JPWO2010150304A1 - 位相検出装置、試験装置および調整方法 - Google Patents
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Abstract
信号間の位相差を検出する位相検出装置であって、第1入力信号に対して第2入力信号を設定値に応じて順次遅延させ、入力信号間の相対位相を変化させる毎に、第1入力信号および第2入力信号の位相を比較する位相比較部と、位相比較部における信号の遅延量を予め調整する遅延調整部とを備え、遅延調整部は、第1調整信号、および、第1調整信号の周期より設定値に応じた値だけ周期の小さい第2調整信号を生成し、第1調整信号を第1入力信号、第2調整信号を第2入力信号として位相比較部に入力する信号生成部と、第1調整信号および第2調整信号に対する位相比較部での位相比較結果に基づいて、位相比較部における位相の遅延量を調整する調整部とを有する位相検出装置を提供する。
Description
本発明は、位相検出装置、試験装置および調整方法に関する。
2つの信号間の位相差を検出する回路として、少なくとも一方の信号を順次遅延させ、信号を遅延させる毎に、2つの信号のエッジタイミングを比較する回路が知られている。位相差を精度よく検出するためには、信号の遅延量を精度よく調整することが好ましい。なお、関連する先行技術文献として、下記の特許文献がある。
信号の遅延量は、例えば、遅延経路を含むループを形成して、当該ループによる信号の発振周期から測定することができる。これにより、遅延経路における遅延量については、調整することができる。
しかし、信号間のエッジタイミングを比較する比較回路の特性にも、ばらつきが存在する。このため、遅延経路における遅延量を測定してキャリブレーションするだけでは、比較回路におけるばらつきを低減できず、信号間の位相差を精度よく検出することができない。このため、比較回路の特性も含めたキャリブレーションを、効率よく実行する手法が望まれている。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、信号間の位相差を検出する位相検出装置であって、第1入力信号に対して第2入力信号を設定値に応じて順次遅延させ、入力信号間の相対位相を変化させる毎に、第1入力信号および第2入力信号の位相を比較する位相比較部と、位相比較部における信号の遅延量を予め調整する遅延調整部とを備え、遅延調整部は、第1調整信号、および、第1調整信号の周期より設定値に応じた値だけ周期の小さい第2調整信号を生成し、第1調整信号を第1入力信号、第2調整信号を第2入力信号として位相比較部に入力する信号生成部と、第1調整信号および第2調整信号に対する位相比較部での位相比較結果に基づいて、位相比較部における位相の遅延量を調整する調整部とを有する位相検出装置、ならびに、当該位相検出装置に係る調整方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、実施形態に係る試験装置100の構成を、被試験デバイス200とあわせて示す図である。試験装置100は、半導体回路等の被試験デバイス200を試験する装置であって、信号入力部10、位相検出装置20、および、判定部12を備える。
信号入力部10は、被試験デバイス200に対して試験信号を供給する。例えば信号入力部10は、使用者等から与えられる試験プログラムに応じた論理パターンまたは波形を有する試験信号を生成する。また、信号入力部10は、試験サイクルの基準となるレート信号に対して、所定の相対位相を有する試験信号を生成する。
位相検出装置20は、被試験デバイス200が出力する信号と、所定の基準信号との位相差を検出する。例えば位相検出装置20は、被試験デバイス200が出力する信号と、上述したレート信号との位相差を検出してよい。
判定部12は、位相検出装置20における位相差の検出結果に基づいて、被試験デバイス200の良否を判定する。例えば判定部12は、位相検出装置20が検出した位相差が、所定の位相差範囲内か否かに基づいて、被試験デバイス200の良否を判定してよい。
図2は、位相検出装置20の構成例を示す図である。位相検出装置20は、与えられる第1入力信号および第2入力信号の位相差を検出する。本例において、位相検出装置20には、第1入力信号として被試験デバイス200が出力する信号が与えられ、第2入力信号として基準信号(レート信号)が与えられる。
位相検出装置20は、位相比較部22、測定部50、結果カウンタ48、および、遅延調整部30を備える。位相比較部22は、第1入力信号に対して第2入力信号を設定値に応じて順次遅延させ、入力信号間の相対位相を変化させる毎に、第1入力信号および第2入力信号の位相を比較する。本例の位相比較部22は、第1入力信号に対する第2入力信号の位相を一定値ずつ順次遅延させてサンプリングするサンプリング回路23を、縦続接続してn段有する(ただし、nは整数)。
それぞれのサンプリング回路23は、第1伝送部24、第2伝送部26、および、サンプリング部28を有する。第1伝送部24は、入力される第1入力信号を、後段のサンプリング回路23における第1伝送部24に順次伝送する。第1伝送部24は、例えば可変遅延回路であってよい。それぞれのサンプリング回路23における第1伝送部24の遅延量は、一定値Tに設定されてよい。
第2伝送部26は、入力される第2入力信号を、所定の設定値に応じた値だけ、第1伝送部24より大きい遅延量で遅延させ、後段のサンプリング回路23における第2伝送部26に順次伝送する。第2伝送部26は、例えば可変遅延回路であってよい。それぞれのサンプリング回路23における第2伝送部26の遅延量は、一定値T+Δτに設定されてよい。当該構成により、サンプリング回路23を1段通過するごとに、第2入力信号は、第1入力信号に対してΔτずつ遅延する。
サンプリング部28は、第1伝送部24が伝送した第1入力信号、および、第2伝送部26が伝送した第2入力信号の一方で他方をサンプリングする。本例のサンプリング部28はフリップフロップであって、第2入力信号のエッジタイミングで第1入力信号の値を取り込んで出力する。
測定部50は、それぞれのサンプリング部28におけるサンプリング結果を受け取り、当該サンプリング結果から、第1入力信号および第2入力信号の位相差を検出する。上述したように、サンプリング回路23を1段通過するごとに、第2入力信号は、第1入力信号に対してΔτずつ遅延する。このため、サンプリング部28の出力論理値が遷移するサンプリング回路23の段数と、設定値Δτとの乗算値から、当該位相差を検出することができる。
測定部50は、検出した信号間の位相差を判定部12に供給する。これにより、判定部12は、信号間の位相差に基づいて、被試験デバイス200の良否を判定することができる。
遅延調整部30は、位相比較部22における第1伝送部24および第2伝送部26の遅延量を、与えられる設定値Δτに応じた遅延量に予め調整する。遅延調整部30は、第1伝送部24および第2伝送部26の遅延差が、設定値Δτに応じた遅延量となるように、第1伝送部24および第2伝送部26の少なくとも一方の遅延量を調整してよい。
遅延調整部30は、信号生成部34、パルスカウンタ46、および、調整部32を有する。信号生成部34は、第1調整信号、および、第1調整信号の周期より所定の設定値Δτに応じた値だけ周期の小さい第2調整信号を生成する。本例の遅延調整部30は、第1発振器36−1、第2発振器36−2、および、発振制御部40を有する。
第1発振器36−1は、第1調整信号を生成して、生成した第1調整信号を第1入力信号として位相比較部22に入力する。第1発振器36−1は、周期が第2伝送部26の遅延量T+Δτと略等しい第1調整信号を生成してよい。
第2発振器36−2は、第2調整信号を生成して、生成した第2調整信号を第2入力信号として位相比較部22に入力する。第2発振器36−2は、周期が第1伝送部24の遅延量Tと略等しい第2調整信号を生成してよい。つまり、信号生成部34は、第1調整信号の周期より、所定の一定値Δτに略等しい値だけ周期の小さい第2調整信号を生成する。
発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を同期して開始させる。例えば第1発振器36−1および第2発振器36−2は、遅延素子42および論理回路44をループ接続したループ発振器であり、発振制御部40は、それぞれの発振器36に、同一のタイミングでトリガパルスを入力してよい。なお、第1発振器36−1における遅延素子42の遅延量は、第2伝送部26に設定すべき遅延量と等しくてよい。また、第2発振器36−2における遅延素子42の遅延量は、第1伝送部24に設定すべき遅延量と等しくてよい。
パルスカウンタ46は、第1発振器36−1および第2発振器36−2が出力するパルス数をそれぞれ計数する。パルスカウンタ46における計数値は、発振制御部40により第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振が開始する毎に、初期値にリセットされることが好ましい。
このような構成により、第1調整信号のk発目のパルスは、第2調整信号のk発目のパルスに対して、k×Δτだけ遅延する(ただし、k=1、2、・・・、n)。これに対して、k段目のサンプリング回路23では、第2入力信号は、第1入力信号に対してk×Δτだけ遅延する。
このため、k段目のサンプリング回路23では、第1調整信号および第2調整信号におけるk発目のパルスの位相は略同一となる。つまり、k段目のサンプリング回路23におけるサンプリング部28が、第1調整信号および第2調整信号のk発目のパルスに対して出力する論理値Qkを複数回測定した場合、論理値Qkが、H(1)またはL(0)のそれぞれを示す割合は1対1となる。
