JP7336256B2 - 載置台及び載置台の作製方法 - Google Patents
載置台及び載置台の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7336256B2 JP7336256B2 JP2019090104A JP2019090104A JP7336256B2 JP 7336256 B2 JP7336256 B2 JP 7336256B2 JP 2019090104 A JP2019090104 A JP 2019090104A JP 2019090104 A JP2019090104 A JP 2019090104A JP 7336256 B2 JP7336256 B2 JP 7336256B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- top plate
- flow path
- mounting table
- stage
- forming member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
- G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
- G01R31/2875—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to heating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
- G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
- G01R31/2877—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to cooling
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a coating or a hardness or a material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
Description
この種のプローバには、電子デバイスの電気的特性を検査する際、当該電子デバイスの実装環境を再現するために、ステージ内に設けられた、抵抗発熱体を有するヒータや、冷媒が流れる流路によって、当該ステージの温度が制御され、ウェハの温度が制御される。
この問題に関連し、特許文献1は以下のステージを開示している。前述のように、特許文献1に開示のステージは、円板状のステージ蓋と、内部に冷媒溝が形成された冷却ユニットと、を有し、ステージ蓋が、Oリングを介して冷却ユニットに当接し、上記冷媒溝はステージ蓋に覆われて冷媒流路を形成し、Oリングが冷媒を冷媒流路に密封している。そして、これらステージ蓋と冷却ユニットを介してウェハに対向するように、多数のLEDを有する光照射機構が設けられ、また、冷却ユニットと冷媒が光を透過可能であるため、LEDからの光が冷却機構等を透過してステージ蓋に到達する。さらに、光照射機構が、LEDからの光をステージ蓋へ局所的に照射可能である。これらの構成により、特許文献1に開示のステージは、冷却機構でステージ蓋を全体的に冷却しつつ、ステージ蓋へ局所的に光を照射し加熱し、もって、所望の電子デバイスのみの温度を制御しつつ他の電子デバイスを冷却する。
ステージ蓋の材料であるSiCの熱膨張率と、冷却ユニットの材料であるガラスの熱膨張率とは、広い検査温度範囲でステージとして適用可能とするためには、同程度であることが好ましい。しかし、ガラスの熱膨張率をSiCと同程度にするために、ガラスへの添加物の量や種類を調整すると、当該ガラスが、LEDからの光に対して不透明になってしまう。また、SiCの熱膨張率を変えることは難しい。
したがって、LEDからの光に対する透明性を維持するため、冷却ユニットの材料として、ステージ蓋の材料であるSiCと熱膨張率が異なるガラスが従来用いられている。
この熱膨張率の差を吸収しながら、ステージと冷却ユニットとの間に形成される冷媒流路に冷媒を密閉するためには、特許文献1と同様に、ステージと冷却ユニットとをOリングを介して当接させる方法が考えられる。しかし、Oリングで密閉するためには、Oリングを変形させステージ及び冷却ユニットに密着させるのに1t程度の圧縮力をOリングに加える必要がある。このような大きな圧縮力を加えるには、当該圧縮力に耐えられるように、ガラスからなる冷却ユニットの厚さを例えば30mm以上にする必要がある。しかし、ガラスからなる冷却ユニットの厚みが大きいと、ステージが大型化、高重量化し、ステージの駆動系に支障を来すおそれがあり、また、LEDからの光による加熱効率が低下してしまうおそれがある。さらに、Oリングを用いる場合、強い力で当該Oリングを圧縮するために、ステージと冷却ユニットとを多数の保持ねじでとめる必要があり、ねじによる接合部分が破損し易いこと等、信頼性の面で改善の余地がある。
ウェハWには、略円板状のシリコン基板にエッチング処理や配線処理を施すことにより、図3に示すように、複数の電子デバイスDが互いに所定の間隔をおいて、表面に形成されている。電子デバイスDすなわちウェハWの表面には、電極Eが形成されており、該電極Eは当該電子デバイスDの内部の回路素子に電気的に接続されている。電極Eへ電圧を印加することにより、各電子デバイスDの内部の回路素子へ電流を流すことができる。
