JPWO2016133214A1 - グラファイトフィルム、積層フィルムおよびそれらの製造方法、並びに電極用材料 - Google Patents
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Abstract
Description
(実施形態1)
本発明の一実施形態に係るグラファイトフィルムは、水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である面を有していればよく、その他の構成は特に限定されるものではない。なお、前記グラファイトフィルムにおいて、水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である面は片面または両面のいずれであってもよい。換言すれば、前記グラファイトフィルムは、少なくとも片面または両面に第一の面を有し、当該第一の面は、水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下であるとも表現し得る。以下、これらの特性について説明する。
前記グラファイトフィルムにおいて、片面または両面における水との接触角は50度より大きいことが好ましく、55度以上であることがより好ましく、60度以上であることがさらに好ましく、70度以上であることが特に好ましい。なお、上限については特に限定されないが、例えば、110度以下であることが好ましく、100度以下であることがより好ましい。
前記グラファイトフィルムにおいて、片面または両面における光沢度は、20以下であることが好ましく、より好ましくは10以下、さらに好ましくは5以下である。
また、他の態様において、本発明に係るグラファイトフィルムは、グラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在する面を有し、前記グラファイト小片の最大径は、0.3μm以上であればよく、その他の構成は特に限定されない。なお、前記グラファイトフィルムにおいて、グラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在する面は片面または両面のいずれであってもよい。換言すれば、前記グラファイトフィルムは、少なくとも片面または両面に第二の面を有し、当該第二の面はグラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在するものであるとも表現し得る。以下、本実施態様のグラファイトフィルムに関して詳説する。
本発明に係るグラファイトフィルムは、片面または両面に、グラファイト小片を有するものである。本明細書において、グラファイト小片とは、グラファイトフィルムの一部がグラファイトフィルムの表面から剥離している状態を意味する。換言すれば、グラファイト小片は、一部(または端部)がグラファイトフィルムの表面とつながっており、他の一部(または端部)がグラファイトフィルムとは離れた状態となっているものといえる。つまり、グラファイト小片とは、グラファイトフィルムの一部がめくれ上がったものとも換言できる。
本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法は、空隙率が5%以上のグラファイトフィルムに対して表面粗化処理を行う工程を含み、前記グラファイトフィルムは、面方向に配向しているものであり、前記表面粗化処理は、サンドブラスト処理、ウェットブラスト処理、ジェットスクラブ処理およびバフ研磨処理からなる群より選択される少なくとも1つであればよく、その他の具体的な工程、方法および材料等は特に限定されるものではない。換言すれば、前記表面粗化処理は、前記グラファイトフィルムの配向方向に平行な表面に対して行われる。
本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法において用いられるグラファイトフィルムは、面方向に配向している。すなわち、本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法では、グラファイトフィルムの配向方向がグラファイトフィルム表面と平行であるグラファイトフィルムに対して表面粗化処理を行うため、グラファイト小片が立ち上がりやすく、かつグラファイト小片が立ち上がった際に、グラファイト小片が剥がれ落ちにくく、積層材料との密着力が向上するという効果が期待できる。逆に、グラファイトフィルムの配向方向がランダムであると、前記効果が得られにくい。
本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法では、5%以上の空隙率を有するグラファイトフィルムを用いる。本明細書において、空隙とは、グラファイトフィルムの内部(グラフェン層間)に存在する空間を意味する。また、空隙率は、グラファイトフィルムの体積に対する空隙が占める割合を表し、以下の式(1)にて求めることができる。
空隙率(%)=100×(1−密度/真比重) (1)
なお、前記式(1)において、「密度」とは、グラファイトフィルムの密度(単位:g/cm3)を意味する。また、前記式(1)において、「真比重」とは、グラファイトフィルムの真比重を意味し、その具体的な値は2.26g/cm3である。
