JPWO2015137054A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2…LiNbO3基板
2a…第1の主面
2b…第2の主面
3…第1のIDT電極
3a,3b…電極指
4…第2のIDT電極
4a,4b…電極指
11…弾性波装置
14…電極膜
Claims (10)
- 第1の主面と、該第1の主面とは反対側の第2の主面とを有するLiNbO3基板と、
前記LiNbO3基板の前記第1の主面に設けられている第1のIDT電極と、
前記LiNbO3基板の前記第2の主面に設けられており、前記第1のIDT電極と前記LiNbO3基板を介して重なり合うように配置されている第2のIDT電極とを備え、前記第1のIDT電極と前記第2のIDT電極とに逆相の交流電圧が印加された場合に、前記LiNbO3基板において励振される弾性波は、SH波が主体である高次モードの板波である、弾性波装置。 - 前記LiNbO3基板のオイラー角(φ,θ,ψ)において、φ=0±5°、ψ=0±5°かつθが72°以上、97°以下の範囲にある、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記LiNbO3基板の厚みが、前記第1,第2のIDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとしたときに、0.05λ以上、0.52λ以下である、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2のIDT電極のデューティが0.15以上、0.77以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2のIDT電極が、AlまたはAlを主体とする合金からなる電極膜を有し、該電極膜の膜厚が、前記第1,第2のIDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとしたとき、0.035λ以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 第1の主面と、該第1の主面とは反対側の第2の主面とを有するLiNbO3基板と、
前記LiNbO3基板の前記第1の主面に設けられているIDT電極と、
前記LiNbO3基板の前記第2の主面に設けられており、前記第1の主面側から平面視した場合に、前記IDT電極の外縁に囲まれた全領域を占めるように設けられた電極膜とを備え、前記IDT電極に交流電圧が印加された場合に、前記LiNbO3基板において励振される弾性波は、SH波が主体である高次モードの板波である、弾性波装置。 - 前記LiNbO3基板のオイラー角(φ,θ,ψ)において、φ=0±5°、ψ=0±5°かつθが68°以上、96°以下の範囲にある、請求項6に記載の弾性波装置。
- 前記LiNbO3基板の厚みが、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとしたときに、0.05λ以上、0.18λ以下である、請求項6または7に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極のデューティが0.1以上、0.68以下である、請求項6〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が、AlまたはAlを主体とする合金からなる電極膜を有し、該電極膜の膜厚が、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとしたとき、0.022λ以下である、請求項6〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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