JPWO2015050007A1 - 金属調皮膜の製造方法及び車両用アウトサイドドアハンドル - Google Patents
金属調皮膜の製造方法及び車両用アウトサイドドアハンドル Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015050007A1 JPWO2015050007A1 JP2015540452A JP2015540452A JPWO2015050007A1 JP WO2015050007 A1 JPWO2015050007 A1 JP WO2015050007A1 JP 2015540452 A JP2015540452 A JP 2015540452A JP 2015540452 A JP2015540452 A JP 2015540452A JP WO2015050007 A1 JPWO2015050007 A1 JP WO2015050007A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- chromium
- chrome
- metal
- tone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 65
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 396
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 287
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 287
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 162
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 72
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 68
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 55
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 39
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 39
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims description 16
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 652
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 61
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 27
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 27
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60J—WINDOWS, WINDSCREENS, NON-FIXED ROOFS, DOORS, OR SIMILAR DEVICES FOR VEHICLES; REMOVABLE EXTERNAL PROTECTIVE COVERINGS SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLES
- B60J5/00—Doors
- B60J5/04—Doors arranged at the vehicle sides
- B60J5/0493—Appurtenances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0015—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterized by the colour of the layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/20—Metallic material, boron or silicon on organic substrates
- C23C14/205—Metallic material, boron or silicon on organic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5806—Thermal treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5886—Mechanical treatment
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B1/00—Knobs or handles for wings; Knobs, handles, or press buttons for locks or latches on wings
- E05B1/0053—Handles or handle attachments facilitating operation, e.g. by children or burdened persons
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B17/00—Accessories in connection with locks
- E05B17/0004—Lock assembling or manufacturing
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B79/00—Mounting or connecting vehicle locks or parts thereof
- E05B79/02—Mounting of vehicle locks or parts thereof
- E05B79/06—Mounting of handles, e.g. to the wing or to the lock
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B81/00—Power-actuated vehicle locks
- E05B81/54—Electrical circuits
- E05B81/64—Monitoring or sensing, e.g. by using switches or sensors
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B81/00—Power-actuated vehicle locks
- E05B81/54—Electrical circuits
- E05B81/64—Monitoring or sensing, e.g. by using switches or sensors
- E05B81/76—Detection of handle operation; Detection of a user approaching a handle; Electrical switching actions performed by door handles
- E05B81/77—Detection of handle operation; Detection of a user approaching a handle; Electrical switching actions performed by door handles comprising sensors detecting the presence of the hand of a user
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B81/00—Power-actuated vehicle locks
- E05B81/54—Electrical circuits
- E05B81/64—Monitoring or sensing, e.g. by using switches or sensors
- E05B81/76—Detection of handle operation; Detection of a user approaching a handle; Electrical switching actions performed by door handles
