JP2010173922A - 炭化珪素接合体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の炭化珪素焼結体11と第二の炭化珪素焼結体12とが金属珪素及び炭化珪素からなる接合層14を介して接合された炭化珪素接合体であって、前記第一の炭化珪素焼結体11は、炭化珪素含有金属珪素層13が形成される接合面11aを有し、前記第二の炭化珪素焼結体12は、前記炭化珪素含有金属珪素層13と当接する接合面12aを有し、第二の炭化珪素焼結体12の接合面12aは、表面粗さRa0.6μm以下であって、前記炭化珪素含有金属珪素層13が熱処理されてなる接合層14を介して接合されたことを特徴とする炭化珪素接合体。
【選択図】図1
Description
11、12;炭化珪素焼結体
11a、12a;接合面
13;炭化珪素含有金属珪素層
14;接合層
Claims (10)
- 第一の炭化珪素焼結体と第二の炭化珪素焼結体とが金属珪素及び炭化珪素からなる接合層を介して接合された炭化珪素接合体であって、
前記第一の炭化珪素焼結体は、炭化珪素含有金属珪素層が形成される接合面を有し、
前記第二の炭化珪素焼結体は、前記炭化珪素含有金属珪素層と当接する接合面を有し、
前記第二の炭化珪素焼結体の接合面は、表面粗さRa0.6μm以下であって、前記炭化珪素含有金属珪素層が熱処理されてなる接合層を介して接合されたことを特徴とする炭化珪素接合体。 - 前記接合層は、30〜150μmの厚さを有する請求項1に記載の炭化珪素接合体。
- JISR1624に準拠した4点曲げ強度が250MPa以上である請求項1または2に記載の炭化珪素接合体。
- 前記接合層は、炭化珪素の含有率が5〜20重量%、炭化珪素の平均粒径が1〜20μmである請求項1〜3に記載の炭化珪素接合体。
- 第一の炭化珪素焼結体及び第二の炭化珪素焼結体を得る工程と、
前記第二の炭化珪素焼結体の接合面を表面粗さRa0.6μm以下に加工する工程と、
前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に炭化珪素含有金属珪素層を形成する工程と、
前記第二の炭化珪素焼結体の接合面と前記炭化珪素含有金属珪素層とを当接し、真空中で熱処理する工程と、
からなる、炭化珪素接合体の製造方法。 - 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を前記第一の炭化珪素焼結体の接合面に充填し、金属珪素を加熱溶融することにより、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項5に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を溶射原料とし、第一の炭化珪素焼結体の接合面に溶射することにより、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項5に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を第一の炭化珪素焼結体の接合面に充填し金属珪素を加熱溶融した後、または、炭化珪素粉末と金属珪素粉末の混合粉末を溶射原料とし、第一の炭化珪素焼結体の接合面に溶射した後に加工を行って、前記炭化珪素含有金属珪素層を形成する請求項6または7に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 前記炭化珪素含有金属珪素層を30〜160μmの厚さに形成する請求項5〜8に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
- 前記熱処理工程により、炭化珪素焼結体の接合面間に形成された接合層の厚さが、前記炭化珪素含有金属珪素層の95〜100%となる請求項5〜8に記載の炭化珪素接合体の製造方法。
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