ステージ10は、図4に示すように、天板部としてのトッププレート120を含む複数の機能部が積層されてなる。ステージ10は、当該ステージ10を水平方向及び鉛直方向に移動させる移動機構11(図2参照)上に、熱絶縁部材110を介して載置される。熱絶縁部材110は、ステージ10と移動機構11とを熱的に絶縁するためのものであり、例えば熱伝導率及び熱膨張率の低いコーディエライトの焼結体等からなる。移動機構11の基台11aも熱絶縁部材110も中実体である。
流路形成部材130の表面には、溝が形成されており、該溝が、トッププレート120に覆われて冷媒流路131を形成する。プローバ1では、冷媒流路131を流れる冷媒でステージ10上に載置されたウェハWを冷却することによって、当該ウェハWに形成された電子デバイスを冷却する。
この光照射機構140は、ウェハWを指向する複数のLED141を有する。具体的には、光照射機構140は、複数のLED141がユニット化されたLEDユニットUを複数有すると共に、これらLEDユニットUが表面に搭載されるベース142を有する。光照射機構140におけるLEDユニットUは、例えば、図5に示すように、ウェハW上に形成された電子デバイスD(図3参照)と同数で同様に配列された平面視正方形状のユニットU1と、その外周を覆う平面視非正方形状のユニットU2とでベース142の略全面を覆っている。これにより、LEDユニットUのLED141からの光で、少なくともトッププレート120におけるウェハWが搭載される部分全体を照射することができる。
プローバ1では、図6に示すように、各プローブ12aがインターフェース13に配置された複数の配線20によってテスタ4に接続される。また、各配線20のうち、電子デバイスDにおける電位差生成回路(例えば、ダイオード)の2つの電極Eに接触する2つのプローブ12aとテスタ4を接続する2つの配線20のそれぞれに、リレー21が設けられる。
まず、ウェハWが、ローダ3のFOUPから取り出されて、ステージ10に向けて搬送され、トッププレート120のウェハ載置面120a上に載置される。次いで、ステージ10が、予め定められた位置に移動される。
この状態で、電位差測定ユニット15により、検査対象の電子デバイスDにおける前述の電位差生成回路の電位差が取得される。そして、面内で均一とされたトッププレート120の温度が検査対象の電子デバイスDの温度と略一致するものとして、上記電位差の校正が行われ、すなわち、上記電位差の温度特性の情報が補正される。
ステージ10の作製方法は、トッププレート120、流路形成部材130及び光照射機構140を作製する部材作成工程と、隣接する各部材を接合する接合工程とを含む。以下、上記部材作成工程と、接合工程とを具体的に説明する。
この工程では、Siインゴットを切り出して形成されるSi単結晶基板に、ウェハ吸着のための吸着穴の形成等が行われ、トッププレート120が作製される。
この工程では、例えば、耐熱性が高く熱膨張率の低いホウケイ酸ガラスの平板に、冷媒流路131となる冷媒溝が機械加工等により形成され、供給口132と排出口133が機械加工等により形成され、流路形成部材130が作製される。
この工程では、LEDユニットUの作製や、予め流路が形成されたベース142への上記LEDユニットUの実装が行われ、光照射機構140が作製される。
この工程では、例えば、トッププレート120の裏面120bと流路形成部材130の表面の端部とが陽極接合により接合される。陽極接合では、トッププレート120と流路形成部材130とが重ねられた状態で加熱されると共に、Si製のトッププレート120を陽極、ガラス製の流路形成部材130を陰極として電圧が印加される。これにより、流路形成部材130中の陽イオンを陽極側に強制的に拡散させることによって、ガラスとSiとを化学反応させて結合させる。
この工程では、例えば、流路形成部材130の裏面の周縁部と平面視円環状のスペーサ143の表面との接合、光照射機構140のベース142の表面の周縁部とスペーサ143の裏面との接合が行われる。これらの接合は、例えば紫外線硬化型樹脂等を用いて行われる。また、上記接合後、例えば、スペーサ143の側部に設けられている貫通孔から、LED搭載空間Sに光透過性樹脂144が充填される。充填後、必要に応じて、スペーサ143の上記貫通孔が塞がれる。
この工程では、例えば、光照射機構140のベース142の裏面と、コーディエライトの焼結体製の熱絶縁部材110の表面との接合が行われる。この接合は、例えば、Al合金をロウ材に用いたロウ付けにより行われる。
さらにまた、Siは体積比熱が低いため、この点においても、トッププレート120にSiを用いることで、トッププレート120の熱容量を抑えることができる。
それに対し、本実施形態では、LED搭載空間Sが光透過性樹脂144で充填され、ステージ10は光照射機構140の下方から支持される。したがって、ステージ10では、検査時にプローブ12aを押し付ける力は、トッププレート120と流路形成部材130だけで受けるわけでなく、ステージ全体で受ける。したがって、SiCよりもヤング率が低いSiをトッププレート120の材料に用いトッププレート120を薄くしても、プローブ12aを押し付ける力によりトッププレート120が変形することがない。
この電磁シールド層220は、高濃度に不純物が添加され導電率が高いSi単結晶基板により構成され、その表面にSi酸化膜221が形成され側面に電極222が形成されている。電磁シールド層220は、電極222を介して接地電位あるいはインピーダンスの低い電位に接続される。
