JPWO2009139401A1 - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
Description
(a)前記研磨層のマイクロゴムA硬度が75度以上で、その厚みが0.8mm乃至3.0mmであり、
(b)前記クッション層が、無発泡エラストマーからなり、その厚みが0.05mm乃至1.5mmであり、
(c)前記研磨層の表面には、少なくとも2種類の溝群が形成され、当該2種類の溝群の内の一つは、第1の溝群で、他の一つは、第2の溝群であり、
(d)前記第1の溝群の各溝の溝幅が、0.5mm乃至1.2mmで、各溝の溝ピッチが7.5mm乃至50mmであり、
(e)前記第2の溝群の各溝の溝幅が、1.5mm乃至3mmで、各溝の溝ピッチが20mm乃至50mmであり、かつ、
(f)前記第1の溝群の各溝および前記第2の溝群の各溝が、前記研磨層の側端面に開口している研磨パッド。
研磨層とクッション層との積層体から、幅20mm、長さ60mmのサンプルを切り出す。サンプルの端から40mmの位置において、研磨層側から接着剤層または高分子シートが完全に切断され、かつ、クッション層が完全に切断されない深さまで、剃刀などの鋭利な刃物で切り込みを入れる。サンプルの先の端とは反対側の端から40mmの位置において、クッション層側から接着剤層または高分子シートが完全に切断され、かつ、研磨層が完全に切断されない深さまで、同様に切り込みを入れる。研磨層およびクッション層のそれぞれの表面に、接着剤で、アルミ板(360番、耐水研磨紙で表面を研磨したもの)を貼り付ける。該アルミ板を貼り付け後1日以上放置し、接着剤が完全に固化した後、万能試験機“テンシロン”RTG−1250 (オリエンテック社製)を用い、上側引張り治具に研磨層に貼り付けたアルミ板、下側引張り治具にクッション層に貼り付けたアルミ板を掴ませ、変位速度300mm/minでサンプルを引っ張り、サンプル中央部の幅20mm、長さ20mmの領域において、研磨層とクッション層が剥離したときの荷重を測定し、その値を剪断接着力とする。
万能材料試験機“Model5565”(Instron社製)を用いて、測定温度23℃、速度5cm/minで行い、得られた線図より勾配を求め、引っ張り弾性率を測定した。試験片は、幅5mm、長さ50mmのダンベル形状とした。
ダイヤルゲージ“ID−125B”((株)ミツトヨ製)を使用して、測定圧230gfで、研磨パッド面内の49点について測定し、それらの平均値として算出した。
マイクロゴムA硬度計“MD−1”(高分子計器(株)製)により測定した。マイクロゴムA硬度計“MD−1”の構成は、次の通りである。
(1)荷重方式:片持ばり形板バネ。
(1)駆動方式:ステッピングモータによる上下駆動。エアダンパによる降下速度制御。
JIS K−7222に記載の方法により測定した。
走査型電子顕微鏡“SEM2400”(日立製作所(株)製 )を使用し、研磨層切断面を倍率200倍で観察した写真を画像処理装置で解析することにより、写真中に存在するすべての気泡径を計測し、その平均値を平均気泡径とした。
研磨層とクッション層との積層体から、幅20mm、長さ60mmのサンプルを切り出した。サンプルの端から40mmの位置において、研磨層側から接着剤層または高分子シートが完全に切断され、かつ、クッション層が完全に切断されない深さまで、剃刀などの鋭利な刃物で切り込みを入れた。サンプルの先の端とは反対側の端から40mmの位置において、クッション層側から接着剤層または高分子シートが完全に切断され、かつ、研磨層が完全に切断されない深さまで、同様に切り込みを入れた。
作製した研磨パッドを研磨機(アプライドマテリアルズ製“MIRRA(登録商標)”)に取り付け、2倍に希釈したスラリー“SS−25”(キャボット社製)を150mm/minの流量で流しながら、プラテン速度=93rpm、研磨ヘッド速度=89rpm、メンブレン圧力=4psi、リテーナリング圧力=5.5psi、インナーチューブ圧力=4psiの研磨条件で、研磨時間=1分で、酸化膜付きウェハを300枚連続で研磨した。
(研磨前の酸化膜の厚み−研磨後の酸化膜の厚み)/研磨時間 ……(1)
面内均一性(%)=
(最大研磨レート−最小研磨レート)/(最大研磨レート+最小研磨レート)×100 ……(2)
各仕様の研磨パッドを10枚作成し、300枚の連続テストをそれぞれ行い、各平均研磨レートの最大と最小の差を算出した。10枚のそれぞれの平均研磨レートから10枚の平均研磨レートを算出して、最大と最小の差を10枚の平均研磨レートで除したものを研磨パッド間のバラツキの指標とした。
8インチシリコンウェハーに20mm角のダイを配置した。この20mm角のダイの左半分に、30μm幅、高さ1.2μmのアルミ配線を、300μm幅のスペースで、ラインアンドスペースで配置し、前記ダイの右半分に、300μm幅、高さ1.2μmのアルミ配線を、30μmのスペースで、ラインアンドスペースで配置した。更に、その上に、絶縁膜として、テトラエトキシシランをCVDで、厚さが3μmになるように形成した。得られたウェハーを、平坦化特性評価用ウェハーとした。この平坦化特性評価用ウェハーを、上記研磨条件で研磨し、左半分の300μm幅のスペースと右半分の300μm幅のラインの高さの差を段差として、平坦化特性の指標とした。
作製した研磨パッドを研磨機(アプライドマテリアルズ製“MIRRA(登録商標)”)に取り付け、2倍に希釈した“W−2000”(キャボット社製)に2%過酸化水素水を添加して調整したスラリーを140mm/minの流量で流しながら、プラテン速度=113rpm、研磨ヘッド速度=110rpm、メンブレン圧力=3.8psi、リテーナリング圧力=6.0psi、インナーチューブ圧力=6.0psiの研磨条件で、研磨時間=1分で、タングステン付きウェハを300枚連続で研磨した。
(研磨前のタングステン膜の厚み−研磨後のタングステン膜の厚み)/研磨時間 ……(3)
面内均一性(%)=
(最大研磨レート−最小研磨レート)/(最大研磨レート+最小研磨レート)÷2×100 ……(4)
各仕様の研磨パッドを10枚作成し、300枚の連続テストをそれぞれ行い、各平均研磨レートの最大と最小の差を算出した。10枚のそれぞれの平均研磨レートから10枚の平均研磨レートを算出して、最大と最小の差を10枚の平均研磨レートで除したものを研磨パッド間のバラツキの指標とした。
SKW Associate、Inc.から販売されているSKW5−4パターンウェハーを用い、0.25μmのラインアンドスペースの部分の窪み(ディッシング)を評価した。該パターンウェハーを研磨機(アプライドマテリアルズ製“MIRRA(登録商標)”)に取り付け、2倍に希釈した“W−2000”(キャボット社製)に2%過酸化水素水を添加して調整したスラリーを140mm/minの流量で流しながら、プラテン速度=113rpm、研磨ヘッド速度=110rpm、メンブレン圧力=3.8psi、リテーナリング圧力=6.0psi、インナーチューブ圧力=6.0psiの研磨条件で、レーザーの終点検出を行い、タングステンが除去されてから過研磨を16秒行って停止させた。得られた研磨済みのパターンウェハーの0.25μmのラインアンドスペースの部分の窪み(ディッシング)を、KLA−Tenchol社製P−15で評価した。
Claims (10)
- 研磨層とクッション層との積層体からなる研磨パッドであり、
(a)前記研磨層のマイクロゴムA硬度が75度以上で、その厚みが0.8mm乃至3.0mmであり、
(b)前記クッション層が、無発泡エラストマーからなり、その厚みが0.05mm乃至1.5mmであり、
(c)前記研磨層の表面には、少なくとも2種類の溝群が形成され、当該2種類の溝群の内の一つは、第1の溝群で、他の一つは、第2の溝群であり、
(d)前記第1の溝群の各溝の溝幅が、0.5mm乃至1.2mmで、各溝の溝ピッチが7.5mm乃至50mmであり、
(e)前記第2の溝群の各溝の溝幅が、1.5mm乃至3mmで、各溝の溝ピッチが20mm乃至50mmであり、かつ、
(f)前記第1の溝群の各溝および前記第2の溝群の各溝が、前記研磨層の側端面に開口している研磨パッド。 - 前記マイクロゴムA硬度が、80度以上であり、前記クッション層の厚みが、0.05mm乃至0.5mmである請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記クッション層の引っ張り弾性率が、15MPa乃至50MPaである請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層と前記クッション層との間の剪断接着力が、3000gf/(20×20mm2)以上である請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1の溝群を形成する溝が格子状に配列され、かつ、前記第2の溝群を形成する溝が格子状に配列されている請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1の溝群および前記第2の溝群の各溝が、直線状に配列され、かつ、互いに平行に配列されている請求項5に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層が、ポリウレタンとビニル化合物の重合体を含有している発泡構造を有する請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記ポリウレタンと前記ビニル化合物の重合体が一体化した状態にある請求項7に記載の研磨パッド。
- 前記ビニル化合物の重合体の含有比率が、23重量%乃至66重量%である請求項7に記載の研磨パッド。
- 前記ビニル化合物が、CH2=CR1COOR2(R1:メチル基、エチル基、R2:メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基)である請求項9に記載の研磨パッド。
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