また、本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法では、前記表面粗化処理が、サンドブラスト処理、ウェットブラスト処理、ジェットスクラブ処理およびバフ研磨処理からなる群より選択される少なくとも1つであることが好ましい。本処理を実施することにより、グラファイト小片を形成することができる。また、これらの表面粗化処理は、コロナ処理またはプラズマ処理等と異なり、不安定な官能基を生成するものではないため、上述のように処理後、長期間放置した場合であっても密着力が低下しない。なお、特許文献5には単に表面処理の方法が列記されているにすぎない。
本発明に係る積層フィルムは、前記グラファイトフィルムに、金属、樹脂、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、金属ホウ化物および金属ケイ化物からなる群より選択される少なくとも1つである積層材料が積層されているものであればよく、その他の構成は特に限定されない。なお、前記積層材料が積層される面は、上述の(i)水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である面、または(ii)グラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在する面である。本発明に係るグラファイトフィルムは上述のように積層材料との密着力に優れているため、本積層フィルムでは、グラファイトフィルムと積層材料とが強く密着している。これに対し、例えば、特許文献1に記載の技術は、剥離可能なフィルムが貼り合わせられたグラファイト複合フィルムである点で本発明とは異なる。
前記積層材料は、金属、樹脂、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、金属ホウ化物および金属ケイ化物からなる群より選択される少なくとも1つである。金属としては、銅、アルミ、マグネシウム、鉄およびSUS等の純金属および合金等が挙げられる。また、樹脂としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂およびポリエステル樹脂等が挙げられる。金属酸化物としては、酸化ケイ素、酸化チタンおよびアルミナ等が挙げられる。金属炭化物としては、チタンカーバイド、炭化ケイ素、ジルコニウムカーバイド、タングステンカーバイドおよびモリブデンカーバイド等が挙げられる。金属窒化物としては、チタンナイトライド、ジルコニウムナイトライドおよびバナジウムナイトライド等が挙げられる。金属ホウ化物としては、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウムおよびホウ化バナジウム等が挙げられる。金属ケイ化物としては、ケイ化チタンおよびケイ化ジルコニウム等が挙げられる。
本発明に係る積層フィルムにおいて、前記グラファイトフィルムと前記積層材料との間の密着力は、0.10N/cm以上であることが好ましく、0.12N/cm以上であることがより好ましく、0.15N/cm以上であることがさらに好ましい。密着力は、0.10N/cm以上であれば、グラファイトフィルムと積層材料とが剥離しにくいため、好ましい。
本発明に係る積層フィルムにおける面方向のシート抵抗は、当該積層フィルムを電極用材料として使用する場合、100mΩ/□以下であることが好ましく、50mΩ/□以下であることがより好ましく、25mΩ/□以下であることがさらに好ましく、5mΩ/□以下であることが特に好ましい。シート抵抗を100mΩ/□以下にすることで、電流による発熱を十分抑えることができる。
本発明に係る積層フィルムの製造方法は、前記グラファイトフィルムの製造方法によって製造されたグラファイトフィルムの表面粗化処理が行われた面に、金属、樹脂、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、金属ホウ化物および金属ケイ化物からなる群より選択される少なくとも1つである積層材料を、溶融塗布、溶液塗布、蒸着、スパッタ、めっきまたは化学気相成長法(CVD)にて積層する工程を含むものであればよく、その他の具体的な工程、材料および装置等は特に限定されるものではない。上述のように本発明に係るグラファイトフィルムの製造方法によって製造されたグラファイトフィルムは、優れた密着力を有する。従って、本発明に係る積層フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと積層材料とが強く密着した積層フィルムを製造することができる。
本発明に係る電極用材料は、前記積層フィルムを含むものであればよく、その他の構成は特に限定されない。なお、前記積層材料が積層される面は、上述の(i)水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である面、または(ii)グラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在する面である。〔1.グラファイトフィルム〕〜〔4.積層フィルムの製造方法〕にて既に説明した事項について、以下では説明を省略し、適宜、上述の記載を援用する。
厚みの異なるポリイミドフィルムを2000℃以上の温度で熱処理後にプレス処理して、グラファイトフィルムA(密度1.84g/cm3、厚み25μm)、グラファイトフィルムB(低発泡、密度2.12g/cm3、厚み22μm)、グラファイトフィルムC(高発泡、密度0.25g/cm3、厚み300μm)、および、グラファイトフィルムD(低発泡、密度2.19g/cm3、厚み5μm)を得た。また、ポリイミドフィルムを1400℃で熱処理して、炭化フィルムE(密度1.80g/cm3、厚み5μm)を得た。