まず、天井層210と電磁シールド層220が作製される。具体的には、Siインゴットを切り出して形成されるSi単結晶基板の、天井層210の裏面に相当する面に、熱酸化処理によってSi酸化膜211が形成され、天井層210が作製される。また、高濃度に不純物が添加されたSiインゴットを切り出して形成されるSi単結晶基板の表面に、熱酸化処理によってSi酸化膜221が形成される。それと共に、上記Si単結晶基板の側面に、メタライズ処理によって電極222が形成される。これにより、電磁シールド層220が作製される。
次いで、天井層210と電磁シールド層220とが接合され、トッププレート200が作製される。具体的には、Si酸化膜211及びSi酸化膜221を介した天井層210と電磁シールド層220との接合が行われ、トッププレート200が作製される。Si酸化膜211、221を介した接合には、例えばプラズマ活性化低温接合が用いられる。このプラズマ活性化低温接合では、常温下でのプラズマ処理によりSi酸化膜211、221の接合面を活性化させた後、Si酸化膜211、221同士を密着させる。その後、1000℃未満の低温(例えば200℃)で熱処理することにより、Si酸化膜211、221を介して天井層210と電磁シールド層220とが接合される。
なお、プラズマ化低温接合の代わりに、イオンビーム等を用いて接合面を活性化させる常温接合を行うようにしてもよい。
また、上述のプラズマ化低温接合や常温接合を行うために十分な平坦度をSi酸化膜211、221の接合面が有していない場合は、Si酸化膜211、221の接合面の平坦化処理を事前に行うようにしてもよい。なお、Si酸化膜211、221は、前述のように、半導体製造プロセスに用いられる熱酸化処理により形成されているため、基本的には、高い平坦性を有する。
なお、この例では、電磁シールド層220と天井層210とは別々に設けられていたが、天井層210を、高濃度に不純物が添加され導電率が高いSi単結晶基板により構成し、天井層210が電磁シールド層220を兼ねるようにしてもよい。これにより、光照射機構140で生じた電磁波がステージ10のウェハ載置面120a側から出射されるのを防ぎつつ、トッププレート全体の熱容量を抑えることができる。
また、以上の例では、トッププレートは、Si単結晶基板から作製されていたが、Si多結晶基板から作製されていてもよい。Si単結晶基板およびSi多結晶基板は、半導体産業の応用分野の大きさから安価で入手することができる。
表面に前記検査対象体が載置される天板部と、
前記天板部の裏面に取り付けられ、前記天板部との間に光を透過可能な冷媒が流れる冷媒流路を形成する流路形成部材と、
前記天板部に載置された前記検査対象体と前記流路形成部材を介して対向するように配置され、当該検査対象体を指向する複数のLEDを有する光照射機構とを有し、
前記流路形成部材は、光を透過可能なガラスからなり、
前記天板部はシリコンからなる、載置台。
前記(1)によれば、冷媒流路を流れる冷媒により天板部全体を冷却しつつ、天板部へ局所的にLED光を照射し加熱し、もって、検査対象体における所望の部分のみの温度を制御しつつ他の部分を冷却することができる。また、前記(1)では、流路形成部材がガラスから形成され、天板部がガラスと熱膨張率の差が小さいシリコンから形成されている。そのため、天板部と流路形成部材との接合部分に生じる、熱膨張または熱収縮による応力が小さい。したがって、前記(1)にかかる載置台は、広い検査温度範囲で使用することができる。また、流路形成部材をガラス、天板部をシリコンでそれぞれ形成しているため、流路形成部材と天板部との接合に、陽極接合による接合を用いることができる。陽極接合による接合部分は、当該接合部分に生じる応力に対する耐性が、エポキシ樹脂による接合等に比べて高い。したがって、前記(1)にかかる載置台は、より広い検査温度範囲まで適用し得る。
表面に前記検査対象体が載置される天井層と、
前記天井層の裏面側に設けられ、前記光照射機構で生じる電磁波を、前記天井層に載置された検査対象体から遮断する電磁シールド層と、を有する、前記(1)~(5)のいずれか1に記載の載置台。
前記載置台は、表面に前記検査対象体が載置される天板部と、
前記天板部の裏面に取り付けられ、前記天板部との間に光を透過可能な冷媒が流れる冷媒流路を形成する流路形成部材と、
前記天板部に載置された前記検査対象体と前記流路形成部材を介して対向するように配置され、当該検査対象体を指向する複数のLEDを有する光照射機構とを有し、
当該作製方法は、
光を透過可能なガラスを用いて前記流路形成部材を形成する工程と、
シリコンを用いて前記天板部を形成する工程と、
前記流路形成部材と前記天板部とを陽極接合により接合する工程と、を含む、載置台の作製方法。
120、200 トッププレート
130 流路形成部材
131 冷媒流路
140 光照射機構
141 LED
W ウェハ
Claims (5)
- プローブカードのプローブが、検査対象体に形成された電子デバイスの電極に接触され、前記プローブを介して前記電子デバイスからテスタが受信した電気信号に基づいて、前記電子デバイスの電気的特性検査を行う検査装置に搭載され、前記検査対象体が載置される載置台であって、
表面に前記検査対象体が載置される天板部と、
前記天板部の裏面に取り付けられ、前記天板部との間に光を透過可能な冷媒が流れる冷媒流路を形成する流路形成部材と、
前記天板部に載置された前記検査対象体と前記流路形成部材を介して対向するように配置され、当該検査対象体を指向する複数のLEDを有する光照射機構とを有し、
前記流路形成部材は、光を透過可能なガラスからなり、
前記天板部はシリコンからなり、
前記光照射機構は、スペーサを介して、前記流路形成部材の裏面に接合され、
前記スペーサにより形成された前記LEDの搭載空間は、光を透過可能な材料で充填され、当該載置台が中空部分がないように形成されている、載置台。 - 前記ガラスはホウケイ酸ガラスである、請求項1に記載の載置台。
