KR101838730B1 - 반응소결 탄화규소 접합체 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후 열처리함으로써 반응소결 탄화규소 소결체 내에 존재하는 규소가 내부의 모세관 압에 의하여 상기 규소가 빠르게 재배열되는 현상을 이용하여 접합시키는 반응소결 탄화규소 접합체 및 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

반응소결 탄화규소 접합체 및 이의 제조 방법 {REACTION BONDED SILICON CARBIDE JOINING AND PREPARING METHOD OF THE SAME}

본원은, 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후 열처리하여 접합시키는 반응소결 탄화규소 접합체, 및 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법에 관한 것이다.

반응소결 탄화규소(silicon carbide, SiC)는 우수한 기계적 특성을 가지고 있으며, 특히, 고온강도, 내열성, 내부식성, 내마모성 등의 우수한 구조의 재료적 특성을 가지고 있기 때문에 엔진부품, 기계 밀봉재, 열교환기용 전열관, 및 노즐 등의 기계구조용 재료로서 널리 이용되고 있다. 그러나, 반응소결 탄화규소 등의 세라믹스는 취성 파괴와 복잡한 형상의 구조체를 제조하는데 많은 어려움이 따름으로 인하여 기대보다는 응용에 제한을 받고 있다. 그러므로, 접합 기술은 작고 단순한 모양의 세라믹스를 접합하여 복잡한 형상 또는 대형 세라믹스 제품을 저렴한 가격으로 만들기 위해 반드시 필요한 방법이다.

세라믹 재료의 접합법에는 확산접합(diffusion bonding), 용융접합(brazing) 등이 있는데, 반응소결 탄화규소의 접합에는 용융접합이 많이 이용되고 있다. SiC 모재 사이에 얇은 금속 성분의 층을 이용하여 금속이나 합금을 녹는점까지 가열하여 접합하거나 외부에서 함침에 의하여 비교적 낮은 압력에서 접합이 진행된다. 용융접합은 매우 뛰어난 접합기술로서, 확산접합과는 달리 저온에서 접합이 가능하고 특히 열처리 시 가압이라는 공정 없이 접합이 가능하다는 장점이 있다. 반응소결 탄화규소의 접합은 모재와 비슷한 조성의 접합층을 형성시키기 위하여 Si 금속을 이용하여 접합면에 직접 또는 함침을 통하여 접합하는 방법이 일반적이다. 상기 공정은 접합 과정에서 접합층을 고정시키는 방법으로 지그를 이용하며, 이 경우 조립과정에서 접합면의 정밀도가 떨어질 수 있고 함침 공정의 경우 접합 후의 외부에 잔류한 금속성분의 제거를 위한 추가 공정이 필요하다.

이와 관련하여, 대한민국 공개특허 제2011-0130368호에는, 한 쌍의 세라믹스 소결체 각각의 접합면 사이에, 탄소 원소를 포함하는 미립자를 유기용매 중에 분산시킨 접합 슬러리를 배치한 후에 건조시켜 이루어지는 미립자층을 포함하는 세라믹스 접합체의 제조 방법에 관하여 개시하고 있으나, 상기 세라믹스 접합체는 접합면에 별도의 탄소 원소를 포함하는 미립자를 추가시키는 공정을 거쳐야 하는 단점이 있다.

본원은, 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후 열처리하여 접합시키는 반응소결 탄화규소 접합체 및 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법을 제공하고자 한다.

그러나, 본원이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본원의 제 1 측면은, 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후, 열처리하여 접합시키는 것을 포함하는, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법을 제공한다.

본원의 일 구현예에 있어서, 반응소결 탄화규소 소결체의 접합하려는 접합면을 평탄하게 가공하여 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후, 열처리시킴으로써 얇은 접합층을 가지는 반응소결 탄화규소 접합체 및 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법을 제공한다.

본원의 일 구현예에 따른 반응소결 탄화규소 접합체는, 상기 열처리시키기 전에 일반 상업용으로 판매되는 접착제인 공작용 본드 또는 레진을 이용하여 상온에서 1 차적으로 접합시킴으로써 상기 접합체의 정밀성을 향상시킬 수 있고, 후 공정에서의 편의성을 도모할 수 있다.

본원의 일 구현예에 따른 반응소결 탄화규소 접합체는, 상기 반응소결 탄화규소 소결체 내에 존재하는 규소가 열처리에 의해 고온에서 용융될 때 발생하는 모세관 압에 의하여 상기 규소가 빠르게 재배열되는 현상을 이용하여 접합체를 제조할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 접합체는 접합을 위한 별도의 규소의 추가 첨가 없이 뛰어난 접합강도를 가지는 반응소결 탄화규소 접합체를 제조할 수 있고, 상기 접합 후 잔류 금속 등의 제거를 위한 추가 공정이 불필요하며, 상기 접합강도는 모재인 접합시키기 전의 반응소결 탄화규소 소결체의 강도와 유사한 강도를 나타내는 특징이 있다. 더불어, 낮은 열처리 온도로 인하여 규소의 휘발 없이 원래의 조직을 잘 유지할 수 있으며, 접합면이 균일한 규소로 얇게 접합시킬 수 있다.

도 1은 본원의 일 구현예에 있어서, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 과정의 모식도를 나타낸 것이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 있어서, 실시예 1에 따라 제조된 반응소결 탄화규소 접합체의 광학현미경(optical microscopy) 이미지이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 있어서, 실시예 2에 따라 제조된 반응소결 탄화규소 접합체의 광학현미경 이미지이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 있어서, 실시예 3에 따라 제조된 반응소결 탄화규소 접합체의 광학현미경 이미지이다.
도 5는 본원의 일 비교예 1에 따라 제조된 반응소결 탄화규소 접합체의 광학현미경 이미지이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 있어서, 실시예 4에 따라 제조된 반응소결 탄화규소 접합체의 광학현미경 이미지이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 “전기적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “약”, “실질적으로” 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “~(하는) 단계” 또는 “~의 단계”는 “~ 를 위한 단계”를 의미하지 않는다.

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합(들)”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.

본원 명세서 전체에서, “A 및/또는 B”의 기재는 “A 또는 B, 또는 A 및 B”를 의미한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본원의 구현예 및 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본원이 이러한 구현예 및 실시예와 도면에 제한되지 않을 수 있다.

본원의 제 1 측면은, 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후, 열처리하여 접합시키는 것을 포함하는, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법을 제공한다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법은 반응소결 탄화규소 소결체를 접합하여 이루어지는 접합체의 제조 방법으로서, 반응소결 탄화규소 소결체 내에 존재하는 잔류 규소가 고온에서 용융될 때 내부의 모세관 압에 의하여 규소가 빠르게 재배열되는 현상을 이용하여 접합시킬 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 접합체는 접합을 위한 별도의 규소의 추가 첨가 없이 뛰어난 접합강도를 가지는 반응소결 탄화규소 접합체를 제조할 수 있고, 상기 접합 후 잔류 금속 등의 제거를 위한 추가 공정이 불필요하며, 상기 접합강도는 모재인 접합시키기 전의 반응소결 탄화규소 소결체의 강도와 유사한 강도를 나타내는 특징이 있다. 더불어, 낮은 열처리 온도로 인하여 규소의 휘발 없이 원래의 조직을 잘 유지할 수 있으며, 접합면이 균일한 규소로 얇게 접합시킬 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 복수의 반응소결 탄화규소 소결체는 두 개 이상의 반응소결 탄화규소 소결체를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 도 1에 나타낸 바와 같이, 두 개의 반응소결 탄화규소 소결체를 접합시키는 경우, 제 1 반응소결 탄화규소 소결체(10)와 제 2 반응소결 탄화규소 소결체(20)의 접합면을 접촉시킨 후, 열처리함으로써 상기 제 1 반응소결 탄화규소 소결체(10) 및 상기 제 2 반응소결 탄화규소 소결체(20) 내에 존재하는 잔류 규소가 고온에서 용융될 때 내부의 모세관 압에 의하여 규소가 빠르게 재배열되면서 접촉부(30)가 형성되고, 동시에 상기 제 1 반응소결 탄화규소 소결체(10) 및 상기 제 2 반응소결 탄화규소 소결체(20)가 접합된다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시키기 전에 상기 반응소결 탄화규소 소결체 각각의 접합면을 평탄하게 가공하는 단계를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 평탄하게 가공한 후, 상기 접합면에 접착제를 이용하여 상기 접합면을 접촉시키는 단계를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 접착제는 일반 상업용으로 판매되는 접착제인 공작용 본드, 순간접착제, 또는 레진을 포함하는 것일 수 있으며, 상기 접착제를 이용하여 상온에서 1 차적으로 접합면을 접합시킴으로써 상기 접합체의 정밀성을 향상시킬 수 있고, 후공정에서의 편의성을 도모할 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 접착제로 접합시킨 후 열처리하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 열처리에 의하여 상기 접합면 사이에서 상기 반응소결 탄화규소 소결체 내의 규소가 재배열되어 접합부가 형성되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 반응소결 탄화규소 소결체는 용융 실리콘의 침윤방법을 이용하여 제조하고 상기 제조의 특성상 상기 반응소결 탄화규소 소결체 내에 잔류 규소가 존재하게 되는데, 상기 열처리 과정에서 상기 규소가 용융되고, 이때 상기 용융된 잔류 규소가 모세관 압에 의한 모세관 현상에 의해 접합부로 확산되면서 접합면이 형성될 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 규소가 재배열되는 접합부의 두께는 약 50㎛ 이하인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 접합면 사이의 간격은 약 50 ㎛ 이하, 약 40 ㎛ 이하, 약 30 ㎛ 이하, 약 20 ㎛ 이하, 약 10 ㎛ 이하, 또는 약 5 ㎛ 이하인 것일 수 있고, 바람직하게는 약 3 ㎛ 내지 약 30 ㎛인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 규소가 재배열되는 접합부의 두께는 상기 열처리 시 형성된 규소 액상의 재배열을 위하여 약 50 ㎛ 이하로 조절되어야 한다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 열처리는 약 1,400℃ 내지 약 1,700℃의 온도 범위에서 수행되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 열처리는 약 1,400℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,450℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,500℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,550℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,600℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,650℃ 내지 약 1,700℃, 약 1,400 내지 약 1,650℃, 약 1,400℃ 내지 약 1,600℃, 약 1,400℃ 내지 약 1,550℃, 약 1,400℃ 내지 약 1,500℃, 또는 약 1,400℃ 내지 약 1,450℃의 온도 범위에서 수행되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 바람직하게는, 상기 규소가 용융되는 온도인 약 1414℃ 이상의 온도에서 빠른 열처리를 행하여 얇은 접합층을 가지는 반응소결 탄화규소 접합체를 제조할 수 있고, 상기 온도가 약 1,700℃ 이상일 경우 규소의 휘발이 진행되어 접합체의 강도가 감소될 수 있다.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 반응소결 탄화규소 접합체의 접합 강도는 약 200 MPa 이상인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 접합 강도는 약 200 MPa 이상, 약 210 MPa 이상, 약 220 MPa 이상, 또는 약 230 MPa 이상인 것일 수 있고, 상기 접합 강도는 모재인 반응소결 탄화규소 소결체의 강도와 유사한 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.

이하, 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본원이 이에 제한되지 않을 수 있다.

[실시예]

< 실시예 1: 반응소결 탄화규소 접합체의 제조>

반응 소결법으로 제조된 탄화규소 소결체는 INOCERA에서 제조된 것으로서, SiC 분말과 탄소를 혼합한 후 상기 혼합 분말을 압축 성형하여 1,500℃ 내지 1,600℃의 온도에서 규소 함침을 이용하여 소결을 진행하여 제조된 것을 이용하였다. 상기 반응 소결법으로 제조된 탄화규소 소결체(INOCERA)의 표면을 다이아몬드 연마석(diamond disk)을 이용하여 평탄하게 가공하고, 접합하려는 두 접합면을 접촉시켜 이를 흑연 지그(jig)를 이용하여 위치를 고정시킨 후, 1,515℃ 열처리 진공로에서 10 분 동안 진공분위기로 열처리하여 반응소결 탄화규소 접합체를 제조하였다.

도 2는 상기 제조된 반응소결 탄화규소 접합체를 소결한 후 다이아몬드를 이용하여 연마 및 경면가공을 한 후 광학현미경(optical microscopy)을 이용하여 시편의 미세조직을 관찰한 이미지이다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 접합면이 균일한 규소로 얇게 잘 접합되었으며, 낮은 열처리 온도로 인하여 규소의 휘발 없이 원래의 조직을 잘 유지하고 있는 것을 확인할 수 있었다. 본 실시예 1의 상온에서의 접합 강도는 평균적으로 230 MPa 이었다.

< 실시예 2: 순간접착제를 이용한 반응소결 탄화규소 접합체의 제조>

반응 소결법으로 제조된 탄화규소 소결체(INOCERA)의 표면을 다이아몬드 연마석(diamond disk)을 이용하여 평탄하게 가공하고, 시판되는 순간접착제를 접합하려는 접합면에 얇게 바른 후 두 접합면을 접촉시켜 상온에서 1 차적으로 접합하였다. 이를 흑연 지그를 이용하여 위치를 고정시킨 후 1,515℃ 진공로에서 10 분 동안 진공분위기로 열처리하여 반응소결 탄화규소 접합체를 제조하였다.

도 3은 상기 제조된 반응소결 탄화규소 접합체를 소결한 후 다이아몬드를 이용하여 연마 및 경면가공을 한 후 광학현미경(optical microscopy)을 이용하여 시편의 미세조직을 관찰한 이미지이다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 접합면이 균일한 규소로 얇게 잘 접합되었으며, 낮은 열처리 온도로 인하여 규소의 휘발 없이 원래의 조직을 잘 유지하고 있는 것을 확인할 수 있었다. 모재인 접합 부분을 제외한 순수 반응소결 탄화규소(SiC)의 접합 강도는 약 220 MPa 내지 약 280 MPa로서, 본 실시예 2에 따른 반응소결 탄화규소 접합체의 상온에서의 접합 강도는 230 MPa 로 상기 모재 강도와 비슷하였다.

< 실시예 3: 레진을 이용한 반응소결 탄화규소 접합체의 제조>

반응 소결법으로 제조된 탄화규소 소결체(INOCERA)의 표면을 다이아몬드 연마석(diamond disk)을 이용하여 평탄하게 가공하고, 페놀레진(KANGNAM CHEMICAL. Korea) 1 g을 메탄올과 혼합하여 접합면에 얇게 바른 후 접합하려는 두 접합면을 접촉시켜 압력을 가한 후 200℃에서 1 시간 동안 유지하여 레진의 가교반응을 통해 우선 접합시켰다. 이를 흑연 지그를 이용하여 위치를 고정시킨 후 1,515℃ 진공로에서 10 분 동안 열처리하여 반응소결 탄화규소 접합체를 제조하였다.

도 4은 상기 제조된 반응소결 탄화규소 접합체를 소결한 후 다이아몬드를 이용하여 연마 및 경면가공을 한 후 광학현미경(optical microscopy)을 이용하여 시편의 미세조직을 관찰한 이미지이다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 접합면이 균일한 규소로 얇게 잘 접합되었으며, 낮은 열처리 온도로 인하여 규소의 휘발 없이 원래의 조직을 잘 유지하고 있음을 확인할 수 있었다. 본 실시예 3에 따른 반응소결 탄화규소 접합체의 상온 및 1,000℃에서의 접합 강도는 각각 214 MPa 및 239 MPa로서 모재 강도(약 220 MPa 내지 약 280 MPa)와 비슷하였고, 1,000℃에서도 강도를 유지하고 있었다.

< 비교예 1: 고온에서의 반응소결 탄화규소 접합체의 제조>

반응 소결법으로 제조된 탄화규소 소결체의 표면을 다이아몬드 연마석(diamond disk)을 이용하여 평탄하게 가공하고, 페놀레진(KANGNAM CHEMICAL. Korea) 1 g을 메탄올과 혼합하여 접합면에 얇게 바른 후 접합하려는 두 접합면을 접촉시켜 압력을 가한 후 200℃에서 1 시간 동안 유지하여 레진의 가교반응을 통해 우선 접합시켰다. 이를 흑연 지그를 이용하여 위치를 고정시킨 후, 상기 실시예들 보다 고온인 1,550℃의 진공로에서 10 분 동안 열처리하여 반응소결 탄화규소 접합체를 제조하였다.

도 5는 상기 제조된 반응소결 탄화규소 접합체를 소결한 후 다이아몬드를 이용하여 연마 및 경면가공을 한 후 광학현미경(optical microscopy)을 이용하여 시편의 미세조직을 관찰한 이미지이다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 접합면 자체는 균일한 규소로 얇게 잘 접합되었으나, 열처리 과정에서 접합면 주변의 다량의 규소가 휘발하여 많은 기공(도 5의 흑색 부분)이 형성되었음을 확인할 수 있었다. 본 비교예 1에 따른 접합체의 상온에서의 강도는 108 MPa로서, 상기 규소 휘발에 의해 접합체의 강도가 감소된 것을 확인할 수 있었다.

< 실시예 4: 고온에서의 규소 함침을 이용한 반응소결 탄화규소 접합체의 제조>

상기 비교예 1과 동일한 방법으로 접합시킨 후, 시편 주위에 규소(Si) 분말을 놓고 1,550℃ 진공로에서 10 분 동안 열처리하는 과정에서 상기 규소가 용융되어 시편 내부로의 함침을 유도하여 반응소결 탄화규소 접합체를 제조하였다. 본 실시예 4는 상기 비교예 1의 규소 휘발과 비교하여, 함침을 통해 휘발된 규소를 보충하여 미세조직이 개선되고, 이에 따라 상온에서의 접합강도가 241.14 MPa로서 모재와 비슷한 수준으로 향상된 것을 확인할 수 있었다.

도 6은 상기 접합 열처리 과정에서 함침 처리한 반응소결 탄화규소 접합체를 소결한 후 다이아몬드를 이용하여 연마 및 경면가공을 한 후 광학현미경(optical microscopy)을 이용하여 시편의 미세조직을 관찰한 이미지이다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 접합면이 균일한 규소로 얇게 잘 접합되었으나, 접합면 주변의 규소도 함침 과정을 통하여 기공이 채워져 원래의 조직을 유지하고 있음을 확인할 수 있었다.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10: 제 1 반응소결 탄화규소 소결체
20: 제 2 반응소결 탄화규소 소결체
30: 접합부

Claims (6)

1. 복수의 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시킨 후, 열처리하여 접합시키는 것
   을 포함하는 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법에 있어서,
   상기 반응소결 탄화규소 소결체 내에 존재하는 규소가 상기 열처리에 의해 고온에서 용융될 때 발생하는 모세관 압에 의하여 상기 규소가 빠르게 재배열되는 현상을 이용하여 상기 접합면이 형성되며,
   상기 반응소결 탄화규소 접합체는 접합을 위한 별도의 규소의 추가 첨가 없이 상기 접합면이 형성되는 것인,
   반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 접촉시키기 전에 상기 반응소결 탄화규소 소결체 각각의 접합면을 평탄하게 가공하는 단계를 추가 포함하는, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 반응소결 탄화규소 소결체의 접합면을 평탄하게 가공한 후, 상기 접합면에 접착제를 이용하여 상기 접합면을 접촉시키는 단계를 추가 포함하는, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법.
   
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 규소가 재배열되는 접합부의 두께는 50 ㎛ 이하인 것인, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 열처리는 1,400℃ 내지 1700℃의 온도 범위에서 수행되는 것인, 반응소결 탄화규소 접합체의 제조 방법.

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