JPWO2012173251A1 - SiC単結晶の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態によるSiC単結晶の製造装置10の構成図である。
図1を参照して、製造装置10は、チャンバ12を備える。チャンバ12は、坩堝14を収容する。SiC単結晶が製造されるとき、チャンバ12は水冷される。
図2は、図1中のシードシャフト30の縦断面図である。図1及び図2に示すように、シードシャフト30は、シャフト38と、シャフト40と、連結部材41とを備える。シャフト38は、シャフト40の上方に配置され、シャフト40と同軸に配置される。連結部材41は、シャフト38とシャフト40との間に配置され、シャフト38とシャフト40とを結合する。
さらに、図3に示すように、シードシャフト30を軸方向Xから見たとき、導入流路60を有する内管48の開口61(つまり、内管48の内側の領域)は、SiC種結晶36の大部分と重なる。換言すれば、開口61は、SiC種結晶36に対して小さすぎない。そのため、導入流路60から流れ出た冷却ガスは、SiC種結晶36の略全体を冷却できる。その結果、SiC種結晶36が効率良く冷却される。
S2/S1≧0.60 (1)
製造装置10を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。上述のとおり、製造装置10は、SiC種結晶36を効率良く冷却する。そのため、Si−C溶液16のうち、SiC種結晶36の近傍部分は過冷却状態になり易い。そのため、SiC単結晶がSiC種結晶36上に成長し易くなり、結晶成長速度を大きくすることができる。
初めに、シードシャフト30を備えた製造装置10を準備する。そして、シードシャフト30の下端面34にSiC種結晶36を取り付ける。SiC種結晶36の取付位置は、上記の式(1)を満たす。つまり、軸方向Xから見て、SiC種結晶36の60%以上の領域が、導入流路60を有する内管48の開口61に重なるように、SiC種結晶36を下端面34に取り付ける。
次に、チャンバ12内の回転軸24上に、坩堝14を配置する。坩堝14は、Si−C溶液16の原料を収容する。
次に、SiC種結晶36をSi−C溶液16に浸漬する。具体的には、駆動源32により、シードシャフト30を降下し、SiC種結晶36をSi−C溶液16に浸漬する。
SiC種結晶36をSi−C溶液16に浸漬した後、加熱装置20により、Si−C溶液16を結晶成長温度に保持する。さらに、Si−C溶液16のSiC種結晶36の近傍を過冷却して、SiCを過飽和状態にする。具体的には、冷却ガスをシードシャフト30内に流して、SiC種結晶36が取り付けられた底部52を冷却する。底部52が冷えれば、SiC種結晶36も冷える。その結果、SiC種結晶36の近傍も冷える。SiC種結晶36の近傍領域が過冷却状態になれば、SiC濃度が上がり、過飽和状態になる。
図2に示すシードシャフト30では、内管48の下端面(ベース管56及び断熱管58の下端面)が底部52の上面から離れている。しかしながら、内管48の下端面は、底部52の上面に接触していても良い。例えば、図4に示すように、内管48の下端面は、底部52の上面に接触する。内管48の下端部には、1又は複数の連通部90が形成される。この場合、底部52の熱を奪った使用後ガスは、連通部90を通って、導入流路60から排出流路SP1に流れ込む(応用例1)。
図2に示すシードシャフト30では、内管48は、ベース管56と断熱管58とを備える。しかしながら、内管48の構成はこれに限定されない。図6に示すように、内管48は断熱管58だけで構成されても良い。
図7に示すように、第2の実施形態の製造装置は、シャフト40に代えて、シャフト94を備える。第2の実施の形態による製造装置のその他の構成は、製造装置10と同様である。シャフト94は、シャフト40と比較して、冷却ガスの流れが異なる。
第1製造装置における結晶成長速度は55μm/hrであった。一方、第2製造装置における結晶成長速度は34μm/hrであり、式(1)を満たす第1製造装置よりも大幅に小さかった。
Claims (4)
- SiC単結晶の製造装置であって、
Si−C溶液を収容する坩堝と、
SiC種結晶が取り付けられる下端面を有するシードシャフトとを備え、
前記シードシャフトは、
内側に第1流路を形成する内管と、
前記内管を収容し、前記内管との間に第2流路を形成する外管と、
前記外管の下端開口を覆い、前記下端面を有する底部とを備え、
前記第1流路及び前記第2流路のうち、一方の流路は冷却ガスが下方に流れる導入流路であり、他方の流路は前記冷却ガスが上方に流れる排出流路であり、
前記シードシャフトの軸方向から見て、前記SiC種結晶の60%以上の領域が、前記導入流路を形成する管の内側の領域に重なる、製造装置。 - 前記内管が断熱性を有する、請求項1に記載の製造装置。
- 前記内管の下端が前記底部から離れて配置される、請求項1又は2に記載の製造装置。
- Si−C溶液の原料を収容する坩堝と、SiC種結晶が取り付けられる下端面を有するシードシャフトとを備えるSiC単結晶の製造装置であって、前記シードシャフトは、前記坩堝の高さ方向に延び、内側に第1流路が形成される内管と、前記内管を収容し、前記内管との間に第2流路を形成する外管と、前記外管の下端開口を覆い、前記下端面を有する底部とを備え、前記第1流路及び前記第2流路のうち、一方の流路は冷却ガスが下方に流れる導入流路であり、他方の流路は前記冷却ガスが上方に流れる排出流路である、前記製造装置を準備する工程と、
前記シードシャフトの軸方向から見て、前記SiC種結晶の60%以上の領域が、前記導入流路を形成する管の内側の領域に重なるように、前記SiC種結晶を前記下端面に取り付ける工程と、
前記坩堝を加熱して、Si−C溶液を生成する工程と、
前記SiC種結晶を前記Si−C溶液に浸漬する工程と、
前記シードシャフト内に前記冷却ガスを流しながら、前記SiC種結晶上にSiC単結晶を育成する工程とを備える、SiC単結晶の製造方法。
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