- 前記流路形成部材は、前記天板部の裏面に、陽極接合により接合されている、請求項1または2に記載の載置台。
- 当該載置台は、前記光照射機構の裏面側から支持される、請求項1~3のいずれか1項に記載の載置台。
- 前記天板部は、
表面に前記検査対象体が載置される天井層と、
前記天井層の裏面側に設けられ、前記光照射機構で生じる電磁波を、前記天井層に載置された検査対象体から遮断する電磁シールド層と、を有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の載置台。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090104A JP7336256B2 (ja) | 2019-05-10 | 2019-05-10 | 載置台及び載置台の作製方法 |
CN202080033045.2A CN113767461B (zh) | 2019-05-10 | 2020-05-01 | 载置台和载置台的制作方法 |
KR1020217039218A KR20220003599A (ko) | 2019-05-10 | 2020-05-01 | 탑재대 및 탑재대의 제작 방법 |
PCT/JP2020/018444 WO2020230674A1 (ja) | 2019-05-10 | 2020-05-01 | 載置台及び載置台の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090104A JP7336256B2 (ja) | 2019-05-10 | 2019-05-10 | 載置台及び載置台の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020188076A JP2020188076A (ja) | 2020-11-19 |
JP7336256B2 true JP7336256B2 (ja) | 2023-08-31 |
Family
ID=73220997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019090104A Active JP7336256B2 (ja) | 2019-05-10 | 2019-05-10 | 載置台及び載置台の作製方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7336256B2 (ja) |
KR (1) | KR20220003599A (ja) |
CN (1) | CN113767461B (ja) |
WO (1) | WO2020230674A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021188947A (ja) * | 2020-05-27 | 2021-12-13 | 株式会社日本マイクロニクス | 光学的接続子保持構造及び接続装置 |
WO2022201285A1 (ja) | 2021-03-23 | 2022-09-29 | キオクシア株式会社 | カセット筐体、プローバー、サーバーラックおよびストレージシステム |
JP2022154237A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 東京エレクトロン株式会社 | Ledチャック |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013104667A (ja) | 2011-11-10 | 2013-05-30 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の検査装置及び検査方法 |
JP2018525813A (ja) | 2015-06-29 | 2018-09-06 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | Led加熱装置を備えた静電チャック |
JP2018151369A (ja) | 2016-11-29 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101098798B1 (ko) * | 2004-05-26 | 2011-12-26 | 쿄세라 코포레이션 | 히터와 웨이퍼 가열장치 및 히터의 제조방법 |
EP1882950A4 (en) * | 2005-05-19 | 2012-08-15 | Konica Minolta Med & Graphic | TEST CHIP FOR ANALYZING TARGET SUBSTANCE IN SUBSTANCE TO BE ANALYZED AND ANALYTICAL SYSTEM AT MICROSCOPIC SCALE |
JP2007035747A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ |
JP4877748B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および処理ガス吐出機構 |
JP2008215976A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Nikon Corp | 基板検査装置 |
JP5688203B2 (ja) * | 2007-11-01 | 2015-03-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体基板の作製方法 |
