JPWO2016031973A1 - セラミック接合体およびこれを備える熱交換器 - Google Patents
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Abstract
【課題】腐食性のガスおよび液体の使用環境下において、優れた耐久性および耐食性を有するセラミック接合体を提供する。【解決手段】本発明のセラミック接合体10は、第1の炭化珪素質セラミックス1と、第2の炭化珪素質セラミックス2と、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の間に位置する接合層3と、金属珪素を主成分とし、接合層3の表面から第1の炭化珪素質セラミックス1および前記第2の炭化珪素質セラミックス2の少なくとも一方の表面にわたって位置する第1の被覆層4と、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかを主成分とし、第1の被覆層4の表面に位置する第2の被覆層5とを備える。【選択図】 図1
Description
本発明は、炭化珪素質セラミックス同士を接合してなるセラミック接合体およびこれを備える熱交換器に関する。
炭化珪素質セラミックスは、機械的強度が高く、耐熱性や耐食性等の優れた特性を有していることから、幅広い分野で用いられている。そして、近年では、このような特性が求められる部材を備える装置や設備の大型化に伴って、部材自身の大型化や長尺化、さらには、部材形状の複雑化が求められている。しかしながら、大型、長尺、複雑な形状等の成形体を一体的に形成することは困難である。
また、仮に、一体的な成形体を得ることができたとしても、大型、長尺、複雑な形状等の成形体を焼成して、不具合のない焼結体を得ることは困難であった。また、大型、長尺、複雑な形状等に対応するには、成形や焼成に関する大きな設備や煩雑な加工を可能とする設備を準備しなければならず、作製が困難であるだけではなく、設備投資コストも大きいことから、複数の焼結体同士を接合することによって、部材の大型化、長尺化、形状の複雑化への対応が図られている。
このような接合体として、例えば、特許文献1には、2以上の炭化ケイ素セラミックス部材をシリコンを用いて接合した接合体において、少なくとも1つの炭化ケイ素セラミックス部材の接合部である平面の角部にC面加工が施されている炭化ケイ素セラミックス接合体が提案されている。
今般において、セラミック接合体は、腐食性のガスおよび液体の使用環境下に曝される部分に用いられてきていることから、このような環境下においても、接合部分の接合強度の低下が少なく、長期間にわたって使用可能となるように、優れた耐食性および耐久性を有していることが求められている。
本発明は、上記要求を満たすべく案出されたものであり、優れた耐久性および耐食性を有するセラミック接合体と、このセラミック接合体を備える熱交換器とを提供することを目的とするものである。
本発明のセラミック接合体は、第1の炭化珪素質セラミックスと、第2の炭化珪素質セラミックスと、前記第1の炭化珪素質セラミックスおよび前記第2の炭化珪素質セラミックスの間に位置する接合層と、金属珪素を主成分とし、前記接合層の表面から前記第1の炭化珪素質セラミックスおよび前記第2の炭化珪素質セラミックスの少なくとも一方の表面にわたって位置する第1の被覆層と、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかを主成分とし、前記第1の被覆層の表面に位置する第2の被覆層とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の熱交換器は、上記構成のセラミック接合体からなる流路体を備えることを特徴とするものである。
本発明のセラミック接合体は、腐食性のガスおよび液体の使用環境下において、優れた耐久性および耐食性を有する。
本発明の熱交換器は、優れた耐久性を有するものであるから、長期間にわたる使用に耐えることができる高い信頼性を有する。
以下、本実施形態のセラミック接合体の例について説明する。
図1および図2は、本実施形態のセラミック接合体の一例を示す、(a)は斜視図であり、(b)は、接合部分における縦断面図である。なお、各図においては、識別のために数字とアルファベットにより符号を付すが、図1または図2に示すセラミック接合体のみに関する記載を除き、以下の説明では、数字のみを付して説明する。
図1および図2に示す例のセラミック接合体10は、第1の炭化珪素質セラミックス1と第2の炭化珪素質セラミックス2との間に接合層3が位置している、すなわち、第1の炭化珪素質セラミックス1と第2の炭化珪素質セラミックス2とが接合層3によって接合されているものである。そして、図1においては、第1の炭化珪素質セラミックス1aの形状が円柱状であり、第2の炭化珪素質セラミックス2aの形状が平板状である例を示している。また、図2においては、第1の炭化珪素質セラミックス1bおよび第2の炭化珪素質セラミックス2bのそれぞれの形状が、いずれも円柱状である例を示している。なお、本実施形態のセラミック接合体10において、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の形状は、円柱状や平板状に限定されるものではない。
そして、本実施形態のセラミック接合体10は、金属珪素が主成分であり、接合層3の表面から第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の少なくとも一方の表面にわたって第1の被覆層4が位置するものである。なお、図1および図2においては、接合層3の表面から第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の両方の表面にわたって第1の被覆層4が位置している例を示している。