結果カウンタ48は、k段目のサンプリング部28が、第1調整信号および第2調整信号のk発目のパルスに対して出力する論理値Qkについて、論理値Hおよび論理値Lを示した回数をそれぞれ計数する。調整部32は、第1調整信号および第2調整信号に対する位相比較部22での位相比較結果に基づいて、それぞれのサンプリング回路23における位相の遅延量を調整する。本例の調整部32は、結果カウンタ48における計数結果に基づいて、それぞれのサンプリング回路23における第1伝送部24および第2伝送部26の遅延量を制御する。
調整部32は、k段目のサンプリング回路23のそれぞれにおける、第1調整信号および第2調整信号のk発目のパルスによるサンプリング結果に基づいて、それぞれのサンプリング回路23における、遅延量差Δτを調整する。より具体的には、調整部32は、それぞれのサンプリング回路23について、結果カウンタ48が計数した論理値HおよびLの回数が略同一となるように、第1伝送部24および第2伝送部26の遅延量を制御する。
このとき、調整部32は、1段目のサンプリング回路23−1から順番に、遅延量を調整してよい。このような構成により、サンプリング部28における特性のばらつきも含めた遅延量のキャリブレーションを、効率よく実行することができる。
図3は、位相比較部22の動作例のタイミングチャートを示す。本例の第1入力信号は、第2入力信号に対してΔTだけ初期位相が遅れている。ここで初期位相とは、位相比較部22に入力された時点での位相を指す。1段目のサンプリング回路23−1では、第2入力信号が第1入力信号に対してΔτだけ遅延する。このため、1段目のサンプリング部28−1に入力される第1入力信号および第2入力信号間の位相差はΔT−Δτとなる。
2段目のサンプリング回路23−2では、第2入力信号が第1入力信号に対して更にΔτ遅延する。このため、2段目のサンプリング部28−2に入力される第1入力信号および第2入力信号間の位相差は、ΔT−2×Δτとなる。以下同様に、後段のサンプリング回路23に伝送される毎に、第2入力信号が第1入力信号に対してΔτだけ遅延する。
このため、サンプリング部28が出力する論理値が遷移する段数を検出することで、Δτの分解能で、第1入力信号および第2入力信号の位相差を検出することができる。本例では、2段目および3段目で、サンプリング部28の論理値が遷移している。このため、第1入力信号および第2入力信号の初期位相の差が、ΔT−2×Δτから、ΔT−3×Δτの間であったことがわかる。
図4は、信号生成部34の動作例のタイミングチャートを示す。上述したように、第1発振器36−1および第2発振器36−2は、同時に発振を開始する。また、第1発振器36−1が出力する第1調整信号の周期は、第2発振器36−2が出力する第2調整信号の周期よりも、Δτだけ大きい。
このような調整信号を位相比較部22に入力することで、上述したように、k段目のサンプリング回路23では、第1調整信号および第2調整信号におけるk発目のパルスの位相が略同一となる。このため、k段目のサンプリング部28が、第1調整信号および第2調整信号のk発目のパルスに対して出力する論理値について、論理値Hおよび論理値Lを示す割合が略同一となるように遅延量を調整することで、容易に各段の遅延量を調整することができる。
なお、調整部32は、各サンプリング部28が第1調整信号および第2調整信号の各パルスに対して出力する論理値における、論理値Hおよび論理値Lの割合が、1対1以外の所定の割合となるように、第1伝送部24および第2伝送部26の少なくとも一方の遅延量を調整してもよい。例えば、調整信号のジッタが既知の場合、調整部32は、各サンプリング部28における論理値Hおよび論理値Lの割合が、当該ジッタに応じた値となるように、第1伝送部24および第2伝送部26の少なくとも一方の遅延量を調整してもよい。
図5は、遅延調整部30による遅延調整方法の一例を説明するフローチャートを示す。本例の遅延調整部30は、1つのサンプリング回路23において、論理値Qkを一回取得する毎に、信号生成部34における発振を停止して、新たに発振を開始させる。
なお遅延調整部30の動作例では、1段目のサンプリング回路23−1における第1伝送部24−1および第2伝送部26−1の遅延量は等しく、2段目以降のサンプリング回路23において、第2伝送部26の遅延量が、第1伝送部24の遅延量よりΔτだけ大きいとする。また、全てのサンプリング回路23において、第2伝送部26の遅延量が第1伝送部24の遅延量よりΔτだけ大きい場合、第1調整信号および第2調整信号の1発目のパルス(すなわち同一位相のパルス)を計数せず、2発目のパルスを1発目のパルスとして、計数を開始してよい。
まず、1段目のサンプリング回路23−1における第1伝送部24−1および第2伝送部26−2の遅延量を調整する(k=1)。発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を同時に開始させる(S500)。パルスカウンタ46は、第1発振器36−1および第2発振器36−2が出力するパルス数を計数する。