- E05B81/78—Detection of handle operation; Detection of a user approaching a handle; Electrical switching actions performed by door handles as part of a hands-free locking or unlocking operation
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B85/00—Details of vehicle locks not provided for in groups E05B77/00 - E05B83/00
- E05B85/10—Handles
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
- E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
- E05F15/40—Safety devices, e.g. detection of obstructions or end positions
- E05F15/42—Detection using safety edges
- E05F15/46—Detection using safety edges responsive to changes in electrical capacitance
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
- E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
- E05F15/70—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation
- E05F15/73—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation responsive to movement or presence of persons or objects
- E05F15/76—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation responsive to movement or presence of persons or objects responsive to devices carried by persons or objects, e.g. magnets or reflectors
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
- E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
- E05F15/70—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation
- E05F15/77—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation using wireless control
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/60—Suspension or transmission members; Accessories therefor
- E05Y2201/622—Suspension or transmission members elements
- E05Y2201/676—Transmission of human force
- E05Y2201/68—Handles, cranks
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2900/00—Application of doors, windows, wings or fittings thereof
- E05Y2900/50—Application of doors, windows, wings or fittings thereof for vehicles
- E05Y2900/53—Type of wing
- E05Y2900/531—Doors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Lock And Its Accessories (AREA)
Abstract
Description
金属調皮膜をスパッタリングにより基材表面に成膜する場合、金属調皮膜内の内部応力は、成膜時に基材表面に付着する金属粒子の熱エネルギー等が金属調皮膜内に蓄積されることによっても生じる。金属調皮膜内に生じる内部応力は、成膜条件に応じて変化する。内部応力が高過ぎる場合、基材表面に成膜した金属調皮膜の密着性が悪化する(密着強度が低下する)とともに、クラック形成後における皮膜の鏡面性が低下する。そのため金属調皮膜が樹脂基材から剥離する虞がある上、湿式メッキ皮膜のような鏡面性の高い金属外観を得ることができない。
本発明は、非導電性の基材の表面に形成される金属調皮膜の製造方法であって、スパッタリングにより第1の成膜速度で基材の表面にクロムからなる第1クロム皮膜を成膜する第1成膜工程と、スパッタリングにより第1の成膜速度よりも高い第2の成膜速度で第1クロム皮膜の表面にクロムからなる第2クロム皮膜を成膜する第2成膜工程と、第1クロム皮膜及び第2クロム皮膜に応力を加えることにより、第1クロム皮膜内及び第2クロム皮膜内にクラックを形成するクラック形成工程と、を含む、金属調皮膜の製造方法を提供する。この場合、第1の成膜速度は、第1クロム皮膜が基材から剥離しない程度の密着強度を有し、且つ高い鏡面性が得られるような低い成膜速度であり、第2の成膜速度は、第2クロム皮膜の明度が予め定められた明度以上となるような高い成膜速度であるのがよい。
車両のアウトサイドドアハンドルのハンドル本体に用いられる基材7の表面に、アクリル系樹脂からなる厚さ20μmの平滑層を形成した。その後、基材7を図1に示すスパッタリング装置1のテーブル4上に載置した。また、ターゲット5としてのクロムのバルク金属(固体金属)を保持プレート3に取り付けた。そして、スパッタリング装置1を作動させることにより、基材7の表面(平滑層の表面)にクロム皮膜(第1クロム皮膜)を成膜した(第1成膜工程)。
アクリル系樹脂からなる厚さ20μmの平滑層が形成された基材7を、図1に示すスパッタリング装置1のテーブル4上に載置した。また、ターゲット5としてクロムのバルク金属(固体金属)を保持プレート3に取り付けた。そして、成膜条件を以下のように設定して、スパッタリング装置1を作動させることにより、基材7の表面に単層のクロム皮膜を成膜した(成膜工程)。
・成膜速度:0.6nm/sec.
・膜厚:30nm
・成膜圧力:0.3Pa
アクリル系樹脂からなる厚さ20μmの平滑層が形成された基材7を、図1に示すスパッタリング装置1のテーブル4上に載置した。また、ターゲット5としてクロムのバルク金属(固体金属)を保持プレート3に取り付けた。そして、成膜条件を以下のように設定して、スパッタリング装置1を作動させることにより、基材7の表面に単層のクロム皮膜を成膜した(成膜工程)。
・成膜速度:3.0nm/sec.
・膜厚:30nm
・成膜圧力:0.3Pa
クロム皮膜の成膜速度と内部応力との関係を調査するために、図1に示すスパッタリング装置1を用い、複数の成膜速度(0.6nm/sec.,1.4nm/sec.,2.0nm/sec.,3.0nm/sec.)でガラス基材にスパッタリングによりクロム皮膜を成膜した。なお、膜厚は30nm、成膜圧力は0.3Paである。また、成膜時にターゲット5に対してガラス基材を回転させた。成膜後、ガラス基材を恒温槽に入れ、80℃の温度雰囲気中で30分間保持することによりガラス基材を加熱してクロム皮膜内にクラックを形成した。その後、クロム皮膜内の内部応力を測定した。内部応力の測定にあたり、文献「材料」(J.Soc.Mat.Sci.,Japan,Vol.51,No.12,pp.1429−1435,Dec.2002)を参考にし、侵入深さ一定法により内部応力を測定した。
また、クロム皮膜の成膜速度と、明度及び拡散反射明度との関係を調査するために、図1に示すスパッタリング装置1を用い、複数の成膜速度(0.6nm/sec.,1.4nm/sec.,2.0nm/sec.,3.0nm/sec.)でガラス基材にスパッタリングによりクロム皮膜を成膜した。なお、膜厚は30nm、成膜圧力は0.3Paである。また、成膜時にターゲット5に対してガラス基材を回転させた。成膜後、ガラス基材を恒温槽に入れ、80℃の温度雰囲気中で30分間保持することによりガラス基材を加熱してクロム皮膜内にクラックを形成した。その後、クロム皮膜の明度及び拡散反射明度(L*a*b*表色系におけるL*)を上述の各例と同様の方法で測定した。
