JP2013091603A - 炭化珪素接合体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の炭化珪素焼結体11及び第二の炭化珪素焼結体12を得る工程と、第二の炭化珪素焼結体12の接合面12aを表面粗さRa0.6μm以下に加工する工程と、第一の炭化珪素焼結体11の接合面11aに炭化珪素含有金属珪素層13を形成する工程と、第二の炭化珪素焼結体12の接合面12aと炭化珪素含有金属珪素層13とを当接し、真空中で熱処理する工程と、からなる。
【選択図】図1
Description
11、12;炭化珪素焼結体
11a、12a;接合面
13;炭化珪素含有金属珪素層
14;接合層
Claims (6)
- 第一の炭化珪素焼結体及び第二の炭化珪素焼結体を得る工程と、
前記第二の炭化珪素焼結体の接合面を表面粗さRa0.6μm以下に加工する工程と、
前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に炭化珪素含有金属珪素層を形成する工程と、
前記第二の炭化珪素焼結体の接合面と前記炭化珪素含有金属珪素層とを当接し、真空中で熱処理する工程と、
からなる、炭化珪素接合体の製造方法。 - 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に充填し、金属珪素を加熱溶融することにより、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項1に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を溶射原料とし、前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に溶射することにより、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項1に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に充填し金属珪素を加熱溶融した後、または、炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を溶射原料とし、前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に溶射した後、加工を行って、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項1に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 前記炭化珪素含有金属珪素層を30〜160μmの厚さに形成する請求項1〜4のいずれか1項に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 前記熱処理する工程により、前記第一の炭化珪素焼結体と前記第二の炭化珪素焼結体との接合面間に形成された接合層の厚さが、前記炭化珪素含有金属珪素層の95〜100%となる請求項1〜5のいずれか1項に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
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