発振制御部40は、パルスカウンタ46が第1発振器36−1および第2発振器36−2に対してそれぞれ1つのパルスを計数した場合に、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止させる(S502)。そして、結果カウンタ48は、1段目のサンプリング部28−1が、第1調整信号および第2調整信号の1発目のパルスに対して出力した論理値Q1に基づいて、1段目のサンプリング部28−1について計数する論理値HまたはLのいずれかの回数をインクリメントする(S504)。
そして、調整部32は、論理値Q1を所定の回数測定したか否かを判定する(S506)。論理値Q1についての測定が所定の回数未満の場合、遅延調整部30は、S500からの処理を繰り返す。つまり、発振制御部40は、k段目のサンプリング回路23−kにおける遅延量を調整する場合に、第1調整信号および第2調整信号のパルス数の計数結果がそれぞれk個になったときに第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止させ、且つ、新たな発振を同期して開始させる処理を、当該所定の回数繰り返す。
そして、論理値Q1についての測定が所定の回数になった場合、調整部32は、論理値Hおよび論理値Lについての計数結果が所定の結果と一致するように、第1伝送部24−1および第2伝送部26−2の遅延量を調整する(S508)。上述したように、調整部32は、1段目のサンプリング部28−1について計数する論理値HおよびLの計数値が、略等しくなるように、第1伝送部24−1および第2伝送部26−2の遅延量を調整してよい。なお、第1伝送部24−1および第2伝送部26−2の遅延量を変更した場合、1段目のサンプリング部28−1について、S500からの処理を再度実行してよい。
1段目のサンプリング回路23−1についての、遅延量の調整が終了した場合、k=k+1として、S500からの処理を繰り返す。それぞれのkについての処理は、上述したk=1の場合と同様となる。
例えば、k=mのとき、S502において発振制御部40は、パルスカウンタ46が第1発振器36−mおよび第2発振器36−mに対してそれぞれm個のパルスを計数した場合に、第1発振器36−mおよび第2発振器36−mの発振を停止させる。そして、結果カウンタ48は、m段目のサンプリング部28−mが出力した論理値Qmに基づいて、m段目のサンプリング部28−mについて計数する論理値HまたはLのいずれかの回数をインクリメントする(S504)。他の処理は、k=1の場合と同様であってよい。
上記の処理を、1段目のサンプリング回路23−1から、n段目のサンプリング回路23−nまで繰り返すことで、全段のサンプリング回路23における遅延量差Δτを調整することができる。また、第1調整信号および第2の調整信号の周期を変更せずに、それぞれのサンプリング回路23における遅延量を調整できるので、簡易且つ精度よく、全段のサンプリング回路23における遅延量を調整できる。
図6は、遅延調整部30による遅延調整方法の他の例を説明するフローチャートを示す。本例の遅延調整部30は、第1発振器36−1および第2発振器36−2を1回発振させる毎に、全段のサンプリング部28における論理値Qkを取得する。
発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を同時に開始させる(S600)。パルスカウンタ46は、第1発振器36−1および第2発振器36−2が出力するパルス数を計数する。
発振制御部40は、パルスカウンタ46が第1発振器36−1および第2発振器36−2に対してそれぞれn個のパルスを計数した場合に、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止させる(S602)。つまり、発振制御部40は、パルスカウンタ46が計数するパルスの個数が、サンプリング部28の段数と等しくなった場合に、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止させる。
そして、結果カウンタ48は、k段目のサンプリング部28−kが出力した論理値Qkに基づいて、k段目のサンプリング部28−kについて計数する論理値HまたはLのいずれかの回数をインクリメントする(S604)。結果カウンタ48は、S604の処理を、k=1からnまでの、全てのサンプリング部28に対して実行する。
そして、調整部32は、それぞれのサンプリング部28に対して、所定の回数、論理値Qkを測定したか否かを判定する(S606)。論理値Qkに対する測定が所定の回数未満の場合、遅延調整部30は、S600からの処理を繰り返す。つまり、第1調整信号および第2調整信号のパルス数の計数結果がそれぞれn個になったときに、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止させ、新たな発振を同期して開始させる処理を所定の回数繰り返す。
