JPWO2016158010A1 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本発明に係る圧電振動デバイス1の構成を、図1及び図2を参照しながら説明する。図1は、圧電振動デバイス1の各構成を示した概略構成図、図2は、圧電振動デバイスの各構成を示した分解斜視図である。
圧電振動デバイスの第1封止部材について図3及び図4を参照しながら説明する。図3は、圧電振動デバイスの第1封止部材の概略平面図、図4は、圧電振動デバイスの第1封止部材の概略底面図である。
本発明に係る圧電振動デバイスの圧電基板について図5〜7を参照しながら説明する。図5は、圧電振動デバイスの圧電基板の概略平面図、図6は、圧電振動デバイスの圧電基板の概略底面図、図7は、図5のVII−VII線に沿う断面図である。
本発明に係る圧電振動デバイスの第2封止部材4について図8及び図9を参照しながら説明する。図8は、圧電振動デバイスの第2封止部材の概略平面図、図9は、圧電振動デバイスの第2封止部材の概略底面図である。
本発明に係る外部素子5は、例えば、水晶発振器用のICであり、第1封止部材3の外部電極31と接続されるものである(図2参照)。外部素子5における第1封止部材3の外部電極31と接続するための電極(不図示)は、平面視において少なくとも圧電基板2の外枠部23に対応する位置に形成されている。
次に、上述した圧電基板2、第1封止部材3、第2封止部材4、外部素子5を用いて圧電振動デバイス1を製造する方法について説明する。
本発明に係る圧電振動デバイスの構成によれば、第1封止部材3及び第2封止部材4の少なくとも一方には、外部素子5が接続される外部電極31が設けられており、外部素子5は、平面視において少なくとも圧電基板2の外枠部23に対応する位置で、外部電極31に接続されているので、外部素子5を押圧しても振動部21が封止された封止領域(内部空間SP)の内側が押圧されることを防ぐことができる。
なお、上記に示した本発明の実施形態及び実施例はいずれも本発明を具体化した例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
2 圧電基板
2a 一主面
2b 他主面
21 振動部
21a 角部
211 第1励振電極
212 第2励振電極
213 メサ構造
221 第1引出電極
222 第2引出電極
231 振動側第1接合パターン
232 振動側第2接合パターン
241 励振電極接合パターン
242 励振電極接合パターン
243 励振電極接合パターン
251 接合用パターン
252 接合用パターン
22 保持部
23 外枠部
3 第1封止部材
3a 一主面
31 外部電極
3b 他主面
321 封止側第1接合パターン
322 封止側励振電極接合パターン
323 接合用パターン
4 第2封止部材
4a 一主面
4b 他主面
411 接合用パターン
412 封止側第2接合パターン
413 封止側励振電極接合パターン
414 外部電極端子
5 外部素子
h31 第1貫通孔
h32 第2貫通孔
h33 第3貫通孔
h34 第4貫通孔
h35 第5貫通孔
h36 第6貫通孔
h21 第7貫通孔
h22 第8貫通孔
h23 第9貫通孔
h24 第10貫通孔
h25 第11貫通孔
h41 第12貫通孔
h42 第13貫通孔
h43 第14貫通孔
h44 第15貫通孔
B 接合材
SP 内部空間
k1 平面視逆凹形状体
k2 平面視長方形状体
Claims (8)
- 電圧を印加することによって圧電振動させる振動部が備えられた圧電基板と、
前記圧電基板の一主面を覆って前記振動部を封止する第1封止部材と、
前記圧電基板の他主面を覆って前記振動部を封止する第2封止部材と、
が備えられており、
前記圧電基板のうち少なくとも前記振動部が、前記第1封止部材と、第2封止部材とで封止された圧電振動デバイスであって、
前記圧電基板は、前記振動部と、当該振動部の外周を取り囲むとともに前記振動部よりも厚肉に形成された外枠部と、を備え、
前記第1封止部材及び第2封止部材の少なくとも一方には、外部素子が接続される外部電極が設けられており、
前記外部素子は、少なくとも前記圧電基板の外枠部において、前記外部電極に接続されていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載された圧電振動デバイスであって、
前記外部電極は、前記外部素子と金属バンプを介して接続されていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項2に記載された圧電振動デバイスであって、
前記外部電極には、前記圧電基板の前記振動部に設けられた一対の第1励振電極及び第2励振電極に接続された第1励振電極用外部電極及び第2励振電極用外部電極が少なくとも含まれており、
前記第1励振電極用外部電極と前記外部素子とを接続する前記金属バンプのみが、前記第1励振電極と前記第1励振電極用外部電極とを接続する第1配線と平面視で重畳する位置に設けられており、
前記第2励振電極用外部電極と前記外部素子とを接続する前記金属バンプのみが、前記第2励振電極と前記第2励振電極用外部電極とを接続する配線と平面視で重畳する位置に設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載された圧電振動デバイスであって、
前記外部電極には、前記圧電基板の前記振動部に設けられた一対の第1励振電極及び第2励振電極に接続された第1励振電極用外部電極及び第2励振電極用外部電極と、前記第1励振電極及び第2励振電極に接続されない他外部電極とが少なくとも含まれており、
前記他外部電極は、前記第1励振電極と前記第1励振電極用外部電極とを接続する第1配線、及び、前記第2励振電極と前記第2励振電極用外部電極とを接続する第2配線とは平面視で重畳しない位置に設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項4に記載された圧電振動デバイスであって、
前記第1励振電極用外部電極は、前記第2配線とは平面視で重畳しない位置に設けられており、
前記第2励振電極用外部電極は、前記第1配線とは平面視で重畳しない位置に設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項3〜5のうちいずれか1つに記載された圧電振動デバイスであって、
前記第1励振電極用外部電極及び前記第2励振電極用外部電極は、前記圧電基板の前記外枠部に平面視で対応する位置にそれぞれ形成されており、前記第1励振電極用外部電極及び前記第2励振電極用外部電極が、前記圧電基板の前記振動部の検査用端子とされることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載された圧電振動デバイスであって、
前記外部電極には、前記圧電基板の前記振動部に設けられた一対の第1励振電極及び第2励振電極に接続された第1励振電極用外部電極及び第2励振電極用外部電極が少なくとも含まれており、
前記第1励振電極用外部電極及び前記第2励振電極用外部電極は、前記圧電基板の前記外枠部に平面視で対応する位置にそれぞれ形成されており、前記第1励振電極用外部電極及び前記第2励振電極用外部電極が、前記圧電基板の前記振動部の検査用端子とされることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1〜7のうちいずれか1つに記載された圧電振動デバイスであって、
前記外部電極は、前記第1封止部材に形成されており、前記外部素子はICであることを特徴とする圧電振動デバイス。
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