JP2019211218A - 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、走行支援システム、表示装置、および物理量センサーの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着材によるセンサー素子と回路素子との接着性を向上させ、バイアス出力信号の変動を減少させた物理量センサーを提供する。【解決手段】内部に収納空間を構成するように基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納されている物理量センサー素子片を含む物理量センサー素子と、前記蓋の外面に接着材を介して接着されている回路素子とを含み、前記蓋は、前記収納空間と前記反対側の面との間を貫通し、封止部材によって封止されている貫通孔の内壁から、前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に亘って電極が設けられ、断面視で、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記開口側よりも前記開口側とは反対側の方が薄い。【選択図】図１

Description

本発明は、物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、走行支援システム、表示装置、および物理量センサーの製造方法に関する。

従来、物理量センサーとして、蓋に設けられた貫通孔を封止材によって封止することにより、容器の内部を密閉空間としたＳｉ‐ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）加速度センサーが開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、Ｓｉ‐ＭＥＭＳ加速度センサーの蓋上に配置された制御回路素子であるＩＣ（integrated circuit）が、貫通孔を覆うように積層され、エポキシ系接着材により接着固定された構造が開示されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１５−０５２４５６号公報 特開２０１５−２０３５８４号公報

しかしながら、上述の構造では、蓋の表面の貫通孔の周縁に設けられている電極の厚さによる段差に起因して、蓋とＩＣとの接着性が部分的に不安定になり接着部に応力が生じてしまう虞があった。

本願の物理量センサーは、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、を含み、前記蓋は、前記収納空間と前記反対側の面との間を貫通し、封止部材によって封止されている貫通孔の内壁から、前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に亘って電極が設けられ、断面視で、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記開口側よりも前記開口側とは反対側の方が薄いことを特徴とする。

上述の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記貫通孔から離れるに従って、漸減していることが好ましい。

上述の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の外縁は、傾斜面を含むことが好ましい。

上述の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の表面は、曲面状であることが好ましい。

上述の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の表面は、階段状であることが好ましい。

上述の物理量センサーにおいて、前記蓋の前記回路素子と重なる領域は、前記電極の形成領域と、前記電極の未形成領域と、を含むことが好ましい。

上述の物理量センサーにおいて、前記物理量は加速度であることが好ましい。

本願の複合センサーは、上記の物理量センサーと、角速度センサーと、を含むことを特徴とする。

本願の慣性計測ユニットは、上記の物理量センサーと、角速度センサーと、前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。

本願の移動体測位装置は、上記の慣性計測ユニットと、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする。

本願の携帯型電子機器は、上記の物理量センサーと、前記物理量センサーが収納されているケースと、前記ケースに収納され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、前記ケースに収納されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする。

上述の携帯型電子機器において、衛星測位システムを含み、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することが好ましい。

本願の電子機器は、上記のいずれかに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。

本願の移動体は、上記のいずれかに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。

上述の移動体において、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくともいずれかのシステムを含み、前記制御部は、前記検出信号に基づいて前記システムを制御することが好ましい。

本願の走行支援システムは、上記のいずれかに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーで検出された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御する制御部と、を含み、自動運転の実施、或いは不実施は、前記物理量センサーからの検出信号の変化に応じて切り替えられることを特徴とする。

本願の表示装置は、ユーザーの頭部に装着され、前記ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、上記のいずれかに記載の物理量センサーと、を含み、前記物理量センサーは、装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、を含んで構成されていることを特徴とする。

本願の物理量センサーの製造方法は、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合され、前記収納空間と前記収納空間と反対側の面との間を貫通する貫通孔が設けられている蓋、および前記収納空間に収納されている物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子を用意する工程と、前記貫通孔の内部、および前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に電極を形成するためのマスクを、前記蓋に載置する工程と、前記マスクを介し、前記貫通孔の内部、および前記周縁に電極を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記貫通孔を封止する工程と、前記蓋の前記反対側の面に、接着材を介して回路素子を接着する工程と、を含み、前記マスクは、前記貫通孔に対向するように貫通部が形成され、前記貫通部の前記蓋に対応している側の周縁に沿って切欠き部が形成されていることを特徴とする。

上述の物理量センサーの製造方法において、前記電極を形成する工程は、スパッタリング法、または真空蒸着法を用いて電極を形成することが好ましい。

物理量センサーの一例としての加速度センサーの概略構成を模式的に示す断面図。 Ｘ軸加速度を検出する加速度センサーの概略構成を模式的に示す平面図。 図１のＤ部の拡大断面図。 図４をＺ軸方向から見た平面図であり、図１のＤ部の拡大図。 貫通孔の開口の外縁における金属層の構成を模式的に示す断面図であり、図３のＰ部の拡大図。 貫通孔の開口の外縁における金属層の従来の構成例を示す部分拡大図（断面図）。 貫通孔の封止構造を示す断面図であり、図１のＤ部の拡大図。 加速度センサーの主要な製造工程を示すフローチャート。 加速度センサーの製造工程を説明する模式断面図。 加速度センサーの製造工程を説明する模式断面図。 加速度センサーの製造工程を説明する模式断面図。 加速度センサーの製造工程を説明する模式断面図。 加速度センサーの製造工程を説明する模式断面図。 マスクの概略構成を示す断面図。 マスクの概略構成を示す平面図。 貫通孔の開口の外縁における金属層の構成の変形例１を示す部分拡大図（断面図）。 貫通孔の開口の外縁における金属層の構成の変形例２を示す部分拡大図（断面図）。 貫通孔の開口の外縁における金属層と回路素子との接着領域を例示する平面図。 Ｚ軸加速度を検出する加速度センサーの概略構成を模式的に示す平面図。 物理量センサーデバイス（加速度センサーデバイス）の概略構成を示す断面図。 複合センサーの概略構成を示す機能ブロック図。 慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図。 慣性計測ユニットの慣性センサー素子の配置例を示す斜視図。 移動体測位装置の全体システムを示すブロック図。 移動体測位装置の作用を模式的に示す図。 携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図。 携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図。 電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。 電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図。 電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。 移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図。 走行支援システムの概略的な構成を示す図。 走行支援システムの概略的な構成を示す機能ブロック図。 頭部装着型表示装置の概略構成を示す説明図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下で説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。また、各図では、説明の便宜上、一部の構成要素を省略することがある。また、各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、以下では、説明の便宜上、各図において、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、Ｚ軸の矢印の方向である＋Ｚ軸側を「上」もしくは「上方」、−Ｚ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。また、Ｘ軸およびＹ軸についても矢印の方向を「＋」方向とする。

＜加速度センサー＞
（加速度センサーの構成）
先ず、図１、図２、図３、および図４を参照しながら、物理量センサーの一例としての加速度センサーについて説明する。図１は、物理量センサーの一例としての加速度センサーの概略構成を模式的に示す断面図である。図２は、Ｘ軸加速度センサーの概略構成を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図２では、蓋体を透視して図示している。図３は、図１のＤ部の拡大断面図である。図４は、図３をＺ軸方向から見た平面図であり、図１のＤ部の拡大図である。

図１に示すように物理量センサーの一例としての加速度センサー１は、略矩形平板状の基板１２と、基板１２と向き合う側に凹部６４ａが設けられ、基板１２に接合部材６３を介して接合されている蓋としての蓋体６４と、基板１２と蓋体６４との間に設けられている物理量センサー素子片としての機能素子１０３と、を含む物理量センサー素子としてのセンサーユニット１０、および蓋体６４の面であって、機能素子１０３の側とは反対側の面である外面６４ｂに接着されているＩＣ（integrated circuit）として構成された回路素子１２０を備えている。

機能素子１０３は、基板１２上に接合された図示しない半導体基板（シリコン基板）に対して、フォトリソグラフィー法、およびエッチング法を用いることにより形成されている。なお、機能素子１０３は、図２に示すように、第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２を含む固定電極部１０４と、第１可動電極指６１１および第２可動電極指６２１を含む可動電極部１０６と、固定部１５１と、可動部１５２とを含んで構成されている。機能素子１０３は、物理量センサー素子片としての、加速度を検出する加速度センサー素子片として機能する。

基板１２は、Ｚ軸と直交する平面であって、複数の固定電極部１０４などと接合される主面１６を有している。主面１６は、−（マイナス）Ｘ方向の端部に端子部２０が設けられ、端子部２０以外の領域は、主面１６側に凹部６４ａを有する蓋体６４により覆われている。主面１６の略中央部には、可動電極部１０６と基板１２との干渉を回避するために平面形状が略矩形状の凹部２２が設けられている。これにより、可動電極部１０６の可動領域（変位領域）は、平面視で凹部２２内に収まることになる。

図２に示すように、主面１６の端子部２０の側のＹ軸方向中央部には、凹部２２に向い、Ｘ軸に沿って延びる第１溝部２４が設けられている。また、主面１６の端子部２０の側の第１溝部２４のＹ軸方向の一方の側には、第１溝部２４の外周に沿って第２溝部２６が設けられている。さらに、主面１６の端子部２０側には、第１溝部２４を挟んで第２溝部２６の反対側に第３溝部２８が設けられている。第１溝部２４、第２溝部２６、および第３溝部２８は、第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２との接続部３８，４４，４８（図１参照）まで設けられている。なお、接続部３８，４４，４８は、導電性を有している。

基板１２の構成材料としては、ガラス、高抵抗シリコンなどの絶縁材料を用いるのが好ましい。特に、固定電極部１０４、可動電極部１０６、固定部１５１、および可動部１５２となる半導体基板が、シリコンなどの半導体材料を主材料として構成されている場合には、基板１２の構成材料として、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス（例えば、パイレックス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、加速度センサー１は、基板１２と半導体基板とを陽極接合することができる。また、加速度センサー１は、基板１２にアルカリ金属イオンを含むガラスを用いることにより、基板１２と半導体基板とを容易に絶縁分離することができる。

なお、基板１２は、必ずしも絶縁性を有さなくてもよく、例えば低抵抗シリコンからなる導電性基板であってもよい。この場合は、基板１２と半導体基板との間に絶縁膜を挟んで双方を絶縁分離することになる。また、基板１２の構成材料は、半導体基板の構成材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいことが好ましく、具体的には、基板１２の構成材料と半導体基板の構成材料との熱膨張係数差が３ｐｐｍ／℃以下であることが好ましい。これにより、加速度センサー１は、基板１２と半導体基板との間の残留応力を低減することができる。本形態では、基板１２の主材料としてガラスを用いることを想定している。

第１溝部２４の底面には、第１溝部２４に沿って第１配線３０が設けられている。第１配線３０は、第１固定電極指４１２と電気的に接続される配線である。また、第２溝部２６の底面には、第２溝部２６に沿って第２配線３６が設けられている。第２配線３６は、第２固定電極指４２２と電気的に接続される配線である。また、第３溝部２８の底面には、第３溝部２８に沿って第３配線４２が設けられている。第３配線４２は、後述する固定部１５１と電気的に接続される配線である。なお、第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２の各端部（端子部２０に配置される端部）は、それぞれ第１端子電極３４、第２端子電極４０、第３端子電極４６となる。

第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２の構成材料としては、それぞれ導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ₃Ｏ₃、ＳｎＯ₂、Ｓｂ含有ＳｎＯ₂、Ａｌ含有ＺｎＯなどの酸化物（透明電極材料）、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、またはこれらを含む合金などが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

また、接続部３８，４４，４８の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌなどの金属単体またはこれらを含む合金などの金属が好適に用いられる。なお、接続部３８，４４，４８は、例えば、基板１２の各溝部の底面から突出した突起が各配線に覆われている構成としてもよい。また、第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２の、第１端子電極３４、第２端子電極４０、第３端子電極４６および接続部３８，４４，４８を除く領域は、他の構成要素との短絡を回避するために、例えば、ＳｉＯ₂を含む絶縁膜（不図示）で覆われていることが好ましい。

なお、加速度センサー１は、各配線の構成材料が透明電極材料（特にＩＴＯ）であれば、基板１２が透明であった場合、第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２の面上に存在する異物などを基板１２の主面１６側とは反対側の面から容易に視認することができ、検査を効率的に行うことができる。

ここで、物理量としてのＸ軸の加速度を検出可能な機能素子１０３の構成について図２を参照して説明する。機能素子１０３は、加速度センサー素子としてＸ軸方向の加速度Ａｘ（物理量）を検出する機能を有している。

図２に示すように、機能素子１０３は、基板１２に取り付けられている固定電極部１０４と、基板１２に対してＸ軸方向（物理量の検出軸方向）にバネ部１５３を介して変位可能な可動部１５２と、可動部１５２に設けられている可動電極部１０６と、を有している。なお、バネ部１５３は、固定部１５１によって基板１２に固定されている。

固定電極部１０４は、Ｙ軸方向（検出軸に交差（本実施形態では直交）する方向）に沿って並んで配置されている第１固定電極部１４１および第２固定電極部１４２を有している。第１固定電極部１４１は、第１幹部４１１と、第１幹部４１１のＹ軸方向の両側に設けられ、長手方向が第２方向に沿っている複数の第１固定電極指４１２と、を有している。第２固定電極部１４２は、第２幹部４２１と、第２幹部４２１からＹ軸方向の両側に設けられ、長手方向が第２方向に沿っている複数の第２固定電極指４２２と、を有している。

