JP5000567B2 - 炭化珪素焼結体の接合方法 - Google Patents
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11;第一部材
11a;ザグリ部
111;ザグリ部の底面
112;ザグリ部の側面
12;第二部材
13a;加工前の金属珪素層
13b;加工後の金属珪素層
14;中空部
G;隙間
L;接合層
Claims (4)
- ザグリ部を有する炭化珪素焼結体からなる第一部材と、前記ザグリ部に挿入される炭化珪素焼結体からなる第二部材とを金属珪素により接合する方法であって、
前記ザグリ部に金属珪素を充填した後に加熱して前記ザグリ部において金属珪素を溶融させる溶融工程と、
溶融した金属珪素を冷却固化させた後、前記ザグリ部に形成された金属珪素層を研削して厚さを調整する加工工程と、
第二部材を前記ザグリ部に挿入し加熱する接合工程と、
を含む炭化珪素焼結体の接合方法。 - 前記加工工程において、冷却固化させた後、研削前の金属珪素層は、少なくとも前記ザグリ部の底面全部及び、側面の一部に密着して形成されたことを特徴とする請求項1記載の炭化珪素焼結体の接合方法。
- 前記第一部材と前記第二部材との接合部が2箇所以上ある請求項1または2記載の接合方法。
- 前記第一部材と前記第二部材を接合することにより中空部が形成される請求項1〜3記載の接合方法。
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