JP6152010B2 - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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Description
<1−1.光照射装置の構成について>
図1および図2は、本発明の第1実施形態に係る光照射装置1の構成を示した図である。この光照射装置1は、一対のローラ11,13の間で長尺なシート状の基材9を搬送しつつ、基材9の主面91にフラッシュ光を照射する装置である。フラッシュ光の照射対象となる基材9は、例えば、PET(ポリエチレンテレフタラート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、ポリイミド等の樹脂からなり、柔軟に湾曲する。図1および図2に示すように、本実施形態の光照射装置1は、基材搬送機構10、光照射部20、ランプハウス30、シール部材40、接離機構50、ガス供給部60、排気部70、および制御部80を備えている。
続いて、第1実施形態の光照射装置1を用いて、基材9の主面91にフラッシュ光を照射するときの処理の流れについて、説明する。図3は、当該処理の流れを示したフローチャートである。この光照射装置1においてフラッシュ光の照射処理を行うときには、まず、制御部80に、当該処理を行う旨の指令が、入力される。制御部80は、当該指令を受信すると、コンピュータプログラム84に従って、光照射装置1内の各部を動作制御する。これにより、以下の動作が進行する。
<2−1.光照射装置の構成について>
続いて、本発明の第2実施形態について説明する。図4および図5は、第2実施形態に係る光照射装置101の構成を示した図である。この光照射装置101は、薄板状の基材109をテーブル111上に保持しつつ搬送し、基材109の主面191にフラッシュ光を照射する装置である。フラッシュ光の照射対象となる基材109は、例えば、フラットパネルディスプレイに用いられる矩形のガラス基材である。図4および図5に示すように、本実施形態の光照射装置101は、基材搬送機構110、光照射部120、ランプハウス130、シール部材140、接離機構150、ガス供給部160、排気部170、および制御部180を備えている。
続いて、第2実施形態の光照射装置101を用いて、基材109の主面191にフラッシュ光を照射するときの処理の流れについて、説明する。図6は、当該処理の流れを示したフローチャートである。この光照射装置101においてフラッシュ光の照射処理を行うときには、まず、制御部180に、当該処理を行う旨の指令が、入力される。制御部180は、当該指令を受信すると、コンピュータプログラム184に従って、光照射装置101内の各部を動作制御する。これにより、以下の動作が進行する。
以上、本発明の実施形態を例示的に説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
9,109 基材
10,110 基材搬送機構
11 送り出しローラ
12 中間ローラ
13 巻き取りローラ
14,114 搬送経路
20,120 光照射部
21,121 フラッシュランプ
22,122 リフレクタ
23,123 ケーブル
30,130 ランプハウス
31,131 内部空間
32,132 開口部
40,140 シール部材
50,150 接離機構
51 押圧部材
52,152 昇降機構
60,160 ガス供給部
70,170 排気部
80,180 制御部
84,184 コンピュータプログラム
91,191 主面
111 テーブル
112 テーブル移動機構
Claims (17)
- 基材の主面にフラッシュ光を照射する光照射装置であって、
前記基材を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基材の主面にフラッシュ光を照射する光照射部と、
前記光照射部を単一の内部空間に収容するとともに前記基材側に開口部を有する筐体と、
前記筐体の前記開口部の周縁に設けられたシール部材と、
前記基材の主面と前記シール部材とが接触および離間するように、前記基材および前記シール部材を相対的に移動させる接離機構と、
を備え、
前記基材の主面と前記シール部材とを接触させたときに、前記基材の主面と前記筐体とで、単一の閉空間が形成され、
前記閉空間に配置された前記光照射部から、前記基材の主面にフラッシュ光を照射する光照射装置。
- 請求項1に記載の光照射装置において、
前記筐体の前記開口部は、前記基材の主面より小さく、
前記基材と前記筐体とを、前記基材の主面と平行な方向に相対移動させる搬送機構をさらに備える光照射装置。 - 請求項2に記載の光照射装置において、
前記筐体の位置が固定され、
前記搬送機構は、前記基材を移動させる光照射装置。 - 請求項3に記載の光照射装置において、
前記基材はシート状または薄板状である光照射装置。 - 請求項4に記載の光照射装置において、
前記基材は、柔軟に湾曲可能なシート状の基材であり、
前記搬送機構は、
前記保持部より搬送方向の上流側において、前記基材を送り出す送り出しローラと、
前記保持部より搬送方向の下流側において、前記基材を巻き取る巻き取りローラと、
を有する光照射装置。 - 請求項5に記載の光照射装置において、
前記保持部は、前記基材に対して張力を付与しつつ、前記基材を支持する光照射装置。 - 請求項6に記載の光照射装置において、
前記保持部は、
基材を支持する複数のローラ
を有する光照射装置。 - 請求項4に記載の光照射装置において、
前記保持部は、
基材を支持するテーブル
を有する光照射装置。 - 請求項1から請求項8までのいずれかに記載の光照射装置において、
前記保持部は、前記基材の主面が下側を向く状態で、前記基材を略水平に保持し、
前記光照射部および前記筐体は、前記保持部に保持された前記基材の下側に配置される光照射装置。 - 請求項1から請求項9までのいずれかに記載の光照射装置において、
前記筐体の内部へガスを供給するガス供給部
をさらに備える光照射装置。 - 請求項10に記載の光照射装置において、
前記ガスは不活性ガスである光照射装置。 - 請求項11に記載の光照射装置において、
前記不活性ガスは窒素ガスである光照射装置。 - 請求項1から請求項12までのいずれかに記載の光照射装置において、
前記筐体内の気体を排気する排気部
をさらに備えた光照射装置。 - 請求項1から請求項13までのいずれかに記載の光照射装置において、
前記基材は、樹脂からなる光照射装置。 - 基材の主面にフラッシュ光を照射する光照射方法であって、
a)基材の主面と、基材の主面側に開口部を有する筐体とを用いて、単一の閉空間を形成する工程と、
b)前記工程a)の後に、前記閉空間に配置された光照射部から、前記基材の主面にフラッシュ光を照射する工程と、
c)前記工程b)の後に、前記閉空間を開放する工程と、
を含む光照射方法。 - 請求項15に記載の光照射方法において、
前記筐体の前記開口部は、前記基材の主面より小さく、
前記基材と前記筐体とを、前記基材の主面と平行な方向に相対移動させつつ、前記工程a)、前記工程b)、および前記工程c)を繰り返す光照射方法。 - 請求項15または請求項16に記載の光照射方法において、
前記工程b)では、前記筐体の内部へガスを供給しつつ、前記光照射部からフラッシュ光を照射する光照射方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013165029A JP6152010B2 (ja) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | 光照射装置および光照射方法 |