そして、それぞれのサンプリング回路23に対する論理値Qkについての測定が所定の回数になった場合、調整部32は、当該測定結果が所定の結果と一致するように、それぞれのサンプリング回路23における第1伝送部24および第2伝送部26の遅延量を調整する(S608)。このとき調整部32は、1段目のサンプリング回路23−1から順番に、遅延量を調整してよい。
なお、いずれかのサンプリング回路23における遅延量を変更した場合、遅延調整部30は、遅延量を変更したサンプリング回路23の次段以降のサンプリング回路23に対して、S600からの処理を繰り返してよい。上記の処理により、第1発振器36−1および第2発振器36−2を1回発振させる毎に、全段のサンプリング回路23における論理値Qkを取得できるので、より効率よく遅延量を調整することができる。
図7は、遅延調整部30による遅延調整方法の他の例を説明するフローチャートを示す。本例の遅延調整部30は、第1発振器36−1および第2発振器36−2について、発振の開始および停止を繰り返さずに、k段目のサンプリング部28がk発目のパルスに対して出力する論理値Qkを、所定の回数ずつ取得する。
まず、発振制御部40は、第1調整信号および第2調整信号の周期差Δτと、サンプリング回路23の段数nとを乗算した値Δτ×nが、第1調整信号の周期T+Δτと略等しくなるように、第1発振器36−1および第2発振器36−2における遅延素子42の遅延量をそれぞれ調整する(S700)。これにより、所定の期間毎にパルスのタイミングが同一になる第1調整信号および第2調整信号を生成できる。
そして、発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2を、同時に発振させる(S702)。結果カウンタ48は、上述した所定の期間毎に、k段目のサンプリング部28−kが、当該所定の期間におけるk発目のパルスについて出力する論理値Qkを取得する(S704)。S704では、当該所定の期間ごとに、図6において説明したS604の処理と同一の処理を実行してよい。結果カウンタ48は、取得した論理値に基づいて、それぞれのサンプリング部28について計数する論理値HまたはLのいずれかの回数をインクリメントする。
そして、発振制御部40は、それぞれのサンプリング部28について、上述した論理値Qkを所定の回数ずつ取得したか否かを判定する(S706)。論理値Qkを取得した回数は、パルスカウンタ46におけるパルスの計数値から、上述した所定の期間が何サイクル経過したかを算出することで取得してよい。
それぞれのサンプリング部28について、上述した論理値Qkを所定の回数ずつ取得した場合、発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を停止する(S708)。そして、調整部32は、結果カウンタ48が取得した測定結果が所定の結果と一致するように、それぞれのサンプリング回路23における第1伝送部24および第2伝送部26の遅延量を調整する(S710)。このとき調整部32は、1段目のサンプリング回路23−1から順番に、遅延量を調整してよい。
なお、いずれかのサンプリング回路23の遅延量を変更した場合、遅延調整部30は、遅延量を変更したサンプリング回路23の次段以降のサンプリング回路23に対して、S700からの処理を繰り返してよい。上記の処理により、第1発振器36−1および第2発振器36−2を1回発振させれば、全段のサンプリング回路23における論理値Qkを、所定の回数取得できるので、より効率よく遅延量を調整することができる。
なお、図2から図7に関連して説明した遅延調整方法では、第1調整信号および第2調整信号の周期差に基づいて、それぞれのサンプリング回路23の遅延量差Δτを調整する。このため、第1調整信号および第2調整信号の周期差は、予め精度よく調整されることが好ましい。第1調整信号および第2調整信号の周期差は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振周波数の差から算出できる。
発振制御部40は、図2に関連して説明したパルスカウンタ46を用いて、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振周波数を測定する周波数測定部として更に機能してよい。発振制御部40は、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振を開始させてから所定の期間内にパルスカウンタ46により計数された、第1調整信号および第2調整信号のパルス数から、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振周波数を算出してよい。
また、発振制御部40は、当該測定結果に基づいて、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振周波数を調整する発振調整部として更に機能してよい。発振制御部40は、第1調整信号および第2調整信号の周期差が、第1伝送部24および第2伝送部26に対して設定されるべき遅延量差Δτと等しくなるように、第1発振器36−1および第2発振器36−2の発振周波数を調整する。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前処理の出力を後処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意する。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
10・・・信号入力部、12・・・判定部、20・・・位相検出装置、22・・・位相比較部、23・・・サンプリング回路、24・・・第1伝送部、26・・・第2伝送部、28・・・サンプリング部、30・・・遅延調整部、32・・・調整部、34・・・信号生成部、36・・・発振器、40・・・発振制御部、42・・・遅延素子、44・・・論理回路、46・・・パルスカウンタ、48・・・結果カウンタ、50・・・測定部、100・・・試験装置、200・・・被試験デバイス
Claims (12)
- 信号間の位相差を検出する位相検出装置であって、
第1入力信号に対して第2入力信号を設定値に応じて順次遅延させ、入力信号間の相対位相を変化させる毎に、前記第1入力信号および前記第2入力信号の位相を比較する位相比較部と、
前記位相比較部における信号の遅延量を予め調整する遅延調整部と
を備え、
前記遅延調整部は、
第1調整信号、および、前記第1調整信号の周期より前記設定値に応じた値だけ周期の小さい第2調整信号を生成し、前記第1調整信号を前記第1入力信号、前記第2調整信号を前記第2入力信号として前記位相比較部に入力する信号生成部と、
前記第1調整信号および前記第2調整信号に対する前記位相比較部での位相比較結果に基づいて、前記位相比較部における位相の遅延量を調整する調整部と
を有する位相検出装置。 - 前記位相比較部は、前記第1入力信号に対する前記第2入力信号の位相を一定値ずつ順次遅延させ、
前記信号生成部は、前記第1調整信号の周期より前記一定値に略等しい値だけ周期の小さい第2調整信号を生成する
請求項1に記載の位相検出装置。 - 前記信号生成部は、
前記第1調整信号を生成する第1発振器と、
前記第2調整信号を生成する第2発振器と、
前記第1発振器および前記第2発振器の発振を同期して開始させる発振制御部と
を有する請求項2に記載の位相検出装置。 - 前記位相比較部は、前記第1入力信号に対する前記第2入力信号の位相を一定値遅延させてサンプリングするサンプリング回路を、縦続接続してn段有し(但し、nは整数)、
前記調整部は、k段目(但し、k=1、2、・・・、n)の前記サンプリング回路のそれぞれにおける、前記位相比較部に入力された前記第1調整信号および前記第2調整信号のk発目のパルスによるサンプリング結果に基づいて、それぞれの前記サンプリング回路における、前記第1入力信号に対する前記第2入力信号の位相の遅延量を調整する
請求項3に記載の位相検出装置。 - 前記第1発振器および前記第2発振器が出力する前記第1調整信号および前記第2調整信号のパルス数を計数するカウンタを更に備え、
前記発振制御部は、k段目の前記サンプリング回路における前記遅延量を調整する場合に、前記第1調整信号および前記第2調整信号のパルス数の計数結果がそれぞれk個になったときに前記第1発振器および前記第2発振器の発振を停止させ、新たな発振を同期して開始させる処理を所定の回数繰り返し、
前記調整部は、k段目の前記サンプリング回路において、前記第1調整信号および前記第2調整信号のk発目のパルスについて繰り返し取得したサンプリング結果が、所定の結果となるように、k段目の前記サンプリング回路における前記遅延量を調整する
請求項4に記載の位相検出装置。 - 前記第1発振器および前記第2発振器が出力する前記第1調整信号および前記第2調整信号のパルス数を計数するカウンタを更に備え、
前記発振制御部は、前記第1調整信号および前記第2調整信号のパルス数の計数結果がそれぞれn個になったときに前記第1発振器および前記第2発振器の発振を停止させ、新たな発振を同期して開始させる処理を所定の回数繰り返し、
前記調整部は、k段目の前記サンプリング回路のそれぞれにおいて、前記第1調整信号および前記第2調整信号のk発目のパルスについて繰り返し取得したサンプリング結果が、所定の結果となるように、k段目の前記サンプリング回路における前記遅延量をそれぞれ調整する
請求項4に記載の位相検出装置。 - 前記第1発振器および前記第2発振器は、前記第1調整信号および前記第2調整信号の周期差と、前記サンプリング回路の段数とを乗算した値が、前記第1調整信号の周期と略等しくなる前記第1調整信号および前記第2調整信号を生成して、所定の期間毎に前記第1調整信号および前記第2調整信号のパルスを同期させ、
前記調整部は、k段目の前記サンプリング回路のそれぞれについて、前記第1調整信号および前記第2調整信号の、それぞれの前記期間におけるk発目のパルスについて取得したサンプリング結果が、所定の結果となるように、k段目の前記サンプリング回路における前記遅延量をそれぞれ調整する
請求項4に記載の位相検出装置。 - 前記調整部は、H論理を示すサンプリング結果と、L論理を示すサンプリング結果との割合が、それぞれの前記サンプリング回路において1対1となるように、それぞれの前記サンプリング回路における遅延量を調整する
請求項5から7のいずれかに記載の位相検出装置。 - 前記サンプリング回路のそれぞれは、
入力される前記第1入力信号を、後段の前記サンプリング回路に伝送する第1伝送部と、
入力される前記第2入力信号を、前記第1伝送部よりも前記設定値に応じた値だけ大きい遅延量で、後段の前記サンプリング回路に伝送する第2伝送部と、
前記第1伝送部が伝送した前記第1入力信号および前記第2伝送部が伝送した前記第2入力信号の一方で他方をサンプリングするサンプリング部と
を有し、
前記調整部は、それぞれの前記サンプリング部におけるサンプリング結果が、予め定められた結果となるように、前記第1伝送部および前記第2伝送部の少なくとも一方の遅延量を調整する
請求項4から8のいずれかに記載の位相検出装置。 - 前記第1発振器および前記第2発振器の発振周波数を測定する周波数測定部と、
前記周波数測定部における測定結果に基づいて、前記第1発振器および前記第2発振器の発振周波数を調整する発振調整部と
を更に備える請求項3に記載の位相検出装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する信号と、所定の基準信号との位相差を検出する、請求項1から10のいずれかに記載の位相検出装置と、
前記位相検出装置における検出結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。 - 第1入力信号に対して第2入力信号を設定値に応じて順次遅延させ、入力信号間の相対位相を変化させる毎に、前記第1入力信号および前記第2入力信号の位相を比較する位相検出装置において、第2入力信号の遅延量を予め調整する調整方法であって、
第1調整信号、および、前記第1調整信号の周期より前記設定値に応じた値だけ周期の小さい第2調整信号を生成する信号生成段階と、
前記第1調整信号を前記第1入力信号、前記第2調整信号を前記第2入力信号として前記位相検出装置に入力する信号入力段階と、
前記第1調整信号および前記第2調整信号に対する前記位相検出装置でのサンプリング結果に基づいて、前記位相検出装置における位相の遅延量を調整する調整段階と
を有する調整方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2009/002843 WO2010150304A1 (ja) | 2009-06-22 | 2009-06-22 | 位相検出装置、試験装置および調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010150304A1 true JPWO2010150304A1 (ja) | 2012-12-06 |
Family
ID=43353732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010511845A Withdrawn JPWO2010150304A1 (ja) | 2009-06-22 | 2009-06-22 | 位相検出装置、試験装置および調整方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7999531B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2010150304A1 (ja) |
KR (1) | KR101100906B1 (ja) |
TW (1) | TWI390225B (ja) |
WO (1) | WO2010150304A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8981757B2 (en) * | 2010-03-25 | 2015-03-17 | Telefonaktiebolaget L M Ericsson (Publ) | Phase detector |
KR20140023708A (ko) | 2012-08-17 | 2014-02-27 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 패드의 본딩을 테스트할 수 있는 반도체 장치 |
US9164134B2 (en) * | 2012-11-13 | 2015-10-20 | Nvidia Corporation | High-resolution phase detector |
US8866511B2 (en) * | 2012-11-20 | 2014-10-21 | Nvidia Corporation | Matrix phase detector |