各グラファイトフィルムおよび炭化フィルムについて、MIT耐屈曲試験により、何回折り曲げに耐えることができたかを測定した。MIT耐屈曲試験は、各グラファイトフィルムおよび炭化フィルムを1.5cm×10cmにカットし、MIT耐柔疲労試験器(東洋精機社製、型式D)を用いて、試験荷重100gf(0.98N)、速度90回/分、折り曲げクランプの曲率半径Rは2mmとして行い、折り曲げ角度は左右90度ずつとした。
(1)樹脂の積層
ZEONOR(登録商標) 1020R(日本ゼオン社製)をエチルシクロヘキサンに濃度10重量%で溶解し、樹脂溶液を得た。ドクターブレード(ギャップ:150μm)を用いて樹脂溶液をグラファイトフィルムの表面処理が行われた面に塗布し、80℃で4分、150℃で4分乾燥して、積層フィルムを得た。すなわち、積層材料として樹脂、積層方法として溶液塗布を用いて積層フィルムを得た。
スパッタリング装置NSP-6(昭和真空社製)および銅(単体)のターゲットを使用し、スパッタガス圧13.5Pa(アルゴンガス)、出力900W下で150秒間成膜し、厚み200nmの導電性層をグラファイトフィルムの表面処理が行われた面上に形成し、積層フィルムを得た。すなわち、積層材料として金属、積層方法としてスパッタを用いて積層フィルムを得た。
硫酸銅・五水和物70g/L、硫酸200g/L、塩素50mg/L、トップルチナSF-Mを適量添加してめっき浴を得た。めっき浴に含リン銅板を陽極として、グラファイトフィルムを陰極として浸漬し、3A/dm2で8分間通電して、めっきが施された積層フィルムを得た。すなわち、積層材料として金属、積層方法としてめっきを用いて積層フィルムを得た。
上述の測定方法によって測定した密着力が0.10N/cm以上の場合はG(Good)、0.10N/cm未満の場合はP(Poor)とした。
<実施例1>
グラファイトフィルムAに、ウェットブラスト装置および多角形状のアルミナ研磨剤(粒度#800)を用いて、処理圧力を0.1MPa、フィルム搬送速度を20mm/secとして処理を行った。さらに、グラファイトフィルムの裏表を変えて、同じ処理を行った。その後、洗瓶を用いて処理面を洗い流して、表面処理をしたグラファイトフィルムを得た。得られた表面処理済のグラファイトフィルムに対して、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。また、図1は、実施例1に係るグラファイトフィルムの断面のSEM観察像を示す図である。図2は、実施例1に係るグラファイトフィルムの表面のSEM観察像を示す図である。図3は、実施例1に係る積層フィルム(めっき膜が形成されている)の断面のSEM観察像を示す図である。図3の(b)は、図3の(a)に対して、グラファイト小片2を囲む点線を追記した図である。
多角形状のアルミナ研磨剤の種類を粒度#800から粒度#2000のグレードに変更したこと以外は実施例1と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。また、図4は、実施例2に係るグラファイトフィルムの表面のSEM観察像を示す図である。図5は、実施例2に係る積層フィルム(めっき膜が形成されている)の断面のSEM観察像を示す図である。図5の(b)は、図5の(a)に対して、グラファイト小片2を囲む点線を追記した図である。
グラファイトフィルムAの両面にサンドブラスト処理を行った。その後、洗瓶を用いて処理面を洗い流し、ドライヤーで乾燥して表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
洗瓶を用いた洗浄およびドライヤーによる乾燥を行わなかったこと以外は実施例3と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
実施例4と同じ方法で得たグラファイトフィルムの両面に、密度150W/min/m2でコロナ処理を実施して表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
サンドブラストの処理条件を変更したこと以外は、実施例4と同じ方法で、表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAをグラファイトフィルムBに変更したこと以外は、実施例2と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAをグラファイトフィルムBに変更したこと以外は、実施例6と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAをグラファイトフィルムCに変更したこと以外は、実施例2と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAをグラファイトフィルムCに変更したこと以外は、実施例6と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAを、表面処理をしないで各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。また、図6は、比較例1に係るグラファイトフィルムの表面のSEM観察像を示す図である。
グラファイトフィルムAの両面に、コロナ処理(処理密度3000W/min/m2)を施して、表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。また、図7は、比較例2に係るグラファイトフィルムの表面のSEM観察像を示す図である。