可動電極部１０６は、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている第１可動電極部１６１および第２可動電極部１６２を有している。第１可動電極部１６１の少なくとも一部は、第１幹部４１１のＹ軸方向の両側に位置され、長手方向がＹ軸方向に沿って、第１固定電極指４１２とＸ軸方向に対向している複数の第１可動電極指６１１を有している。第２可動電極部１６２の少なくとも一部は、第２幹部４２１のＹ軸方向の両側に位置され、長手方向が第２方向に沿って、第２固定電極指４２２とＸ軸方向に対向している複数の第２可動電極指６２１を有している。

加速度センサー１は、第１固定電極指４１２と、第１固定電極指４１２にＸ軸方向に対向している第１可動電極指６１１との間、および第２固定電極指４２２と、第２固定電極指４２２にＸ軸方向に対向している第２可動電極指６２１との間でコンデンサーが形成される。この状態で、加速度センサー１に、例えば、Ｘ軸方向に沿った加速度が印加されると、第１可動電極部１６１の第１可動電極指６１１、および第２可動電極部１６２の第２可動電極指６２１が慣性によりＸ軸方向に変位する。加速度センサー１は、この変位によって生じるコンデンサーの静電容量の変化を検出することにより、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出することができる。

加速度センサー１は、このような構成とすることで、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２間の静電容量、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２間の静電容量を十分に大きく保ちつつ、第１固定電極指４１２と第２固定電極指４２２、および第１可動電極指６１１と第２可動電極指６２１をそれぞれ短くすることができる。そのため、加速度センサー１は、第１固定電極指４１２、第２固定電極指４２２、第１可動電極指６１１、および第２可動電極指６２１が破損し難く、優れた耐衝撃性を有することができる。

なお、図示はしないが、図２に示して説明したＸ軸の加速度Ａｘを検出可能な加速度センサー１は、基板１２と、基板１２に設けられた機能素子１０３とがＹ軸方向に沿って並ぶ方向に配置することによって、Ｙ軸方向の加速度Ａｙを検出可能な加速度センサーとすることができる。

蓋体６４は、図１、図３、および図４に示すように、凹部６４ａ（キャビティー（収納空間）Ｓ側の内面である天井面６４ｅ）と、キャビティー（収納空間）Ｓの側と反対側の面である外面６４ｂとの間を貫通する貫通孔としての孔部９０を有している。貫通孔としての孔部９０は、外面６４ｂ側に設けられている凹み部９１と、凹み部９１と連通し凹部６４ａ側に設けられている連通孔部９２とを含んで構成されている。

凹み部９１は、底部９５と、外面６４ｂから所定の角度で内側に向かって傾斜する、換言すれば外面６４ｂ側の平面積が底部９５側の平面積より大きくなるように４つの内壁を有している。そして、４つの内壁は、外面６４ｂに対して所定の角度で傾斜する傾斜壁面９１ａで構成されている。つまり、凹み部９１は、傾斜壁面９１ａと、底部９５とを備えた、断面形状が略台形をなした略四角錐状に設けられている。

そして、図３および図４に示すように、凹み部９１の傾斜壁面９１ａおよび底部９５には、電極としての金属層９３が設けられている。換言すれば、金属層９３によって、傾斜壁面９１ａおよび底部９５が被覆されている。

このように、凹み部９１は、傾斜壁面９１ａおよび底部９５に金属層９３が設けられていることにより、傾斜壁面９１ａおよび底部９５と、後述する封止部材９４との接合強度を高めることができる。なお、凹み部９１が、外面６４ｂ側の開口面積が広くなるような四角錐状をなしているため、金属層９３を容易に形成することができる。

ここで金属層９３の構成について、図５、図６、および図７も併せて参照しながら説明する。図５は、貫通孔の開口の外縁における金属層の構成を模式的に示す断面図であり、図３のＰ部の拡大図である。図６は、貫通孔の開口の外縁における金属層の従来の構成例を示す部分拡大図（断面図）である。図７は、貫通孔の封止構造を示す断面図であり、図１のＤ部の拡大図である。

本願発明者は、加速度センサー１から出力されるバイアス出力信号に変動が生じてしまう要因として、センサーユニット１０と、センサーユニット１０の蓋体６４の表面に接着材１２１を介して接着される回路素子１２０と、の積層状態に着目し、要因を特定した。本願発明者は、後段で詳述するが、図６に示すように、従来の貫通孔である孔部９０ａの開口の外縁における金属層９３ａにおいて、周縁の端部９３ｓの部分に金属層９３ａの厚さによる段差があることによって、接着材１２１ａと金属層９３ａの周縁の端部９３ｓとの間に気泡（ボイド）Ｂｄが滞留し易くなることを見出した。

そして、加速度センサー１が動作温度の範囲（例えば、−４０℃〜＋８５°）で動作しているとき、この気泡Ｂｄの周辺で生じる熱応力の不均等に起因して生じる歪が、基板１２と蓋体６４から構成される容器に伝達され、伝達された歪が機能素子（物理量センサー素子片）１０３に伝達されることによって、バイアス出力信号に影響を及ぼしていることを突き止めた。本願発明者は、この気泡Ｂｄの周辺で生じる熱応力の不均等に起因して生じる歪を低減するために、シミュレーション、および実験、並びに検証を繰り返し、貫通孔の開口の外縁における金属層９３を、歪の生じ難い構成とすることができた。

本実施形態の金属層９３は、図４および図５に示されているように、凹み部９１の内側壁を構成する傾斜壁面９１ａから、凹み部９１の外面６４ｂにおける開口の周縁に亘って設けられている。そして、外面６４ｂに設けられた金属層９３の、凹み部９１の開口の周縁の領域は、凹み部９１に近い領域であって、Ｙ軸方向からの断面視で、厚さｔ１がほぼ同じである平面Ｆを有する領域ＡＬ１と、領域ＡＬ１の凹み部９１の側と反対側にあって、凹み部９１から離れるに従って電極としての金属層９３の厚さが漸減している傾斜面Ｈを有する漸減領域ＡＬ２を備えている。換言すれば、外面６４ｂに設けられた金属層９３の凹み部９１の開口の周縁の領域は、凹み部９１の開口側の金属層９３の厚さｔ１よりも、凹み部９１の開口側と反対側（位置）の金属層９３の厚さｔ２の方が薄い領域を有している。このように、漸減領域ＡＬ２は、凹み部９１から離れるに従って金属層９３の厚さｔ２が漸減している。即ち、外面６４ｂに設けられた金属層９３の凹み部９１の開口の周縁の領域は、孔部９０から離れるに従って、金属層９３の厚さが漸減している漸減領域ＡＬ２を備えている。このような構成により、蓋体６４の外面６４ｂにおける金属層９３は、凹み部９１と反対側の周端部の厚さによる段差を殆んど生じない構成となる。

連通孔部９２は、平面形状が円形に形成されている。また、連通孔部９２は、平面積が底部９５の平面積より小さくなるように形成されている。また、連通孔部９２は、内壁面９２ａの少なくとも一部（ここでは全部）が、底部９５に対して略直角（±７度程度の傾斜は許容範囲内）となるように形成されている。つまり、連通孔部９２は、内壁面９２ａが円筒状に形成されていることになる。なお、連通孔部９２は、底部９５の略中央部に設けられていることが、後述する封止の信頼性の観点から好ましい。

このように、連通孔部９２を平面視で円形とすることにより、応力集中を抑制することができる。連通孔部９２の設けられている蓋体６４は、蓋体６４の厚さが比較的薄い部分である底部９５と凹部６４ａ側の天井面６４ｅとの間に位置している。したがって、応力によるクラックの発生などの影響を受けやすく、応力集中を抑制できることによる破損防止効果が顕著となる。

貫通孔としての孔部９０は、封止部材９４により封止されている。詳述すると、図７に示すように、蓋体６４が基板１２の主面１６に、例えば、接着剤を用いた接合法、陽極接合法、直接接合法などを用いて気密に接合（固定）された後、封止部材９４の一部が、凹み部９１内に収まるように連通孔部９２上に載置される。その後、レーザービームや電子ビームなどが封止部材９４に照射され、溶融した封止部材９４が凹み部９１内に濡れ広がり、連通孔部９２が封止（閉塞）される。ここで用いられる封止部材９４は、連通孔部９２の直径よりも大きく、且つ凹み部９１に収容可能な球体で構成されている。

なお、蓋体６４が接合部材６３を介して基板１２に接合され、基板１２の凹部２２と蓋体６４の凹部６４ａとを含んで構成される空間をキャビティー（収納空間）Ｓとする。孔部９０の封止により気密に封止された加速度センサー１のキャビティー（収納空間）Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されて大気圧に近い状態、または減圧状態（真空度の高い状態）となっている。

蓋体６４の凹部６４ａの内壁面６４ｃは、基板１２との接合面６４ｄに対して略直角（±７度程度の傾斜は許容範囲内）に形成されている。蓋体６４の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、シリコン、ガラスなどを好適に用いることができる。ここでは、蓋体６４の主材料としてシリコンを用いることを想定している。また、蓋体６４は、シリコンの（１００）面が外面６４ｂに沿っていることが、本実施形態の形状を確実に形成する上で好ましい。このような、シリコン基板を用いることにより、上述した、平面視で矩形形状（略四角錐状）の凹み部９１を容易に構成することができる。

なお、封止部材９４の構成材料としては、特に限定されないが、Ａｕ−Ｇｅ合金、Ａｕ−Ｓｎ合金、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｐｂ−Ａｇ合金などを好適に用いることができる。また、金属層９３の構成としては、特に限定されないが、Ｔｉ−Ｗ合金の下地層にＡｕが積層された構成、Ｃｒの下地層にＡｕが積層された構成などを好適に用いることができる。

また、上述では、孔部９０の構成を、凹み部９１の１段構成としたが、これに限らない。孔部９０の構成としては、例えば凹み部９１を分段した２段構成としたり、３段構成の凹部を形成したりするなどの多段構成とすることも可能である。

回路素子１２０は、接着材１２１を介してセンサーユニット１０の上面に接着されている。即ち、回路素子１２０は、孔部９０と重なる領域の蓋体６４の外面６４ｂ上に、接着材１２１を介して接着されている。なお、接着材１２１としては、センサーユニット１０上に回路素子１２０を固定することができれば、特に限定されず、例えば、半田、銀ペースト、樹脂系接着材（ダイアタッチ材）等を用いることができる。

回路素子１２０には、例えば、加速度センサー１を駆動する駆動回路や、加速度センサー１からの信号に基づいて加速度Ａｘを検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。また、回路素子１２０は、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤー（不図示）を介して基板１２の第１端子電極３４、第２端子電極４０、第３端子電極４６に電気的に接続されている。これにより、センサーユニット１０を含む加速度センサー１を制御することができる。

上述したような加速度センサー１によれば、蓋体６４の面であって物理量センサー素子片の側とは反対側の外面６４ｂに設けられている貫通孔としての孔部９０の開口の周縁に亘って設けられた金属層９３の周縁の領域が、Ｙ軸方向からの断面視で、孔部９０の開口から離れるに従って、厚さが漸減するように構成されている。即ち、金属層９３の周縁の領域の厚さが、孔部９０の開口側よりも該開口側と反対側の方が薄くなっている。これにより、金属層９３の周縁の端部において、金属層９３の厚さによる段差が小さくなり、接着材１２１による蓋体６４と回路素子１２０との接着の安定性を向上させることができ、接着材１２１に生じる歪（応力）を減少させることができる。その結果、接着材１２１に生じる歪み応力に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

また、金属層９３の周縁の領域の厚さが、孔部９０の開口側よりも該開口から離れた位置の方が薄かったり、孔部９０の開口から離れるに従って厚さが小さくなる傾斜面であったりしていてもよい。このような構成によれば、孔部９０の開口側よりも、孔部９０の開口から離れた領域の金属層９３、即ち金属層９３の周縁の端部の厚さによる段差が小さくなり、接着材１２１による蓋体６４と回路素子１２０との接着の安定性を向上させることができる。

（加速度センサーの製造方法）
次に、図８、図９Ａ〜図９Ｅ、図１０Ａ、および図１０Ｂを参照しながら、物理量センサーの一例として上述した加速度センサー１の製造方法について説明する。図８は、加速度センサーの主要な製造工程を示すフローチャートである。図９Ａ〜図９Ｅは、加速度センサーの主要な製造工程を説明する模式断面図である。なお、図９Ａ〜図９Ｅの各図の断面位置は、図１と同様である。また、前述した加速度センサー１の構成部位には、同符号を付している。また、図１０Ａは、マスクの概略構成を示す断面図である。また、図１０Ｂは、マスクの概略構成を示す平面図である。

図８に示すように、本形態に係る加速度センサー１の製造方法は、物理量センサー素子を用意する工程Ｓ１０１と、マスクを蓋体に載置する工程Ｓ１０３と、電極を形成する工程Ｓ１０５と、マスクを除去する工程Ｓ１０７と、貫通孔を封止する工程Ｓ１０９と、回路素子を接着する工程Ｓ１１１と、を含んでいる。

