JPWO2016075801A1 - 造形装置及び造形方法 - Google Patents
造形装置及び造形方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2016075801A1 JPWO2016075801A1 JP2016558515A JP2016558515A JPWO2016075801A1 JP WO2016075801 A1 JPWO2016075801 A1 JP WO2016075801A1 JP 2016558515 A JP2016558515 A JP 2016558515A JP 2016558515 A JP2016558515 A JP 2016558515A JP WO2016075801 A1 JPWO2016075801 A1 JP WO2016075801A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- modeling
- optical system
- modeling apparatus
- condensing optical
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 61
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 219
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 136
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 70
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 33
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 31
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 29
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012254 powdered material Substances 0.000 claims 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 63
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 57
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 35
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 12
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 5
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 229910001200 Ferrotitanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004482 other powder Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000010356 wave oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/22—Driving means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/40—Radiation means
- B22F12/44—Radiation means characterised by the configuration of the radiation means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/40—Radiation means
- B22F12/44—Radiation means characterised by the configuration of the radiation means
- B22F12/45—Two or more
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/50—Means for feeding of material, e.g. heads
- B22F12/53—Nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0626—Energy control of the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/144—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing particles, e.g. powder
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/34—Laser welding for purposes other than joining
- B23K26/342—Build-up welding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y50/00—Data acquisition or data processing for additive manufacturing
- B33Y50/02—Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/25—Direct deposition of metal particles, e.g. direct metal deposition [DMD] or laser engineered net shaping [LENS]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/30—Process control
- B22F10/36—Process control of energy beam parameters
- B22F10/362—Process control of energy beam parameters for preheating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/60—Treatment of workpieces or articles after build-up
- B22F10/66—Treatment of workpieces or articles after build-up by mechanical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/40—Radiation means
- B22F12/41—Radiation means characterised by the type, e.g. laser or electron beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
- B22F12/90—Means for process control, e.g. cameras or sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/24—After-treatment of workpieces or articles
- B22F2003/247—Removing material: carving, cleaning, grinding, hobbing, honing, lapping, polishing, milling, shaving, skiving, turning the surface
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/12—Function characteristic spatial light modulator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Description
Fusion)とDED(Directed Energy Deposition)の2種類がよく知られている。
Claims (84)
- 対象面上に三次元造形物を形成する造形装置であって、
前記対象面を移動する移動システムと、
ビームを射出する集光光学系を含むビーム照射部と、前記ビーム照射部からのビームで照射される造形材料を供給する材料処理部と、を有するビーム造形システムと、
前記対象面と前記ビーム照射部からのビームとを相対移動させつつ前記造形材料を前記材料処理部から供給することにより前記対象面上の目標部位に造形が施されるように、前記対象面上に形成する三次元造形物の3Dデータに基づいて、前記移動システムと前記ビーム造形システムとを制御する制御装置と、を備え、
前記集光光学系の射出面側の所定面内における前記ビームの強度分布を変更可能である造形装置。 - 前記強度分布の変更は、前記所定面内における前記ビームの照射領域の位置、前記所定面内における前記照射領域の数、前記所定面内における前記照射領域の大きさ、及び前記所定面内における前記照射領域の形状の少なくとも一つの変更を含む請求項1に記載の造形装置。
- 前記所定面は、前記集光光学系の後側焦点面である請求項1又は2に記載の造形装置。
- 前記強度分布の変更は、前記ビーム照射部により行われる請求項1〜3のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、前記集光光学系に入射する少なくとも一つの入射ビームの入射角度を制御することにより前記強度分布の変更を行う請求項4に記載の造形装置。
- 前記角度制御によって、前記集光光学系の瞳面に入射する、前記少なくとも一つの入射ビームの入射角度が変更可能である請求項5に記載の造形装置。
- 前記少なくとも一つの入射ビームは、前記瞳面に対する入射角度が異なる複数の入射ビームを含む請求項6に記載の造形装置。
- 前記瞳面は、前記集光光学系の前側焦点面と一致する請求項6又は7に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、空間光変調器を有し、前記空間光変調器を用いて、前記集光光学系に入射する前記少なくとも一つの入射ビームの入射角度を制御する請求項5〜8のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、空間光変調器を用いて、前記強度分布の変更を行う請求項1〜4のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記空間光変調器は、マトリクス状に配置された複数のミラーを有し、
前記複数のミラーのそれぞれは、反射面を有し、
前記複数のミラーは、個別に可動である請求項9又は10に記載の造形装置。 - 前記空間光変調器は、前記複数のミラーの反射面の状態を個別に変更可能である請求項11に記載の造形装置。
- 前記反射面の状態の変更は、前記反射面の位置と傾斜角度の少なくとも一方の変更を含む請求項12に記載の造形装置。
- 前記複数のミラーそれぞれの前記反射面の状態を検出する検出システムを備え、
前記検出システムの出力に基づいて、前記複数のミラーそれぞれの前記反射面の状態が制御される請求項11〜13のいずれか一項に記載の造形装置。 - 前記検出システムは、前記複数のミラーに個別に取付けられたセンサを含む請求項14に記載の造形装置。
- 前記検出システムは、前記複数のミラーの表面に検出光を照射し、前記複数のミラーからの反射光を受光する請求項14又は15に記載の造形装置。
- 前記複数のミラーの前記反射面の状態を個別に又はグループ毎に変更する請求項11〜16のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、ビームの断面強度分布を変換する変換光学部材を有し、
前記変換光学部材から射出されたビームが前記空間光変調器に入射する請求項9〜17のいずれか一項に記載の造形装置。 - 前記ビーム照射部は、照度均一化光学系を有し、
前記照度均一化光学系から射出されたビームが前記変換光学部材に入射する請求項18に記載の造形装置。 - 前記照度均一化光学系は、複数の光源ユニットからそれぞれ射出される複数のビームを混合及び均一化する請求項19に記載の造形装置。
- 前記集光光学系に入射する少なくとも一つの入射ビームは平行ビームである請求項5〜20のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記所定面内における前記ビームの照射領域は、第1領域と第2領域とを含み、
前記第1領域に照射されるように前記集光光学系から第1ビームが射出され、
前記第1ビームで照射されるように前記造形材料が前記材料処理部から供給される請求項1〜21のいずれか一項に記載の造形装置。 - 前記第2領域に照射されるように前記集光光学系から射出された第2ビームが前記目標部位に照射された後に、前記目標部位に前記第1ビームで溶融された前記造形材料が供給されるように前記相対移動が行われる請求項22に記載の造形装置。
- 前記第2ビームで前記目標部位が予熱される請求項23に記載の造形装置。
- 前記所定面内における前記ビームの照射領域は、第3領域を更に含み、前記第3領域は、前記第1領域を挟んで前記第2領域とは反対側に形成される請求項22〜24のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記第3領域に照射されるように前記集光光学系から第3ビームが射出され、
前記第1ビームで溶融され前記目標部位上で固化した前記造形材料に、前記第3ビームが照射されるように、前記相対移動が行われる請求項25に記載の造形装置。 - 前記目標部位上で固化した前記造形材料に前記第3ビームを照射することによって、前記目標部位上で固化した前記造形材料の表面の研磨が行われる請求項26に記載の造形装置。
- 前記所定面内における前記強度分布は、前記ビームと前記対象面との相対移動中に変更可能である請求項1〜27のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記所定面内における前記強度分布は、前記ビームと前記対象面との相対移動中に連続的に変更可能である請求項28に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、前記対象面と前記ビームとの相対位置に応じて前記所定面内における前記強度分布を変化させる請求項28又は29に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、要求される造形精度とスループットとに応じて、前記所定面内における前記強度分布を変化させる請求項28〜30のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、前記強度分布の変更に応じて、前記材料処理部による前記造形材料の供給動作を制御する請求項1〜31のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記材料処理部は、前記造形材料を供給する少なくとも一つの供給口を有する請求項1〜32のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記少なくとも一つの供給口は可動である請求項33に記載の造形装置。
- 前記強度分布の変更に応じて、前記少なくとも一つの供給口が移動される請求項34に記載の造形装置。
- 前記材料処理部は、前記造形材料を供給する複数の供給口を有し、前記複数の供給口のうちの一部からのみ前記造形材料を供給可能である請求項33〜35のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記強度分布の変更に応じて、前記複数の供給口から少なくとも一つの供給口が選択され、前記選択された少なくとも一つの供給口から前記造形材料が供給される請求項33〜36のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記少なくとも一つの供給口からの前記造形材料の単位時間あたりの供給量は調整可能である請求項33〜37のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、前記強度分布の設定に応じて、前記少なくとも一つの供給口からの前記供給量を決定する請求項38に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、前記所定面における前記ビームの照射領域の、前記相対移動方向の幅に基づいて、前記供給量を決定する請求項39に記載の造形装置。
- 前記材料処理部は、前記少なくとも一つの供給口を有するノズル部材を有し、
前記ノズル部材は、前記集光光学系と前記所定面との間に配置される請求項33〜40のいずれか一項に記載の造形装置。 - 前記ノズル部材の前記少なくとも一つの供給口から、前記集光光学系の光軸と平行な軸に沿って前記造形材料が供給される請求項41に記載の造形装置。
- 前記ノズル部材は、前記集光光学系の前記光軸上に配置されている請求項41又は42に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、前記集光光学系からのビームの前記ノズル部材への入射を制限する制限部材を有する請求項41〜43のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記制限部材は、前記集光光学系の入射面側に配置された遮光部材を含む請求項44に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、前記集光光学系の射出面において、前記集光光学系から射出されるビームの、前記集光光学系の光軸を含む領域での強度を、その外側の領域での強度よりも小さくする請求項1〜45のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記集光光学系から射出されるビームは、前記集光光学系の射出面の、前記光軸を含む前記領域を通過しない請求項46に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、ビームの断面強度分布を変換する変換光学部材を有し、
前記変換光学部材を介して少なくとも一つの入射ビームが前記集光光学系に入射する請求項46又は47に記載の造形装置。 - 前記集光光学系は、前記ビーム照射部の射出端に位置する集光部材を含み、該集光部材は少なくともその射出側の面の光軸から離れた領域に光学面が形成され、該光学面を介して前記所定面又はその近傍の面にビームを集光する請求項46〜48のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記ビーム照射部は、照度均一化光学系を有し、
前記照度均一化光学系を介して、少なくとも一つの入射ビームが前記集光光学系に入射する請求項1〜49のいずれか一項に記載の造形装置。 - 前記照度均一化光学系は、複数の光源ユニットからそれぞれ射出される複数のビームを混合及び均一化する請求項50に記載の造形装置。
- 前記制御装置は、前記所定面での強度分布に応じて、前記対象面と前記ビーム照射部からのビームとの相対移動速度を決定する請求項1〜51のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記集光光学系から射出されるビームに照射される前記造形材料を供給することにより、前記造形材料の溶融池が形成される請求項1〜52のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記目標部位上に前記溶融池を形成しながら、前記対象面と前記ビーム照射部からのビームとを相対的に移動することによって、前記目標部位に造形が施される請求項53に記載の造形装置。
- 前記ビーム造形システムは、冷却液を供給する供給口を有する請求項1〜54のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記移動システムは、前記対象面を有するワークを保持するとともに移動可能な可動部材を有する請求項1〜55のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記移動システムを支持するベース部材をさらに備え、
前記移動システムは、エア浮上方式又は磁気浮上方式で、前記ベース部材上に浮上支持されている請求項56に記載の造形装置。 - 前記可動部材上に前記ワークが存在しない状態で、前記造形を行うとき、前記可動部材の一面を前記対象面とする請求項56又は57に記載の造形装置。
- 前記造形材料として、粉末状の材料が用いられる請求項1〜58のいずれか一項に記載の造形装置。
