JP2012501851A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012501851A5 JP2012501851A5 JP2011525596A JP2011525596A JP2012501851A5 JP 2012501851 A5 JP2012501851 A5 JP 2012501851A5 JP 2011525596 A JP2011525596 A JP 2011525596A JP 2011525596 A JP2011525596 A JP 2011525596A JP 2012501851 A5 JP2012501851 A5 JP 2012501851A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- range
- silicon
- temperature
- parts
- interface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 2
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002459 porosimetry Methods 0.000 description 1
Description
本発明の方法は、全く、1〜10μmなる範囲、有利には1〜5μmなる範囲の粒径を持つ粒子の炭素材料に対して極めて有利である。
該方法は、またガラス質炭素等の材料に対して使用することができる。この場合、該複合ゾーンの厚みは、実質上ゼロであり、また該工程全ては、専ら上記2つの部品間の界面において起る。
該炭素材料の多孔度は、0%(ガラス質炭素の場合)〜40体積%なる範囲で変動し得る。
この多孔度は、水銀ポロシメータ(mercury porosimetry)法によって特徴付けることができる。
該接合すべき表面が、平坦性および/または粗さにおける欠陥を示す場合、これらの欠陥は、該接合部の所望の厚みよりも小さいものである必要がある。そうでない場合には、該表面を研磨する必要がある。
該方法は、またガラス質炭素等の材料に対して使用することができる。この場合、該複合ゾーンの厚みは、実質上ゼロであり、また該工程全ては、専ら上記2つの部品間の界面において起る。
該炭素材料の多孔度は、0%(ガラス質炭素の場合)〜40体積%なる範囲で変動し得る。
この多孔度は、水銀ポロシメータ(mercury porosimetry)法によって特徴付けることができる。
該接合すべき表面が、平坦性および/または粗さにおける欠陥を示す場合、これらの欠陥は、該接合部の所望の厚みよりも小さいものである必要がある。そうでない場合には、該表面を研磨する必要がある。
Claims (13)
10μmに満たない粒径を持つ粒子を有する、少なくとも2つの炭素部品を接合するための有用な方法であって、少なくとも以下に列挙するものからなる諸工程:
a) 接合すべき該複数の炭素部品および、シリコンプレート又はバンド形状のシリコン製要素を配置する工程、ここで該シリコン製要素は、該部品の間に挿入されており、該炭素部品及び該シリコン製要素はアセンブリーを形成し、および
b) 圧力の作用下にて、該アセンブリーを結合状態に維持し、かつ該アセンブリーを、不活性雰囲気下で1410℃を越える温度にて加熱して、該シリコンを溶融し、かつ該部品間の界面において、少なくとも一つの炭化ケイ素ブリッジを含む接合部を形成する工程;および
c) 該工程b)の完了後に得られる該アセンブリーを、該工程b)の温度よりも高い温度に曝して、該溶融シリコン全てを消費させ、かつ該炭素部品間の界面の全表面に渡り、炭化ケイ素の接合部を形成する工程、
を含み、
該工程b)及び工程c)を、異なるが連続している2つの温度レベルで実施する、
ことを特徴とする、前記方法。
a) 接合すべき該複数の炭素部品および、シリコンプレート又はバンド形状のシリコン製要素を配置する工程、ここで該シリコン製要素は、該部品の間に挿入されており、該炭素部品及び該シリコン製要素はアセンブリーを形成し、および
b) 圧力の作用下にて、該アセンブリーを結合状態に維持し、かつ該アセンブリーを、不活性雰囲気下で1410℃を越える温度にて加熱して、該シリコンを溶融し、かつ該部品間の界面において、少なくとも一つの炭化ケイ素ブリッジを含む接合部を形成する工程;および
c) 該工程b)の完了後に得られる該アセンブリーを、該工程b)の温度よりも高い温度に曝して、該溶融シリコン全てを消費させ、かつ該炭素部品間の界面の全表面に渡り、炭化ケイ素の接合部を形成する工程、
を含み、
該工程b)及び工程c)を、異なるが連続している2つの温度レベルで実施する、
ことを特徴とする、前記方法。
前記シリコンプレート又はバンドが50〜800μmなる範囲の厚みを有する、請求項1記載の方法。
前記工程c)の完了後に得られるロウ付けが、残留固体シリコンを全く含まない、請求項1または2記載の方法。
前記炭素部品が、0〜40体積%なる範囲の開放孔の多孔度を持つ、請求項1〜3の何れか1項に記載の方法。
前記炭素部品が1〜5μmなる範囲の粒径を持つ粒子を有する、請求項1〜4の何れか1項に記載の方法。
前記2つの接合された部品の界面において生成された接合部が、10〜40μmなる範囲の厚みを持つ、請求項1〜5の何れか1項に記載の方法。
前記2つの接合された部品の界面において生成された接合部が、20〜30μmなる範囲の厚みを持つ、請求項1〜6の何れか1項に記載の方法。
前記工程b)が、不活性雰囲気下で、1,410〜1,600℃なる範囲の温度にて加熱する段階を含む、請求項1〜7の何れか1項に記載の方法。
前記工程b)が、不活性雰囲気下で10分〜1時間なる範囲の期間に渡り加熱する段階を含む、請求項1〜8の何れか1項に記載の方法。
前記工程b)が、1,410〜1,500℃なる範囲の温度にて行われ、かつ前記工程c)が、1,500〜1,750℃なる範囲の温度にて行われる、請求項1〜9の何れか1項に記載の方法。
前記工程b)が、前記範囲の温度にて、10分〜1時間なる範囲の期間に渡り行わる、請求項10に記載の方法。
前記工程c)が、前記範囲の温度にて、3〜8時間なる範囲の期間に渡り行われる、請求項10または11に記載の方法。
請求項1〜12の何れか1項に記載の方法によって得られた、前記部品間の界面の全表面に渡り、炭化ケイ素接合部によって接合された部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0855970A FR2935622B1 (fr) | 2008-09-05 | 2008-09-05 | Procede d'assemblage de pieces carbonees par brasage refractaire |
FR0855970 | 2008-09-05 | ||
PCT/FR2009/051665 WO2010026341A2 (fr) | 2008-09-05 | 2009-09-03 | Procede d'assemblage de pieces carbonees par brasage refractaire |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012501851A JP2012501851A (ja) | 2012-01-26 |
JP2012501851A5 true JP2012501851A5 (ja) | 2013-11-07 |
JP5654993B2 JP5654993B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=40577947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011525596A Expired - Fee Related JP5654993B2 (ja) | 2008-09-05 | 2009-09-03 | 耐火性のロウ付けにより炭素部品を組立てる方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8956481B2 (ja) |
EP (1) | EP2326606B1 (ja) |
JP (1) | JP5654993B2 (ja) |
KR (1) | KR101338256B1 (ja) |
CN (1) | CN102143926B (ja) |
BR (1) | BRPI0919146A2 (ja) |
ES (1) | ES2730075T3 (ja) |
FR (1) | FR2935622B1 (ja) |
RU (1) | RU2480434C2 (ja) |
WO (1) | WO2010026341A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9868276B2 (en) * | 2011-11-29 | 2018-01-16 | Corning Incorporated | Method of treating joint in ceramic assembly |
JP6001761B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2016-10-05 | 京セラ株式会社 | セラミック接合体および流路体 |
CN103143809B (zh) * | 2013-03-21 | 2016-03-09 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种同时焊接多条焊缝的方法和焊接辅助工具 |
RU2623395C2 (ru) * | 2015-08-11 | 2017-06-26 | Общество с ограниченной ответственностью "Керамические технологии" | Способ соединения деталей из карбида кремния |
FR3045846B1 (fr) * | 2015-12-22 | 2018-09-28 | Centre National De La Recherche Scientifique | Dispositif electro-optique pour la detection de la modification locale d’un champ electrique. |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3101403A (en) * | 1959-12-28 | 1963-08-20 | American Metal Prod | Method of joining carbon |
JPS57170875A (en) * | 1981-04-09 | 1982-10-21 | Inoue Japax Res | Determined form carbide formation |
US4884737A (en) * | 1987-05-21 | 1989-12-05 | Lanxide Technology Company, Lp | Method for surface bonding of ceramic bodies |
US5079195A (en) * | 1988-01-15 | 1992-01-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of preparing refractory silicon carbide composites and coatings |
US5021107A (en) * | 1988-01-19 | 1991-06-04 | Holko Kenneth H | Process for joining or coating carbon-carbon composite components |
DE68901429D1 (de) * | 1988-08-15 | 1992-06-11 | Shinetsu Chemical Co | Verbindungsmittelzusammensetzungen fuer siliciumcarbidkeramiken. |
DE3907913A1 (de) * | 1989-03-11 | 1990-09-27 | Bayer Ag | Graphitkleber und verfahren zur herstellung von klebeverbindungen zwischen graphitteilen |
US5457151A (en) * | 1991-09-24 | 1995-10-10 | Southwest Research Institute | Polysilazane adhesive composition |
JPH07257981A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-09 | Nippon Steel Corp | 炭素含有耐火物の接合体およびその製造方法 |
US5993905A (en) * | 1995-10-03 | 1999-11-30 | Msnw, Inc. | Low-temperature densification of carbon fiber preforms by colloidal graphite impregnation and mechanical consolidation |
US5972157A (en) * | 1995-11-20 | 1999-10-26 | Alliedsignal Inc. | Joining of rough carbon-carbon composites with high joint strength |
US6174605B1 (en) * | 1996-08-20 | 2001-01-16 | Alliedsignal Inc. | Joining of rough carbon-carbon composites with high joint strength |
DE102006009388B4 (de) * | 2006-03-01 | 2009-02-26 | Audi Ag | Vorrichtung zur Silicierung von kohlenstoffhaltigen Werkstoffen und darin durchführbares Verfahren |
JP5322382B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2013-10-23 | 株式会社東芝 | セラミックス複合部材とその製造方法 |
-
2008
- 2008-09-05 FR FR0855970A patent/FR2935622B1/fr active Active
-
2009
- 2009-09-03 US US13/062,394 patent/US8956481B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-03 JP JP2011525596A patent/JP5654993B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-03 ES ES09741362T patent/ES2730075T3/es active Active
- 2009-09-03 BR BRPI0919146A patent/BRPI0919146A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2009-09-03 CN CN200980134950.0A patent/CN102143926B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-03 RU RU2011112045/03A patent/RU2480434C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2009-09-03 EP EP09741362.9A patent/EP2326606B1/fr active Active
- 2009-09-03 KR KR1020117007355A patent/KR101338256B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-09-03 WO PCT/FR2009/051665 patent/WO2010026341A2/fr active Application Filing
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012501851A5 (ja) | ||
CN107735386B (zh) | 用于修复在半导体加工中使用的设备件的方法 | |
JP5730071B2 (ja) | 吸着用部材 | |
JP5861016B1 (ja) | ムライト焼結体、その製法及び複合基板 | |
JP2009224402A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4908263B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
RU2015157068A (ru) | Режущее устройство из поликристаллического алмаза и карбида и способ его изготовления | |
JP2001048667A (ja) | セラミックス部品の接合方法 | |
JP5654993B2 (ja) | 耐火性のロウ付けにより炭素部品を組立てる方法 | |
JP5270306B2 (ja) | セラミックス接合体及びその製造方法 | |
JP5143607B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP6059523B2 (ja) | シリカ接合体及びその製造方法 | |
JP2016137536A (ja) | 砥石、及びその製造方法 | |
JP5231064B2 (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP2012106929A (ja) | 多孔質体の製造方法 | |
JP2012240126A (ja) | 超砥粒砥石 | |
JP2006093492A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP5340755B2 (ja) | セラミックス多孔体及びその製造方法 | |
JP2011011929A (ja) | セラミックス多孔質焼結体、半導体製造装置用部品及びシャワープレート並びにセラミックス多孔質焼結体の製造方法 | |
JP2008028169A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4405886B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP5597155B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4954838B2 (ja) | 炭化ケイ素セラミックス材の接合方法 | |
JP4731368B2 (ja) | 真空チャック及びこれを用いた真空吸着装置 | |
JP2018168050A (ja) | アルミナ用接着剤、焼成治具及びその製造方法 |