グラファイトフィルムAの両面に、サンドペーパーで表面を研磨し、コロナ処理(処理密度3000W/min/m2)を施し、各種物性を測定した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAをグラファイトフィルムDに変更したこと以外は、実施例6と同じ方法で表面処理を行った。その結果を表1および2に示す。
サンドブラストの処理圧力を実施例6より弱くしたこと以外は、比較例4と同じ方法で表面処理済のグラファイトフィルムを取得し、各種物性を評価した。その結果を表1および2に示す。
グラファイトフィルムAを炭化フィルムEに変更したこと以外は、実施例6と同じ方法で表面処理を行った。その結果を表1および2に示す。
水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である実施例1〜10は、樹脂、スパッタ膜およびめっき膜のいずれを積層した場合でも、優れた密着力を示した。また、実施例1〜10においては、最大径が2〜14μmであるグラファイト小片を有し、小片密度が7〜55個/100μmであった。例えば、図2および4からも、グラファイト小片が存在していることがわかる。また、図1と同様に、図3の(a)および図5の(a)からも、グラファイトフィルム1の表面にグラファイト小片2が存在し、グラファイト小片2の一端4がグラファイトフィルム1とつながっており、もう一端5がグラファイトフィルム1とは離れている状態であることがわかる。さらに、図3および5からは、グラファイトフィルム1の表面にてグラファイト小片2がめくれ上がることにより形成された隙間に積層材料3が入り込んでいることがわかる。これにより、本発明のグラファイトフィルムおよび積層フィルムでは、アンカー効果が働き、優れた密着力を示す。
接触式表面粗さ計(ミツトヨ社製 SJ−201)を用いて、JIS B0601:2001に規定される算術平均粗さRaを測定した。片面にのみ銅層が積層されている場合は、銅層の表面粗さを測定した。測定の際には、サンプルは3cm□にカットし、専用の測定台にテープで固定した。また、端針は先端曲率半径が2μmのものを用いた。
面方向のシート抵抗の測定には、低抵抗率計ロレスタ−GP(MCP−T610、三菱アナリテック社製)を用い、LSPプローブ(MCP−TPLSP、三菱アナリテック社製)をグラファイトフィルムの表面に押し当てて表面抵抗率を測定した。
グラファイトフィルムを切断面にバリが出ない様に15mm角のサイズに切り抜き、それぞれの面に対してフィルムを破らない程度にデジタルマルチメーターの端子を強く押しあてて、厚み方向の電気抵抗を測定した。表3においては、測定した厚み方向の電気抵抗が500Ω以下の場合に電気抵抗が十分低いと判断してLと記載し、500Ωより高い場合は電気抵抗が高いと判断してHと記載した。
グラファイトフィルムの片面に64%硫酸を1滴滴下して、1時間静置した。この際、片面めっきされたグラファイトフィルムに対しては、めっきされていない面に対して滴下を行った。試験終了後に硫酸を水で洗い流して乾燥させ、滴下部位の表面の形状変化を目視で観察し、変化が見られないものは耐性有り、変化が見られたものは耐性なしとした。
グラファイトフィルムを5cm角に切り抜いて端をピンセットでつまんで空中に固定した。次に、350℃に加熱した温調はんだごてを片面に接触させながら、反対面にはんだ線を押し当てて融解させた。そして、はんだ線を離した後、はんだごてを離してグラファイトフィルムを冷却した。この際、グラファイトフィルムに銅層が付いている場合は、はんだ線は銅層に押し当てるようにした。また、グラファイトフィルムに対してはんだが濡れ広がっていて、かつ、銅層とグラファイトフィルムとの間に自発的な剥離が見られない場合は密着性良好とし、はんだが濡れ広がっていない、または、フィルムを曲げた際にはんだが剥離する場合は密着不良とした。
<実施例11>
グラファイトフィルムAの片面に、めっきしない面を形成するためにめっき用レジスト剤を塗布し、その反対側の面に実施例1と同じ表面処理を行い、片面表面処理されたグラファイトフィルムを得た。この片面表面処理されたグラファイトフィルムに、前記〔積層フィルムの製造〕の(3)めっき膜の積層に記載の手順でめっきを行った。次に、めっき後のフィルムをキシレンに浸してレジスト剤を十分除去し、イソプロパノールですすぎ、さらに水洗して片面めっきされた積層フィルムを得た。なお、めっき前後の重量変化、銅の比重およびフィルムの面積から換算すると、平均5μmの厚みの銅層が付与されていることが分かった。当該積層フィルムについて各種物性を測定した結果を表3に示す。
グラファイトフィルムAの片面に、微粘着フィルム(CLEAR−PET 50−06−50(リンテック社製))をラミネートし、その反対側の面に実施例1と同じ表面処理を行い、片面表面処理されたグラファイトフィルムを得た。前記微粘着フィルムは、めっき後にグラファイトフィルムを破損すること無く剥離可能なフィルムである。この片面表面処理されたグラファイトフィルムに、前記〔積層フィルムの製造〕の(3)めっき膜の積層に記載の手順でめっきを行った。次に、微粘着フィルムをグラファイトフィルムから剥離して、片面めっきされた積層フィルムを得た。なお、実施例11と同じ方法で確認したところ、平均5μmの厚みの銅層が付与されていることが分かった。当該積層フィルムについて各種物性を測定した結果を表3に示す。
グラファイトフィルムAの片面に実施例1と同じ表面処理を行い、片面表面処理されたグラファイトフィルムを得た。この片面表面処理されたグラファイトフィルムに、通電時間を16分としたこと以外は〔積層フィルムの製造〕の(3)めっき膜の積層に記載の手順でめっきを行った。めっき後のグラファイトフィルムの4辺を3mmずつ切り落とし、表面処理されていない面の銅層を剥離して片面めっきされた積層フィルムを得た。なお、実施例11と同じ方法で確認したところ、平均5μmの厚みの銅層が付与されていることが分かった。当該積層フィルムについて各種物性を測定した結果を表3に示す。
グラファイトフィルムAの片面に実施例1と同じ表面処理を行い、片面表面処理されたグラファイトフィルムを得た。この片面表面処理されたグラファイトフィルムに、通電時間を3分としたこと以外は〔積層フィルムの製造〕の(3)めっき膜の積層に記載の手順でめっきを行った。めっき後のグラファイトフィルムの4辺を3mmずつ切り落とし、表面処理されていない面の銅層を剥離して片面めっきされた積層フィルムを得た。なお、実施例11と同じ方法で確認したところ、平均1μmの厚みの銅層が付与されていることが分かった。当該積層フィルムについて各種物性を測定した結果を表3に示す。
厚み5μmの純銅箔(ニラコ社製)に対して、各種物性を測定した。その結果を表3に示す。
グラファイトフィルムAの片面に、両面粘着フィルム(#8602TNW−05(DIC社製))を貼り、さらにその上に厚み5μmの純銅箔(ニラコ社製)を貼り付けて、各種物性を測定した。その結果を表3に示す。
グラファイトフィルムA単体に対して、各種物性を測定した。その結果を表3に示す。
実施例11〜14は、比較例7〜9に比べて算術平均粗さが大きかった。また、実施例11〜14と比較例9とを比較すると、片面に銅めっきが施されている積層フィルムは、グラファイトフィルム単体に比べて面方向のシート抵抗が小さく、かつ、異種材料との接合性に優れていた。また、実施例11〜14と比較例8とを比較すると、片面に銅めっきが施されている積層フィルムは、銅層とグラファイトフィルムとを粘着剤で積層したフィルムよりも厚み方向の電気抵抗が低く、かつ、異種材料との接合性に優れていた。さらに実施例11〜14と比較例7とを比較すると、片面に銅めっきが施されているフィルム積層体は銅箔に比べて硫酸に対する耐性が優れていた。
2 グラファイト小片
3 積層材料
Claims (13)
- 水との接触角が50度より大きく、かつ、光沢度が20以下である面を有することを特徴とするグラファイトフィルム。
- グラファイト小片が5個/100μm以上の小片密度にて存在する面を有し、
前記グラファイト小片の最大径が、0.3μm以上であることを特徴とするグラファイトフィルム。 - 請求項1または2に記載のグラファイトフィルムに、金属、樹脂、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、金属ホウ化物および金属ケイ化物からなる群より選択される少なくとも1つである積層材料が積層されていることを特徴とする積層フィルム。
- 面方向のシート抵抗が、25mΩ/□以下であることを特徴とする請求項3に記載の積層フィルム。
- 前記樹脂が、導電性樹脂であることを特徴とする請求項3または4に記載の積層フィルム。
- 前記グラファイトフィルムの片面にのみ前記積層材料が積層されていることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の積層フィルム。
- 前記積層材料は、JIS B0601:2001に規定される算術平均粗さが0.5μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の積層フィルム。
- 請求項3〜7のいずれか1項に記載の積層フィルムを含むことを特徴とする電極用材料。
- 空隙率が5%以上のグラファイトフィルムに対して表面粗化処理を行う工程を含み、
前記グラファイトフィルムは、面方向に配向しているものであり、
前記表面粗化処理は、サンドブラスト処理、ウェットブラスト処理、ジェットスクラブ処理およびバフ研磨処理からなる群より選択される少なくとも1つであることを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法。 - 前記グラファイトフィルムは、高分子フィルムおよび/または炭素化した高分子フィルムからなる原料フィルムを2000℃以上の温度にて熱処理して得られるグラファイトフィルムであることを特徴とする請求項9に記載のグラファイトフィルムの製造方法。
- 前記高分子フィルムを構成する高分子は、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスイミダゾールおよびポリチアゾールからなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項10に記載のグラファイトフィルムの製造方法。
- 前記表面粗化処理を行う工程の後に、前記グラファイトフィルムの液体洗浄および/または気体洗浄を行う工程を含むことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載のグラファイトフィルムの製造方法。
- 請求項9〜12のいずれか1項に記載のグラファイトフィルムの製造方法によって製造されたグラファイトフィルムの表面粗化処理が行われた面に、金属、樹脂、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、金属ホウ化物および金属ケイ化物からなる群より選択される少なくとも1つである積層材料を、溶融塗布、溶液塗布、蒸着、スパッタ、めっきまたは化学気相成長法にて積層する工程を含むことを特徴とする積層フィルムの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015032307 | 2015-02-20 | ||
JP2015032307 | 2015-02-20 | ||
PCT/JP2016/054950 WO2016133214A1 (ja) | 2015-02-20 | 2016-02-19 | グラファイトフィルム、積層フィルムおよびそれらの製造方法、並びに電極用材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016133214A1 true JPWO2016133214A1 (ja) | 2018-01-18 |
Family
ID=56692492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017500767A Pending JPWO2016133214A1 (ja) | 2015-02-20 | 2016-02-19 | グラファイトフィルム、積層フィルムおよびそれらの製造方法、並びに電極用材料 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10535863B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2016133214A1 (ja) |
WO (1) | WO2016133214A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018119956A1 (zh) * | 2016-12-29 | 2018-07-05 | 深圳深科先进投资管理有限公司 | 一种多孔铝箔负极及其制备方法和锂二次电池 |
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US20220189821A1 (en) * | 2020-12-16 | 2022-06-16 | Globalfoundries U.S. Inc. | Heat spreading isolation structure for semiconductor devices |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2368243Y (zh) * | 1999-03-03 | 2000-03-08 | 徐勤贵 | 柔性石墨导电发热部件 |
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JP5019751B2 (ja) | 2006-01-31 | 2012-09-05 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 |
JP4977424B2 (ja) | 2006-09-28 | 2012-07-18 | 株式会社カネカ | グラファイト複合フィルム |
JP5117081B2 (ja) | 2007-03-07 | 2013-01-09 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムおよびその製造方法 |
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JP5624647B2 (ja) * | 2013-06-07 | 2014-11-12 | 株式会社カネカ | グラファイト複合フィルムの製造方法 |
JP5830082B2 (ja) | 2013-12-25 | 2015-12-09 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルムの製造方法 |
-
2016
- 2016-02-19 JP JP2017500767A patent/JPWO2016133214A1/ja active Pending
- 2016-02-19 WO PCT/JP2016/054950 patent/WO2016133214A1/ja active Application Filing
-
2017
- 2017-08-18 US US15/680,360 patent/US10535863B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016133214A1 (ja) | 2016-08-25 |
US20170346069A1 (en) | 2017-11-30 |
US10535863B2 (en) | 2020-01-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
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A601 | Written request for extension of time |
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|
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