JP2014183151A - モジュール、モジュールの製造方法、電子機器、および移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モジュール1は、主面としての上面2aを有する絶縁基板2と、絶縁基板2との間に内部空間を有し、第1面5aで上面2aと接合されている蓋部材5と、内部空間に収納されている素子片3と、蓋部材5の第1面5aと表裏の関係をなす頂面5bに樹脂接着剤83によって接続されている半導体素子82と、素子片3と電気的に接続され、絶縁基板2における蓋部材5との接続領域外の上面2aに設けられている電極44,45,46と、平面視で電極44,45,46と蓋部材5との間の上面2aに、蓋部材5と同部材で形成されている突起部53と、を備えている。
【選択図】図3
Description
図1〜図3を用い、本発明の第1実施形態に係るモジュールついて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るモジュールの概略を示す斜視図である。図2は、図1に示すモジュールの概略を示す平面図であり、蓋部材を省略(透視)した図である。図3は、図2に示すモジュールのB−B線断面図である。なお、図1〜図3では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸が図示されている。以下では、X軸に平行な方向(左右方向)を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向(上下方向)を「Z軸方向」と言う。また、以下では、説明の便宜上、図2中の紙面手前側(Z軸方向)を「上」、紙面奥側(Z軸方向)を「下」、右側(X軸方向)を「右」、左側(X軸方向)を「左」と言う。なお、本実施形態では、第1機能素子としての素子片を加速度、角速度等の物理量を測定するための物理量センサー素子として説明する。
図1に示すモジュール1は、第1基材としての絶縁基板2と、この絶縁基板2に接合、支持された第1機能素子としての素子片3と、素子片3に電気的に接続された導体パターン4と、素子片3を覆うように設けられた第2基材としての蓋部材5とを有する。さらに、モジュール1は、蓋部材5に接続された第2機能素子としての半導体素子82と、絶縁基板2の蓋部材5に覆われていない上面2a(一方の面)に設けられた電極44、45、46と、平面視で蓋部材5と電極44、45、46との間に設けられた突起部53とを有する。なお、ここでの平面視とは、蓋部材5側から絶縁基板2側に向かう方向に視認した状態をいい、以降の説明でも同様な方向から視認した状態をいう。以下、モジュール1を構成する各部を順次詳細に説明する。
先ず、図2および図3を用いて第1基材としての絶縁基板2について説明する。第1基材としての絶縁基板2は、第1機能素子としての素子片3を支持する機能を有する。この絶縁基板2は、板状をなし、その主面としての上面2a(一方の面)2aには、内部空間の一部として空洞部21が設けられている。この空洞部21は、絶縁基板2を平面視したときに、後述する素子片3の可動部33、可動電極部36、37および連結部34、35を包含するように形成されていて、内底を有する。このような空洞部21は、素子片3の可動部33、可動電極部36、37および連結部34、35が絶縁基板2に接触するのを防止する逃げ部を構成する。これにより、素子片3の可動部33の変位を許容することができる。
次に、図2および図3を用いて素子片3について説明する。素子片3は、固定部31、32と、可動部33と、連結部34、35と、可動電極部36、37と、固定電極部38、39とで構成されている。この固定部31、32、可動部33、連結部34、35および可動電極部36、37は、一体的に形成されている。
導体パターン4は、前述した絶縁基板2の上面2a(固定電極部38、39側の面)上に設けられている。この導体パターン4は、配線41、42、43と、電極44、45、46とで構成されている。
次に、図1、図2および図3を用いて第2基材としての蓋部材5について説明する。蓋部材5は、前述した素子片3を保護する機能を有すると共に、後述する第2機能素子としての半導体素子82を載置する機能を有する。本実施形態の蓋部材5は、平面形状が矩形の板状をなし、その一方の面である第1面5a(下面)に内部空間の一部として第1凹部51が設けられている。この第1凹部51は、素子片3の可動部33および可動電極部36、37等の変位を許容するように形成されている。
次に、第2機能素子としての半導体素子82について説明する。第2機能素子としての半導体素子82は、例えば集積回路素子(IC)であり、モジュール1を駆動する機能を有する。半導体素子82の上面2aには、電気的接続用のボンディングパッド90が設けられており、例えば、接続部材としてワイヤーボンディング法などを用いた金属配線(ボンディングワイヤー)87により、絶縁基板2の上面2aに設けられている電極44、45、46などと接続されている。そして、電極44、45、46などを介して第1機能素子としての素子片3の各部位に接続される。この半導体素子82に角速度検出回路や加速度検出回路を形成することによりモジュール1をジャイロセンサーや加速度センサーとして構成することができる。なお、接続部材を金属配線87に代えて、例えば金バンプなどを用いた直接接合によって電気的接続を行ってもよい。
次に、モジュールの製造方法について図4を参照しながら説明する。図4(a)〜図4(d)は、モジュールの製造工程の概略を示す工程図であり、蓋部材、絶縁基板、素子片などの正断面図である。なお、同図では、ウェハー上に配列されてバッチ処理にて形成される状態、すなわち個片化される前のモジュールの製造方法を説明する。また、前述と同じ構成には、同符号を付して説明を省略することもある。
図5を用いて本発明に係るモジュールの第2実施形態について説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係るモジュールの概略を示し、(a)は平面図、(b)は正断面図である。なお、本第2実施形態の説明では、前述した第1実施形態と同様な構成については同符号を付し説明を省略する。なお、図5(a)は、モジュールを構成するモールド部材を省略した状態を示している。
次いで、本発明の一実施形態に係るモジュール1を適用した電子機器について、図6〜図8に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、角速度を検出する素子片3を備えたモジュール1を適用した例を示している。
図9は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車106には本発明に係るモジュール1が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車106にはモジュール1を内蔵してタイヤ109などを制御する電子制御ユニット108が車体107に搭載されている。また、モジュール1は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
次に、第2機能素子としての半導体素子82について説明する。第2機能素子としての半導体素子82は、例えば集積回路素子(IC)であり、モジュール1を駆動する機能を有する。半導体素子82の上面には、電気的接続用のボンディングパッド90が設けられており、例えば、接続部材としてワイヤーボンディング法などを用いた金属配線(ボンディングワイヤー)87により、絶縁基板2の上面2aに設けられている電極44、45、46などと接続されている。そして、電極44、45、46などを介して第1機能素子としての素子片3の各部位に接続される。この半導体素子82に角速度検出回路や加速度検出回路を形成することによりモジュール1をジャイロセンサーや加速度センサーとして構成することができる。なお、接続部材を金属配線87に代えて、例えば金バンプなどを用いた直接接合によって電気的接続を行ってもよい。
Claims (9)
- 第1基材と、
前記第1基材との間に内部空間を有し、前記第1基材の主面に接合されている第2基材と、
前記内部空間に収納されている第1機能素子と、
前記第2基材の頂面に接合材によって接続されている第2機能素子と、
前記第1機能素子と電気的に接続され、前記第1基材における前記第2基材との接続領域外の前記主面に設けられている電極と、を備え
平面視で前記電極と前記第2基材との間の前記主面に前記第2基材と同部材で設けられている突起部を備えていることを特徴とするモジュール。 - 前記突起部と前記第2基材との間隔は、前記主面側よりも前記突起部の先端側の方が大きいこと特徴とする請求項1に記載のモジュール。
- 前記第2基材は、前記突起部が設けられている側の側面が斜面になっていることを特徴とする請求項1に記載のモジュール。
- 前記第2機能素子は、前記第2基材の前記頂面から前記電極側に張り出して接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のモジュール。
- 前記第1基板の前記主面には溝が設けられ、
前記第1機能素子と前記電極とは、前記溝内に設けられた配線により電気的に接続され、
前記突起部と前記第2基材との間の空隙に設けられた封止部材により前記溝が埋められていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のモジュール。 - 第1の壁部を有する第1凹部と第2の壁部を有する第2凹部とを第1面に備えている第2基材、および空洞部を前記第2基材との主面に備えている第1基材とを用意する工程と、
前記第1凹部と前記空洞部とが対向するように前記第2基材と前記第1基材とを接合する工程と、
前記第2の壁部の一部が残るように、前記第2凹部および前記第2の壁部が形成された領域の前記第2基材を除去する工程と、
を含むことを特徴とするモジュールの製造方法。 - 前記第2基材を除去する工程では、ハーフダイシング加工を用いることを特徴とする請求項6に記載のモジュールの製造方法。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のモジュールを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のモジュールを備えていることを特徴とする移動体。
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