JPWO2012020818A1 - 金属張積層板 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)液晶ポリマー層の片面又は両面に金属箔を有する金属張積層板において、金属箔は、液晶ポリマー層と接する面が粗化処理されて表層部に突起物を有し、該突起物の根本部分の幅Lに対する突起物の高さHの比で表されるアスペクト比(H/L)が3〜20の範囲であると共に、突起物の高さが0.1〜2μmの範囲であり、液晶ポリマー層は、10〜200μmの厚さを有して、膜厚公差が6%未満であることを特徴とする金属張積層板。
(2)粗化処理が施されている金属箔の面の表面粗さRzが0.3μm以上2.5μm未満である(1)に記載の金属張積層板。
(3)液晶ポリマー層を形成する液晶ポリマーフィルムと金属箔とを、一対の金属加圧ロール間で加熱圧着して得られたものである(1)又は(2)記載の金属張積層板。
(4)液晶ポリマーフィルムの熱変形温度が260〜350℃の範囲にある(3)記載の金属張積層板。
(5)常温における金属箔と液晶ポリマー層との180°層間剥離強さが0.5〜5kN/mである(1)〜(4)のいずれかに記載の金属張積層板。
粗化処理により突起物が形成された金属箔をクロスセクションポリッシャにて断面加工し、断面SEM観察を行い、観察画像にて突起物の高さHと突起物の根本部分の幅Lのサイズを計測した。該突起物の高さHと根本部分の幅Lは、観察画像より任意に5点以上選択し、その平均値を記録した。
JIS B 0601に準じて、触針式表面粗さ測定器(TENCOR社製、TENCOR P-10)を使用して、測定幅200μmの条件でRzを測定した。
JISC 6471 8.1 方法B(180°方向引き剥がし)に準じて、幅1mmの金属箔を引き剥がして測定した。層間剥離強さは、金属張積層板から任意に採取した試験片3個以上を測定し、その平均値を記録した。
金属張積層板から市販のエッチング液で金属箔を除去した液晶ポリマーフィルムの厚みを、ダイヤルゲージを使用して測定した。測定点数は任意の点より30点以上測定し、測定データの平均値(Ave.)に対する標準偏差に3倍を乗じた値(3σ)の比(3σ/Ave.)を100分率で表したものを公差とした。
液晶ポリマーフィルムの両面に金属箔を設けた両面金属張積層板において、両方の金属箔に回路加工を施し、一方がグランド、他方が信号線の導体2層からなる伝送線路(マイクロストリップライン)を作製した。この伝送線路の特性インピーダンスは50Ωとなるように回路の導体幅と導体厚みを調整した。伝送線路の設計は高周波回路設計用のソフトウェア(アジレント・テクノロジー社製、Advanced Design System)用いて行った。伝送線路の両末端には測定用に信号線・グランド2本からなる等間隔のパッドを配置した。伝送損失は、マイクロ波用ピコプローブ(GGB社製)とネットワークアナライザ(アジレント・テクノロジー社製、E8364B)を用いてSパラメータを測定することで算出した。
厚さ50μm、膜厚公差5.0%の液晶ポリマーフィルム(ジャパンゴアテックス株式会社製、商品名BIAC、熱変形温度300℃)の両面に対して、それぞれ厚さ12μmの電解銅箔1を重ね合わせ、ゴム被覆されていない金属加圧ロール間で連続熱圧着して、実施例1に係る金属張積層板を製造した。また、厚さ12μmの電解銅箔2及び3を用いて、上記と同様にして液晶ポリマーフィルムの両面に連続熱圧着して、実施例2及び3に係る金属張積層板を製造した。
厚さ12μmの電解銅箔であって、粗化処理によって形成された突起物が表1に示すようなアスペクト比(H/L)と高さHを有し、かつ、表面粗さRzを持つ電解銅箔を使用した以外は、実施例1と同様にして金属張積層板を製造し、評価した。
課題を解決するための手段
[0011]
本発明者らは、上記目的を達成すべく、液晶ポリマーを誘電体層とした金属張積層板において、液晶ポリマー層に厚み公差の小さいフィルムを用いること、且つ、金属箔の表面凹凸形状を小さくすることで、高周波領域における特性インピーダンス整合と低伝送損失を両立した回路基板が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
[0012]
すなわち、本発明の要旨は、次のとおりである。
(1)液晶ポリマー層を形成する液晶ポリマーフィルムの片面又は両面に金属箔を有する金属張積層板において、金属箔は、液晶ポリマー層と接する面が粗化処理されて表層部に突起物を有し、該突起物の根本部分の幅Lに対する突起物の高さHの比で表されるアスペクト比(H/L)が3〜20の範囲であると共に、突起物の高さが0.1〜2μmの範囲であり、液晶ポリマー層は、10〜200μmの厚さを有して、膜厚公差が6%未満であることを特徴とする金属張積層板。
(2)粗化処理が施されている金属箔の面の表面粗さRzが0.3μm以上2.5μm未満である(1)に記載の金属張積層板。
(3)液晶ポリマー層を形成する液晶ポリマーフィルムと金属箔とを、一対の金属加圧ロール間で加熱圧着して得られたものである(1)又は(2)記載の金属張積層板。
(4)液晶ポリマーフィルムの熱変形温度が260〜350℃の範囲にある(3)記載の金属張積層板。
(5)常温における金属箔と液晶ポリマー層との180°層間剥離強さが0.5〜5kN/mである(1)〜(4)のいずれかに記載の金属張積層板。
発明の効果
[0013]
本発明の金属張積層板によれば、高周波領域における特性インピーダンス整合と低伝送損失を両立でき、液晶ポリマー層と金属箔との層間密着性に優れ、高周波用回路に要求される品質を満たすことができる。
図面の簡単な説明
[0014]
[図1]図1は、本発明に用いられている粗化処理された金属箔表層部の突起物
Claims (5)
- 液晶ポリマー層の片面又は両面に金属箔を有する金属張積層板において、金属箔は、液晶ポリマー層と接する面が粗化処理されて表層部に突起物を有し、該突起物の根本部分の幅Lに対する突起物の高さHの比で表されるアスペクト比(H/L)が3〜20の範囲であると共に、突起物の高さが0.1〜2μmの範囲であり、液晶ポリマー層は、10〜200μmの厚さを有して、膜厚公差が6%未満であることを特徴とする金属張積層板。
- 粗化処理が施されている金属箔の面の表面粗さRzが0.3μm以上2.5μm未満である請求項1に記載の金属張積層板。
- 液晶ポリマー層を形成する液晶ポリマーフィルムと金属箔とを、一対の金属加圧ロール間で加熱圧着して得られたものである請求項1又は2記載の金属張積層板。
- 液晶ポリマーフィルムの熱変形温度が260〜350℃の範囲にある請求項3記載の金属張積層板。
- 常温における金属箔と液晶ポリマー層との180°層間剥離強さが0.5〜5kN/mである請求項1〜4のいずれかに記載の金属張積層板。
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