本発明は、非導電性の基材の表面に形成される金属調皮膜の製造方法であって、スパッタリングにより第1の成膜速度で基材の表面にクロムからなる第1クロム皮膜を成膜する第1成膜工程と、スパッタリングにより第1の成膜速度よりも高い第2の成膜速度で第1クロム皮膜の表面にクロムからなる第2クロム皮膜を成膜する第2成膜工程と、第1クロム皮膜及び第2クロム皮膜に応力を加えることにより、第1クロム皮膜内及び第2クロム皮膜内にクラックを形成するクラック形成工程と、を含み、前記第1の成膜速度は0.6nm/sec.以下であり、
前記第2の成膜速度は1.2nm/sec.以上である、金属調皮膜の製造方法を提供する。
Claims (16)
- 非導電性の基材の表面に形成される金属調皮膜の製造方法であって、
スパッタリングにより第1の成膜速度で前記基材の表面にクロムからなる第1クロム皮膜を成膜する第1成膜工程と、
スパッタリングにより前記第1の成膜速度よりも高い第2の成膜速度で前記第1クロム皮膜の表面にクロムからなる第2クロム皮膜を成膜する第2成膜工程と、
前記第1クロム皮膜及び前記第2クロム皮膜に応力を加えることにより、前記第1クロム皮膜内及び前記第2クロム皮膜内にクラックを形成するクラック形成工程と、
を含む、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項1に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第1の成膜速度は、前記第1クロム皮膜が前記基材から剥離しない程度の密着強度を有し、且つ高い鏡面性が得られるような低い成膜速度であり、
前記第2の成膜速度は、前記第2クロム皮膜の明度が予め定められた明度以上となるような高い成膜速度である、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項1または2に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第1の成膜速度は、前記第1クロム皮膜内に生じる内部応力が予め定められた内部応力以下となるような低い成膜速度であり、
前記第2の成膜速度は、前記第2クロム皮膜の明度が装飾クロムメッキ皮膜の明度と同等となるような高い成膜速度である、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第1の成膜速度は0.6nm/sec.以下であり、
前記第2の成膜速度は1.2nm/sec.以上である、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第1成膜工程にて成膜される前記第1クロム皮膜の膜厚と前記第2成膜工程にて成膜される前記第2クロム皮膜の膜厚との和である総膜厚が、30nm以上である、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項5に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記総膜厚が、50nm以上である、金属調被膜の製造方法。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第2成膜工程にて成膜される前記第2クロム皮膜の膜厚が、前記第1成膜工程にて成膜される前記第1クロム皮膜よりも厚い、金属調皮膜の製造方法。 - 請求項7に記載の金属調皮膜の製造方法において、
前記第1クロム皮膜の膜厚T1に対する前記第2クロム皮膜の膜厚T2の比R(T2/T1)が、5以上であり且つ9以下である、金属調皮膜の製造方法。 - 電気絶縁性及び電波透過性を有する車両用アウトサイドドアハンドルであって、
車両のドアの外表面に取り付けられる非導電性のハンドル本体と、
スパッタリングにより第1の成膜速度で前記ハンドル本体の表面に成膜されたクロムからなる第1クロム皮膜と、
スパッタリングにより前記第1の成膜速度よりも高い第2の成膜速度で前記第1クロム皮膜の表面に成膜されたクロムからなる第2クロム皮膜と、を備え、
前記第1クロム皮膜内及び前記第2クロム皮膜内にクラックが形成されてなる、
車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項9に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第1の成膜速度は、前記第1クロム皮膜が前記基材から剥離しない程度の密着強度を有し、且つ高い鏡面性が得られるような低い成膜速度であり、
前記第2の成膜速度は、前記第2クロム皮膜の明度が予め定められた明度以上となるような高い成膜速度である、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項9または10に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第1の成膜速度は、前記第1クロム皮膜内に生じる内部応力が予め定められた内部応力以下となるような低い成膜速度であり、
前記第2の成膜速度は、前記第2クロム皮膜の明度が装飾クロムメッキ皮膜の明度と同等となるような高い成膜速度である、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項9乃至11のいずれか1項に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第1の成膜速度は0.6nm/sec.以下であり、
前記第2の成膜速度は1.2nm/sec.以上である、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項9乃至12のいずれか1項に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第1クロム皮膜の膜厚と前記第2クロム皮膜の膜厚の和である総膜厚が、30nm以上である、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項13に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記総膜厚が、50nm以上である、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項9乃至14のいずれか1項に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第2クロム皮膜の膜厚が、前記第1クロム皮膜の膜厚よりも厚い、車両用アウトサイドドアハンドル。 - 請求項15に記載の車両用アウトサイドドアハンドルにおいて、
前記第1クロム皮膜の膜厚T1に対する前記第2クロム皮膜の膜厚T2の比R(T2/T1)が、5以上であり且つ9以下である、車両用アウトサイドドアハンドル。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013206949 | 2013-10-02 | ||
JP2013206949 | 2013-10-02 | ||
PCT/JP2014/074866 WO2015050007A1 (ja) | 2013-10-02 | 2014-09-19 | 金属調皮膜の製造方法及び車両用アウトサイドドアハンドル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6090467B2 JP6090467B2 (ja) | 2017-03-08 |
JPWO2015050007A1 true JPWO2015050007A1 (ja) | 2017-03-09 |
Family
ID=52778600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015540452A Expired - Fee Related JP6090467B2 (ja) | 2013-10-02 | 2014-09-19 | 金属調皮膜の製造方法及び車両用アウトサイドドアハンドル |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160237549A1 (ja) |
JP (1) | JP6090467B2 (ja) |
CN (1) | CN105637112B (ja) |
WO (1) | WO2015050007A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021031736A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-01 | 柿原工業株式会社 | 絶縁性クロムスパッタリングによる電波透過性成膜方法及びスマートエントリー解錠・施錠構造用樹脂成形品 |
JP2021031735A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-01 | 柿原工業株式会社 | 絶縁性クロムスパッタリングによる電波透過性成膜方法及びスマートエントリー解錠・施錠構造用樹脂成形品 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3035060B1 (en) * | 2014-12-18 | 2017-09-06 | F. Hoffmann-La Roche AG | Method and device for handling a closing element in a laboratory automation system |
US11351753B2 (en) | 2016-06-30 | 2022-06-07 | Nitto Denko Corporation | Electromagnetic wave transmissive metal member, article using the same, and production method for electromagnetic wave transmissive metal film |
DE102019102657A1 (de) | 2019-02-04 | 2020-08-06 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Hochfrequenzdurchlässiges Bauteil und Verfahren zur Herstellung desselben |
KR102397770B1 (ko) * | 2019-11-22 | 2022-05-16 | (주)쓰리나인 | 전파 투과성이 우수한 차량용 아웃도어 핸들 및 이의 적층부 제조방법 |
KR20210064912A (ko) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 현대자동차주식회사 | 전파투과용 커버 및 이를 포함하는 도어 아웃사이드 핸들 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52146176A (en) * | 1976-05-28 | 1977-12-05 | Nec Home Electronics Ltd | Formation of electrode in semiconductor device |
JP2009286082A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toyoda Gosei Co Ltd | 電磁波透過性光輝樹脂製品及び製造方法 |
JP2011184706A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Konica Minolta Holdings Inc | 成膜方法、及びその成膜方法を用いて製造された薄膜材料 |
JP5741903B2 (ja) * | 2011-01-21 | 2015-07-01 | アイシン精機株式会社 | 絶縁物品 |
-
2014
- 2014-09-19 WO PCT/JP2014/074866 patent/WO2015050007A1/ja active Application Filing
- 2014-09-19 CN CN201480054370.1A patent/CN105637112B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-19 JP JP2015540452A patent/JP6090467B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-19 US US15/026,813 patent/US20160237549A1/en not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021031736A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-01 | 柿原工業株式会社 | 絶縁性クロムスパッタリングによる電波透過性成膜方法及びスマートエントリー解錠・施錠構造用樹脂成形品 |
JP2021031735A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-01 | 柿原工業株式会社 | 絶縁性クロムスパッタリングによる電波透過性成膜方法及びスマートエントリー解錠・施錠構造用樹脂成形品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015050007A1 (ja) | 2015-04-09 |
CN105637112A (zh) | 2016-06-01 |
CN105637112B (zh) | 2018-03-13 |
JP6090467B2 (ja) | 2017-03-08 |
US20160237549A1 (en) | 2016-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6090467B2 (ja) | 金属調皮膜の製造方法及び車両用アウトサイドドアハンドル | |
JP5570507B2 (ja) | 基材上に層システムを製造するための方法、並びに層システム | |
JP6504335B2 (ja) | 金属調皮膜の製造方法 | |
JP7319079B2 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品、及び、加飾部材 | |
TW201934782A (zh) | 電波透過性金屬光澤構件、使用此之物品、及其製造方法 | |
CN104032260A (zh) | 壳体及其制作方法 | |
CN105874100B (zh) | 表面处理的基材及用于其的基材表面处理方法 | |
WO2019208493A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品、及び、加飾部材 | |
WO2021182381A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢部材、及びその製造方法 | |
US20120152793A1 (en) | Device housing and method for making the same | |
JP7319080B2 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品、及び、金属薄膜 | |
JP7319078B2 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品 | |
WO2021065839A1 (ja) | 積層体 | |
JP2015038236A (ja) | 金属調皮膜の製造方法 | |
TWM466012U (zh) | 顯示屏的面板 | |
JP2019188809A (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品 | |
TW201127253A (en) | Casing having color and the related surface-treating method | |
WO2022181528A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢部材および加飾部材 | |
WO2022209779A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢部材、及びその製造方法 | |
JP6736104B1 (ja) | 絶縁性クロムスパッタリングによる電波透過性成膜方法及びスマートエントリー解錠・施錠構造用樹脂成形品 | |
WO2022004670A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢部材、及び加飾部材 | |
JP2022171450A (ja) | 電磁波透過性金属光沢部材および加飾部材 | |
JP2009277581A (ja) | 金属光沢のあるスモーク部材およびこれを用いた車両用灯具 | |
WO2019208489A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品 | |
WO2019208490A1 (ja) | 電磁波透過性金属光沢物品及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170123 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6090467 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |