JPWO2009153874A1 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
接触部における螺旋溝の谷底の径を、最終段スペーサの内径とほぼ等しく形成することもできる。
最終段スペーサは、固定円筒と排気側最終段の固定翼との間に挟持することが好ましい。
積層体の周囲を覆う第1のケース部材と、固定円筒の周囲を覆う第2のケース部材と、第1のケース部材と第2のケース部材とを締結し、第1のケース部材の吸気側軸方向端部と第2のケース部材の吸気側軸方向端部との間で積層体および固定円筒を挟持する締結装置とを有するものとしてもよい。
螺旋溝の吸気側の溝底面は、軸線とのなす角が45°以下となるように軸方向にかけてテーパ状に形成することが好ましい。
螺旋溝を周方向に複数形成するとともに、この螺旋溝の数を排気側よりも吸気側で多くすることもできる。
排気側最終段の回転翼の外径を、その上流側の回転翼の外径よりも小さくし、かつ、最終段スペーサの内径を、その上流側のスペーサの内径よりも小さくしてもよい。
図1は、本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプの全体構成を概略的に示す断面図である。このターボ分子ポンプは、例えば半導体製造装置に用いられる真空ポンプである。なお、説明の便宜上、以下では図示のようにターボ分子ポンプの上下方向を定義する。
(1)固定円筒24の軸方向端面を最下段スペーサ221の端面に接触して設けるとともに、この接触部における螺旋溝25の谷底の径D0を最下段スペーサ221の内径D1とほぼ等しくした。これにより積層体23から固定円筒24にかけてガス通路が連続して設けられるため、タービン翼部からモレキュラードラッグポンプ部にかけてのガスの流れがスムーズになり、排気効率が向上する。
(2)固定円筒24と最下段固定翼211の間に最下段スペーサ221を挟持するようにしたので、固定円筒24と最下段スペーサ221とが密接し、流れの損失が小さい。また、最下段スペーサ221の支持部をベース1に別途設ける必要がなく、構成を簡素化できる。
(3)ベース1とケーシング2をボルト42で締結することで、ケーシング2の上端部(段部2b)とベース1の上端部(フランジ面14)の間に、積層体23と固定円筒24を挟持するようにしたので、組立が簡単である。
(5)溝底面26のテーパ角αを吸気部26aで大きくしているので、螺旋溝25の深さが吸気側で深くなる。その結果、コンダクタンスが大きくなり、分子流を取り込みやすい。
(6)最下段回転翼311の外径をその上方の回転翼31の外径よりも小さくするとともに、最下段スペーサ221の内径をその上方のスペーサ22の内径よりも小さくした。これにより最下段回転翼311と回転円筒部32の外径の差が小さくなるため、溝25が深くなりすぎることを防止できる。その結果、回転翼31側から流入した分子が、固定円筒24から回転円筒32へと反射しやすくなり、タービン翼部への逆流を抑制できる。
Claims (7)
- 軸方向にかけて複数段の回転翼が形成され、排気側に回転円筒部が設けられた回転体と、
前記回転翼の周囲に配置された複数段の固定翼とスペーサとを積層してなる積層体と、
前記回転円筒部の周囲に配置され、内周面に螺旋溝が形成された固定円筒とを備え、
前記固定円筒と排気側最終段の前記固定翼との間には最終段スペーサが配設され、
前記固定円筒の軸方向端面は、前記最終段スペーサの端面に接触して設けられるとともに、この接触部における前記螺旋溝の谷底の径は、前記固定円筒の直上流に配置される排気側最終段の回転翼の外径または排気側最終段の固定翼の翼部の外径よりも大きく形成されるターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
さらに前記接触部における螺旋溝の谷底の径は、前記最終段スペーサの内径とほぼ等しく形成されるターボ分子ポンプ。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記最終段スペーサは、前記固定円筒と排気側最終段の前記固定翼との間に挟持されるターボ分子ポンプ。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記積層体の周囲を覆う第1のケース部材と、
前記固定円筒の周囲を覆う第2のケース部材と、
前記第1のケース部材と前記第2のケース部材とを締結し、前記第1のケース部材の吸気側軸方向端部と前記第2のケース部材の吸気側軸方向端部との間で前記積層体および前記固定円筒を挟持する締結装置とを有するターボ分子ポンプ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記螺旋溝の吸気側の溝底面は、軸線とのなす角が45°以下となるように軸方向にかけてテーパ状に形成されるターボ分子ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記螺旋溝は周方向に複数形成されるとともに、吸気側の螺旋溝の数は排気側の螺旋溝の数よりも多いターボ分子ポンプ。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
排気側最終段の前記回転翼の外径は、その上流側の回転翼の外径よりも小さく、かつ、前記最終段スペーサの内径は、その上流側のスペーサの内径よりも小さいターボ分子ポンプ。
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