US9471091B2 (en) | 2012-11-28 | 2016-10-18 | Nvidia Corporation | Periodic synchronizer using a reduced timing margin to generate a speculative synchronized output signal that is either validated or recalled |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4162810B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2008-10-08 | 株式会社アドバンテスト | 半導体デバイス試験装置のタイミング位相校正方法・装置 |
US6850051B2 (en) * | 2001-03-26 | 2005-02-01 | Mcgill University | Timing measurement device using a component-invariant vernier delay line |
JP2004061339A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位相検出装置 |
JP2004239666A (ja) | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Advantest Corp | 検出装置、信号遅延器、インバータ |
JP2006041162A (ja) | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Dainippon Printing Co Ltd | Icモジュールの製造方法、icカードとicカードの製造方法 |
JP2006115274A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | High Energy Accelerator Research Organization | 2つのpllを用いた微小時間差回路及び時間測定回路 |
JP4850473B2 (ja) | 2005-10-13 | 2012-01-11 | 富士通セミコンダクター株式会社 | デジタル位相検出器 |
JP2007235908A (ja) | 2006-02-02 | 2007-09-13 | Sharp Corp | リング発振回路、遅延時間測定回路、テスト回路、クロック発生回路、イメージセンサ、パルス発生回路、半導体集積回路、及び、そのテスト方法 |
US7783452B2 (en) * | 2007-03-08 | 2010-08-24 | Advantest Corporation | Signal measurement apparatus and test apparatus |
US7756654B2 (en) * | 2007-08-15 | 2010-07-13 | Advantest Corporation | Test apparatus |
-
2009
- 2009-06-22 WO PCT/JP2009/002843 patent/WO2010150304A1/ja active Application Filing
- 2009-06-22 KR KR1020107007466A patent/KR101100906B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-06-22 JP JP2010511845A patent/JPWO2010150304A1/ja not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-04-02 US US12/753,796 patent/US7999531B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-02 TW TW099110410A patent/TWI390225B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100321001A1 (en) | 2010-12-23 |
TWI390225B (zh) | 2013-03-21 |
KR20110002456A (ko) | 2011-01-07 |
TW201109689A (en) | 2011-03-16 |
WO2010150304A1 (ja) | 2010-12-29 |
KR101100906B1 (ko) | 2012-01-02 |
US7999531B2 (en) | 2011-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20130828 |
|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20131007 |