JP2010080673A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Tokyo Electron Ltd | 載置台 |
JP2014183151A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | モジュール、モジュールの製造方法、電子機器、および移動体 |
JP6152010B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2017-06-21 | 株式会社Screenホールディングス | 光照射装置および光照射方法 |
JP6386923B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2018-09-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体評価装置およびチャックステージの検査方法 |
JP2018026498A (ja) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | 日東電工株式会社 | 半導体パッケージのマスキング方法 |
WO2018100881A1 (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
-
2019
- 2019-05-10 JP JP2019090104A patent/JP7336256B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-01 WO PCT/JP2020/018444 patent/WO2020230674A1/ja active Application Filing
- 2020-05-01 CN CN202080033045.2A patent/CN113767461B/zh active Active
- 2020-05-01 KR KR1020217039218A patent/KR20220003599A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013104667A (ja) | 2011-11-10 | 2013-05-30 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の検査装置及び検査方法 |
JP2018525813A (ja) | 2015-06-29 | 2018-09-06 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | Led加熱装置を備えた静電チャック |
JP2018151369A (ja) | 2016-11-29 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020188076A (ja) | 2020-11-19 |
CN113767461B (zh) | 2024-01-23 |
KR20220003599A (ko) | 2022-01-10 |
CN113767461A (zh) | 2021-12-07 |
WO2020230674A1 (ja) | 2020-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7336256B2 (ja) | 載置台及び載置台の作製方法 | |
EP3550313B1 (en) | Electronic device inspecting apparatus | |
US11340283B2 (en) | Testing device | |
TWI767093B (zh) | 檢查裝置 | |
WO2018100881A1 (ja) | 載置台及び電子デバイス検査装置 | |
JP7304722B2 (ja) | 温度制御装置、温度制御方法、および検査装置 | |
US11221358B2 (en) | Placement stand and electronic device inspecting apparatus | |
TWI816949B (zh) | 載置台及載置台之製作方法 | |
CN113325900B (zh) | 温度控制装置、温度控制方法以及检查装置 | |
KR102647972B1 (ko) | 탑재대 및 검사 장치 | |
JP7393986B2 (ja) | 載置台及び検査装置 | |
US20220262661A1 (en) | Temperature control device, temperature control method, and inspection apparatus | |
JP7474678B2 (ja) | 載置台、検査装置及び検査方法 | |
JP2022032473A (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2022071468A (ja) | 載置台、検査装置及び検査方法 | |
JP2023177195A (ja) | 検査装置及び載置台 | |
KR20210128739A (ko) | 반도체 소자 검사장치 및 이를 구비하는 자동 검사장비 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7336256 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |