同様である。
図14は、この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンの変形例を示す説明図である。図14に於いて、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41(図1、図9−図11参照)に設けられた放熱フィン502は、その長さ方向に直交する横断面が四角形状をなした四角柱で構成され、隣接する放熱フィン502の互いに対向するフィン面502a同士が平行となるように配置されている。冷却液は、矢印Aの方向に流通する。各放熱フィン502は、夫々冷却液の流通方向Aに向かって、傾斜角θで傾斜している。その他の構成は、前述の実施の形態6の場合と同様である。
図15は、この発明の実施の形態7による液冷冷却器に於ける放熱フィンの更に別の変形例を示す説明図である。図15に於いて、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41(図1、図9−図11参照)に設けられた放熱フィン503は、その長さ方向に直交する横断面が六角形状をなした六角柱で構成され、隣接する放熱フィン503の互いに対向するフィン面503a同士が平行となるように配置されている。冷却液は、矢印Aの方向に流通する。各放熱フィン503は、夫々冷却液の流通方向Aに向かって、傾斜角θで傾斜している。その他の構成は、前述の実施の形態6の場合と同様である。
図13、図14、及び図15に示す実施の形態7による液冷冷却器によれば、実施の形態6の場合と同様に、放熱フィン501、502、及び503に於ける、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41と成す角度が鈍角であるのフィン面に接触した冷却液は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向に流れの向きを変えるだけでなく、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41から離れるように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直な方向にも流れの向きを変える。更に、放熱フィン501、502、及び503に於ける、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41との成す角度が鋭角であるフィン面に接触した冷却液は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向に流れの向きを変えるだけでなく、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に近付くように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直な方向にも流れの向きを変える。
従って、冷却液は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して平行な方向と垂直な方向との双方向に十分に撹拌される。そのため、放熱フィン501、502、及び503は、発熱素子を固定しているヒートシンクベース部材4にだけ設ければよく、ウォータージャケット7の底部71に設ける必要がない。従って、液冷冷却器の小型化が可能となる。
前述のように、放熱フィン形状を三角柱、四角柱、もしくは六角柱とすれば、寸法の調整により隣接する放熱フィンの側面と側面を全て平行に配置することが可能となる。隣接する放熱フィンの側面が並行であるということは、隣接する放熱フィンと放熱フィンの隙間が一定に保たれているということであり、隣接する放熱フィンと放熱フィンの間を流れる冷却液の流速が一定に保たれるということである。例えば、隣接する放熱フィンと放熱フィンの最小間隙寸法が定められている場合には、全ての隣接する放熱フィンと放熱フィンの間隙の寸法を最小隙間寸法とすることにより、隣接する放熱フィンと放熱フィンの間を流れる冷却液の流速を寸法制約内で最大とすることが出来る。放熱フィンの放熱能力は冷却液の流速が大きい程大きくなるため、この発明の実施の形態2による液冷冷却器の冷却性能は高くなる。
実施の形態8.
次に、この発明の実施の形態8による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法について説明する。実施の形態8による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法は、直径の異なる複数の円形刃を有する切削工具を用いて放熱フィンを製造することを特徴としており、前述の実施の形態1及び実施の形態2による液冷冷却器に於ける放熱フィンのように、放熱フィンがヒートシンクベース部材の第1の面部から冷却液の流通方向の下流側に向かって全体的に傾斜している場合の、液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法である。
図16、及び図17は、この発明の実施の形態3による液冷冷却器の放熱フィンの製造方法を示す説明図である。先ず、図16に示すように、アルミニウム、銅、セラミックス等の良熱伝導性材料からなるヒートシンクベース部材4に、押出し加工等により、所定の厚さ寸法、及び所定の縦幅寸法、所定の横幅寸法のプレート状の放熱フィン領域510を形成する。尚、ヒートシンクベース部材4を予め放熱フィン領域510を含めた板厚とし、切削等により、所定の厚さ寸法、及び所定の縦幅寸法、所定の横幅寸法のプレート状の放熱フィン領域510を形成するようにしてもよい。
次に、図17に示す直径の異なる複数の円形刃141、142、143を軸15に所定の間隔で等間隔に配置した切削工具200を用いて、図16に示す矢印D、Eのうちの何れか一方の方向に、放熱フィン領域510を所定の傾斜角度で切削して所定間隔の傾斜した溝を形成する。次に、矢印D、Eのうちの他方の方向に、その切削工具200を用いて放熱フィン領域510を所定の傾斜角度で切削して所定間隔の傾斜した溝を形成する。このように矢印D、Eの双方向に放熱フィン領域510に傾斜した溝を形成することで、図17に示す放熱フィン505を形成する。
切削工具200は、図17に示すように、直径の異なる複数の円形刃141、142、143を所定の間隔で等間隔に軸15に固定したものであり、放熱フィン領域510の平面に対して軸15を傾斜角度θだけ傾けて回転させることにより、放熱フィン領域510に同時に複数の傾斜した溝を形成することで、容易に傾斜角度θで傾斜した多数の放熱フィン505を容易に製造することが出来る。
実施の形態9.
前述の実施の形態8による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法は、放熱フィンがヒートシンクベース部材の第1の面部から冷却液の流通方向の下流側に向かって全体的に傾斜している場合の、液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法に関するものであり、直径の異なる複数の円形刃を有する切削工具を用いて放熱フィンを製造することを特徴としている。しかしながら、円形刃の枚数を多くすると、直径が極めて大きい円形刃や直径が極めて小さい円形刃が必要となる。作業性を考慮すれば、直径が過度に大きい円形刃や直径が過度に小さい円形刃を用いることが出来ないので、実用上、直径の異なる円形刃の枚数には限度があり、従って、一度に加工できる溝の数は限定されることになる。
この発明の実施の形態9による液冷冷却器、及びその液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法は、実施の形態8による放熱フィンの製造方法に於ける前述のような課題を解決するものであり、同一の直径を有する複数の円形刃を備えた切削工具を用いて効率よく製造することができる放熱フィンを備えた液冷冷却器、及びその液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法を提供するものである。
先ず、この発明の実施の形態9による液冷冷却器について説明する。この発明の実施の形態9による液冷冷却器は、放熱フィンを、ヒートシンクベース部材の第1の面部に接した傾斜部と、この傾斜部からヒートシンクベース部材の第1の面部に対して垂直に延びる直立部とにより構成したことを特徴とする。その他の構成は、前述の実施の形態1又は実施の形態2と同様である。
図18は、この発明の実施の形態9による液冷冷却器のヒートシンクを示す斜視図、図19は、この発明の実施の形態9による液冷冷却器のヒートシンクを示す側面図である。図18及び図19に於いて、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に設けられた個々の放熱フィン504は、実施の形態1の場合と同様に、放熱フィン行群として整列されていると共に、放熱フィン列群としても整列されている。放熱フィン504は、前述の実施の形態2に於ける図6に示すような三角柱により構成されている。尚、三角柱以外の形状であってもでも良いことは勿論である。
図19によく示されているように、個々の放熱フィン504は、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に接する部位、つまり放熱フィン504の根元部分、に形成された傾斜部504aと、この傾斜部504aからヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直に延びる直立部504bとにより構成されている。放熱フィン504の傾斜部504aは、傾斜角θで冷却液の通流方向Aの下流側に向かって傾斜している。放熱フィンの直立部504bは、傾斜部504a以外の部位により構成される。
冷却液の温度分布は、ヒートシンクベース部材4に近い部分が特に高温となりやすいため、傾斜部504aを放熱フィン504の根元部分に設け、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41の付近を流通する冷却液を主低的に撹拌させることで、液冷冷却器の冷却性能を向上させる。
次に、この発明の実施の形態9による液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法について説明する。この発明の実施の形態9による放熱フィンの製造方法は、前述の図18及び図19に示す液冷冷却器に於ける放熱フィンを製造する方法であって、傾斜部を含む櫛歯状の複数の突条体を押し出し加工等により形成し、その後、その突条体を、同一直径を有する複数の円形刃によりヒートシンクベース部材の面部に対して垂直方向に切削加工を行なうことで、放熱フィンを製造することを特徴とする。
押し出し加工等により形成された櫛歯状の突条体が傾斜部のみしか備えていない場合、円形刃にてヒートシンクベース部材の面部に対して垂直方向に切削加工した場合、突条体の多くの部位が切除されてしまい根元部分しか残らないことになるが、この発明の実施の形態4によれば、突条体を、ヒートシンクベース部材の面部に接続される根元部分に形成した傾斜突条部と、この傾斜突条部からヒートシンクベース部材の面部に対して垂直方向に延びる直立突条部とにより構成しているので、円形刃にてヒートシンクベース部材の面部に対して垂直方向に切削加工しても、根元部分の傾斜突条部と直立突条部とを備えた放熱フィンが形成される。
図20は、この発明の実施の形態4による液冷冷却器の放熱フィンの製造方法を説明するための斜視図である。先ず、図20に示すように、アルミニウム、銅、セラミックス等の良熱伝導性材料からなるヒートシンクベース部材4に、押出し加工等により、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41上に、行方向に連続して延びる突条体500を所定の間隔を介して列方向に整列させて形成する。行方向に連続する突条体500は、図19にも示されるように、ヒートシンクベース部材4の第1の面部41に接する部位に傾斜角θで傾斜する傾斜突条部500aと、この傾斜突条部500aからヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直に延びる直立突条部500bとにより構成されている。
次に、図20に示すように、櫛歯状に形成された突条体500を、同一直径を有する複数の円形刃を軸方向に等間隔に配置した切削工具により、矢印B方向と矢印C方向のうちの何れか一方の方向に、所定幅の複数の溝を等間隔に切削して形成する。次に矢印B方向と矢印C方向のうちの他方の方向に、所定幅の溝を等間隔に切削して形成する。ここで、同一直径を有する複数の円形刃は、突条体500の直立突条部500bをヒートシンクベース部材4の第1の面部41に対して垂直に切削する。この切削加工により、図18に示す個々の放熱フィン504が形成されたヒートシンク40を製造することができる。
この発明の実施の形態9による液冷冷却器に於ける、放熱フィンの製造方法によれば、実施の形態8の場合のように円形刃の枚数に制限を受けることがないので、円形刃の枚数を増大させることで、極めて効率よく容易に放熱フィンを製造することが出来る。
尚、この発明は、その発明の範囲内に於いて、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
この発明は、半導体素子等の発熱素子を冷却する液冷冷却器の分野、ひいてはその液冷冷却器を用いる例えば自動車産業の分野に利用することが出来る。
100 液冷冷却器、1 第1の発熱素子、2 第2の発熱素子、3 第3の発熱素子、40 ヒートシンク、4 ヒートシンクベース部材、41 第1の面部、42 第2の面部、500 突条体、500a 傾斜突条部、500b 直立突条部、5、501、502、503、504、505 放熱フィン、501a、502a、503a フィン面、504a 傾斜部、504b 直立部、50a 第1の間隙、50b 第2の間隙、51 第1の稜線、52 第2の稜線、53 第1のフィン面、54 第2のフィン面、55 第3のフィン面、56 第4のフィン面、6 冷却液通路、7 ウォータージャケット、71 底部、72 周壁部、721、722 短辺部、723、724 長辺部、8 冷却液入口パイプ、9 冷却液出口パイプ、510 放熱フィン領域、200 切削工具、141、142、143 円形刃。

Claims (12)

  1. 内部に冷却液を流通させる冷却液通路を備えたジャケットと、少なくとも一つの発熱素子に直接または間接的に接触すると共に前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触するヒートシンクとを備え、前記発熱体が発生した熱を前記ヒートシンクを介して前記冷却液に伝達して放熱するようにした液冷冷却器であって、
    前記ヒートシンクは、前記発熱素子に直接または間接的に接触する部位から前記冷却液に接触する部位に至る間の熱抵抗が、前記冷却液の流通する方向の異なる位置との間で異なる値に設定されている、
    ことを特徴とする液冷冷却器。
  2. 前記ヒートシンクの前記熱抵抗の値は、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液の下流側に向かって減少するように設定されている、
    ことを特徴とする請求項1に記載の液冷冷却器。
  3. 前記ヒートシンクの前記熱抵抗の値の減少は、前記冷却液の流通する方向に対して直交する方向に於ける前記冷却液通路の断面積を減少させることにより行われる、
    ことを特徴とする請求項2に記載の液冷冷却器。
  4. 前記ヒートシンクは、前記冷却液に接触する複数個の放熱フィンを備え、