[物理量センサー素子を用意する工程Ｓ１０１]
先ず、工程Ｓ１０１では、図９Ａに示すように、物理量センサー素子としてのセンサーユニット１０を用意する。センサーユニット１０は、略矩形平板状の基板１２と、基板１２と向き合う側に凹部６４ａが設けられ、基板１２に接合されている蓋としての蓋体６４と、基板１２と蓋体６４との間に収納空間Ｓに設けられている物理量センサー素子片としての機能素子１０３と、を含み構成されている。なお、蓋体６４には、凹部６４ａから機能素子１０３の側とは反対側の面である外面６４ｂとの間を貫通する貫通孔としての孔部９０が設けられている。

[マスクを蓋体に載置する工程Ｓ１０３]
次に、工程Ｓ１０３では、図９Ｂに示すように、蓋体６４の外面６４ｂの側に、蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に、電極としての金属層９３を形成するためのマスク１５０を載置する。

マスク１５０は、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、基材１５０ｂと、基材１５０ｂに設けられている開口部１８０とが備えられている、いわゆる開口マスクである。そして、マスク１５０は、金属層９３の形成領域である蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に、開口部１８０が対向するように位置決めし、蓋体６４上に載置する。なお、マスク１５０は、蓋体６４の外面６４ｂに当接させてもよい。

開口部１８０は、蓋体６４の孔部９０、および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁のうちの開口側の領域である周縁領域に対向して設けられた貫通部１８１と、マスク１５０の蓋体６４に当接する側の面である対向面としての下面１５０ｒに、貫通部１８１の外縁から貫通部１８１と離間する方向に延在する凹状部である切欠き部１８２と、を含み形成されている。開口部１８０は、貫通部１８１と切欠き部１８２とによって、マスク１５０の下面１５０ｒと下面１５０ｒと反対側の面である上面１５０ｆとを貫通している。なお、切欠き部１８２の外縁は、蓋体６４の外面６４ｂに形成される金属層９３の外縁の端部よりも外側に位置するように設けられることが望ましい。

上述のような切欠き部１８２を設けたマスク１５０を用いることにより、後述の工程Ｓ１０５の説明で詳述する金属層９３の形成において、蓋体６４の外面６４ｂに設けられる金属層９３の凹み部９１の開口の周縁の領域に、孔部９０から離れるに従って、厚さが漸減している漸減領域ＡＬ２を容易に形成することができる。

なお、マスク１５０は、例えばステンレスなどの金属板やシリコン基板などの基材１５０ｂに、金属層９３を形成するためにパターニングされた開口部１８０を設けたものを適用することができる。特に、マスク１５０の基材１５０ｂにシリコン基板を用いた場合は、蓋体６４にマスク１５０を載置したときの蓋体６４とマスク１５０との密着性を向上させることができ、後述する金属層９３の形成精度を高めることができる。

[電極を形成する工程Ｓ１０５]
次に、工程Ｓ１０５では、図９Ｃに示すように、例えばスパッタリング法などを用い、蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に、電極としての金属層９３を形成する。スパッタリング法では、金属層９３の原料となるターゲット金属から弾き出された金属粒子Ｓｐが、マスク１５０の開口部１８０によって選択的に蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の外縁領域に付着・堆積させることによって金属層９３を形成する。金属層９３の構成としては、特に限定されないが、Ｔｉ−Ｗ合金の下地層にＡｕが積層された構成、Ｃｒの下地層にＡｕが積層された構成などを好適に用いることができる。なお、金属層９３の形成では、スパッタリング法に替えて、真空蒸着法を用いることもできる。

このように、上述のマスク１５０を用い、スパッタリング法、または真空蒸着法を適用することにより、蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に、孔部９０から離れるに従って、厚さが漸減している漸減領域ＡＬ２を有する金属層９３を容易に形成することができる。

詳述すれば、ターゲット金属から弾き出された金属粒子Ｓｐは、マスク１５０の開口部１８０に向かって飛翔する。このとき、開口部１８０のうちの貫通部１８１では、遮蔽されることなく金属粒子Ｓｐが蓋体６４に到達する。そして、貫通部１８１の周囲の領域は、貫通部１８１の周囲に設けられた凹状部である切欠き部１８２に侵入した金属粒子Ｓｐが到達する。このように切欠き部１８２に侵入する金属粒子Ｓｐは、貫通部１８１から離間するに従って侵入量が減少することから堆積する金属粒子が漸減することになる。したがって、蓋体６４の孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に、孔部９０から離れるに従って、厚さが漸減している漸減領域ＡＬ２を有する金属層９３を容易に形成することができる。

[マスクを除去する工程Ｓ１０７]
次に、工程Ｓ１０７では、図９Ｄに示すように、蓋体６４上のマスク１５０を除去する。これにより、孔部９０の内部および外面６４ｂにおける孔部９０の開口の周縁領域に金属層９３が形成された蓋体６４が露出する。

[貫通孔を封止する工程Ｓ１０９]
次に、工程Ｓ１０９では、図９Ｄに示すように、孔部９０を封止部材９４によって封止する。この工程Ｓ１０９では、収納空間Ｓが、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されて大気圧に近い状態、または減圧状態（真空度の高い状態）において、球状の封止部材９４を、孔部９０の凹み部９１内に連通孔部９２を覆うように載置する。そして、不図示のレーザービームや電子ビームなどを球状の封止部材９４に照射して封止部材９４を溶融し、溶融した封止部材９４を凹み部９１内に濡れ広がらせ、孔部９０（連通孔部９２）を封止（閉塞）する。この際、凹み部９１が断面形状が略台形をなした略四角錐状に設けられていることから、球状の封止部材９４と、凹み部９１の四つの角部に隙間を生じることになり、球状の封止部材９４をセットした状態で、キャビティー（収納空間）Ｓの雰囲気調整をする場合の排気などの空気の出し入れを容易に行うことができる。なお、封止部材９４の構成材料としては、特に限定されないが、Ａｕ−Ｇｅ合金、Ａｕ−Ｓｎ合金、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｐｂ−Ａｇ合金などを好適に用いることができる。

[回路素子を接着する工程Ｓ１１１]
次に、工程Ｓ１１１では、図９Ｅに示すように、蓋体６４の外面６４ｂに接着材１２１を介して回路素子１２０を接着する。回路素子１２０は、図示されていない複数の電極パッドが設けられた能動面を上側とし、該能動面と反対側となる下面を蓋体６４の側にして、孔部９０と重なる領域の蓋体６４の外面６４ｂ上に接着される。なお、接着材１２１としては、センサーユニット１０上に回路素子１２０を固定することができれば、特に限定されず、例えば、半田、銀ペースト、樹脂系接着材（ダイアタッチ材）等を用いることができる。樹脂系接着材（ダイアタッチ材）としては、例えば、エポキシ系、シリコーン系、アクリル系、ウレタン系などの樹脂を基材とした導電性接着材もしくは非導電性接着剤を適用することができる。

以上説明した工程Ｓ１０１〜工程Ｓ１１１を経ることにより、上述したような、蓋体６４の外面６４ｂに設けられる金属層９３の凹み部９１の開口の周縁の領域に、孔部９０から離れるに従って、厚さが漸減している漸減領域ＡＬ２を有する加速度センサー１を得ることができる。したがって、得られた加速度センサー１は、蓋体６４の面であって物理量センサー素子片の側とは反対側の外面６４ｂに設けられている貫通孔としての孔部９０の開口の周縁に亘って設けられた金属層９３の周縁の領域が、Ｙ軸方向からの断面視で、孔部９０から離れるに従って、厚さが漸減するように構成されている。これにより、金属層９３の周縁の端部において、金属層９３の厚さによる段差が小さくなり、接着材１２１による蓋体６４と回路素子１２０との接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

詳述すれば、図６に示して上述したように、従来の貫通孔である孔部９０ａの開口の外縁における金属層９３ａにおいて、周縁の端部９３ｓの部分に金属層９３ａの厚さによる段差があることによって、接着材１２１ａと金属層９３ａの周縁の端部９３ｓとの間に気泡（ボイド）Ｂｄが滞留し易くなる。

これに対し、上述した製造方法によって得られた加速度センサー１は、蓋体６４の面であって物理量センサー素子片の側とは反対側の外面６４ｂに設けられている貫通孔としての孔部９０の開口の周縁に亘って設けられた金属層９３の周縁の領域が、Ｙ軸方向からの断面視で、孔部９０の開口から離れるに従って、厚さが漸減し、段差を生じない構成となっている。これにより、接着材１２１と金属層９３の周縁の端部との間に気泡を滞留し難くすることができ、気泡周辺で生じる熱応力の不均等に起因して生じる歪によるバイアス出力信号の変動を生じ難くすることができる。

（金属層の構成に係る変形例）
なお、蓋体６４に設けられる金属層９３の構成は、上述の構成に限らず種々の変形を行うことができる。以下、金属層９３の構成に係る変形例について、図１１および図１２を参照して説明する。図１１および図１２は貫通孔の開口の外縁における金属層の構成の変形例を示す部分拡大図（断面図）であり、図１１は変形例１の構成、図１２は変形例２の構成を示している。なお、前述の実施形態と同様な構成は、同符号を付し、その説明は省略する。

[金属層の変形例１]
図１１に示すように、変形例１に係る金属層９３１は、貫通孔としての孔部９０の凹み部９１の内壁から、蓋体６４の外面６４ｂの凹み部９１の開口の周縁に亘って設けられている。そして、外面６４ｂに設けられた金属層９３１における凹み部９１の開口の周縁の領域は、凹み部９１に近い領域であって、Ｙ軸方向からの断面視で、厚さがほぼ同じである平面Ｆを有する領域ＡＬ１と、領域ＡＬ１の平面Ｆから凹み部９１の側と反対側に向かって連続的に設けられた金属層９３１の漸減領域ＡＬ２を備えている。なお、漸減領域ＡＬ２は、平面Ｆの領域ＡＬ１を起点とし、凹み部９１から離れるに従って金属層９３１の厚さが漸減している曲面状の面である曲面Ｒで構成されている。即ち、蓋体６４の外面６４ｂにおける金属層９３１は、外面６４ｂに設けられた金属層９３１の凹み部９１の開口の周縁の領域において、孔部９０から離れるに従って金属層９３１の厚さが漸減している曲面Ｒにより、凹み部９１と反対側の周端部の厚さによる段差を殆んど生じない構成となる。

このような変形例１に係る金属層９３１によれば、金属層９３１の周縁の領域の表面が曲面状の曲面Ｒで構成されることにより、金属層９３１の凹み部９１と反対側の周端部の厚さによる段差が殆んど生じなくなることから、蓋体６４と回路素子１２０との接着材１２１による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

[金属層の変形例２]
図１２に示すように、変形例２に係る金属層９３２は、貫通孔としての孔部９０の凹み部９１の内壁から、蓋体６４の外面６４ｂの凹み部９１の開口の周縁に亘って設けられている。そして、外面６４ｂに設けられた金属層９３２における凹み部９１の開口の周縁の領域は、凹み部９１に近い領域であって、Ｙ軸方向からの断面視で、金属層９３２の厚さがほぼ同じである平面Ｆを有する領域ＡＬ１と、領域ＡＬ１の平面Ｆから凹み部９１の側と反対側に向かって連続的に設けられた金属層９３２の漸減領域ＡＬ２を備えている。なお、漸減領域ＡＬ２は、平面Ｆの領域ＡＬ１を起点とし、凹み部９１から離れるに従って金属層９３２の厚さが漸減している階段状の面Ｋで構成されている。即ち、外面６４ｂに設けられた金属層９３２の凹み部９１の開口の周縁の領域は、孔部９０から離れるに従って金属層９３２の厚さが漸減している階段状の面Ｋにより、蓋体６４の外面６４ｂにおける金属層９３２は、凹み部９１と反対側の周端部の厚さによる段差を殆んど生じない構成となる。

このような変形例２に係る金属層９３２によれば、金属層９３２の周縁の領域の表面が階段状の面Ｋで構成されることにより、金属層９３２の凹み部９１と反対側の周端部の厚さによる段差が殆んど生じなくなることから、蓋体６４と回路素子１２０との接着材１２１による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

なお、金属層９３，９３１，９３２の構成では、上述した平面Ｆを有する領域ＡＬ１が設けられていない構成であってもよく、孔部９０の開口を起点として金属層９３，９３１，９３２の外縁の端に向かって厚さが漸減している傾斜面Ｈ、曲面Ｒ、階段状の面Ｋなどを備えた構成であってもよい。

（金属層と回路素子との接着領域）
また、蓋体６４に設けられる金属層９３と回路素子１２０との接着領域は、図１３に示すように配置されることが好ましい。以下、図１３を参照して、この接着領域について説明する。図１３は、貫通孔の開口の外縁における金属層と回路素子との接着領域を例示する平面図である。なお、前述の実施形態と同様な構成は、同符号を付し、その説明は省略する。

図１３に示すように、蓋体６４の回路素子１２０と重なる領域９９は、蓋体６４の孔部９０の凹み部９１の内壁から、凹み部９１の開口の周縁に亘って設けられている金属層９３が蓋体６４に接着される回路素子１２０と重なる図中ハッチングで示す金属層９３の形成領域９７と、金属層９３の未形成領域９８と、を含んでいることが好ましい。詳述すれば、回路素子１２０は、金属層９３の設けられている形成領域９７と、形成領域９７の凹み部９１と反対側となる外側に配置された金属層９３の設けられていない未形成領域９８と、に亘って設けられた接着材１２１（図１参照）によって、蓋体６４に接着されている。