- 前記三次元造形物は、複数の層が積層されて成り、
前記制御装置は、前記三次元造形物の3Dデータから得られる多層の積層断面のデータに基づいて、前記移動システムと前記ビーム造形システムとを制御する請求項1〜59のいずれか一項に記載の造形装置。 - 対象面上に三次元造形物を形成する造形方法であって、
集光光学系を含むビーム照射部から射出されるビームと対象面とを相対移動させつつ前記ビームで照射される造形材料を供給することにより前記対象面上の目標部位に造形が施されるように、前記対象面上に形成する三次元造形物の3Dデータに基づいて、前記対象面の移動と、前記ビーム照射部からの前記ビームの射出状態及び前記造形材料の供給状態の少なくとも一方と、を制御することを含み、
前記集光光学系の射出面側の所定面内における前記ビームの強度分布を変更可能である造形方法。 - 前記強度分布の変更は、前記所定面内における前記ビームの照射領域の位置、前記所定面内における前記照射領域の数、前記所定面内における前記照射領域の大きさ、及び前記所定面内における前記照射領域の形状の少なくとも一つの変更を含む請求項61に記載の造形方法。
- 前記所定面は、前記集光光学系の後側焦点面である請求項61又は62に記載の造形方法。
- 前記集光光学系に入射する少なくとも一つの入射ビームの入射角度を制御することにより前記強度分布の変更が行われる請求項61〜63のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記集光光学系に入射する前記少なくとも一つの入射ビームの入射角度を制御に、空間光変調器が用いられる請求項64に記載の造形方法。
- 前記所定面内における前記ビームの照射領域は、第1領域と第2領域とを含み、
前記第1領域に照射されるように前記集光光学系から第1ビームが射出され、
前記第1ビームで照射されるように前記造形材料が供給される請求項61〜65のいずれか一項に記載の造形方法。 - 前記第2領域に照射されるように前記集光光学系から射出された第2ビームが前記目標部位に照射された後に、前記目標部位に前記第1ビームで溶融された前記造形材料が供給されるように前記相対移動が行われる請求項66に記載の造形方法。
- 前記第2ビームで前記目標部位が予熱される請求項67に記載の造形方法。
- 前記所定面内における前記ビームの照射領域は、第3領域を更に含み、前記第3領域は、前記第1領域を挟んで前記第2領域とは反対側に形成される請求項66〜68のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記第3領域に照射されるように前記集光光学系から第3ビームが射出され、
前記第1ビームで溶融され前記目標部位上で固化した前記造形材料が、前記第3ビームで照射されるように、前記相対移動が行われる請求項69に記載の造形方法。 - 前記目標部位上で固化した前記造形材料に前記第3ビームを照射することによって、前記目標部位上で固化した前記造形材料の表面の研磨が行われる請求項70に記載の造形方法。
- 前記所定面内における前記強度分布は、前記ビームと前記対象面との相対移動中に変更可能である請求項61〜71のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記所定面内における前記強度分布は、前記ビームと前記対象面との相対移動中に連続的に変更可能である請求項72に記載の造形方法。
- 前記対象面と前記ビームとの相対位置に応じて前記所定面内における前記強度分布を変化させる請求項72又は73に記載の造形方法。
- 要求される造形精度とスループットとに応じて、前記所定面内における前記強度分布を変化させる請求項72〜74のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記強度分布の変更に応じて、前記造形材料の供給状態が制御される請求項61〜75のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記造形材料の供給状態の制御は、単位時間あたりの供給量の制御を含む請求項61〜76のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記強度分布の設定に応じて、前記供給量は決定される請求項77に記載の造形方法。
- 前記所定面における前記ビームの照射領域の、前記相対移動方向の幅に基づいて、前記供給量が決定される請求項78に記載の造形方法。
- 前記所定面での強度分布に応じて、前記対象面と前記ビーム照射部からのビームとの相対移動速度が決定される請求項61〜79のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記集光光学系から射出されるビームで照射されるように前記造形材料を供給することにより、前記造形材料の溶融池が形成される請求項61〜80のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記目標部位上に前記溶融池を形成しながら、前記対象面と前記ビーム照射部からのビームとを相対的に移動することによって、前記目標部位に造形が施される請求項81に記載の造形方法。
- 前記造形材料として、粉末状の材料が用いられる請求項61〜82のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記三次元造形物は、複数の層が積層されて成り、
前記三次元造形物の3Dデータから得られる多層の積層断面のデータに基づいて、
前記対象面の移動と、前記ビーム照射部からの前記ビームの射出状態及び前記造形材料の供給状態の少なくとも一方と、が制御される請求項61〜83のいずれか一項に記載の造形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018066311A JP6935355B2 (ja) | 2014-11-14 | 2018-03-30 | 造形装置及び造形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/080150 WO2016075801A1 (ja) | 2014-11-14 | 2014-11-14 | 造形装置及び造形方法 |
Related Child Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018066310A Division JP6886422B2 (ja) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | 造形装置及び造形方法 |
JP2018066311A Division JP6935355B2 (ja) | 2014-11-14 | 2018-03-30 | 造形装置及び造形方法 |
JP2018066312A Division JP6886423B2 (ja) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | 造形装置及び造形方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016075801A1 true JPWO2016075801A1 (ja) | 2017-09-28 |
JP6840540B2 JP6840540B2 (ja) | 2021-03-10 |
Family
ID=55953914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016558515A Active JP6840540B2 (ja) | 2014-11-14 | 2014-11-14 | 造形装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11161202B2 (ja) |
EP (1) | EP3219412A4 (ja) |
JP (1) | JP6840540B2 (ja) |
KR (2) | KR102283654B1 (ja) |
CN (7) | CN111054920B (ja) |
TW (2) | TWI727479B (ja) |
WO (1) | WO2016075801A1 (ja) |
Families Citing this family (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160167303A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | Arcam Ab | Slicing method |
US10308039B2 (en) * | 2015-05-29 | 2019-06-04 | The Boeing Company | System for printing images on a surface and method thereof |
DE102016104180A1 (de) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh | Vorrichtung zur additiven Herstellung eines dreidimensionalen Objekts |
JP6255500B1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-12-27 | 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 | 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム |
CN108700661A (zh) * | 2016-03-17 | 2018-10-23 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 在镭射加工系统中的像平面的定位 |
TWI621739B (zh) * | 2016-06-20 | 2018-04-21 | 國立成功大學 | 沉積設備與沉積方法 |
KR101872598B1 (ko) * | 2016-08-24 | 2018-06-29 | 공주대학교 산학협력단 | 액상스프레이 공정을 이용한 열전모듈의 제조 방법 |
DE102016222068A1 (de) * | 2016-11-10 | 2018-05-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur generativen Bauteilfertigung mit mehreren räumlich getrennten Strahlführungen |
US10399179B2 (en) | 2016-12-14 | 2019-09-03 | General Electric Company | Additive manufacturing systems and methods |
CN106862570A (zh) * | 2017-01-17 | 2017-06-20 | 华南理工大学 | 一种多喷头协同控制金属粉末3d成型方法 |
JP7393944B2 (ja) | 2017-03-31 | 2023-12-07 | 株式会社ニコン | 処理方法及び処理システム |
WO2018181334A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 株式会社ニコン | 造形システム及び造形方法 |
JP7014226B2 (ja) * | 2017-05-01 | 2022-02-01 | 株式会社ニコン | 加工装置 |
CN107252893A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-10-17 | 英诺激光科技股份有限公司 | 一种金属工件的激光3d打印方法及其系统 |
US10751800B2 (en) * | 2017-07-25 | 2020-08-25 | Divergent Technologies, Inc. | Methods and apparatus for additively manufactured exoskeleton-based transport structures |
CN107336440A (zh) * | 2017-08-09 | 2017-11-10 | 英诺激光科技股份有限公司 | 一种具有矫形功能的激光3d打印方法及其系统 |
TWI825023B (zh) * | 2017-08-24 | 2023-12-11 | 日商索尼股份有限公司 | 光造型裝置、發光控制方法及發光控制程式 |
US11123819B2 (en) * | 2017-09-25 | 2021-09-21 | Hamilton Sundstrand Corporation | Additive manufacturing method |
CN107764524B (zh) * | 2017-10-11 | 2023-11-28 | 深圳市深龙杰科技有限公司 | 一种基于激光检测的3d打印精度监测装置 |
CN107838422A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-03-27 | 安徽工程大学 | 一种利用激光3d打印获得合金构件的方法及装置 |
US20200331061A1 (en) * | 2017-11-10 | 2020-10-22 | General Electric Company | Positioning system for an additive manufacturing machine |
JPWO2019116454A1 (ja) * | 2017-12-12 | 2020-12-24 | 株式会社ニコン | 処理装置、処理方法、マーキング方法、及び、造形方法 |
WO2019116452A1 (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-20 | 株式会社ニコン | 処理装置及び処理方法、加工方法、並びに、造形装置及び造形方法 |
JPWO2019116455A1 (ja) * | 2017-12-12 | 2020-12-24 | 株式会社ニコン | 造形システム及び造形方法 |
JP7036129B2 (ja) * | 2018-01-31 | 2022-03-15 | 株式会社ニコン | 加工システム、及び、加工方法 |
EP3520927B1 (de) * | 2018-01-31 | 2020-07-29 | United Grinding Group Management AG | 3d-drucker mit einem elektronisch ansteuerbaren umformmodul |
JP2022088386A (ja) * | 2018-01-31 | 2022-06-14 | 株式会社ニコン | 加工システム、及び、加工方法 |
JP7085854B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2022-06-17 | エス.ラボ株式会社 | 造形装置 |
JP2019136977A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社リコー | 造形装置 |
US11224943B2 (en) * | 2018-03-07 | 2022-01-18 | Divergent Technologies, Inc. | Variable beam geometry laser-based powder bed fusion |
US11408216B2 (en) | 2018-03-20 | 2022-08-09 | Divergent Technologies, Inc. | Systems and methods for co-printed or concurrently assembled hinge structures |
US10875094B2 (en) * | 2018-03-29 | 2020-12-29 | Vulcanforms Inc. | Additive manufacturing systems and methods |
DE102018110294A1 (de) | 2018-04-27 | 2019-10-31 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Verfahren und Vorrichtung zur Generierung von Steuerdaten für eine Vorrichtung zur additiven Fertigung |
US11590727B2 (en) | 2018-05-21 | 2023-02-28 | Divergent Technologies, Inc. | Custom additively manufactured core structures |
US20190366480A1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-12-05 | Abram Kotliar | Additive manufacturing with metal wire |
FI128033B (en) * | 2018-06-28 | 2019-08-15 | Planmeca Oy | Stereolitografialaitteisto |
CN108687346B (zh) * | 2018-07-05 | 2024-04-26 | 宁波中物力拓超微材料有限公司 | 激光选区熔化设备成型缸的调节装置及调节方法 |
EP3820678B1 (en) * | 2018-07-10 | 2023-06-14 | 3D Systems, Inc. | Three dimensional (3d) printer and method |
US10919224B2 (en) | 2018-07-17 | 2021-02-16 | Io Tech Group, Ltd. | Leveling system for 3D printer |
US11426818B2 (en) | 2018-08-10 | 2022-08-30 | The Research Foundation for the State University | Additive manufacturing processes and additively manufactured products |
DE102018216964A1 (de) * | 2018-10-02 | 2020-04-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Aktuatoreinrichtung zur Ausrichtung eines Elements, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Ausrichtung eines Elements |
WO2020079829A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 三菱電機株式会社 | 数値制御装置および付加製造装置の制御方法 |
WO2020194450A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 株式会社ニコン | 加工システム |
WO2020222090A1 (en) | 2019-05-01 | 2020-11-05 | Io Tech Group Ltd. | Method to electrically connect chip with top connectors using 3d printing |
JP7183941B2 (ja) * | 2019-05-09 | 2022-12-06 | トヨタ自動車株式会社 | ワーク識別方法 |
US20220065617A1 (en) | 2019-05-10 | 2022-03-03 | Nikon Corporation | Determination of a change of object's shape |
FR3096295B1 (fr) * | 2019-05-20 | 2021-05-14 | Ivy Group Holding | Système et procédé pour le traitement de surface sélectif et localisé de pièces, notamment par dépôt de matière |
JP7362306B2 (ja) * | 2019-06-11 | 2023-10-17 | ニデックマシンツール株式会社 | 三次元積層装置および方法 |
US11624932B2 (en) * | 2019-06-20 | 2023-04-11 | Lumentum Operations Llc | Rotary beam symmetrizer |
JP2021004395A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 古河電気工業株式会社 | 積層造形装置 |
US11219951B2 (en) * | 2019-07-03 | 2022-01-11 | Directed Metal 3D, S.L. | Multi-mode laser device for metal manufacturing applications |
US20210035767A1 (en) * | 2019-07-29 | 2021-02-04 | Applied Materials, Inc. | Methods for repairing a recess of a chamber component |
WO2021095096A1 (ja) * | 2019-11-11 | 2021-05-20 | 三菱電機株式会社 | 積層造形装置 |
KR102286564B1 (ko) * | 2020-01-07 | 2021-08-06 | 주식회사 디이엔티 | 3d 프린터의 노즐유닛 제어장치 및 그 방법 |
US11446750B2 (en) | 2020-02-03 | 2022-09-20 | Io Tech Group Ltd. | Systems for printing solder paste and other viscous materials at high resolution |
US11622451B2 (en) | 2020-02-26 | 2023-04-04 | Io Tech Group Ltd. | Systems and methods for solder paste printing on components |
JP7287916B2 (ja) * | 2020-03-12 | 2023-06-06 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法、及び積層造形物 |
JP7425640B2 (ja) * | 2020-03-25 | 2024-01-31 | 株式会社Screenホールディングス | 3次元造形装置 |
US11497124B2 (en) | 2020-06-09 | 2022-11-08 | Io Tech Group Ltd. | Methods for printing conformal materials on component edges at high resolution |
JP7482227B2 (ja) * | 2020-06-19 | 2024-05-13 | Dmg森精機株式会社 | ワークの加工方法および加工機械 |
US11691332B2 (en) | 2020-08-05 | 2023-07-04 | Io Tech Group Ltd. | Systems and methods for 3D printing with vacuum assisted laser printing machine |
JP7382912B2 (ja) * | 2020-08-11 | 2023-11-17 | 三菱電機株式会社 | 付加製造装置および付加製造方法 |
TWI774047B (zh) * | 2020-09-01 | 2022-08-11 | 林志遠 | 鈑金雷射加工機 |
US20220111521A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Nikon Corporation | Vibration reduction system for precision robotics applications |
KR102328517B1 (ko) * | 2020-11-30 | 2021-11-18 | 주식회사 피스티스 | 금속 3d 프린터 |
CN112719702B (zh) * | 2020-12-11 | 2022-11-15 | 渤海造船厂集团有限公司 | 一种复杂管路智能装配与焊接一体化装置及方法 |
US11981071B2 (en) | 2020-12-18 | 2024-05-14 | Arcam Ab | Adjustable guide systems |
WO2022146991A1 (en) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | Ipg Photonics Corporation | High-speed linear light valve array |
US20230106321A1 (en) * | 2021-10-05 | 2023-04-06 | Nikon Corporation | Systems and methods for improved melting in three-dimensional printing processes |
WO2023084716A1 (ja) | 2021-11-11 | 2023-05-19 | 株式会社ニコン | 光加工装置 |
JP7405223B2 (ja) * | 2022-03-02 | 2023-12-26 | 株式会社ニコン | 加工システム、及び、加工方法 |
WO2024013930A1 (ja) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | 株式会社ニコン | 造形システム、加工システム、造形方法及び加工方法 |
CN115464154B (zh) * | 2022-09-16 | 2023-10-27 | 爱司凯科技股份有限公司 | 使用轴锥镜调节3d打印光束激光能量分布的装置及方法 |
CN117483957B (zh) * | 2023-12-06 | 2024-10-08 | 广州市大红大紫激光科技有限公司 | 一种激光抛光机以及使用该激光抛光机的抛光方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08156106A (ja) * | 1992-11-13 | 1996-06-18 | Japan Atom Energy Res Inst | 3次元物体製作法 |
JPH091674A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | C Met Kk | 光硬化造形方法 |
JP2002519200A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-02 | ジオティー マズムダー | レーザクラッディング装置及び方法 |
JP2003321704A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Hitachi Ltd | 積層造形法およびそれに用いる積層造形装置 |
JP2006200030A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Aisan Ind Co Ltd | 立体造形物の製造方法及び製造装置 |
JP2014513637A (ja) * | 2011-03-02 | 2014-06-05 | ベゴ・メディカル・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 3次元コンポーネントを造形的に製造するデバイス |
Family Cites Families (87)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5393482A (en) * | 1993-10-20 | 1995-02-28 | United Technologies Corporation | Method for performing multiple beam laser sintering employing focussed and defocussed laser beams |
JPH07304104A (ja) | 1994-05-11 | 1995-11-21 | Olympus Optical Co Ltd | 光造形品の形成方法および装置 |
JPH08179514A (ja) | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Canon Inc | 露光装置および露光方法 |
US5837960A (en) | 1995-08-14 | 1998-11-17 | The Regents Of The University Of California | Laser production of articles from powders |
JPH10211658A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-11 | Toyota Motor Corp | 粉粒体積層造形方法及びその装置 |
CA2227672A1 (en) | 1997-01-29 | 1998-07-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Method for producing a laminated object and apparatus for producing the same |
JPH10270535A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Nikon Corp | 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法 |
JP3516575B2 (ja) | 1997-08-29 | 2004-04-05 | 株式会社日平トヤマ | レーザ加工装置 |
US6203861B1 (en) * | 1998-01-12 | 2001-03-20 | University Of Central Florida | One-step rapid manufacturing of metal and composite parts |
US5993554A (en) * | 1998-01-22 | 1999-11-30 | Optemec Design Company | Multiple beams and nozzles to increase deposition rate |
US6180049B1 (en) | 1999-06-28 | 2001-01-30 | Nanotek Instruments, Inc. | Layer manufacturing using focused chemical vapor deposition |
US6811744B2 (en) | 1999-07-07 | 2004-11-02 | Optomec Design Company | Forming structures from CAD solid models |
AU5653699A (en) | 1999-09-20 | 2001-04-24 | Nikon Corporation | Parallel link mechanism, exposure system and method of manufacturing the same, and method of manufacturing devices |
US7194801B2 (en) * | 2000-03-24 | 2007-03-27 | Cymbet Corporation | Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method |
US6751516B1 (en) * | 2000-08-10 | 2004-06-15 | Richardson Technologies, Inc. | Method and system for direct writing, editing and transmitting a three dimensional part and imaging systems therefor |
US6875951B2 (en) * | 2000-08-29 | 2005-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining device |
JP2002069507A (ja) | 2000-09-01 | 2002-03-08 | Hitachi Ltd | 金属物品の製造方法及びその装置並びにレーザ光集光装置 |
TW506868B (en) | 2000-10-05 | 2002-10-21 | Matsushita Electric Works Ltd | Method of and apparatus for making a three-dimensional object |
JP3446733B2 (ja) | 2000-10-05 | 2003-09-16 | 松下電工株式会社 | 三次元形状造形物の製造方法及びその装置 |
US6710280B2 (en) * | 2001-05-22 | 2004-03-23 | The P.O.M. Group | Focusing optics for adaptive deposition in rapid manufacturing |
US6737662B2 (en) | 2001-06-01 | 2004-05-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, device manufactured thereby, control system, computer program, and computer program product |
EP1412129A4 (en) * | 2001-08-02 | 2008-04-02 | Skc Co Ltd | METHOD FOR PRODUCING A CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING PILLOW USING LASER |
KR20040044447A (ko) | 2001-08-20 | 2004-05-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 마스크 교환방법 및 노광장치 |
JP2003080604A (ja) | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層造形装置 |
CN100552685C (zh) | 2001-11-17 | 2009-10-21 | 株式会社Insstek | 使用激光包层和激光辅助的直接金属制造工艺中的图像成像和图像处理技术实时监测和控制淀积高度的方法和系统 |
CN1659479A (zh) | 2002-04-10 | 2005-08-24 | 富士胶片株式会社 | 曝光头及曝光装置和它的应用 |
JP2004042143A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 微小流路の形成方法 |
JP2003340924A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層造形装置 |
JP4266126B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2009-05-20 | ナブテスコ株式会社 | シート積層造形装置およびシート積層造形方法 |
US7009717B2 (en) | 2002-08-14 | 2006-03-07 | Metris N.V. | Optical probe for scanning the features of an object and methods therefor |
US7139633B2 (en) * | 2002-08-29 | 2006-11-21 | Jyoti Mazumder | Method of fabricating composite tooling using closed-loop direct-metal deposition |
JP3633607B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2005-03-30 | 松下電工株式会社 | 金属光造形用金属粉末とその製造方法及び金属光造形による三次元形状造形物の製造方法並びに金属光造形物 |
US7379483B2 (en) * | 2003-03-18 | 2008-05-27 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for material processing |
DE10342882A1 (de) | 2003-09-15 | 2005-05-19 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Formkörpers |
JP4130813B2 (ja) * | 2004-05-26 | 2008-08-06 | 松下電工株式会社 | 三次元形状造形物の製造装置及びその光ビーム照射位置及び加工位置の補正方法 |
KR101193830B1 (ko) | 2004-08-09 | 2012-10-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 광학 특성 계측 장치 및 광학 특성 계측 방법, 노광 장치및 노광 방법, 그리고 디바이스 제조 방법 |
JP4535260B2 (ja) * | 2004-10-19 | 2010-09-01 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
US20070008311A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Kazutora Yoshino | High resolution and rapid three dimensional object generator advanced |
WO2007013240A1 (ja) | 2005-07-27 | 2007-02-01 | Shofu Inc. | 積層造形装置 |
JP5013699B2 (ja) | 2005-10-21 | 2012-08-29 | 株式会社キーエンス | 3次元加工データ設定装置、3次元加工データ設定方法、3次元加工データ設定プログラム、コンピュータで読み取り可能な記録媒体及び記録した機器並びにレーザ加工装置 |
JP2007192675A (ja) | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Canon Inc | 干渉計測方法、装置及びそれを搭載した露光装置 |
JP2007301980A (ja) | 2006-04-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ積層方法およびレーザ積層装置 |
US20080223832A1 (en) * | 2006-11-16 | 2008-09-18 | Lijun Song | Real time implementation of generalized predictive control algorithm for the control of direct metal deposition (dmd) process |
JP5018076B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2012-09-05 | ソニー株式会社 | 光造形装置及び光造形方法 |
US8691329B2 (en) | 2007-01-31 | 2014-04-08 | General Electric Company | Laser net shape manufacturing using an adaptive toolpath deposition method |
WO2008143106A1 (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-27 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置 |
JP2009084619A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Jsr Corp | マイクロ光造形用光硬化性組成物、金属造形物、及びその製造方法 |
TW200929333A (en) * | 2007-12-17 | 2009-07-01 | Nikon Corp | Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method |
WO2009087805A1 (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-16 | Nikon Corporation | 空間光変調器、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
TW200941010A (en) | 2008-03-24 | 2009-10-01 | Promos Technologies Inc | Method and system for processing test wafer in photolithography process |
WO2009145048A1 (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-03 | 株式会社ニコン | 空間光変調器の検査装置および検査方法、照明光学系、照明光学系の調整方法、露光装置、およびデバイス製造方法 |
JP2009302208A (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Omron Corp | レーザ転写式修復方法及び装置 |
CA2765337C (en) * | 2008-06-13 | 2016-05-17 | Fablab Inc. | A system and method for fabricating macroscopic objects, and nano-assembled objects obtained therewith |
US8048359B2 (en) * | 2008-10-20 | 2011-11-01 | 3D Systems, Inc. | Compensation of actinic radiation intensity profiles for three-dimensional modelers |
JP5254761B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2013-08-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
JP2010255057A (ja) | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Htl:Kk | 電子ビーム造形装置 |
EP2322313A1 (de) | 2009-11-13 | 2011-05-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum Schweissen von Werkstücken aus hochwarmfesten Superlegierungen mit besonderer Massenzufuhrrate des Schweisszusatzwerkstoffes |
US9389519B2 (en) * | 2010-02-25 | 2016-07-12 | Nikon Corporation | Measuring method and measuring apparatus of pupil transmittance distribution, exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9573385B2 (en) * | 2010-03-18 | 2017-02-21 | Koninklijke Philips N.V. | Printing apparatus and method for controlling a printing apparatus |
JP5700272B2 (ja) | 2010-04-13 | 2015-04-15 | 株式会社ニコン | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
JP5637526B2 (ja) | 2010-04-28 | 2014-12-10 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザ加工装置 |
US20120064460A1 (en) * | 2010-09-07 | 2012-03-15 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
CN103229018A (zh) | 2010-10-27 | 2013-07-31 | 株式会社尼康 | 形状测定装置、结构的制造方法以及结构制造系统 |
JP2014500166A (ja) * | 2010-12-03 | 2014-01-09 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 多層複合体の製造法 |
AU2012212488B2 (en) * | 2011-01-31 | 2017-02-09 | Global Filtration Systems, A Dba Of Gulf Filtration Systems Inc. | Method and apparatus for making three-dimensional objects from multiple solidifiable materials |
GB201106623D0 (en) * | 2011-04-20 | 2011-06-01 | Rolls Royce Plc | Laser beam intensity distribution |
GB2490143B (en) | 2011-04-20 | 2013-03-13 | Rolls Royce Plc | Method of manufacturing a component |
CN102383126B (zh) * | 2011-11-09 | 2013-11-13 | 南昌航空大学 | 一种具有预热与后热功能且高效的三光束激光熔覆无裂纹涂层的方法 |
DE102011086889A1 (de) | 2011-11-22 | 2013-05-23 | Mtu Aero Engines Gmbh | Generatives Herstellen eines Bauteils |
FR2987293B1 (fr) * | 2012-02-27 | 2014-03-07 | Michelin & Cie | Procede et appareil pour realiser des objets tridimensionnels a proprietes ameliorees |
GB201205591D0 (en) * | 2012-03-29 | 2012-05-16 | Materials Solutions | Apparatus and methods for additive-layer manufacturing of an article |
CN102764889A (zh) | 2012-07-13 | 2012-11-07 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种电子束同步送粉快速成形方法 |
GB201212629D0 (en) * | 2012-07-16 | 2012-08-29 | Prec Engineering Technologies Ltd | A machine tool |
WO2014018766A1 (en) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | Empathium Mobility, Inc | Monocoque ambulation aid |
CN102837128B (zh) * | 2012-08-28 | 2015-09-23 | 中国科学院光电研究院 | 采用液晶光阀整形的激光直写加工系统 |
US9272369B2 (en) | 2012-09-12 | 2016-03-01 | Siemens Energy, Inc. | Method for automated superalloy laser cladding with 3D imaging weld path control |
JP6099908B2 (ja) | 2012-09-13 | 2017-03-22 | キヤノン株式会社 | 2次元アブソリュートエンコーダおよびスケール |
JP6056016B2 (ja) | 2012-09-14 | 2017-01-11 | 株式会社ミツトヨ | 三次元モデル生成方法、システム及びプログラム |
CN105163922B (zh) * | 2012-11-08 | 2018-11-06 | Ddm系统有限责任公司 | 用于制造三维物体的系统和方法 |
WO2014095208A1 (en) | 2012-12-17 | 2014-06-26 | Arcam Ab | Method and apparatus for additive manufacturing |
US20140265049A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Matterfab Corp. | Cartridge for an additive manufacturing apparatus and method |
JP5599921B1 (ja) * | 2013-07-10 | 2014-10-01 | パナソニック株式会社 | 三次元形状造形物の製造方法 |
US9776364B2 (en) | 2013-08-09 | 2017-10-03 | Apple Inc. | Method for instructing a 3D printing system comprising a 3D printer and 3D printing system |
KR101459284B1 (ko) * | 2014-04-18 | 2014-11-07 | 주식회사 스맥 | 삼차원 물체 제조장치 및 제조방법 |
CN203831648U (zh) * | 2014-05-06 | 2014-09-17 | 刘彦君 | 一种应用于光固化快速成型的后处理装置及三维打印机 |
CN203875342U (zh) | 2014-05-07 | 2014-10-15 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 大倾斜角度零件3d打印装置、电控多功能分粉器 |
CN104260360A (zh) * | 2014-07-28 | 2015-01-07 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 多材料激光直写共形系统与方法 |
-
2014
- 2014-11-14 CN CN202010004929.7A patent/CN111054920B/zh active Active
- 2014-11-14 JP JP2016558515A patent/JP6840540B2/ja active Active
- 2014-11-14 CN CN202010004730.4A patent/CN111151749A/zh active Pending
- 2014-11-14 KR KR1020177015727A patent/KR102283654B1/ko active IP Right Grant
- 2014-11-14 CN CN202010004736.1A patent/CN111112618B/zh active Active
- 2014-11-14 CN CN202211078142.0A patent/CN115351414A/zh active Pending
- 2014-11-14 CN CN201480083369.1A patent/CN107000059B/zh active Active
- 2014-11-14 WO PCT/JP2014/080150 patent/WO2016075801A1/ja active Application Filing
- 2014-11-14 EP EP14905921.4A patent/EP3219412A4/en active Pending
- 2014-11-14 CN CN202010004930.XA patent/CN111151750B/zh active Active
- 2014-11-14 CN CN202010004724.9A patent/CN111168066B/zh active Active
- 2014-11-14 KR KR1020217023406A patent/KR102549649B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-12 TW TW108139494A patent/TWI727479B/zh active
- 2015-11-12 TW TW104137318A patent/TWI726855B/zh active
-
2017
- 2017-05-09 US US15/590,311 patent/US11161202B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-27 US US17/386,215 patent/US11911844B2/en active Active
-
2023
- 2023-12-04 US US18/527,642 patent/US20240100627A1/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08156106A (ja) * | 1992-11-13 | 1996-06-18 | Japan Atom Energy Res Inst | 3次元物体製作法 |
JPH091674A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | C Met Kk | 光硬化造形方法 |
JP2002519200A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-02 | ジオティー マズムダー | レーザクラッディング装置及び方法 |
JP2003321704A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Hitachi Ltd | 積層造形法およびそれに用いる積層造形装置 |
JP2006200030A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Aisan Ind Co Ltd | 立体造形物の製造方法及び製造装置 |
JP2014513637A (ja) * | 2011-03-02 | 2014-06-05 | ベゴ・メディカル・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 3次元コンポーネントを造形的に製造するデバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102283654B1 (ko) | 2021-07-29 |
TWI726855B (zh) | 2021-05-11 |
CN111054920B (zh) | 2022-09-16 |
TW202011132A (zh) | 2020-03-16 |
CN111151750B (zh) | 2023-01-06 |
CN111151750A (zh) | 2020-05-15 |
CN111112618B (zh) | 2022-09-16 |
KR20170084195A (ko) | 2017-07-19 |
EP3219412A4 (en) | 2018-09-26 |
US20210354243A1 (en) | 2021-11-18 |
US11911844B2 (en) | 2024-02-27 |
JP6840540B2 (ja) | 2021-03-10 |
CN111168066B (zh) | 2023-04-07 |
US11161202B2 (en) | 2021-11-02 |
WO2016075801A1 (ja) | 2016-05-19 |
CN111054920A (zh) | 2020-04-24 |
CN111151749A (zh) | 2020-05-15 |
KR102549649B1 (ko) | 2023-06-29 |
US20240100627A1 (en) | 2024-03-28 |
KR20210094166A (ko) | 2021-07-28 |
EP3219412A1 (en) | 2017-09-20 |
CN107000059B (zh) | 2020-04-17 |
TW201633027A (zh) | 2016-09-16 |
CN111168066A (zh) | 2020-05-19 |
CN107000059A (zh) | 2017-08-01 |
US20170304946A1 (en) | 2017-10-26 |
CN111112618A (zh) | 2020-05-08 |
CN115351414A (zh) | 2022-11-18 |
TWI727479B (zh) | 2021-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016075801A1 (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP6804298B2 (ja) | 造形装置 | |
JP7255635B2 (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP7061093B2 (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
WO2016075803A1 (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP6886422B2 (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP2024072880A (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP2019137071A (ja) | 造形装置及び造形方法 | |
JP6886423B2 (ja) | 造形装置及び造形方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180403 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180810 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20181009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181205 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190426 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20190426 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190513 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20190517 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20190628 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20190703 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20200210 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20200709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200831 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20201217 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20210105 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20210209 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20210209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6840540 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210304 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |