JP2009255271A - 研磨パッド、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)圧縮弾性率が3MPa以上10MPa以下の研磨層と、圧縮弾性率が2MPa以上10MPa以下のクッション層との積層体からなり、最大厚みと最小厚みの差が50μm以下でかつ、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値が0.15以下であることを特徴とする研磨パッド。
(2)研磨層とクッション層を積層した後に、研磨層表面を研削することを特徴とする研磨パッドの製造方法。
【選択図】なし
Description
しかしながらこのようにして製造された研磨パッドには、接着の際の研磨層,クッション層の変形や、研磨層,クッション層が元来有している厚みムラ等の原因により、厚みムラが存在している。そのため、研磨パッドごとの研磨特性が不安定であったり、研磨特性が安定するまでの時間が長いため、立ち上げに要する時間が長いことが問題であった。
「(1)圧縮弾性率が3MPa以上10MPa以下の研磨層と、圧縮弾性率が2MPa以上10MPa以下のクッション層との積層体からなり、最大厚みと最小厚みの差が50μm以下でかつ、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値が0.15以下であることを特徴とする研磨パッド。
(2)研磨層とクッション層を積層した後に、研磨層表面を研削することを特徴とする研磨パッドの製造方法。」
両面粘着テープを貼り合わせることが好ましい。両面粘着テープの材質,貼り合わせ方法は上述したとおりであり特に限定されるものではない。
液温を40℃に保った、ポリエーテルポリオール:”サンニックス(登録商標) FA−909”(三洋化成工業(株)製)100重量部,鎖伸長剤:エチレングリコール8重量部,アミン触媒:”Dabco(登録商標) 33LV”(エアープロダクツジャパン(株)製)1重量部,アミン触媒:”Toyocat(登録商標) ET”(東ソー(株)製)0.1重量部,シリコーン整泡剤:”TEGOSTAB(登録商標) B8462”(Th.Goldschmidt AG社製)0.5重量部,発泡剤:水0.2重量部を混合してなるA液と、液温を40℃に保ったイソシアネート:”サンフォーム(登録商標) NC−703”95重量部からなるB液を、RIM成型機により、吐出圧15MPaで衝突混合した後、60℃に保った金型内に吐出量500g/secで吐出し、10分間放置することで、大きさ700×700mm,厚み10mmの発泡ポリウレタンブロック(マイクロゴムA硬度:47度,密度:0.77g/cm3、平均気泡径:37μm)を作製した。その後、該発泡ポリウレタンブロックをスライサーで厚み3mmにスライスした。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み0.5mmの熱可塑性ウレタンゴムシート(圧縮弾性率:2.5MPa、マイクロゴムA硬度:60度)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。その後、ワイドベルトサンダー“TS100D”(アミテック(株)製)を用いて、サンドペーパー番手#120で積層体厚みが3.2mmになるまで研磨層表面を研削することにより研磨パッドを作製した。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は35μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.07であった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み2.0mmの熱硬化性ウレタンゴムシート(圧縮弾性率:9.4MPa、マイクロゴムA硬度:90度)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。その後、ワイドベルトサンダー“TS100D”(アミテック(株)製)を用いて、サンドペーパー番手#120で積層体厚みが3.2mmになるまで研磨層表面を研削することにより研磨パッドを作製した。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は46μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.023であった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み0.3mmの熱可塑性ウレタンゴムシート(圧縮弾性率:6.8MPa、マイクロゴムA硬度:85度)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。その後、ワイドベルトサンダー“TS100D”(アミテック(株)製)を用いて、サンドペーパー番手#120で積層体厚みが3.2mmになるまで研磨層表面を研削することにより研磨パッドを作製した。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は43μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.143であった。
ワイドベルトサンダーによる研磨層表面の研削をしなかった以外は、実施例1と同様にして研磨パッドの作製,研磨評価を行った。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は95μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.095であった。研磨パッドの立ち上げに要した時間は40分であった。研磨レートは2280オングストローム/分であったが、バラツキが大きかった。面内均一性は10.4%であったが、バラツキが大きかった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み0.8mmの発泡ウレタンゴムシート(圧縮弾性率:1.5MPa、マイクロゴムA硬度:32度)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は63μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.079であった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み1.3mmの発泡ポリエチレン(圧縮弾性率:1.4MPa、マイクロゴムA硬度:35度)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧1kg/cmで貼り合わせた。研磨パッド面内の最大厚みと最小厚みとの差は205μm、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値は0.158であった。
Claims (8)
- 圧縮弾性率が3MPa以上10MPa以下の研磨層と、圧縮弾性率が2MPa以上10MPa以下のクッション層との積層体からなり、最大厚みと最小厚みの差が50μm以下でかつ、積層体の厚みバラツキをクッション層の厚みで除した値が0.15以下であることを特徴とする研磨パッド。
- クッション層が無発泡構造である請求項1記載の研磨パッド。
- クッション層がポリウレタンゴムである請求項1または2記載の研磨パッド。
- 研磨層とクッション層が接着剤で積層されている請求項1〜3のいずれかに記載の研磨パッド。
- 半導体基板の研磨用である請求項1〜4のいずれかに記載の研磨パッド。
- 研磨層とクッション層を積層した後に、研磨層表面を研削することを特徴とする研磨パッドの製造方法。
- 研磨パッドより大きな治具ロールを有する研削機で、研磨層表面を研削する請求項6記載の研磨パッドの製造方法。
- 研磨層表面をサンドペーパーにより研削する請求項6または7記載の研磨パッドの製造方法。
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