JPWO2016031739A1 - センサ基板、リード付きセンサ基板およびセンサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1(a)は本発明の第1の実施形態のセンサ基板およびセンサ装置を示す上面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A線における断面図である。また、図2は図1のB部分を拡大して示す断面図である。絶縁基板1と、絶縁基板1の主面(図1の例では上面)に設けられた検知電極2と、検知電極2を外部接続する導電路である内部配線3とによって第1の実施形態のセンサ基板4が基本的に形成されている。また、検知電極2の露出表面21が不動態膜2aによって被覆されている。ここで検知電極2の露出表面21とは、検知電極2の表面のうち絶縁基板1に接していない部分である。
図3は、第2の実施形態のセンサ基板4における要部を示す断面図である。この要部は、第1の実施形態のセンサ基板4の接続パッド5およびその周辺に相当する。図3において図1と同様の部位には同様の符号を付している。なお、図3では絶縁基板1の下面側の接続パッド5を例として挙げているが、以下に説明する事項は、絶縁基板1の上面の接続パッド5に関しても同様である。
例えば上記第1または第2の実施形態のセンサ基板4と、検知電極2に電位を供給する電源部11とによって、実施形態のセンサ装置10が形成されている。以下の説明においては第1の実施形態のセンサ基板4に電源部11が電気的に接続されて形成されたセンサ装置10を例に挙げて説明する。第2の実施形態のセンサ基板4を用いた場合でも、以下の例と同様の効果を有するセンサ装置10を、同様の方法で製作することができる。
図4(a)は図1に示すセンサ基板4およびセンサ装置10の変形例を示す上面図であり、図4(b)は図1に示すセンサ基板4およびセンサ装置10の他の変形例を示す断面図である。図4において図1および図3と同様の部位には同様の符号を付している。
図4(a)に示す例では、検知電極2が櫛歯状パターンである。また、2つの検知電極2が、互いにかみ合うような位置関係で配置されている。この場合には、例えば平面視における絶縁基板1の大きさをできるだけ小さく抑えながら、検知電極2の検知に寄与する部分の長さをより長くすることができる。検知電極2の検知に寄与する部分の長さが長いほど、検知電極2としての抵抗値の変化が大きくなりやすい。また、ガス中の微粒子の検知が容易になる。すなわち、ガス中の微粒子の含有量が小さい場合でも、その微粒子をより確実に検知することができる。
図4(b)に示す例では、絶縁基板1の上面および下面の接続パッド5のそれぞれにリード端子6が接合されて、リード付きセンサ基板9が形成されている。リード端子6は、例えば上記のような接合層7を介して接続パッド5に接合されている。
2・・・検知電極
21・・・(検知電極の)露出表面
2a・・不動態膜
3・・・内部配線
4・・・センサ基板
5・・・接続パッド
51・・・接続パッドの露出表面
6・・・リード端子
7・・・接合層
9・・・リード付きセンサ基板
10・・・センサ装置
11・・・電源部
Claims (9)
- 主面を有する絶縁基板と、
微粒子の分解反応に対して触媒不活性な卑金属系材料からなる第1金属材料を主成分としているとともに前記絶縁基板の前記主面に設けられた検知電極とを備えており、
該検知電極の露出表面が前記第1金属材料の不動態膜によって被覆されていることを特徴とするセンサ基板。 - 前記検知電極の露出表面の全体において前記第1金属材料の不動態膜が一様な厚さであることを特徴とする請求項1記載のセンサ基板。
- 前記第1金属材料が鉄−ニッケル−クロム合金を主成分としていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のセンサ基板。
- 前記第1金属材料が鉄−クロム合金を主成分としていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のセンサ基板。
- 前記第1金属材料がケイ化モリブデンを主成分としていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のセンサ基板。
- 前記検知電極と同じ金属材料からなり、前記絶縁基板の前記主面を含む露出表面に設けられた接続パッドをさらに備えており、
該接続パッドの露出表面の少なくとも一部に、該接続パッドと同じ金属材料を主成分として含有し、アルミニウムおよびケイ素の少なくとも一方を添加材としてさらに含有する第2金属材料からなる接合層が設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のセンサ基板。 - 前記接合層が、前記接続パッドの前記露出表面から前記絶縁基板の前記主面にかけて設けられていることを特徴とする請求項6記載のセンサ基板。
- 請求項6または請求項7に記載のセンサ基板と、
前記接合層を介して前記検知電極に接合されたリード端子とを備えることを特徴とするリード付きセンサ基板。 - 請求項1〜請求項7のいずれかに記載のセンサ基板と、
前記検知電極に電位を供給する電源部とを備えることを特徴とするセンサ装置。
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