さらに、本実施形態のセラミック接合体10において、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分である第2の被覆層5が、第1の被覆層4の表面に位置するものである。
このような構成を満たしていることにより、本実施形態のセラミック接合体10は、第1の炭化珪素質セラミックス1と第2の炭化珪素質セラミックス2とが強固に接合され、高い接合強度を有する。なお、高い接合強度が得られるのは、第1の被覆層4の主成分である金属珪素が、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2への濡れ性がよいことに起因している。
また、より高い接合強度を得る観点からは、図1および図2に示すように、第1の被覆層4が、接合層3の表面から第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の両方の表面にわたって位置していることが好適である。
また、本実施形態のセラミック接合体10は、第1の被覆層4の表面に、第2の被覆層5が位置していることにより、腐食性の高いガスや液体に曝される使用環境下において接合強度の低下が少ない。これは、腐食性の高いハロゲン系のガスや液体、例えば、CF4等のフッ素系ガス、フッ化水素(HF)水溶液等に対して侵されにくい第2の被覆層5によって第1の被覆層4の表面が覆われているからである。第1の被覆層4が、上述した使用環境下に曝された場合には、第1の被覆層4から主成分である金属珪素がフッ化物となって昇華したり、溶出したりして接合強度が低下する。
なお、本実施形態における炭化珪素質セラミックスとは、炭化珪素質セラミックスを構成する全成分100質量%のうち、炭化珪素が70質量%以上を占めるものである。また、第1の被覆層4における主成分とは、第1の被覆層4を構成する全成分100質量%のうち、50質量%を超える成分のことである。さらに、第2の被覆層5における主成分とは、第2の被覆層5を構成する全成分100質量%のうち、50質量%を超える成分のことである。
また、炭化珪素質セラミックスであるか否かについては、以下の方法により確認することができる。まず、X線回折装置(XRD)を用いて測定し、得られた2θ(2θは、回折角度である。)の値よりJCPDSカードを用いて同定することにより、炭化珪素の存在を確認する。次に、例えばICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置(ICP)を用いて、珪素(Si)の定量分析を行なう。そして、ICPで測定したSiの含有量を炭化珪素(SiC)に換算し、炭化珪素の含有量が70質量%以上であれば、炭化珪素質セラミックスである。
また、第1の被覆層4の主成分である金属珪素の存在の確認および含有量については、次のようにして求める。
まず、金属珪素の存在の確認については、第1の被覆層4をサンプリングしてXRDで測定し、得られた2θの値よりJCPDSカードを用いて同定することにより、金属珪素の存在を確認する。または、走査型電子顕微鏡(SEM)および付設のエネルギー分散型X線分析装置(EDS)を用いることで確認することができる。具体的には、サンプリングした試料をダイヤモンド砥粒などの研磨剤を用いて鏡面(以下、単に鏡面という。)に加工し、この鏡面をSEMで観察し、SEMに付設のEDSにより、観察領域において確認される結晶粒子以外の部分にX線を照射することにより、金属珪素の存在を確認できる。
そして、第1の被覆層4の主成分である金属珪素の含有量については、電子線マイクロアナライザ(EPMA)を用いて、鏡面における面分析を行ない、金属珪素が確認される領域に他の成分の存在(例えば、炭素等)が確認されない領域を金属珪素の領域とみなす。そして、この金属珪素の領域と見なした部分の面積の割合(面積%)を体積の割合(体積%)とみなして、含有成分の密度を用いた計算によって金属珪素の含有量を求める。
なお、計算の一例として、第1の被覆層4が金属珪素と炭化珪素とからなる場合について説明する。面分析から求めた面積の割合からみなされる金属珪素の体積%をVSi、炭化珪素の体積%をVSiCとする。そして、金属珪素の密度DSi(2.33g/cm3)と、炭化珪素の密度DSiC(3.21g/cm3)とを用いて、WSi=((DSi×VSi)/(DSi×VSi+DSiC×VSiC))×100に代入して金属珪素の含有量WSiを求める。なお、気孔については、計算の対象外とする。さらに、他の成分が含まれている場合には、その成分の体積%と、密度を用いて計算すればよい。
また、第1の被覆層4が、金属珪素と炭化珪素とからなる場合、金属珪素の含有量は、ICPおよび炭素分析装置を用いることによっても求めることができる。まず、ICPで測定することにより、第1の被覆層4に含まれる全珪素の含有量を求める。次に、炭素分析装置で測定することにより、第1の被覆層4に含まれる炭素(C)の含有量を求める。そして、Cの含有量の値からSiCに換算し、SiCの含有量を求め、このSiCの含有量からCの含有量を差し引くことにより、SiC中のSiの含有量を求める。次に、ICPで測定することにより求めた第1の被覆層4に含まれる全珪素の含有量から、SiC中のSiの含有量を差し引くことにより、金属珪素の含有量を求めることができる。そして、上述した計算式等から算出された金属珪素の含有量が50質量%を超えていれば、金属珪素が第1の被覆層4の主成分である。
また、第2の被覆層5に含まれるNi、Cu、Al、Crの存在は、XRD、EDS、EPMAで測定することにより確認することができ、含有量については、第2の被覆層5をサンプリングし、上述した測定によって確認された成分について、ICPを用いた定量分析を行なえばよい。そして、上述した測定によって確認された成分が、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかであり、第2の被覆層5を構成する全成分100質量%のうち、50質量%を超えていれば、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分であるといえる。
