JPWO2010137661A1 - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ne 2+no 2−sin2θ(no 2−ne 2)−2no 2tanθ=0
の式によって求められる。
2 導波路型方向性結合器
2A,2B,2C 導波路型方向性結合器
2a,2b 導波路型方向性結合器
3 ピッチコンバータ
3A,3B,3C ピッチコンバータ
4 レーザ素子
4a 青色発光素子
4b 赤色発光素子
4c 緑色発光素子
5,5a,5b,5c,5n 検出器
6,6A,6B 制御部
7 光導波路
8 光学要素基板
9 配線基板
10,10A,10B,10C,10D,10E 光源装置
11A,11B,11C 90°ベンド導波路
11a 導波路
11b ミラー部分
11c ミラー裏面
11d アンダークラッド表面
11e リッジ下部断面
12 導波路
20 プロジェクタ
21 コントローラ
22 光源装置
23 偏向装置
24 投影レンズ
31 画像信号
32 制御信号
33 制御信号
34 光束
35 偏向光束
100 基板
101 SiO2膜
102 SiN膜
103 レジスト膜
105 ナノプリント用モールド
106 Au膜
107 レジスト膜
108 集積回路部
109 保護膜
110 感光樹脂材
111 非感光樹脂材
112 硬化樹脂材
113 熱硬化樹脂材
122 ビアホール
200 クラッド
201 アンダークラッド
次に、図17〜図64を用いて、本発明の多波長合波器および光源装置の一実施例について説明する。
次に、本発明の多波長合波器が備える90°ベンドピッチコンバータについて、図31〜図40を用いて説明する。以下の説明では異方性材料を扱えるように異方性材料の例で説明をおこなうが、SiO2系や有機の等方性材料の場合は、ne=noとして同様に扱うことができる。
次に、図44〜図52を用いて光導波路の形成例について説明する。以下では、窒化シリコン(SiN)膜による光導波路の形成、樹脂膜による光導波路の形成、およびナノインプリント技術を用いた光導波路の形成について説明する。
窒化シリコン(SiN)膜による光導波路の形成について図44,図45を用いて説明する。図44,45は窒化シリコン(SiN)膜による光導波路の形成を説明するためのフローチャート、および概略図である。
樹脂膜による光導波路の形成について図46〜49を用いて説明する。樹脂膜は、UV感光樹脂材又はUV非感光樹脂材を用いることができる。図46,47はUV感光樹脂材による光導波路の形成を説明するためのフローチャートおよび概略図であり、図48,49はUV非感光樹脂材による光導波路の形成を説明するためのフローチャートおよび概略図である。
ナノインプリント技術を用いた光導波路の形成について図50〜52を用いて説明する。樹脂膜は、UV硬化樹脂材又は熱硬化樹脂材を用いることができる。図50はUV硬化樹脂材による光導波路の形成を説明するためのフローチャートであり、図51は熱硬化樹脂材による光導波路の形成を説明するためのフローチャートであり、図52は、UV硬化樹脂材又は熱硬化樹脂材による光導波路の形成を説明するための概略図である。
次に、半導体基板上に光学系要素と電気的要素とを形成する形成方法について説明する。以下では、検出器と制御部を後工程で実装するプロセス例と、検出器と制御部を半導体基板内に作り込むプロセス例について説明する。
光学系要素と電気的要素の形成において、検出器と制御部を後工程で実装するプロセス例について図53〜57を用いて説明する。図53,54はプロセスの手順を説明するためのフローチャートおよび手順を説明するための概略図であり、図55〜図57はプロセスの各手順における構成図である。
光学系要素と電気的要素の形成において、検出器と制御部を半導体基板内に作り込むプロセス例について図58〜63を用いて説明する。図58,59はプロセスの手順を説明するためのフローチャートおよび手順を説明するための概略図であり、図60〜図63はプロセスの各手順における構成図である。
Claims (20)
- 配線が形成された半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、前記配線を外部と電気的に接続する電極端子と、
前記半導体基板上に実装されるとともに前記配線と接続した、波長を異にする複数のレーザ素子と、
前記半導体基板上に形成され、前記各レーザ素子が発光する光波を導波する複数の導波路と、
前記半導体基板上に形成され、導波路型方向性結合器を有し、前記各導波路で導波される光波を合波する多波長合波器と、を備えたことを特徴とする、光源装置。 - 前記多波長合波器は、
少なくとも2つの入射波を合波する導波路型方向性結合器を多段に接続して備え、
前記各段の導波路型方向性結合器は、波長を異にする複数の入射波を段階的に合波し、
最終段の導波路型方向性結合器は、前段の各段の導波路型方向性結合器で合波した複数の入射波を合波することを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。 - 前記導波路型方向性結合器は、並列配置した2本の導波路の結合長に基づいた波長選択性を有することを特徴とする、請求項2に記載の光源装置。
- 前記導波路は、前記半導体基板上に形成した光導波性材料からなる膜のパターニングにより形成され、
前記導波路型方向性結合器は、パターニングされた2本の前記導波路を結合長の長さ分の間だけ平行に隣接または融合させることを特徴とする、請求項3に記載の光源装置。 - 前記導波路は、シリコン窒化膜、ゲルマニウムをドープしたシリコン酸化膜、樹脂膜の何れか一つをパターニングして形成されたことを特徴とする、請求項4に記載の光源装置。
- 前記導波路は半導体基板上に高屈折率領域を形成してなる平面型導波路であり、
前記導波路型方向性結合器は、2本のコアを結合長の長さ分の間だけ平行に隣接または融合させることを特徴とする、請求項3に記載の光源装置。 - 前記導波路は半導体基板上に等価屈折率を異にするリッジ部を形成してなるリッジ型導波路であり、
前記導波路型方向性結合器は、2本のリッジ部を結合長の長さ分の間だけ平行に隣接または融合させることを特徴とする、請求項3に記載の光源装置。 - 前記導波路は半導体基板上に固定された光ファイバであり、2本の光ファイバのコアを結合長の長さ分の間だけ平行に隣接または融合させることを特徴とする、請求項3に記載の光源装置。
- 前記導波路どうしの間隔を、前記複数のレーザ素子を前記半導体基板上に配置するピッチ間隔から、前記導波路型方向性結合器の導波路間のピッチ間隔に切り換えるピッチコンバータを備えることを特徴とする、請求項1から8のいずれか一つに記載の光源装置。
- 前記ピッチコンバータは、前記導波路の向きを90°変更する90°ベンドコンバータであることを特徴とする、請求項9に記載の光源装置。
- 前記半導体基板は四角形状であり、
前記複数のレーザ素子は四角形状の一辺側に実装され、
前記多波長合波器で合波した光を出射する出射端は前記レーザ素子を実装した辺と直角をなす他辺側に設けられることを特徴とする、請求項10に記載の光源装置。 - 前記配線は、前記半導体基板上に形成した金属膜のパターニングにより形成されたことを特徴とする、請求項1から11のいずれか一つに記載の光源装置。
- 前記金属膜のパターニングにより、前記配線とともに形成された金属材料からなる接合部を備え、
前記接合部に前記レーザ素子が接合されたことを特徴とする、請求項12に記載の光源装置。 - 前記金属膜はAuからなる膜であることを特徴とする、請求項12又は13に記載の光源装置。
- 前記半導体基板に形成された配線を介して前記各レーザ素子を駆動する駆動回路を有する制御部を備えたことを特徴とする、請求項1から14のいずれかに記載の光源装置。
- 前記制御部は、前記半導体基板の内部に集積回路形成工程により形成されたことを特徴とする、請求項15に記載の光源装置。
- 前記制御部は、前記半導体基板上に実装された集積回路により構成されることを特徴とする、請求項15に記載の光源装置。
- 多段接続される複数の導波路型方向性結合器の内、最終段の導波路型方向性結合器を除く導波路型方向性結合器の合波出力する出力ポート以外の出力ポートの出射波の光強度を検出する検出器と、初段の導波路型方向性結合器において結合される入射波の光強度を検出する検出器と、
前記レーザ素子が発生する入射波の強度を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記各検出器で検出される光強度を帰還し、前記発光素子を制御することを特徴とする、請求項15から17のいずれか一つに記載の光源装置。 - 前記レーザ素子が発光する光波を波長変換する波長変換素子を備え、
前記導波路は、前記波長変換素子で変換された光波を導波することを特徴とする、請求項1から18のいずれか一つに記載の光源装置。 - 前記各導波路は、R波長域、G波長域、およびB波長域の各波長域の光波を導波することを特徴とする、請求項1から19のいずれか一つに記載の光源装置。
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