このように、蓋体６４の回路素子１２０と重なる領域９９である接着領域に、金属層９３の未形成領域９８を設けることにより、回路素子１２０と蓋体６４との間の接着材１２１（図１参照）の接着強度を向上させることができる。

（Ｚ軸加速度センサー）
なお、上述した加速度センサー１は、基板１２に設けられた機能素子１０３の構成を変えることによってＺ軸方向の加速度Ａｚを検出することが可能な加速度センサーとすることができる。以下、図１４を参照して、加速度センサー１をＺ軸加速度センサー２とする場合の構成について説明する。

図１４に示すように、Ｚ軸加速度センサー２は、可動体２２０を備えている。さらに、可動体２２０は、第１可動部２２０ａと、第２可動部２２０ｂと、を有している。可動体２２０は、平面視で、支持軸Ｑを境として、支持軸Ｑと直交する方向の一方側に第１可動部２２０ａと、直交する方向の他方側に第２可動部２２０ｂと、を備えている。可動体２２０は、さらに第１可動部２２０ａと第２可動部２２０ｂとを接続している第３梁部２４３および第４梁部２４４と、第１固定部２３２および第２固定部２３４と第３梁部２４３とを連結する第１梁部２４１と、第１固定部２３２および第２固定部２３４と第４梁部２４４とを連結する第２梁部２４２と、平面視で、第３梁部２４３と第４梁部２４４との間に配置されている開口部２２６と、を備えている。第１可動部２２０ａは、平面視において（Ｚ軸方向から見て）、支持軸Ｑの一方側（図示の例では−Ｘ軸方向側）に位置している。第２可動部２２０ｂは、平面視において、支持軸Ｑの他方側（図示の例では＋Ｘ軸方向側）に位置している。

可動体２２０に鉛直方向の加速度（例えば重力加速度）が加わった場合、第１可動部２２０ａと第２可動部２２０ｂとの各々に回転モーメント（力のモーメント）が生じる。ここで、第１可動部２２０ａの回転モーメント（例えば反時計回りの回転モーメント）と第２可動部２２０ｂの回転モーメント（例えば時計回りの回転モーメント）とが均衡した場合には、可動体２２０の傾きに変化が生じず、加速度を検出することができない。したがって、鉛直方向の加速度が加わったときに、第１可動部２２０ａの回転モーメントと、第２可動部２２０ｂの回転モーメントとが均衡せず、可動体２２０に所定の傾きが生じるように、可動体２２０が設計される。

Ｚ軸加速度センサー２では、支持軸Ｑを、可動体２２０の中心（重心）から外れた位置に配置することによって（支持軸Ｑから第１可動部２２０ａ，第２可動部２２０ｂの先端までの距離を異ならせることによって）、第１可動部２２０ａ，第２可動部２２０ｂが互いに異なる質量を有している。すなわち、可動体２２０は、支持軸Ｑを境にして、一方側（第１可動部２２０ａ）と他方側（第２可動部２２０ｂ）とで質量が異なる。図示の例では、支持軸Ｑから第１可動部２２０ａの端面２２３までの距離は、支持軸Ｑから第２可動部２２０ｂの端面２２４までの距離よりも大きい。また、第１可動部２２０ａの厚さと、第２可動部２２０ｂの厚さとは、等しい。したがって、第１可動部２２０ａの質量は、第２可動部２２０ｂの質量よりも大きい。

このように、第１可動部２２０ａおよび第２可動部２２０ｂが互いに異なる質量を有することにより、鉛直方向の加速度が加わったときに、第１可動部２２０ａの回転モーメントと、第２可動部２２０ｂの回転モーメントと、を均衡させないことができる。したがって、鉛直方向の加速度が加わったときに、可動体２２０に所定の傾きを生じさせることができる。

なお、図示はしないが、支持軸Ｑを可動体２２０の中心に配置し、かつ、第１可動部２２０ａおよび第２可動部２２０ｂの厚さを互いに異ならせることによって、第１可動部２２０ａおよび第２可動部２２０ｂが互いに異なる質量を有するようにしてもよい。このような場合にも、鉛直方向の加速度が加わったときに、可動体２２０に所定の傾きを生じさせることができる。

可動体２２０は、基板２１０と離間して設けられている。可動体２２０は、凹部２１１の上方に設けられている。可動体２２０と基板２１０との間には、間隙が設けられている。これにより、可動体２２０は、揺動することができる。

可動体２２０は、支持軸Ｑを境にして設けられた第１可動電極２２１および第２可動電極２２２を有している。第１可動電極２２１は、第１可動部２２０ａに設けられている。第２可動電極２２２は、第２可動部２２０ｂに設けられている。

第１可動電極２２１は、可動体２２０のうち、平面視において第１固定電極２５０と重なる部分である。第１可動電極２２１は、第１固定電極２５０との間に静電容量Ｃ１を形成する。すなわち、第１可動電極２２１と第１固定電極２５０とによって静電容量Ｃ１が形成される。

第２可動電極２２２は、可動体２２０のうち、平面視において第２固定電極２５２と重なる部分である。第２可動電極２２２は、第２固定電極２５２との間に静電容量Ｃ２を形成する。すなわち、第２可動電極２２２と第２固定電極２５２とによって静電容量Ｃ２が形成される。Ｚ軸加速度センサー２では、可動体２２０が導電性材料（不純物がドープされたシリコン）で構成されることによって、第１可動電極２２１および第２可動電極２２２が設けられている。すなわち、第１可動部２２０ａが第１可動電極２２１として機能し、第２可動部２２０ｂが第２可動電極２２２として機能している。

静電容量Ｃ１および静電容量Ｃ２は、例えば、可動体２２０が水平な状態で、互いに等しくなるように構成されている。第１可動電極２２１および第２可動電極２２２は、可動体２２０の動きに応じて位置が変化する。この第１可動電極２２１および第２可動電極２２２の位置に応じて、静電容量Ｃ１，Ｃ２が変化する。可動体２２０には、支持部２３０を介して、所定の電位が与えられる。

可動体２２０には、可動体２２０を貫通する貫通孔２２５が形成されている。これにより、可動体２２０が揺動する際の空気の影響（空気の抵抗）を低減することができる。貫通孔２２５は、複数形成されている。図示の例では、貫通孔２２５の平面形状は、正方形である。

可動体２２０には、可動体２２０を貫通する開口部２２６が設けられている。開口部２２６は、平面視において、支持軸Ｑ上に設けられている。図示の例では、開口部２２６の平面形状は、長方形である。

支持部２３０は、基板２１０上に設けられている。支持部２３０は、開口部２２６に位置している。支持部２３０は、可動体２２０を支持している。支持部２３０は、第１固定部２３２と、第２固定部２３４と、第１梁部２４１と、第２梁部２４２と、第３梁部２４３と、第４梁部２４４と、を有している。

第１固定部２３２および第２固定部２３４は、基板２１０に固定されている。第１固定部２３２および第２固定部２３４は、平面視において、支持軸Ｑを挟んで設けられている。図示の例では、第１固定部２３２は、支持軸Ｑの＋Ｘ軸方向側に設けられ、第２固定部２３４は、支持軸Ｑの−Ｘ軸方向側に設けられている。

以上説明したように、可動体２２０を備えているＺ軸加速度センサー２は、Ｚ軸方向の加速度Ａｚを検出することが可能となる。

なお、上述では、物理量センサーとして１軸の加速度を検出可能な加速度センサー１、Ｚ軸加速度センサー２を例示して説明したが、物理量センサーとしては、例えば、３軸の加速度を検出可能な３軸加速度センサー、角速度を検出可能なジャイロセンサーなど他のセンサーにも適用可能である。

＜物理量センサーデバイス＞
次に、物理量センサーの一例としての加速度センサー１を備えた物理量センサーデバイス（加速度センサーデバイス）について、図１５を参照して説明する。図１５は、物理量センサーデバイス（加速度センサーデバイス）の概略構成を示す断面図である。なお、図１５では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、蓋体側である＋（プラス）Ｚ軸側を「上」もしくは「上方」、これと反対側となる−（マイナス）Ｚ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。

図１５に示すように、前述で説明した物理量センサーの一例としての加速度センサー１を備えた物理量センサーデバイス７００は、１方向の加速度を独立して検知することのできる１軸加速度センサーとして利用可能である。このような物理量センサーデバイス７００は、パッケージ７２０と、パッケージ７２０内に収納されたセンサーユニット１０およびセンサーユニット１０上に接着された回路素子１２０で構成された上述の加速度センサー１と、を含み、樹脂接着材７８８によって加速度センサー１の下面１ｒがパッケージ７２０の内側（収納空間７１７）に接合されている。

パッケージ７２０は、第１の基材７１１、第２の基材７１２、および第３の基材７１３で構成されているベース部７１０と、封止部材７１４を介して第３の基材７１３に接続されている蓋体７１５と、を含み構成されている。なお、第１の基材７１１、第２の基材７１２、および第３の基材７１３は、この順で積層されてベース部７１０が構成される。第１の基材７１１は、平板状であり、第２の基材７１２、および第３の基材７１３は、中央部が除去された環状体であり、第３の基材７１３の上面の周縁にシールリングや低融点ガラス等の封止部材７１４が形成されている。

パッケージ７２０は、中央部が除去された環状体である第２の基材７１２と第３の基材７１３とにより、加速度センサー１を収納する凹部（キャビティー）が形成される。そして、パッケージ７２０、これらの凹部（キャビティー）の開口が蓋体７１５によって塞がれることによって密閉空間である収納空間（内部空間）７１７が設けられ、この収納空間７１７に加速度センサー１を収納することができる。このように、パッケージ７２０と蓋体７１５との間に設けられている収納空間７１７に、加速度センサー１が収納されていることにより、コンパクトな物理量センサーデバイス７００とすることができる。なお、第１の基材７１１や第２の基材７１２を含むベース部７１０に形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。

第１の基材７１１、第２の基材７１２、および第３の基材７１３の構成材料には、セラミックなどが好適に用いられる。なお、第１の基材７１１、第２の基材７１２、および第３の基材７１３の構成材料は、セラミック以外に、ガラス、樹脂、金属等を用いてもよい。また、蓋体７１５の構成材料には、例えば、コバールなどの金属材料、ガラス材料、シリコン材料、セラミック材料、樹脂材料などを用いることができる。

また、第２の基材７１２の上面には複数の内部端子７１９が配置されており、第１の基材７１１の下面であるパッケージ７２０の外底面７１０ｒには複数の外部端子７１６が配置されている。また、各内部端子７１９は、ベース部７１０に形成された図示しない内部配線などを介して対応する外部端子７１６に電気的に接続されている。また、内部端子７１９、および外部端子７１６は、例えばタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等の金属配線材料を、所定の位置にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等のめっきを施す方法などによって形成することができる。

加速度センサー１は、樹脂接着材７８８によって、ベース部７１０を構成する第１の基材７１１の上面７１０ｆの接続パッド７８９に下面１ｒが接続され、パッケージ７２０の収納空間７１７に収納されている。パッケージ７２０の収納空間７１７は、大気圧よりも低い減圧雰囲気、または窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性気体雰囲気に気密封止されている。

回路素子１２０は、接着材１２１を介してセンサーユニット１０の上面に接着されている。回路素子１２０には、例えば、センサーユニット１０を駆動する駆動回路や、センサーユニット１０からの信号に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。また、回路素子１２０は、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤー７４２を介して第２の基材７１２の内部端子７１９に電気的に接続され、他の各電極パッドがボンディングワイヤー７４３を介してセンサーユニット１０の第１端子電極３４、第２端子電極４０、第３端子電極４６などの接続電極に電気的に接続されている。これにより、センサーユニット１０を制御することができる。

以上説明した物理量センサーデバイス７００によれば、上述した加速度センサー１を気密性を有するパッケージ７２０に収納しているため、加速度センサー１に係る効果を有するとともに、コンパクトな物理量センサーデバイス７００を得ることができる。

なお、物理量センサーデバイス７００の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、センサーユニット１０および回路素子１２０が、例えばエポキシ系モールド樹脂などによってパッケージングされた構成とすることができる。

＜複合センサー＞
次に、図１６を参照して、前述の物理量センサーの一例としての加速度センサー１、およびＺ軸加速度センサー２を備えた複合センサーの構成例について説明する。図１６は、複合センサーの概略構成を示す機能ブロック図である。

図１６に示すように、複合センサー９００は、上述したような加速度を検出可能な加速度センサー１を用いたＸ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー２を用いたＺ軸加速度センサー９５０ｚと、角速度センサー素子を含む角速度センサー９２０と、を備えている。Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚは、それぞれ１軸方向の加速度を高精度に計測することができる。角速度センサー９２０は、３軸方向の角速度をそれぞれ測定するために、三つの角速度センサー素子を備えている。また、複合センサー９００は、例えば、Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚを駆動する駆動回路や、Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等を含む制御回路部（ＩＣ：Integrated Circuit）を備えることができる。

このような複合センサー９００によれば、上述したような加速度を検出可能な加速度センサー１で構成されるＸ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー２で構成されるＺ軸加速度センサー９５０ｚと、角速度センサー９２０とによって容易に複合センサー９００を構成することができ、例えば加速度データや角速度データを取得することができる。

＜慣性計測ユニット＞
次に、図１７および図１８を参照して、慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）について説明する。図１７は、慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図である。図１８は、慣性計測ユニットの慣性センサー素子の配置例を示す斜視図である。なお、以下では、加速度Ａｘが検出可能である前述の加速度センサー１を用いた例を示して説明する。

図１７に示すように、慣性計測ユニット２０００は、アウターケース３０１、接合部材３１０、慣性センサー素子を含むセンサーモジュール３２５などから構成されている。換言すれば、アウターケース３０１の内部３０３に、接合部材３１０を介在させて、センサーモジュール３２５を篏合（挿入）した構成となっている。センサーモジュール３２５は、インナーケース３２０と、基板３１５とから構成されている。なお、説明を解り易くするために、部位名をアウターケース、インナーケースとしているが、第１ケース、第２ケースと呼び換えても良い。

アウターケース３０１は、アルミニウムを箱状に削り出した台座である。材質は、アルミニウムに限定するものではなく、亜鉛やステンレスなど他の金属や、樹脂、または、金属と樹脂の複合材などを用いても良い。アウターケース３０１の外形は、前述した慣性計測ユニット２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれ通し孔（馬鹿孔）３０２が形成されている。なお、通し孔（馬鹿孔）３０２に限定するものではなく、例えば、ネジによりネジ止めすることが可能な切り欠き（通し孔（馬鹿孔）３０２の位置するアウターケース３０１のコーナー部に切り欠きを形成する構造）を形成してネジ止めする構成としてもよいし、あるいは、アウターケース３０１の側面にフランジ（耳）を形成して、フランジ部分をネジ止めする構成としても良い。

アウターケース３０１は、外形が直方体で蓋のない箱状であり、その内部３０３（内側）は、底壁３０５と側壁３０４とで囲まれた内部空間（容器）となっている。換言すれば、アウターケース３０１は、底壁３０５と対向する一面を開口面とする箱状をなしており、その開口面の開口部のほとんどを覆うように（開口部を塞ぐように）センサーモジュール３２５が収納され、センサーモジュール３２５が開口部から露出した状態となる（不図示）。ここで、底壁３０５と対向する開口面とは、アウターケース３０１の上面３０７と同一面である。また、アウターケース３０１の内部３０３の平面形状は、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、面取りされた二つの頂点部分は通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。また、内部３０３の断面形状（厚さ方向）において、底壁３０５には、内部３０３、即ち内部空間における周縁部に中央部よりも一段高い底壁としての第１接合面３０６が形成されている。即ち、第１接合面３０６は、底壁３０５の一部であり、平面的に底壁３０５の中央部を囲ってリング状に形成された一段の階段状の部位であり、底壁３０５よりも開口面（上面３０７と同一面）からの距離が小さい面である。

なお、アウターケース３０１の外形が、平面形状が略正方形の直方体で蓋のない箱状である一例について説明したが、これに限らず、アウターケース３０１の外形の平面形状は、例えば六角形や八角形などの多角形であってもよいし、その多角形の頂点部分の角が面取りされていたり、各辺が曲線である平面形状であったりしてもよい。また、アウターケース３０１の内部３０３（内側）の平面形状も、上述した六角形に限らず、正方形などの方形（四角形）や、八角形などの他の多角形状であってもよい。また、アウターケース３０１の外形と内部３０３の平面形状とは相似形であってもよいし、相似形でなくてもよい。

インナーケース３２０は、基板３１５を支持する部材であり、アウターケース３０１の内部３０３に収まる形状となっている。詳しくは、平面的には、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、その中に長方形の貫通穴である開口部３２１と、基板３１５を支持する側の面に設けられた凹部３３１とが形成されている。面取りされた二つの頂点部分はアウターケース３０１の通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。厚さ方向（Ｚ軸方向）の高さは、アウターケース３０１の上面３０７から第１接合面３０６までの高さよりも、低くなっている。好適例では、インナーケース３２０もアルミニウムを削り出して形成しているが、アウターケース３０１と同様に他の材質を用いても良い。

インナーケース３２０の裏面（アウターケース３０１側の面）には、基板３１５を位置決めするための案内ピンや、支持面（いずれも図示せず）が形成されている。基板３１５は、当該案内ピンや、支持面にセット（位置決め搭載）されてインナーケース３２０の裏面に接着される。なお、基板３１５の詳細については後述する。インナーケース３２０の裏面の周縁部は、リング状の平面からなる第２接合面３２２となっている。第２接合面３２２は、平面的にアウターケース３０１の第１接合面３０６と略同様な形状であり、インナーケース３２０をアウターケース３０１にセットした際には、接合部材３１０を挟持した状態で二つの面が向い合うことになる。なお、アウターケース３０１およびインナーケース３２０の構造については、一実施例であり、この構造に限定されるものではない。

図１８を参照して、慣性センサーが実装された基板３１５の構成について説明する。図１８に示すように、基板３１５は、複数のスルーホールが形成された多層基板であり、ガラスエポキシ基板（ガラエポ基板）を用いている。なお、ガラエポ基板に限定するものではなく、複数の慣性センサーや、電子部品、コネクターなどを実装可能なリジット基板であれば良い。例えば、コンポジット基板や、セラミックス基板を用いても良い。

基板３１５の表面（インナーケース３２０側の面）には、コネクター３１６、角速度センサー３１７ｚ、物理量センサーとして前述した加速度センサー１などが実装されている。コネクター３１６は、プラグ型（オス）のコネクターであり、Ｘ軸方向に等ピッチで配置された二列の接続端子を備えている。好適には、一列１０ピンで二列の合計２０ピンの接続端子としているが、端子数は、設計仕様に応じて適宜変更しても良い。

角速度センサー３１７ｚは、Ｚ軸方向における１軸の角速度を検出するジャイロセンサーである。好適例として、水晶を振動子として用い、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する振動ジャイロセンサーを用いている。なお、振動ジャイロセンサーに限定するものではなく、角速度を検出可能なセンサーで有れば良い。例えば、振動子としてセラミックや、シリコンを用いたセンサーを用いても良い。

また、基板３１５のＸ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＸ軸と直交するように、Ｘ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｘが実装されている。同様に、基板３１５のＹ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＹ軸と直交するように、Ｙ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｙが実装されている。

なお、角速度センサー３１７ｘ，３１７ｙ，３１７ｚは、軸ごとの三つの角速度センサーを用いる構成に限定するものではなく、３軸の角速度が検出可能なセンサーであれば良く、一つのデバイス（パッケージ）で３軸の角速度が検出（検知）可能なセンサーデバイスを用いても良い。

上述した加速度センサー１は、１軸方向の加速度を検出（検知）可能な、例えばシリコン基板をＭＥＭＳ技術で加工した静電容量型の機能素子１０３（図２参照）が用いられている。なお、加速度センサー１は、必要に応じて、Ｘ軸、Ｙ軸の２軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子、もしくは３軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子を適用した加速度センサーとすることができる。

基板３１５の裏面（アウターケース３０１側の面）には、制御部としての制御ＩＣ３１９が実装されている。制御ＩＣ３１９は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、不揮発性メモリーを含む記憶部や、Ａ／Ｄコンバーターなどを内蔵しており、慣性計測ユニット２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度、および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板３１５には、その他にも複数の電子部品が実装されている。

このような慣性計測ユニット２０００によれば、上述した加速度センサー１を用いているため、加速度センサー１に係る効果を享受した慣性計測ユニット２０００を提供することができる。

＜移動体測位装置＞
次に、図１９および図２０を参照して、移動体測位装置について説明する。図１９は、移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図２０は、移動体測位装置の作用を模式的に示す図である。

図１９に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車（四輪自動車およびバイクを含む）、電車、飛行機、船等のいずれでもよいが、本実施形態では四輪自動車として説明する。移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。

また、慣性計測装置３１００は、加速度センサー１を適用した３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。なお、慣性計測装置３１００には、前述した加速度センサー１を含む慣性計測ユニット２０００を用いることができる。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、慣性航法測位データ（移動体の加速度および姿勢を含むデータ）を出力する。

また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号（ＧＰＳ搬送波。位置情報が重畳された衛星信号）を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００（移動体）の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。

位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力された慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されたＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図２０に示すように、地面の傾斜等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データ（特に、移動体の姿勢に関するデータ）を用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。なお、当該算出は、三角関数（鉛直方向に対する傾きθ）を用いた演算によって比較的簡単に行うことができる。

位置合成部３６００から出力された位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として、表示部３９００に表示されるようになっている。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていてもよい。

以上、移動体測位装置３０００について説明した。このような移動体測位装置３０００は、前述したように、加速度センサー１を適用した慣性計測装置３１００と、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信するＧＰＳ受信部３３００（受信部）と、受信した衛星信号に基づいて、ＧＰＳ受信部３３００の位置情報を取得する位置情報取得部３５００（取得部）と、慣性計測装置３１００から出力された慣性航法測位データ（慣性データ）に基づいて、移動体の姿勢を演算する演算処理部３２００（演算部）と、算出された姿勢に基づいて位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出する位置合成部３６００（算出部）と、を含んでいる。これにより、上述した加速度センサー１を備えた慣性計測ユニット２０００の効果を享受でき、信頼性の高い移動体測位装置３０００が得られる。

＜携帯型電子機器＞
次に、物理量センサーの一例としての加速度センサー１を用いた携帯型電子機器について、図２１および図２２に基づき、詳細に説明する。図２１は、携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図である。図２２は、携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。以下、携帯型電子機器の一例として、腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）を示して説明する。

腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）であるリスト機器１０００は、図２１に示すように、バンド１０３２，１０３７等によってユーザーの手首等の部位（被検体）に装着され、デジタル表示の表示部１０２３を備えるとともに無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサーとしての加速度センサー１は、加速度を測定する加速度センサー１０１３（図２２参照）として、角速度を計測する角速度センサー１０１４（図２２参照）などと共にリスト機器１０００に組込まれている。

リスト機器１０００は、少なくとも加速度センサー１０１３や角速度センサー１０１４（図２２参照）が収納されているケース１０３０と、ケース１０３０に収納され、加速度センサー１０１３や角速度センサー１０１４からの出力データを処理する処理部１０５０（図２２参照）と、ケース１０３０に収納されている表示部１０２３と、ケース１０３０の開口部を塞いでいる透光性カバー１０７１と、を備えている。ケース１０３０の透光性カバー１０７１のケース１０３０の外側には、ベゼル１０７８が設けられている。ケース１０３０の側面には、複数の操作ボタン１０８０，１０８１が設けられている。以下、図２２も併せて参照しながら、さらに詳細に説明する。

加速度センサー１０１３は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の加速度を検出し、検出した３軸加速度の大きさ、および向きに応じた信号（加速度信号）を出力する。また、角速度センサー１０１４は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の角速度を検出し、検出した３軸角速度の大きさ、および向きに応じた信号（角速度信号）を出力する。

リスト機器１０００は、ＧＰＳ（Global Positioning System）センサー１０１０を備えている。ＧＰＳは、全地球測位システムとも呼ばれ、複数の衛星信号に基づいて地球上の現在位置を測定するための衛星測位システムである。ＧＰＳは、ＧＰＳ時刻情報と軌道情報とを使用して測位計算をおこないユーザーの位置情報を取得する機能やユーザーの移動距離や移動軌跡を計測する機能、および時計機能における時刻修正機能を備えている。ＧＰＳセンサー１０１０は、ＧＰＳ衛星からの衛星信号に基づいて地球上の現在位置を測定することができる。

表示部１０２３を構成する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）では、種々の検出モードに応じて、例えば、ＧＰＳセンサー１０１０や地磁気センサー１０１１を用いた位置情報、移動量や加速度センサー１０１３、もしくは角速度センサー１０１４などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー１０１５などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー１０１６を用いた環境温度を表示することもできる。

通信部１０２５は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部１０２５は、例えば、Bluetooth（登録商標）（BTLE：Bluetooth Low Energyを含む）、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（Wireless Fidelity）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、ＮＦＣ（Near field communication）、ＡＮＴ＋（登録商標）等の近距離無線通信規格に対応した送受信機やＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。

処理部１０５０（プロセッサー）は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。処理部１０５０は、記憶部１０２２に格納されたプログラムと、操作部１０２０（例えば操作ボタン１０８０，１０８１）から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部１０５０による処理には、ＧＰＳセンサー１０１０、地磁気センサー１０１１、圧力センサー１０１２、加速度センサー１０１３、角速度センサー１０１４、脈拍センサー１０１５、温度センサー１０１６、計時部１０２１の各出力信号に対するデータ処理、表示部１０２３に画像を表示させる表示処理、音出力部１０２４に音を出力させる音出力処理、通信部１０２５を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー１０２６からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。