    前記冷却液通路の前記断面積の減少は、前記冷却液の流通する方向に対して直交する方向に、前記複数個の放熱フィンの長さを増大させることにより行われる、
    ことを特徴とする請求項3に記載の液冷冷却器。
  5. 前記ヒートシンクは、前記冷却液に接触する複数個の放熱フィンを備え、
    前記冷却液通路の断面積の減少は、前記冷却液通路の単位面積当たりに配置される前記放熱フィンの個数を増大させることにより行われる、
    ことを特徴とする請求項3に記載の液冷冷却器。
  6. 前記ヒートシンクは、前記冷却液に接触する複数個の放熱フィンを備え、
    前記冷却液通路の断面積の減少は、前記放熱フィンの1個当たりの体積を増大させることにより行われる、
    ことを特徴とする請求項3記載の液冷冷却器。
  7. 前記発熱体は、複数個設けられており、
    前記ヒートシンクは、前記冷却液の流通する方向の異なる位置で個々の前記発熱素子に直接または間接的に接触しており、
    前記ヒートシンクの前記異なる位置に於ける前記熱抵抗は、前記複数個の発熱素子の冷却優先順位に応じて、異なる値に設定されている、
    ことを特徴とする請求項1に記載の液冷冷却器。
  8. 内部に冷却液を流通させるジャケットと、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触するヒートシンクとを備え、発熱体が発生した熱を前記ヒートシンクを介して前記冷却液に伝達して放熱するようにした液冷冷却器であって、
    前記ヒートシンクは、
    前記ジャケットの内部に対向する第1の面部を有するヒートシンクベース部材と、
    前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に設けられ、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液に接触する複数の放熱フィンと、
    を備え、
    前記複数の放熱フィンは、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液の下流側に向かって傾斜している、
    ことを特徴とする液冷冷却器。
  9. 前記放熱フィンは、三角柱、四角柱、若しくは六角柱により構成され、
    前記放熱フィンの側面は、隣接する他の放熱フィンの側面に対して平行である、
    ことを特徴とする請求項8に記載の液冷冷却器。
  10. 前記放熱フィンは、
    前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に接し、前記ジャケットの内部を流通する前記冷却液の下流側に向かって傾斜する傾斜部と、
    前記傾斜部から前記第1の面部に対して直立する直立部と、
    を備えている、
    ことを特徴とする請求項8又は9に記載の液冷冷却器。
  11. 請求項8又は9に記載の液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法であって、
    前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出するプレート状の放熱フィン領域を形成し、
    所定間隔で配置した直径が異なる複数の円形刃を回転させ、前記放熱フィン領域を前記複数の円形刃により、前記第1の面部に対して傾斜した角度で同時に切削して前記複数の放熱フィンを形成する、
    ことを特徴とする液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法。
  12. 請求項10に記載の液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法であって、
    前記ヒートシンクベース部材の前記第1の面部に、前記第1の面部から所定の寸法で突出する互いに平行に配置された複数の突条体を形成し、
    前記複数の突条体は、前記第1の面部に接して設けられ、前記第1の面部に対して所定方向に傾斜して傾斜突条部と、前記傾斜突条部に接して設けられ、前記第1の面部に対して直立する直立突条部とからなり、
    前記複数の突条体を切削加工することにより、前記複数の放熱フィンを形成する、
    ことを特徴とする液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法。
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