TW103120224A TWI567796B (zh) | 2013-08-08 | 2014-06-11 | 光照射裝置及光照射方法 |
KR1020140085114A KR101574896B1 (ko) | 2013-08-08 | 2014-07-08 | 광조사 장치 및 광조사 방법 |
CN201410385579.8A CN104347455A (zh) | 2013-08-08 | 2014-08-07 | 光照射装置以及光照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013165029A JP6152010B2 (ja) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | 光照射装置および光照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015035472A JP2015035472A (ja) | 2015-02-19 |
JP6152010B2 true JP6152010B2 (ja) | 2017-06-21 |
Family
ID=52502794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013165029A Active JP6152010B2 (ja) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | 光照射装置および光照射方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6152010B2 (ja) |
KR (1) | KR101574896B1 (ja) |
CN (1) | CN104347455A (ja) |
TW (1) | TWI567796B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7336256B2 (ja) * | 2019-05-10 | 2023-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び載置台の作製方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6229093U (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-21 | ||
JPH03222429A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
JPH0677198A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Hitachi Ltd | 有機物除去装置 |
JP4218192B2 (ja) * | 1999-08-05 | 2009-02-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理装置及び処理方法 |
US8058146B2 (en) * | 2004-09-24 | 2011-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Peeling method |
JP4479466B2 (ja) * | 2004-11-04 | 2010-06-09 | ウシオ電機株式会社 | エキシマ光照射装置 |
JP2006219689A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | 薄膜製造装置、及び半導体薄膜の形成方法 |
JP2007324170A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Yoshimi Shiotani | 照射装置及び照射装置を用いた半導体製造装置 |
JP5019156B2 (ja) * | 2006-08-21 | 2012-09-05 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ装置 |
JP5456257B2 (ja) * | 2008-01-08 | 2014-03-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置 |
JP5294678B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2013-09-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
US8410712B2 (en) * | 2008-07-09 | 2013-04-02 | Ncc Nano, Llc | Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds |
JP5554034B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2014-07-23 | リンテック株式会社 | 光照射装置及び光照射方法 |
JP2011091386A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び半導体装置の作製方法 |
JP5728265B2 (ja) | 2011-03-29 | 2015-06-03 | リンテック株式会社 | 光照射装置および光照射方法 |
JP5601312B2 (ja) * | 2011-11-25 | 2014-10-08 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
-
2013
- 2013-08-08 JP JP2013165029A patent/JP6152010B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-11 TW TW103120224A patent/TWI567796B/zh active
- 2014-07-08 KR KR1020140085114A patent/KR101574896B1/ko active IP Right Grant
- 2014-08-07 CN CN201410385579.8A patent/CN104347455A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015035472A (ja) | 2015-02-19 |
KR101574896B1 (ko) | 2015-12-04 |
KR20150018373A (ko) | 2015-02-23 |
TW201521093A (zh) | 2015-06-01 |
TWI567796B (zh) | 2017-01-21 |
CN104347455A (zh) | 2015-02-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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