また、第1の被覆層4と第2の被覆層5との境界の判別については、鏡面に加工した面を測定面とし、SEMの反射電子像を用いて、例えば、150倍以上1000倍以下の倍率で観察することにより判別したり、EPMAを用いて、各元素の面分析を行なって構成元素の違いから判別したりすればよい。
また、本実施形態のセラミック接合体10において、第2の被覆層5が、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の表面に位置している、すなわち、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の表面が、第2の被覆層5によって覆われていることが好適である。
このような構成を満たしているときには、接合部分のみならず、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2における耐食性が向上する。また、第1の被覆層4の表面に位置する第2の被覆層5と繋がっていれば、第2の被覆層5の被覆領域が大きくなることによって、接合強度がさらに向上する。なお、耐食性および接合強度の観点からは、セラミック接合体10の全て外表面が第2の被覆層5によって覆われていることが好適であるが、セラミック接合体10が、他の部材等と嵌合されたり、他の部材に覆われたりしていることによって、腐食環境下に曝されていない部分があるのであれば、その部分を第2の被覆層5で被覆しなくてもよい。
また、接合層3は、炭化珪素および金属珪素を含み、接合層3を構成する全成分100質量%のうち、炭化珪素および金属珪素の含有量の合計が85質量%以上であることが好適である。このような構成を満たしているときには、骨材の役目を成す炭化珪素の周囲に金属珪素が存在して炭化珪素同士を繋ぎ、炭化珪素の周囲の空隙が少なくなるとともに、金属珪素が、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2への濡れ性がよいため、接合強度が高まる。また、接合層3が炭化珪素を含んでいることにより、接合層3の線膨張係数が、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2のそれぞれの線膨張係数に近づき、高温に繰り返し曝されても接合層3にクラックが生じにくくなる。
そして、接合層3における炭化珪素と金属珪素との質量比(炭化珪素の含有量/金属珪素の含有量)は、1.3以上2.5以下であることが好適である。炭化珪素と金属珪素との質量比が上記範囲内であれば、炭化珪素の周囲が金属珪素で十二分に覆われるとともに、炭化珪素同士の凝集が抑制されることで、炭化珪素の周囲の空隙が特に少なくなり、接合強度がより高まる。
なお、接合層3と第1の被覆層4との境界の判別について、本実施形態においては、第1の炭化珪素質セラミックス1の接合面と第2の炭化珪素質セラミックス2の接合面との間にあるものを接合層3とし、それ以外を第1の被覆層4とする。
そして、接合層3における炭化珪素および金属珪素の存在の有無については、XRDを用いて行なえばよい。また、SEMおよび付設のEDSを用いて、結晶粒子においてSiとCとが確認され、結晶粒子以外の部分にSiが確認されれば、炭化珪素および金属珪素が存在するといえる。
次に、接合層3における炭化珪素および金属珪素の合計の含有量については、XRDにおいて炭化珪素以外の珪化物の存在が確認されていなければ、まず、炭素分析装置でCの含有量を測定し、次に、ICPでSiの含有量を測定し、加算すればよい。なお、XRDにおいて炭化珪素以外の珪化物の存在が確認された場合には、EPMAを用いて、鏡面における面分析を行ない、面積の割合(面積%)を体積の割合(体積%)とみなして、含有成分の密度を用いた計算によって求めればよい。
また、接合層3における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることが好適である。このように、分散度が0.3以上0.9以下であるときには、接合層3において炭化珪素の結晶粒子が分散して存在しているため、高温に繰り返し曝されて接合層3にクラックが生じて進展したとしても炭化珪素の結晶粒子によって、その進展が遮られる。それゆえ、高温環境下においても高い接合強度を維持することができる。
ここで、分散度とは、重心間距離の標準偏差を重心間距離の平均値で割った値であり、接合層3の断面を観察して得られた画像を画像解析ソフト「A像くん」(登録商標、旭化成エンジニアリング(株)製)の重心間距離法という手法で解析して導かれる値である。そして、接合層3の断面とは、セラミック接合体10を切断し、平均粒径が0.1μmのダイヤモンド砥粒を有するポリッシングクロス(例えば、日本エンギス(株)製ポリッシングクロス(コードNo.410またはNo.9450))で接合層3を研磨することで得られる鏡面のことである。また、画像とは、接合層3の断面から炭化珪素の粒子が平均的に観察される部分を選択し、SEMを用いて1000倍の倍率として、面積が1.1×104μm2(例えば、横方向の長さが128μm、縦方向の長さが86μm)となる範囲の画像のことである。なお、解析時の設定条件としては、粒子の明度を暗、2値化の方法を自動、小図形除去面積を0μmとして測定すればよい。
また、本実施形態のセラミック接合体10は、接合層3に、気孔が存在していないことが好適である。接合層3に気孔が存在していないときには、熱衝撃がセラミック接合体10に加わる際、気孔を起点とするクラックを生じることがないため、熱衝撃に対する信頼性が高まる。なお、接合層3における気孔の有無は、SEMの反射電子像から判断すればよい。また、第1の被覆層4および第2の被覆層5にも気孔が存在していないことが好適である。なお、SEMの反射電子像等を画像解析ソフト等で画像解析し、この解析により算出された気孔の面積占有率が0.2%未満であれば、気孔が存在していないとみなす。
次に、図3および図4は、本実施形態のさらに他の例を示す、(a)は斜視図であり、(b)は接合部分における縦断面図であり、(c)は接合層における横断面図である。そして、図3においては、第1の炭化珪素質セラミックス1cおよび第2の炭化珪素質セラミックス2cのそれぞれの形状が、いずれも円柱状である例を示している。また、図4においては、1つの平板状の第2の炭化珪素質セラミックス2dが、2つの円柱状の第1の炭化珪素質セラミックス1d、1eに挟まれるように接合されている例を示している。なお、図3および図4においては、図面が煩雑となるため、第1の被覆層4および第2の被覆層5は、図示していない。
第1の炭化珪素質セラミックス1が第1の貫通孔6を有し、第2の炭化珪素質セラミックス2が第2の貫通孔7を有し、第1の貫通孔6と第2の貫通孔7とが連通している構成において、図3(c)および図4(c)に示すように、接合層3が、炭化珪素を主成分とする第1の領域8が内周側に位置し、金属珪素を主成分とする第2の領域9が外周側において第1の領域8を囲繞するように位置していることが好適である。なお、図示しているように、内周側とは貫通孔側のことである。
ここで、図3に示すセラミック接合体10cおよび図4に示すセラミック接合体10dは、第1の貫通孔6と第2の貫通孔7とが連通していることにより、この連通部分を流路とすれば、流路体として用いることができる。以下、流路体として用いた場合を仮定して説明する。
上述した構成を満たしているときには、本実施形態のセラミック接合体10は、高い接合強度を有しつつ、優れた気密性を有するため、接合部から流体が漏出することが少ない。これは、内周側に位置する第1の領域8が、高い接合強度に寄与しつつ、第1の領域8に存在する空隙を縫って流体が通過したとしても、金属珪素が主成分であることによって空隙の少ない第2の領域9が第1の領域8を囲繞するように位置しているため、第2の領域9において流体が漏出することを抑制することができるためである。よって、上述した構成のセラミック接合体10は、流体が腐食性のガスおよび液体などの有害な流体であるときに好適である。
なお、第1の領域8における主成分とは、第1の領域8を構成する全成分100質量%のうち、50質量%を超える成分のことであり、第2の領域9における主成分とは、第2の領域9を構成する全成分100質量%のうち、50質量%を超える成分のことである。
そして、第1の領域8における炭化珪素および第2の領域9における金属珪素の存在の有無については、XRDを用いて行なえばよい。また、SEMおよび付設のEDSを用いて、結晶粒子においてSiとCとが観察されれば、炭化珪素が存在するといえる。また、EDSを用いて存在する元素を確認した際に、Siしか確認されなければ、金属珪素が存在するといえる。
次に、第1の領域8と第2の領域9との境界の判別については、まず、EPMAを用いて、接合層3の鏡面について面分析を行ない、接合層3に含有成分や含有量に差を有する部分があるか否かを確認する。
このとき、全体にわたってSiが確認されるものの、内周側にのみCの存在が確認され、内周側においてSiとCの存在箇所に重なりがあり、外周側においてSiと他の成分との重なりが無ければ、内周側と外周側とからそれぞれサンプリングする。そして、上述したいずれかの方法により求めた内周側における炭化珪素の含有量が50質量%を超えており、外周側における金属珪素の含有量が50質量%を超えていれば、内周側が第1の領域8であり、外周側が第2の領域9である。そして、このような構成においては、Cの存在位置によって、第1の領域8と第2の領域9との境界を判別することができる。
また、金属珪素と炭化珪素とのSEMの反射電子像を用いて、例えば、150倍以上1000倍以下の倍率を適宜選択して鏡面を観察することにより判別するか、EPMAを用いて、鏡面における内周側および外周側の間のSiの線分析を行なって、Siの含有量の変化、あるいは同様に、SiCの含有量の変化から判別してもよい。そして、金属珪素と炭化珪素とのどちらかが50質量%を超えるところを境界とすればよい。
なお、第1の領域8および第2の領域9ともに、炭化珪素と金属珪素とを含む場合には、EPMAを用いて、内周側から外周側に向かってCの線分析を行なって、Cの含有量の変化を確認し、Cの含有量からのSiCへの換算で50質量%を超える部分で判別すればよい。Cの原子量は12、Siの原子量は28、SiCの分子量は40のため、SiCが50質量%である場合、このうちのCは15質量%となる。よって、Cが15質量%を超える部分で判別すればよい。なお、線分析においては、Siの含有量の変化も確認することが好適である。
また、第1の炭化珪素質セラミックス1が第1の貫通孔6を有し、第2の炭化珪素質セラミックス2が第2の貫通孔7を有し、第1の貫通孔6と第2の貫通孔7とが連通している構成において、優れた接合強度を有しつつ、優れた気密性を有するものとするには、第1の炭化珪素質セラミックス1と第2の炭化珪素質セラミックス2との接合面の面積100%のうち、第2の領域9の面積占有率が10%以上40%以下であることが好適である。
第2の領域9の面積占有率は、上述した第1の領域8と第2の領域9との線分析による判別を、少なくとも直交する2つのラインにて行ない、この結果より得られた境界点を結ぶことによって相当する円とし、この円を境界として、第2の領域9の面積占有率を求めればよい。
また、第1の領域8における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることが好適である。接合層3の第1の領域8における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であるときには、第1の領域8において炭化珪素の結晶粒子が分散して存在しているため、高温に繰り返し曝されて接合層3にクラックが生じて進展したとしても炭化珪素の結晶粒子によって、その進展が遮られる。それゆえ、高温環境下においても高い接合強度を維持することができる。なお、第1の領域8における炭化珪素の粒子の分散度は、接合層3の分散度について記載したときと同様の方法により求めることができる。
また、本実施形態のセラミック接合体10を構成する第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2は、相対密度がいずれも95体積%以上99体積%以下であることが好適である。第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の相対密度は、JIS R 1634−1998に準拠して求め、この見掛密度を炭化珪素質セラミックスの理論密度で除すことにより求めればよい。
そして、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2は、用いられる環境に応じて、相対密度の異なる組合せとしてもよい。例えば、外部から受けた熱を流体に効率よく伝えたいところに、相対密度の高いセラミックスを用いたり、流体が持つ熱を発散させたくないところに、相対密度の低いセラミックスを用いたりすることができる。
また、本実施形態のセラミック接合体10が流路を有する、すなわち流路体であるとき、この流路体は、優れた耐久性を有するものであることから、これを備える熱交換器は、長期間にわたる使用に耐えることができる高い信頼性を有する。特に、腐食性のガスおよび液体の使用環境下において、好適に用いることができる。
図5は、本実施形態のセラミック接合体からなる流路体を備える熱交換器の用途の一例を示す集光型太陽光発電装置の概略図である。
図5に示す集光型太陽光発電装置20は、集光した太陽光の熱で媒体を加熱し、加熱された媒体の熱を利用して発電するものであり、低温媒体貯蔵タンク11、熱交換器(集熱器)12、高温媒体貯蔵タンク13、エネルギー変換システム14によって構成されている。発電までの流れとしては、低温媒体貯蔵タンク11から媒体を熱交換器12へ圧送し、集光した太陽光を熱交換器12に当てることによって媒体を加熱して、加熱された媒体を高温媒体貯蔵タンク13に貯蔵し、高温媒体貯蔵タンク13から圧送される加熱された媒体の熱エネルギーを使ってエネルギー変換システム14にて発電するものである。なお、熱を奪われた媒体は低温媒体貯蔵タンク11へと送られ、このサイクルが繰り返されることによって、燃料資源を使用せず、温室効果ガスを排出することなく、電気を得ることができるため、経済面および環境面において有用なものである。
そして、図5に示すような構成の集光型太陽光発電装置20において、集光された太陽光によって熱を受けるセラミック接合体10は、数メートルに及ぶ長尺部材であり、高温に耐えられるものでなければならないが、本実施形態のセラミック接合体10は、高い接合強度と優れた気密性を有しているものであることから、長期間にわたって安定して発電することができる高い信頼性を有する。
次に、本実施形態のセラミック接合体の製造方法の一例について説明する。
まず、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2を準備する。次に、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2のいずれか一方の接合面に、接合層3となるペースト(例えば、有機溶媒中に、炭化珪素粉末、金属珪素粉末、炭素粉末、エチルセルロースまたはアクリル系のバインダーを含む)を塗布した後、接合面を合わせて接合面に垂直な方向から加圧する。なお、接合層3における炭化珪素および金属珪素の含有量を85質量%以上とするには、炭化珪素粉末、金属珪素粉末、およびその他の粉末(例えば、炭素粉末等)の質量合計100質量%のうち、炭化珪素粉末および金属珪素粉末の質量を85質量%以上とすればよい。また、加圧にあたっては、接合する部材の自重によるものであってもよい。
また、接合層3が第1の領域8および第2の領域9を有するものとするには、第1の領域8となるペーストおよび第2の領域9となるペーストを分けて作製する。ここで、第1の領域8となるペーストは、炭化珪素粉末およびその他の粉末(例えば、金属珪素粉末、炭素粉末等)の質量合計100質量%のうち、炭化珪素粉末の質量が50質量%を超える、好ましくは、70質量%以上とする。一方、第2の領域9となるペーストは、金属珪素粉末およびその他の粉末(例えば、炭化珪素粉末、炭素粉末等)の質量合計100質量%のうち、金属珪素の質量が50質量%を超える、好ましくは、70質量%以上とする。そして、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2のいずれか一方の接合面の内周側に第1の領域8となるペーストを塗布した後、第1の領域8となるペーストの外周側に第2の領域9となるペーストを塗布し、接合面を合わせればよい。
また、接合層3または第1の領域8における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下とするには、例えば、攪拌脱泡装置を用い、この攪拌脱泡装置内の収納容器に、有機溶媒、炭化珪素粉末、エチルセルロースまたはアクリル系のバインダー、炭素粉末を投入して、収納容器の回転数を2000rpmとして2〜12分回転させた後、回転数を2200rpmとして30秒逆回転させたものを、接合層3となるペーストまたは第1の領域8となるペーストとして用いればよい。
そして、加圧した状態で、塗布した接合層3となるペーストの表面を覆うとともに、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の少なくとも一方の表面にわたるように、第1の被覆層4となるペースト(例えば、有機溶媒中に、金属珪素粉末、エチルセルロースまたはアクリル系のバインダーを含む)を塗布し、温度を80℃以上200℃以下、保持時間を8時間以上14時間以下として乾燥する。
その後、アルゴン等の不活性ガス雰囲気中、圧力を1気圧、保持温度を1400℃以上1500℃以下、保持時間を30分以上90分以下として熱処理を行なう。なお、1100℃から保持温度までの昇温速度は、例えば、2℃/分以上2.5℃/分以下とすることが好適である。
また、接合層3に、気孔が存在していないセラミック接合体10を得るには、アルゴン等の不活性ガス雰囲気中、保持温度までは1気圧より低い圧力で昇温し、保持温度に到達したときの圧力を1気圧とし、保持温度を1400℃以上1500℃以下、保持時間を30分以上90分以下として熱処理すればよい。
次に、第1の被覆層4を形成して熱処理した段階の接合体を洗浄して乾燥した後に、第1の被覆層4を覆うように、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分である第2の被覆層5を以下の方法により形成する。
まず、第1の方法として、第1の被覆層4の部分に、無電解めっき法によりNi、Cu、Al、Crのうちのいずれかをめっきする。めっきの厚みは5〜20μm程度とすればよい。
第2の方法としては、プラズマ溶射法により、第1の被覆層4の部分に、NiAl粉末、NiCr粉末、AlCr粉末およびCuAl粉末等の金属粉末のいずれかを用いて550〜800℃で溶射する。第2の被覆層5は、NiAl、Ni3Al、Ni2Al3、Cr2Al、CuAl2、Cu3Al2の結晶相を少なくとも1つ含む。溶射層である第2の被覆層5の厚みは5〜50μm程度とすればよい。
また、第1の炭化珪素質セラミックス1および第2の炭化珪素質セラミックス2の表面に、第2の被覆層5を形成する場合も、前述の第1または第2の方法により、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分である第2の被覆層5を形成することができる。なお、第2の被覆層5を形成する前の接合体の表面粗さを、例えば、サンドブラスト法等によって、大きくしておけば、第2の被覆層5を強固に固着させることができる。
以上の製造方法により、セラミック接合体10を製造することができる。
以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
まず、筒状体である第1の炭化珪素質セラミックスおよび第2の炭化珪素質セラミックスを準備した。なお、実施例1において作製するセラミック接合体は、JIS R 1624−2010に準拠した試験片を、接合層を含んで切り出すことができる寸法とした。そして、第1の炭化珪素質セラミックスの接合面となる端面に、接合層の厚みが40μmとなるように接合層となるペースト(有機溶媒であるテルピネオール中に、炭化珪素粉末、金属珪素粉末、炭素粉末、エチルセルロースを含む)を塗布した後、第2の炭化珪素質セラミックスを載置した。
ここで、接合層となるペーストとしては、接合層の質量比率が、炭素粉末1、表1に示す金属珪素粉末および炭化珪素粉末となるように各粉末量を調整し、粉末の合計100質量部に対し、テルピネオール30質量部、エチルセルロース12質量部を添加したペーストを用いた。さらに、接合面への垂直方向の加圧は、第2の炭化珪素質セラミックスの自重によるものとした。なお、表1には、各試料の接合層における炭化珪素と金属珪素との質量比(炭化珪素/金属珪素)を示す。
そして、試料No.3を除いた全ての試料において、金属珪素を主成分とする第1の被覆層により接合層となるペーストの表面を覆うとともに、第1の炭化珪素質セラミックスおよび第2の炭化珪素質セラミックスにわたるように、第1の被覆層となるペースト(有機溶媒中に、金属珪素粉末、エチルセルロースを含む)を塗布した。
次に、140℃で11時間保持して乾燥させた。その後、アルゴン雰囲気中、圧力を1気圧、保持温度を1430℃、保持時間を60分、1100℃から保持温度の1430℃までの昇温速度は、いずれも2.2℃/分として熱処理することにより、第1の炭化珪素質セラミックスと第2の炭化珪素質セラミックスとが接合された接合体を得た。
次に、無電解めっき法により、試料No.6〜15については、第1の被覆層上に、表1に記載した元素のめっきからなる第2の被覆層を形成した。また、試料No.1〜3については、Niめっきからなる第2の被覆層をセラミック接合体の表面全体に形成した。なお、めっき層の厚みは、いずれも10μmとし、試料No.4および5については第2の被覆層を形成しなかった。以上の方法により、試料No.1〜15のセラミック接合体を得た。
そして、JIS R 1624−2010に準拠し、接合層が長手方向の中央部に位置する試験片(縦3mm、横4mm、長さ50mm)を切り出して4点曲げ強度を測定した。この接合強度を表1の接合強度Aの欄に記載した。
次に、上述した同様の方法により作製した試料No.1〜15のセラミック接合体を、フッ化水素(HF)の濃度が1質量%の水溶液中に10日間放置した。その後、JIS R 1624−2010に準拠し、接合層が長手方向の中央部に位置する試験片を切り出して4点曲げ強度を測定した。この接合強度を表1の接合強度Bの欄に記載した。結果を表1に示す。
表1に示す結果から、接合層の表面に、金属珪素が主成分である第1の被覆層が位置しており、第1の被覆層の表面に、Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分である第2の被覆層が位置している試料No.1,2および6〜15は、第1の被覆層を有していない試料No.3および第2の被覆層を有していない試料No.4,5に比べ、接合強度Aが高く、接合強度Aと接合強度Bとの差が小さかった。この結果より、試料No.1,2および6〜15が、優れた耐久性および耐食性を有していることがわかった。
また、試料No.1,2は、第2の被覆層の形成箇所がセラミック接合体の全体であるために、第1の被覆層のみに形成した試料No.6〜15よりも、接合強度Aと接合強度Bとの差が小さい結果が得られており、試料No.1,2のような構成とすることにより、さらに、優れた耐久性および耐食性を有するものとなることがわかった。
また、接合層における炭化珪素/金属珪素の質量比を変えた試料No.6,7および11〜15を比較すると、炭化珪素/金属珪素の質量比が1.3以上2.5以下である試料No.11〜14は、接合強度Aが特に高く、より優れた耐久性を有することがわかった。
まず、炭化珪素粉末と、炭化珪素粉末100質量部に対し、30質量部のテルピネオールと、12質量部のエチルセルロースとを用意した。そして、これらを攪拌脱泡装置内の収納容器に投入して、収納容器の回転数を2000rpmとして表2に示す時間で回転させた後、回転数を2200rpmとして30秒逆回転させることにより、接合層となるペーストを得た。そして、接合層の厚みが0.15mmとなるように、接合層となるペーストの塗布を行なった。
次に、金属珪素を主成分とする第1の被覆層により接合層となるペーストの表面を覆うとともに、第1の炭化珪素質セラミックスおよび第2の炭化珪素質セラミックスにわたるように、第1の被覆層となるペーストを塗布した。ここで、第1の被覆層となるペーストは、金属珪素粉末と、金属珪素粉末100質量部に対し、30質量部のテルピネオールと、12質量部のエチルセルロースとからなるものとした。そして、接合層の厚みと熱処理における雰囲気を真空雰囲気にしたこと以外は、実施例1の試料No.2と同様の方法により各試料を作製した。第2の被覆層は、厚みが10μmのNiめっき層とした。
そして、JIS R 1624−2010に準拠し、接合層が長手方向の中央部に位置する試験片(縦3mm、横4mm、長さ50mm)を切り出して4点曲げ強度を測定し、接合強度σ0として表2に示した。
次に、上述した方法により作製した試料を用いて、熱処理装置内に配置して昇温し、酸素分圧が10−9MPaであり水蒸気を含む雰囲気において1250℃で10時間保持した後、常温まで降温した。そして、この昇温、保持および降温するという処理を1サイクルとし、この処理を50サイクル繰り返すサイクル試験を実施した。
その後、JIS R 1624−2010に準拠し、接合層が長手方向の中央部に位置する試験片を切り出して4点曲げ強度を測定し、接合強度σ1として表2に示した。また、サイクル試験前後の接合強度の低下率Δσ(%:(σ0−σ1)/σ0×100)を算出して表2に示した。
また、接合層の構成の差異によるリーク量を確認するため、第1の被覆層および第2の被覆層を形成しないこと以外は、上述した方法により作製した試料を用いてサイクル試験を施し、JIS Z 2331−2006で規定する真空吹付け法(スプレー法)に準拠して、接合部におけるヘリウムガスのリーク量を常温で測定した。リーク量が10−10Pa・m3/秒以上10−9Pa・m3/秒以下の試料については「1」を、リーク量が10−10Pa・m3/秒未満の試料については「2」をそれぞれ表2に記入した。
また、各試料の接合層を確認できるように切断し、平均粒径が0.1μmのダイヤモンド砥粒を有するポリッシングクロス(日本エンギス(株)製ポリッシングクロス(コードNo.410))で接合層の断面を研磨することで得られた鏡面を、SEMを用いて1000倍の倍率で観察した。そして、接合層において炭化珪素の粒子が平均的に観察される部分を選択し、面積が1.1×104μm2(横方向の長さが128μm、縦方向の長さが86μm)となる範囲の画像を画像解析ソフト「A像くん」(登録商標、旭化成エンジニアリング(株)製)を用いて重心間距離法という手法で接合層における炭化珪素の粒子の分散度を求め、その値を表2に示した。なお、解析時の設定条件としては、粒子の明度を暗、2値化の方法を自動、小図形除去面積を0μmとして測定した。結果を表2に示す。
表2に示すように、試料No.17〜19は、サイクル試験における接合強度の低下率が低く、リーク量が少なかった。この結果より、接合層における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることにより、優れた耐久性を有するものとなることがわかった。
まず、同一形状の筒状体からなる第1の炭化珪素質セラミックスおよび第2の炭化珪素質セラミックスを準備した。
そして、接合層となるペーストを第1の領域となるペーストと第2の領域となるペーストに分けて作製した。第1の領域となるペーストは、炭化珪素粉末、金属珪素粉末、炭素粉末の質量比率が炭化珪素粉末90、金属珪素粉末9、炭素粉末1となるようにした。また、第2の領域となるペーストは、炭化珪素粉末9、金属珪素粉末90、炭素粉末1となるようにした。そして、試料No.21〜25については、第1の炭化珪素質セラミックスの接合面となる端面の内側に第1の領域となるペーストを塗布した後、第1の領域となるペーストの外側に第2の領域となるペーストを塗布し、第2の炭化珪素質セラミックスを載置した。
また、試料No.26については、第1の領域となるペーストのみ、試料No.27については、第2の領域となるペーストのみを接合面に塗布した。なお、第2の領域となるペースト塗布時の面積占有率を、第1の炭化珪素質セラミックスと第2の炭化珪素質セラミックスとの接合面の面積100%のうちの第2の領域の面積占有率とみなして表3に示した。
そして、接合層が第1の領域と第2の領域とを有するようにしたこと以外は、実施例1の試料No.2と同様の方法により各試料を作製した。また、実施例1と同様の方法により、各試料の接合強度Aおよび接合強度Bを測定した。
また、接合層の構成の差異によるリーク量を確認するため、第1の被覆層および第2の被覆層を形成しないこと以外は、上述した方法により作製した試料を用いて、JIS Z 2331−2006で規定する真空吹付け法(スプレー法)に準拠して、各試料の接合部におけるヘリウムガスのリーク量を常温で測定した。なお、ヘリウムガスの流れは試験片における内周側から外周側方向とした。そして、リーク量が10−9Pa・m3/秒を超えた試料を「0」を、リーク量が10−10Pa・m3/秒以上10−9Pa・m3/秒以下の試料については「1」を、リーク量が10−10Pa・m3/秒未満の試料については「2」をそれぞれ表3に記入した。
試料No.22〜24は、優れた接合強度を有し、リーク量が少なかった。この結果より、腐食性ガスや液体の環境下において、耐食性、耐久性に優れたものとするには、接合層の内周側に主成分が炭化珪素の第1の領域が位置し、外周側において金属珪素が主成分の第2の領域が第1の領域を囲繞するように位置する構成において、第2の領域の面積占有率が10%〜40%であることが好適であるとわかった。
まず、同一形状の筒状体からなる第1の炭化珪素質セラミックスおよび第2の炭化珪素質セラミックスを準備した。
次に、炭化珪素の分散度が異なるペーストを作製するために、炭化珪素粉末と、炭化珪素粉末100質量部に対し、30質量部のテルピネオールと、12質量部のエチルセルロースとを用意した。そして、これらを攪拌脱泡装置内の収納容器に投入して、収納容器の回転数を2000rpmとして表4に示す時間で回転させた後、回転数を2200rpmとして30秒逆回転させることにより、第1の領域となるペーストを得た。そして、実施例3の試料No.21と同様の方法により各試料を作製した。
そして、実施例2と同様の方法によりサイクル試験、接合強度の測定、リーク量の測定、分散度の算出を行なった。結果を表4に示す。
表4に示すように、試料No.29〜31は、サイクル試験を施しても接合強度の低下率が低く、リーク量も少ないことから、優れた耐久性を有するものとするには、第1の領域における炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることが好適であるとわかった。
1:第1の炭化珪素質セラミックス
2:第2の炭化珪素質セラミックス
3:接合層
4:第1の被覆層
5:第2の被覆層
6:第1の貫通孔
7:第2の貫通孔
8:第1の領域
9:第2の領域
10:セラミック接合体
11:低温媒体貯蔵タンク
12:熱交換器(集熱器)
13:高温媒体貯蔵タンク
14:エネルギー変換システム
15:流路体
20:集光型太陽光発電装置
2:第2の炭化珪素質セラミックス
3:接合層
4:第1の被覆層
5:第2の被覆層
6:第1の貫通孔
7:第2の貫通孔
8:第1の領域
9:第2の領域
10:セラミック接合体
11:低温媒体貯蔵タンク
12:熱交換器(集熱器)
13:高温媒体貯蔵タンク
14:エネルギー変換システム
15:流路体
20:集光型太陽光発電装置
Claims (8)
- 第1の炭化珪素質セラミックスと、
第2の炭化珪素質セラミックスと、
前記第1の炭化珪素質セラミックスおよび前記第2の炭化珪素質セラミックスの間に位置する接合層と、
金属珪素が主成分であり、前記接合層の表面から前記第1の炭化珪素質セラミックスおよび前記第2の炭化珪素質セラミックスの少なくとも一方の表面にわたって位置する第1の被覆層と、
Ni、Cu、Al、Crのうちのいずれかが主成分であり、前記第1の被覆層の表面に位置する第2の被覆層とを備えることを特徴とするセラミック接合体。 - 前記第2の被覆層が、前記第1の炭化珪素質セラミックスおよび前記第2の炭化珪素質セラミックスの表面に位置していることを特徴とする請求項1に記載のセラミック接合体。
- 前記接合層は、炭化珪素および金属珪素を含み、前記接合層を構成する全成分100質量%のうち、炭化珪素および金属珪素の含有量の合計が85質量%以上であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック接合体。
- 前記接合層における前記炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることを特徴とする請求項3に記載のセラミック接合体。
- 前記第1の炭化珪素質セラミックスが第1の貫通孔を有し、前記第2の炭化珪素質セラミックスが第2の貫通孔を有し、前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔とが連通しており、前記接合層が、炭化珪素を主成分とする第1の領域が内周側に位置し、金属珪素を主成分とする第2の領域が外周側において前記第1の領域を囲繞するように位置していることを特徴とする請求項1に記載のセラミック接合体。
- 前記第1の炭化珪素質セラミックスと前記第2の炭化珪素質セラミックスとの接合面の面積100%のうち、前記第2の領域の面積占有率が10%以上40%以下であることを特徴とする請求項5に記載のセラミック接合体。
- 前記第1の領域における前記炭化珪素の粒子の分散度が0.3以上0.9以下であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のセラミック接合体。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のセラミック接合体からなる流路体を備えることを特徴とする熱交換器。
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2015
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