このようなリスト機器１０００では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
１．距離：高精度のＧＰＳ機能により計測開始からの合計距離を計測する。
２．ペース：ペース距離計測値から、現在の走行ペースを表示する。
３．平均スピード：走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
４．標高：ＧＰＳ機能により、標高を計測し表示する。
５．ストライド：ＧＰＳ電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
６．ピッチ：１分あたりの歩数を計測し表示する。
７．心拍数：脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
８．勾配：山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
９．オートラップ：事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計測を行う。
１０．運動消費カロリー：消費カロリーを表示する。
１１．歩数：運動開始からの歩数の合計を表示する。

なお、リスト機器１０００は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばＧＰＳを搭載したＧＰＳウォッチ、等に広く適用できる。

また、上述では、衛星測位システムとしてＧＰＳ（Global Positioning System）を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム（ＧＮＳＳ：Global Navigation Satellite System）を利用してもよい。例えば、ＥＧＮＯＳ(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、ＱＺＳＳ（Quasi Zenith Satellite System）、ＧＬＯＮＡＳＳ（GLObal NAvigation Satellite System）、ＧＡＬＩＬＥＯ、ＢｅｉＤｏｕ（BeiDou Navigation Satellite System）、等の衛星測位システムのうち１又は２以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも一つにＷＡＡＳ（Wide Area Augmentation System）、ＥＧＮＯＳ（European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service）等の静止衛星型衛星航法補強システム（ＳＢＡＳ：Satellite-based Augmentation System）を利用してもよい。

このような携帯型電子機器は、前述の物理量センサーとしての加速度センサー１、および処理部１０５０を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。

＜電子機器＞
次に、物理量センサーとしての加速度センサー１を用いた電子機器について、図２３〜図２５に基づき、詳細に説明する。

先ず、図２３を参照して、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターについて説明する。図２３は、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、物理量センサーの一例として、加速度センサーとして機能する加速度センサー１が内蔵されており、加速度センサー１の検出データに基づいて制御部１１１０が、例えば姿勢制御などの制御を行なうことができる。

次に、図２４を参照して、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）について説明する。図２４は、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図である。

この図において、スマートフォン１２００は、上述した物理量センサーの一例としての加速度センサー１が組込まれている。加速度センサー１によって検出された検出データ（加速度データ）は、スマートフォン１２００の制御部１２０１に送信される。制御部１２０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んで構成されており、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や、挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や、効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。換言すれば、スマートフォン１２００のモーションセンシングを行い、計測された姿勢や、挙動から、表示内容を変えたり、音や、振動などを発生させたりすることができる。特に、ゲームのアプリケーションを実行する場合には、現実に近い臨場感を味わうことができる。

次に、図２５を参照して、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラについて説明する。図２５は、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。

この図において、ディジタルスチールカメラ１３００のケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとしても機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチールカメラ１３００では、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ１３００には、物理量センサーの一例として、加速度センサーとして機能する加速度センサー１が内蔵されており、加速度センサー１の検出データに基づいて制御部１３１６が、例えば手振れ補正などの制御を行なうことができる。

このような電子機器は、前述の物理量センサーとしての加速度センサー１、および制御部１１１０，１２０１，１３１６を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。

なお、物理量センサーとしての加速度センサー１を備える電子機器は、図２３のパーソナルコンピューター、図２４のスマートフォン（携帯電話機）、図２５のディジタルスチールカメラの他にも、例えば、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地震計、歩数計、傾斜計、ハードディスクの振動を計測する振動計、ロボットやドローンなど飛行体の姿勢制御装置、自動車の自動運転用慣性航法に使用される制御機器等に適用することができる。

＜移動体＞
次に、物理量センサーの一例としての加速度センサー１を用いた移動体を図２６に示し、詳細に説明する。図２６は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。

図２６に示すように、自動車１５００には物理量センサーの一例としての加速度センサー１が内蔵されており、例えば、加速度センサー１によって車体１５０１の移動（位置）や姿勢を検出することができる。加速度センサー１の検出信号は、車体の移動や姿勢を制御する車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。

なお、加速度センサー１は、他にもキーレスエントリーシステム、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロールシステム（エンジンシステム）、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

また、移動体に適用される物理量センサーとしての加速度センサー１は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの移動や姿勢制御、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の移動や姿勢制御、農業機械（農機）、もしくは建設機械（建機）などの移動や姿勢制御、ロケット、人工衛星、船舶、およびＡＧＶ（無人搬送車）などの制御において利用することができる。以上のように、各種移動体の移動（位置）や姿勢制御の実現にあたって、加速度センサー１、およびそれぞれの制御部（不図示）や姿勢制御部が組み込まれる。

このような移動体は、物理量センサーの一例としての加速度センサー１、および制御部（例えば、姿勢制御部としての車体姿勢制御装置１５０２）を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。

＜走行支援システム＞
以下、加速度センサー１を用いた走行支援システムについて、図２７および図２８を参照して説明する。図２７は、走行支援システムの概略的な構成を示す図である。図２８は、走行支援システムの概略的な構成を示す機能ブロック図である。

《走行支援システムの概略構成》
図２７に示すように、走行支援システム４０００は、複数台の車両の各々に搭載された制御装置４１００および情報処理装置４２００を含んでいる。

制御装置４１００は、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを自動で制御する自動運転を行う車両（以下、自動運転車両）に搭載されて、情報処理装置４２００と通信を行う。情報処理装置４２００は、例えばサーバー装置であり、複数台の自動運転車両に搭載されている各制御装置４１００から送信される車両情報を収集したり、収集した車両情報をもとに得られた情報を各制御装置４１００に送信したりする。なお、情報処理装置４２００は、１つのサーバー装置からなるものであってもよいし、複数のサーバー装置からなっているものであってもよい。

［制御装置の概略構成］
続いて、図２８を用いて制御装置４１００の概略構成を説明する。制御装置４１００は、自動運転車両に搭載されるものであり、図２８に示すように、自動運転ユニット４０１０、通信機４０２０、ＡＤＡＳ（Advanced Driver Assistance Systems）ロケーター４０３０、ＨＭＩ（HumanMachine Interface）システム４０４０、周辺監視センサー４０５０、および車両制御ユニット４０６０を含んでいる。制御部としての自動運転ユニット４０１０、通信機４０２０、ＡＤＡＳロケーター４０３０、ＨＭＩシステム４０４０、および車両制御ユニット４０６０は、例えば車内ＬＡＮに接続されており、通信によって互いに情報をやり取りすることができる。

通信機４０２０は、自車の外部と通信を行う。通信機４０２０は、例えば自車の周辺車両に搭載された車載通信機、および路側に設置された路側機の少なくともいずれかとの間で、無線通信を行うことができる。例えば通信機４０２０は、車載通信機との車車間通信、路側機との路車間通信により、自車の周辺車両の位置情報および走行速度情報等を取得することができる。

通信機４０２０は、情報処理装置４２００との間で通信を行う。情報処理装置４２００との間で通信を行う場合には、例えばＤＣＭ（Data Communication Module）といったテレマティクス通信に用いられる車載通信モジュールによって、テレマティクス通信で用いる通信網を介して情報処理装置４２００と通信を行う構成とすればよい。なお、路側機およびその路側機と情報処理装置４２００との間の通信網を介して情報処理装置４２００と通信を行う構成としてもよい。通信機４０２０は、情報処理装置４２００から取得した情報を車内ＬＡＮへ出力したり、車内ＬＡＮを介して自動運転ユニット４０１０から送信されてきた車両情報を送信したりする。

なお、周辺車両に搭載された車載通信機、および路側に設置された路側機の少なくともいずれかとの間で、無線通信を行う車載通信モジュールと、テレマティクス通信に用いられる車載通信モジュールとが別体に設けられる構成としてもよいし、一体に設けられる構成としてもよい。

ＡＤＡＳロケーター４０３０は、ＧＮＳＳ（Global Navigation Satellite System）受信機４０３１、上述した加速度センサー１を含むセンサーユニット４０３２、および地図データを格納した地図データベース（以下、ＤＢ）４０３３を備えている。ＧＮＳＳ受信機４０３１は、複数の人工衛星からの測位信号を受信する。加速度センサー１を含むセンサーユニット４０３２は、例えば３軸ジャイロセンサー、および３軸加速度センサーを備える。地図ＤＢ４０３３は、不揮発性メモリーであって、リンクデータ、ノードデータ、道路形状、および構造物等の地図データを格納している。

ＡＤＡＳロケーター４０３０は、ＧＮＳＳ受信機４０３１で受信する測位信号と、加速度センサー１を含むセンサーユニット４０３２の計測結果とを組み合わせることにより、ＡＤＡＳロケーター４０３０を搭載した自車の車両位置を逐次測位する。なお、車両位置の測位には、自車に搭載された車輪速センサー（不図示）から逐次出力されるパルス信号から求めた走行距離も用いる構成としてもよい。そして、測位した車両位置を車内ＬＡＮへ出力する。また、ＡＤＡＳロケーター４０３０は、地図ＤＢ４０３３から地図データを読み出し、車内ＬＡＮへ出力することも行う。なお、地図データは、自車に搭載された例えばＤＣＭといった車載通信モジュール（不図示）を用いて自車の外部から取得する構成としてもよい。

ＨＭＩシステム４０４０は、図２８に示すように、ＨＣＵ（Human Machine Interface Control Unit）４０４１、操作部４０４２、ステアリングセンサー４０４３、表示装置４０４４、および音声出力装置４０４５を備えており、自車の運転者からの入力操作を受け付けたり、自車の運転者に向けて情報を提示したり、自車の運転者の状態を検出したりする。

操作部４０４２は、自車の運転者が操作するスイッチ群である。操作部４０４２は、各種の設定を行うために用いられる。例えば、操作部４０４２としては、自車のステアリングのスポーク部に設けられたステアリングスイッチ、表示装置４０４４と一体となったタッチスイッチ等がある。

ステアリングセンサー４０４３は、自車のステアリングホイールに乗員が触れていることを検出するためのセンサーである。ステアリングセンサー４０４３の一例としては、ステアリングホイールに設けられたタッチセンサー、自車のステアリングの操舵トルクを検出する操舵トルクセンサー等が挙げられる。ステアリングセンサー４０４３での検出結果は、ＨＣＵ４０４１に出力される。

表示装置４０４４としては、例えばコンビネーションメーター、ＣＩＤ（Center Information Display）、ＨＵＤ（Head-Up Display）等がある。コンビネーションメーターは、自車の運転席前方に配置される。ＣＩＤは、自車室内にてセンタークラスターの上方に配置される。コンビネーションメーター、およびＣＩＤは、ＨＣＵ４０４１から取得した画像データに基づいて、情報提示のための種々の画像をディスプレイの表示画面に表示する。ＨＵＤは、ＨＣＵ４０４１から取得した画像データに基づく画像の光を、自車のウインドシールドに規定された投影領域に投影する。ウインドシールドによって車室内側に反射された画像の光は、運転席に着座する運転者によって知覚される。運転者は、ＨＵＤによって投影された画像の虚像を、自車の前方の外界風景と重ねて視認可能となる。

音声出力装置４０４５としては、例えばオーディオスピーカー等がある。オーディオスピーカーは、例えば自車のドアの内張り内に配置される。オーディオスピーカーは、再生する音声によって運転者などの乗員への情報提示を行う。

ＨＣＵ４０４１は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリー、Ｉ／Ｏ、これらを接続するバスを備え、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することで各種の処理を実行する。例えば、ＨＣＵ４０４１は、自動運転ユニット４０１０からの指示に従って、表示装置４０４４および音声出力装置４０４５の少なくともいずれかに情報提示を行わせる。なお、ＨＣＵ４０４１が実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成してもよい。

周辺監視センサー４０５０は、歩行者、人間以外の動物、自転車、オートバイ、および他車等の移動物体、さらに路上の落下物、ガードレール、縁石、および樹木等の静止物体といった障害物を検出する。他にも、走行区画線、停止線等の路面標示を検出する。周辺監視センサー４０５０は、例えば、自車周囲の所定範囲を撮像する周辺監視カメラ、自車周囲の所定範囲に探査波を送信するミリ波レーダー、ソナー、ＬＩＤＡＲ（Light Detection and Ranging/Laser Imaging Detect ion and Ranging）等のセンサーである。

周辺監視カメラとしてはステレオカメラを用いる構成であっても、単眼カメラを用いる構成であってもよい。周辺監視カメラは、逐次撮像する撮像画像をセンシング情報として自動運転ユニット４０１０へ逐次出力する。ソナー、ミリ波レーダー、ＬＩＤＡＲ等の探査波を送信するセンサーは、障害物によって反射された反射波を受信した場合に得られる受信信号に基づく走査結果をセンシング情報として自動運転ユニット４０１０へ逐次出力する。なお、自車前方のセンシングを周辺監視カメラとミリ波レーダーとを併用して行う等、複数種類の周辺監視センサー４０５０が重複したセンシング範囲を有する構成としてもよい。

車両制御ユニット４０６０は、自車の加減速制御および操舵制御の少なくともいずれかを行う電子制御装置である。車両制御ユニット４０６０としては、操舵制御を行う操舵ＥＣＵ、加減速制御を行うパワーユニット制御ＥＣＵおよびブレーキＥＣＵ等がある。車両制御ユニット４０６０は、自車に搭載されたアクセルポジションセンサー、ブレーキ踏力センサー、舵角センサー、車輪速センサー等の各センサーから出力される検出信号を取得し、電子制御スロットル、ブレーキアクチュエーター、ＥＰＳ（Electric Power Steering）モーター等の各走行制御デバイスへ制御信号を出力する。また、車両制御ユニット４０６０は、上述の各センサーの検出信号を車内ＬＡＮへ出力可能である。

制御部としての自動運転ユニット４０１０は、ＣＰＵ、揮発性メモリー、不揮発性メモリー、Ｉ／Ｏ、これらを接続するバスを備え、不揮発性メモリーに記憶された制御プログラムを実行することで各種の処理を実行する。例えば、自動運転ユニット４０１０は、周辺監視センサー４０５０でのセンシング結果から自車の走行環境を認識する。他にも、自動運転ユニット４０１０は、車両制御ユニット４０６０を制御することにより、運転者による運転操作の代行を行う。この自動運転ユニット４０１０が走行支援装置に相当する。なお、自動運転ユニット４０１０が実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成してもよい。

制御部としての自動運転ユニット４０１０は、センサーユニット４０３２で検出された検出信号に基づいて、車両制御ユニット４０６０に指示し、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御することができる。また、自動運転ユニット４０１０は、センサーユニット４０３２で検出された検出信号の変化に応じて、自動運転の実施、或いは不実施を切り替えることができる。このように、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御する制御部としての自動運転ユニット４０１０によって、自動運転の実施、或いは不実施をセンサーユニットで検出された検出信号の変化に応じて精度よく切り替えることができる。

このような走行支援システム４０００は、上述した加速度センサー１を含むセンサーユニット４０３２、およびセンサーユニット４０３２を含む走行支援装置としての自動運転ユニット４０１０を備えているので、優れた信頼性を有している。

＜頭部装着型表示装置＞
以下、加速度センサー１を用いた表示装置の一例としての頭部装着型表示装置について、図２９を参照して説明する。図２９は、頭部装着型表示装置の概略構成を示す説明図である。

図２９に示すように、表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、ユーザー（使用者）の頭部に装着された状態でユーザーに虚像を視認させる画像表示部５２０と、画像表示部５２０を制御する制御装置５１０と、を備えている。制御装置５１０は、ユーザーが頭部装着型表示装置５０００を操作するコントローラーとしても機能する。

画像表示部５２０は、ユーザーの頭部に装着される装着体であり、本形態では眼鏡形状のフレーム５０２（本体）を有する。フレーム５０２は、右保持部５２１および左保持部５２３を有する。右保持部５２１は、右光学像表示部５２６の他端である端部ＥＲから、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの側頭部に対応する位置にかけて、延伸して設けられた部材である。同様に、左保持部５２３は、左光学像表示部５２８の他端である端部ＥＬから、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの側頭部に対応する位置にかけて、延伸して設けられた部材である。右保持部５２１はユーザーの頭部において右耳またはその近傍に当接し、左保持部５２３はユーザーの左耳またはその近傍に当接して、ユーザーの頭部に画像表示部５２０を保持する。

フレーム５０２には、右表示駆動部５２２と、左表示駆動部５２４と、右光学像表示部５２６と、左光学像表示部５２８と、マイク５６３とが設けられる。本形態では本体の一例として、眼鏡型のフレーム５０２を例示する。本体の形状は眼鏡型に限定されず、ユーザーの頭部に装着され固定されるものであればよく、ユーザーの左右の眼の前に跨がって装着される形状であれば、より好ましい。例えば、ここで説明する眼鏡型の他に、ユーザーの顔の上部を覆うスノーゴーグル様の形状であってもよいし、双眼鏡のようにユーザーの左右の眼のそれぞれの前方に配置される形状であってもよい。

眼鏡型のフレーム５０２は、ユーザーの右眼の前に位置する右部５０２Ａ、および、左眼の前に位置する左部５０２Ｂを有し、右部５０２Ａと左部５０２Ｂとがブリッジ部５０２Ｃ（連結部）で連結された形状である。ブリッジ部５０２Ｃは、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの眉間に対応する位置で、右部５０２Ａと左部５０２Ｂとを互いに連結する。

右部５０２Ａおよび左部５０２Ｂは、それぞれテンプル部５０２Ｄ，５０２Ｅに連結される。テンプル部５０２Ｄ，５０２Ｅは眼鏡のテンプルのようにして、フレーム５０２をユーザーの頭部に支持する。本実施形態のテンプル部５０２Ｄは右保持部５２１で構成され、テンプル部５０２Ｅは左保持部５２３で構成される。

右光学像表示部５２６は右部５０２Ａに配置され、左光学像表示部５２８は左部５０２Ｂに配置される、それぞれ、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際にユーザーの右および左の眼前に位置する。

右表示駆動部５２２と左表示駆動部５２４とは、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの頭部に対向する側に配置されている。なお、右表示駆動部５２２および左表示駆動部５２４を総称して単に「表示駆動部」とも呼び、右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８を総称して単に「光学像表示部」とも呼ぶ。また、表示駆動部５２２，５２４は、不図示の液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display）や投写光学系等を含む。

右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８は、不図示の導光板と、調光板とを備える。導光板は、光透過性の樹脂等によって形成され、表示駆動部５２２，５２４が出力する画像光を、ユーザーの眼に導く。調光板は、薄板状の光学素子であり、ユーザーの眼の側とは反対の側である画像表示部５２０の表側を覆うように配置される。調光板は、光透過性がほぼ無いもの、透明に近いもの、光量を減衰させて光を透過するもの、特定の波長の光を減衰又は反射するもの等、種々のものを用いることができる。調光板の光学特性（光透過率など）を適宜選択することにより、外部から右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８に入射する外光量を調整して、虚像の視認のしやすさを調整できる。本形態では、少なくとも、画像表示部５２０を装着したユーザーが外の景色を視認できる程度の光透過性を有する調光板を用いる場合について説明する。調光板は、光学素子である右導光板および左導光板を保護し、右導光板および左導光板の損傷や汚れの付着等を抑制する。なお、調光板は、右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８に対し着脱可能としてもよく、複数種類の調光板を交換して装着可能としてもよいし、省略してもよい。

また、フレーム５０２には、カメラユニット５０３が設けられる。カメラユニット５０３は、上部カメラ５６１が配置されるカメラ台座部５０３Ｃと、カメラ台座部５０３Ｃを支持するアーム部５０３Ａ，５０３Ｂとを有する。アーム部５０３Ａは、右保持部５２１の先端部ＡＰに設けられたヒンジ５２１Ａにより、回動可能に右保持部５２１に連結される。アーム部５０３Ｂは、左保持部５２３の先端部ＡＰに設けられたヒンジ５２３Ａにより、回動可能に左保持部５２３に連結される。このため、カメラユニット５０３は全体として、図中矢印Ｋで示す方向、すなわち装着状態において上下に回動可能である。カメラユニット５０３は、回動範囲の下端でフレーム５０２に接する。また、カメラユニット５０３の回動範囲の上端はヒンジ５２１Ａ，５２３Ａの仕様等で決定される。

カメラ台座部５０３Ｃは、右部５０２Ａ、左部５０２Ｂおよびブリッジ部５０２Ｃの上部に跨がって位置する板状または棒状部材であり、ブリッジ部５０２Ｃの上に相当する位置に、上部カメラ５６１が埋込設置される。上部カメラ５６１は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子および撮像レンズ等を備えるデジタルカメラであり、単眼カメラであってもステレオカメラであってもよい。

上部カメラ５６１は、頭部装着型表示装置５０００の表側方向、換言すれば、画像表示部５２０を装着した状態におけるユーザーの視界方向の少なくとも一部の外景を撮像する。上部カメラ５６１の画角の広さは適宜設定可能であるが、例えばカメラユニット５０３の回動範囲の下端において、上部カメラ５６１の撮像範囲が、ユーザーが右光学像表示部５２６、左光学像表示部５２８を通して視認する外界を含むことが好ましい。さらに、調光板を通したユーザーの視界の全体を撮像できるように上部カメラ５６１の撮像範囲が設定されているとより好ましい。

画像表示部５２０は、制御装置５１０に接続部５４０を介して接続する。接続部５４０は、制御装置５１０に接続される本体コード５４８、右コード５４２、左コード５４４、および、連結部材５４６を備える。右コード５４２および左コード５４４は、本体コード５４８が２本に分岐したコードである。右コード５４２は、右保持部５２１の延伸方向の先端部ＡＰから右保持部５２１の筐体内に挿入され、右表示駆動部５２２に接続される。同様に、左コード５４４は、左保持部５２３の延伸方向の先端部ＡＰから左保持部５２３の筐体内に挿入され、左表示駆動部５２４に接続される。

連結部材５４６は、本体コード５４８と、右コード５４２および左コード５４４との分岐点に設けられ、イヤホンプラグ５３０を接続するためのジャックを有する。イヤホンプラグ５３０からは、右イヤホン５３２および左イヤホン５３４が延伸する。イヤホンプラグ５３０の近傍にはマイク５６３が設けられる。イヤホンプラグ５３０からマイク５６３までは一本のコードにまとめられ、マイク５６３からコードが分岐して、右イヤホン５３２と左イヤホン５３４のそれぞれに繋がる。

マイク５６３は、マイク５６３の集音部がユーザーの視線方向を向くように配置され、音声を集音して、音声信号を音声処理部（不図示）に出力する。マイク５６３は、例えばモノラルマイクであってもステレオマイクであってもよく、指向性を有するマイクであってもよいし、無指向性のマイクであってもよい。

右コード５４２、左コード５４４、および、本体コード５４８は、デジタルデータを伝送可能なものであればよく、例えば金属ケーブルや光ファイバーで構成できる。また、右コード５４２と左コード５４４とを一本のコードにまとめた構成としてもよい。

画像表示部５２０と制御装置５１０とは、接続部５４０を介して各種信号を伝送する。本体コード５４８の連結部材５４６とは反対側の端部、および、制御装置５１０には、互いに嵌合するコネクター（不図示）が設けられる。本体コード５４８のコネクターと制御装置５１０のコネクターとを嵌合し、或いは、この嵌合を外すことで、制御装置５１０と画像表示部５２０とを接離できる。

制御装置５１０は、頭部装着型表示装置５０００を制御する。制御装置５１０は、決定キー５１１、点灯部５１２、表示切替キー５１３、輝度切替キー５１５、方向キー５１６、メニューキー５１７、および電源スイッチ５１８を含むスイッチ類を備える。また、制御装置５１０は、ユーザーが手指で操作するトラックパッド５１４を備える。

決定キー５１１は、押下操作を検出して、制御装置５１０で操作された内容を決定する信号を出力する。点灯部５１２は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源を備え、光源の点灯状態により、頭部装着型表示装置５０００の動作状態（例えば、電源のＯＮ／ＯＦＦ）を通知する。表示切替キー５１３は、押下操作に応じて、例えば、画像の表示モードの切り替えを指示する信号を出力する。

トラックパッド５１４は、接触操作を検出する操作面を有し、操作面に対する操作に応じて操作信号を出力する。操作面における検出方式は限定されず、静電式、圧力検出式、光学式等を採用できる。輝度切替キー５１５は、押下操作に応じて画像表示部５２０の輝度の増減を指示する信号を出力する。方向キー５１６は、上下左右方向に対応するキーへの押下操作に応じて操作信号を出力する。電源スイッチ５１８は、頭部装着型表示装置５０００の電源オン／オフを切り替えるスイッチである。

また、フレーム５０２には２つの動きセンサーが取り付けられる。本形態の動きセンサーは、慣性センサーであり、具体的には第１のセンサーユニットとしての第１センサー５６６および第２のセンサーユニットとしての第２センサー５６８である。なお、第１センサー５６６および第２センサー５６８として、上述した加速度センサー１を適用することができる。第１センサー５６６は右部５０２Ａにおいてテンプル部５０２Ｄ側の端に配置され、第２センサー５６８は左部５０２Ｂにおいてテンプル部５０２Ｅ側の端部に設置される。すなわち、第１センサー５６６および第２センサー５６８は、頭部装着型表示装置５０００の装着状態において頭部の中心より一方側に位置している。第１センサー５６６および第２センサー５６８は、加速度センサーや角速度センサー（ジャイロセンサー）等の慣性センサーであり、本形態では、３軸のジャイロセンサーおよび３軸の加速度センサーを有する上述したセンサーユニットを用いている。なお、このセンサーユニットには、上述した加速度センサー１が用いられている。第１センサー５６６および第２センサー５６８は、それぞれ、内蔵する検出機構の測定基準点において、例えばＸ軸まわりの回転（ピッチ）、Ｙ軸回りの回転（ヨー）、およびＺ軸まわりの回転（ロール）を検出する。

第１センサー５６６および第２センサー５６８のいずれかのセンサーは、ユーザーの頭部の中心の一方側にあり、他のセンサーは、ユーザーの頭部の中心の他方側にある。具体的には、第１センサー５６６はユーザーの頭部の右側にあり、第２センサー５６８は左側にある。なお、本形態で、頭部の中心とは、ユーザーの身長に対し垂直な水平面における頭部の中心を指す。第１センサー５６６および第２センサー５６８の水平面における位置は、この水平面における頭部の中心を挟んで、右側と左側にある。

このような構成の表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、ユーザーの眼に画像光を照射する画像表示部５２０と、複数の動きセンサーとしての第１センサー５６６および第２センサー５６８とを備える。第１センサー５６６および第２センサー５６８のいずれかは、装着状態において頭部の中心より一方側に位置し、他の動きセンサーは頭部の中心より他方側に位置する。このため、ユーザーの頭部が動いた場合に、運動中心における動き量や動きの方向等を速やかに求めることができる。

また、頭部装着型表示装置５０００において、第１センサー５６６および第２センサー５６８のいずれかは、装着状態において頭部の中心より左側に位置し、他の動きセンサーは頭部の中心より右側に位置する。このため、動きセンサーの検出結果に基づいて、頭部の運動中心における動きを速やかに求めることができる。

このような表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、第１センサー５６６および第２センサー５６８として上述した加速度センサー１を備えているので、優れた信頼性を有している。

以上、物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、および表示装置を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置き換えることができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

また、前述した実施形態では、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が互いに直交しているが、互いに交差していれば、これに限定されず、例えば、Ｘ軸がＹＺ平面の法線方向に対して若干傾いていてもよいし、Ｙ軸がＸＺ平面の法線方向に対して若干傾いていてもよいし、Ｚ軸がＸＹ平面の法線方向に対して若干傾いていてもよい。なお、若干とは、加速度センサー１がその効果を発揮することができる範囲を意味し、具体的な傾き角度（数値）は、構成等によって異なる。

以下に、上述した実施形態から導き出される内容を、各態様として記載する。

［態様１］本態様に係る物理量センサーは、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、を含み、前記蓋は、前記収納空間と前記反対側の面との間を貫通し、封止部材によって封止されている貫通孔の内壁から、前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に亘って電極が設けられ、断面視で、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記開口側よりも前記開口側とは反対側の方が薄いことを特徴とする。

本態様によれば、蓋の面であって物理量センサー素子片の側とは反対側の面に設けられている貫通孔の開口の周縁に亘って設けられた電極の周縁の領域を、開口側よりも開口側とは反対側の方が電極の厚さが薄くなるように構成されている。これにより、電極の周縁の端部の厚さによる段差が小さくなるので、蓋と回路素子との接着性が部分的に不安定になることを低減させ、蓋と回路素子との接着材による接着が部分的に不安定となることに起因する接着材の歪（応力）を低減することができる。その結果として、接着材の歪に起因するバイアス出力信号の変動を低減させることができる。詳述すれば、接着材と電極の周縁の端部との間に気泡を滞留し難くすることができ、気泡周辺で生じる熱応力の不均等に起因して生じる歪によるバイアス出力信号の変動を生じ難くすることができる。

［態様２］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記貫通孔から離れるに従って、漸減していることが好ましい。

本態様によれば、貫通口から離れるに従って、電極の厚さが漸減することから、貫通孔の開口側よりも開口から離れた位置の電極、即ち電極の周縁の端部の電極の厚さによる段差が小さくなり、蓋と回路素子との接着材による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

［態様３］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の外縁は、傾斜面を含むことが好ましい。

本態様によれば、電極の周縁の領域の外縁の電極に傾斜面を含んでいても、蓋と回路素子との接着材による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

［態様４］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の表面は、曲面状であることが好ましい。

本態様によれば、周縁の領域の電極の表面が曲面状であっても、蓋と回路素子との接着材による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

［態様５］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記電極の前記周縁の領域の表面は、階段状であることが好ましい。

本態様によれば、周縁の領域の電極の表面が階段状であっても、蓋と回路素子との接着材による接着の安定性を向上させることができ、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させることができる。

［態様６］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記蓋の前記回路素子と重なる領域は、前記電極の形成領域と、前記電極の未形成領域と、を含むことが好ましい。

本態様によれば、蓋の回路素子と重なる領域に、電極の未形成領域を設けることにより、回路素子と蓋との間の接着材の接着強度を向上させることができる。

［態様７］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記物理量は加速度であることが好ましい。

本態様によれば、接着の不安定に起因するバイアス出力信号の変動を減少させた高精度の加速度データを検出することができる。

［態様８］本態様に係る複合センサーは、上記態様７に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い複合センサーが得られる。

［態様９］本態様に係る慣性計測ユニットは、上記態様７に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い慣性計測ユニットが得られる。

［態様１０］本態様に係る移動体測位装置は、上記態様９に記載の慣性計測ユニットと、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーを用いた慣性計測ユニットの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い移動体測位装置が得られる。

［態様１１］本態様に係る携帯型電子機器は、上記態様１ないし７のいずれか一つに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーが収納されているケースと、前記ケースに収納され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、前記ケースに収納されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い携帯型電子機器が得られる。

［態様１２］上記態様に記載の携帯型電子機器において、衛星測位システムを含み、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することが好ましい。

本態様によれば、携帯型電子機器の利便性が向上する。

［態様１３］本態様に係る電子機器は、上記態様１ないし７のいずれか一つに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーセンサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い電子機器が得られる。

［態様１４］本態様に係る移動体は、上記態様１ないし７のいずれか一つに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い移動体が得られる。

［態様１５］上記態様に記載の移動体において、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくともいずれかのシステムを含み、前記制御部は、前記検出信号に基づいて前記システムを制御することが好ましい。

本態様によれば、エンジンシステム、ブレーキシステム、およびキーレスエントリーシステムの少なくともいずれかのシステムを精度よく制御することができる。

［態様１６］本態様に係る走行支援システムは、上記態様１ないし７のいずれか一つに記載の物理量センサーと、前記物理量センサーで検出された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御する制御部と、を含み、自動運転の実施、或いは不実施は、前記物理量センサーからの検出信号の変化に応じて切り替えられることを特徴とする。

本態様によれば、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御する制御部によって、自動運転の実施、或いは不実施を物理量センサーで検出された検出信号の変化に応じて精度よく切り替えることができる。

［態様１７］本態様に係る表示装置は、ユーザーの頭部に装着され、前記ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、上記態様１ないし７のいずれか一つに記載の物理量センサーと、を含み、前記物理量センサーは、装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、を含んで構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、表示装置は、物理量センサーが装着状態において頭部の中心より一方側に位置している。このため、ユーザーの頭部が動いた場合に、運動中心における動き量や動きの方向等を速やかに求めることができる。また、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い表示装置が得られる。

［態様１８］本態様に係る物理量センサーの製造方法は、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合され、前記収納空間と前記収納空間と反対側の面との間を貫通する貫通孔が設けられている蓋、および前記収納空間に収納されている物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子を用意する工程と、前記貫通孔の内部、および前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に電極を形成するためのマスクを、前記蓋に載置する工程と、前記マスクを介し、前記貫通孔の内部、および前記周縁に電極を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記貫通孔を封止する工程と、前記蓋の前記反対側の面に、接着材を介して回路素子を接着する工程と、を含み、前記マスクは、前記貫通孔に対向するように貫通部が形成され、前記貫通部の前記蓋に対応している側の周縁に沿って切欠き部が形成されていることを特徴とする。

本態様によれば、このようなマスクを用いて貫通孔の開口の周縁に電極を形成することにより、断面視で、開口から離れるに従って、厚さが漸減する電極を容易に形成することができる。これにより、電極の周縁の端部の厚さによる段差が小さくなり、回路素子を接着する工程において、接着材と電極の周縁の端部との間に気泡を滞留し難くすることができ、気泡周辺で生じる熱応力の不均等に起因して生じる歪によるバイアス出力信号に変動を生じ難くすることができる。

［態様１９］上記態様に記載の物理量センサーの製造方法において、前記電極を形成する工程は、スパッタリング法、または真空蒸着法を用いて電極を形成することが好ましい。

本態様によれば、電極を形成する工程において、スパッタリング法、または真空蒸着法により、容易に貫通孔の内面、および貫通孔の開口の周縁に電極を形成することができる。

１…物理量センサーとしての加速度センサー、２…Ｚ軸加速度センサー、１０…センサーユニット、１２…基板、１６…主面、２０…端子部、２２…凹部、２４…第１溝部、２６…第２溝部、２８…第３溝部、３０…第１配線、３４…第１端子電極、３６…第２配線、４０…第２端子電極、４２…第３配線、４６…第３端子電極、６３…接合部材、６４…蓋としての蓋体、６４ａ…凹部、６４ｂ…外面、６４ｃ…内壁面、６４ｄ…接合面、６４ｅ…天井面、９０…貫通孔としての孔部、９１…凹み部、９１ａ…傾斜壁面、９２…連通孔部、９２ａ…内壁面、９３…金属層、９４…封止部材、９５…底面、１０３…機能素子、１０４…固定電極部、１０６…可動電極部、１２０…回路素子、１２１…接着材、１４１…第１固定電極部、１４２…第２固定電極部、１５０…マスク、１５０ｂ…基材、１５０ｆ…上面、１５０ｒ…下面、１５１…固定部、１５２…可動部、１５３…バネ部、１６１…第１可動電極部、１６２…第２可動電極部、１８０…開口部、１８１…貫通部、１８２…切欠き部、４１１…第１幹部、４１２…第１固定電極指、４２１…第２幹部、４２２…第２固定電極指、７００…物理量センサーデバイス、９００…複合センサー、１０００…リスト機器、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…スマートフォン、１３００…ディジタルスチールカメラ、１５００…自動車、２０００…慣性計測ユニット、３０００…移動体計測装置、４０００…走行支援システム、５０００…頭部装着型表示装置、Ｆ…平面、ＡＬ１…領域、Ｈ…傾斜面、ＡＬ２…漸減領域、Ｓ…キャビティー（収納空間）。

Claims (19)

1. 基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、
   前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、
   を含み、
   前記蓋は、前記収納空間と前記反対側の面との間を貫通し、封止部材によって封止されている貫通孔の内壁から、前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に亘って電極が設けられ、
   断面視で、前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記開口側よりも前記開口側とは反対側の方が薄いことを特徴とする物理量センサー。
2. 請求項１において、
   前記電極の前記周縁の領域の厚さは、前記貫通孔から離れるに従って、漸減していることを特徴とする物理量センサー。
3. 請求項１または２において、
   前記電極の前記周縁の領域の外縁は、傾斜面を含むことを特徴とする物理量センサー。
4. 請求項１ないし３のいずれか一項において、
   前記電極の前記周縁の領域の表面は、曲面状であることを特徴とする物理量センサー。
5. 請求項１ないし３のいずれか一項において、
   前記電極の前記周縁の領域の表面は、階段状であることを特徴とする物理量センサー。
6. 請求項１ないし５のいずれか一項において、
   前記蓋の前記回路素子と重なる領域は、前記電極の形成領域と、前記電極の未形成領域と、を含むことを特徴とする物理量センサー。
7. 請求項１ないし６のいずれか一項において、
   前記物理量は加速度であることを特徴とする物理量センサー。
8. 請求項７に記載の物理量センサーと、
   角速度センサーと、
   を含む、複合センサー。
9. 請求項７に記載の物理量センサーと、
   角速度センサーと、
   前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、
   を備えている、慣性計測ユニット。
10. 請求項９に記載の慣性計測ユニットと、
    測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
    受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
    前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
    算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、
    を含むことを特徴とする移動体測位装置。
11. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
    前記物理量センサーが収納されているケースと、
    前記ケースに収納され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
    前記ケースに収納されている表示部と、
    前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
    を含む、携帯型電子機器。
12. 請求項１１において、
    衛星測位システムを含み、
    ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測する、携帯型電子機器。
13. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
    前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
    を備えている、電子機器。
14. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
    前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
    を備えている、移動体。
15. 請求項１４において、
    エンジンシステム、ブレーキシステム、およびキーレスエントリーシステムの少なくともいずれかのシステムを含み、
    前記制御部は、前記検出信号に基づいて、前記システムを制御する、移動体。
16. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
    前記物理量センサーで検出された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくともいずれかを制御する制御部と、
    を含み、
    自動運転の実施、或いは不実施は、前記物理量センサーからの検出信号の変化に応じて切り替えられる、
    ことを特徴とする走行支援システム。
17. ユーザーの頭部に装着され、
    前記ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、
    請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
    を含み、
    前記物理量センサーは、
    装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、
    前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、
    を含んで構成されていることを特徴とする表示装置。
18. 基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合され、前記収納空間と前記収納空間と反対側の面との間を貫通する貫通孔が設けられている蓋、および前記収納空間に収納されている物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子を用意する工程と、
    前記貫通孔の内部、および前記反対側の面の前記貫通孔の周縁に電極を形成するためのマスクを、前記蓋に載置する工程と、
    前記マスクを介し、前記貫通孔の内部、および前記周縁に電極を形成する工程と、
    前記マスクを除去する工程と、
    前記貫通孔を封止する工程と、
    前記蓋の前記反対側の面に、接着材を介して回路素子を接着する工程と、
    を含み、
    前記マスクは、
    前記貫通孔に対向するように貫通部が形成され、
    前記貫通部の前記蓋に対応している側の周縁に沿って切欠き部が形成されていることを特徴とする物理量センサーの製造方法。
19. 請求項１８において、
    前記電極を形成する工程は、スパッタリング法、または真空蒸着法を用いて電極を形成することを特徴とする物理量センサーの製造方法。

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