JPWO2008146451A1 - 半導体試験装置および試験方法 - Google Patents
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Abstract
Description
「クロック信号と同期」するとは、ノイズ電圧の周波数が、クロック信号の周波数と等しい場合のみでなく、クロック信号の周波数を逓倍または分周した周波数である場合を含む。ノイズ電圧とクロック信号との間には、任意の位相差が存在してもよい。
被試験デバイスは、クロック信号を利用してデータをラッチし、あるいは演算処理を実行する。したがって、クロック信号と同期したノイズ電圧を重畳することにより、厳しい条件で検査を実行することができる。
この態様によれば、アドレス期間ごとにノイズ電圧の振幅を変化させることができるため、エラーの発生しやすいテストパターンのアドレスを特定可能となる。さらに、特定したテストパターンのアドレスから、電源電圧変動の耐性が低い回路ブロックを推定することが可能となる。
ノイズ電圧の振幅を再設定し、被試験デバイスを再判定した結果、合格と判定された場合、ノイズ電圧の振幅が変更されたアドレス期間に対応するアドレスが、ノイズに弱いと推定することができる。
被試験デバイスが不合格と判定された場合、フェイルアドレス以前に与えられたノイズによってエラーが発生した可能性が高い。したがって、フェイルアドレス以前のあるアドレス期間のノイズ振幅を小さくした状態で、被試験デバイスの合否を再判定したときに、合格と判定されれば、そのアドレス期間のパターンアドレスにもとづいて、ノイズ耐性の低い回路ブロックを推定することができる。
(1) 所定の単位時間ごとにアドレスで区別可能なテストパターンを生成する。
(2) 単位時間と同期したノイズ電圧を、被試験デバイスに供給する電源電圧に重畳した状態で、テストパターンを利用して被試験デバイスの合格、不合格を判定する。
(3) 被試験デバイスが合格と判定されたときのノイズ電圧の振幅を、パス電圧として取得する。
(4) 被試験デバイスが不合格と判定されたときのノイズ電圧の振幅を、フェイル電圧として取得する。
(5) テストパターンの少なくともひとつの単位時間について、ノイズ電圧の振幅をフェイル電圧に設定し、残りの単位時間について、ノイズ電圧の振幅をパス電圧に設定する。
(6) ステップ(5)により設定されたノイズ電圧の重畳した状態で、被試験デバイスの合格、不合格を再判定する。
ステップ(5)(6)を、被試験デバイスが合格と判定されるまで繰り返し実行する。この処理によれば、合格と判定された時点において、ノイズ電圧の振幅がパス電圧に設定されている単位時間が、ノイズに弱いアドレスを示すことになる。したがって、ノイズに弱いアドレスにもとづいて、ノイズに弱い回路ブロックや回路パスを、特定、または推定することができる。
電圧源10は、DUT200に供給する電源電圧Vddを生成する。判定処理部30は、DUT200に所定のテストシーケンスを実行させ、その良否を判定する。本実施の形態において、判定処理部30は、検査端子P3を介してテストパターンを出力する。テストパターンは、時間軸上で仮想的に分割されており、所定の単位時間ごとにアドレスで区別可能となっている。以下、テストパターンのアドレスをパターンアドレスADDといい、アドレスに対応する単位時間をアドレス期間Tという。DUT200はテストパターンを受け、テストパターンに対して所定の信号処理をする。判定処理部30は、信号処理の結果得られたデータが、テストパターンから予期されるデータと一致すれば合格と判定し、一致しなければ不合格と判定する。判定処理部30は、パターンアドレス単位でパス、フェイルを出力する。いずれかのパターンアドレスでフェイルが発生すれば、DUT200は不合格となり、その時点で試験を中断する。すべてのパターンアドレスについてパスが出力されれば、DUT200は合格と判定される。
まず、ノイズ制御部26は、すべてのアドレス期間に同じ振幅ΔVnを設定し、振幅ΔVnを徐々に変化させていく。振幅ΔVnを大きくするに従ってDUT200はノイズの影響を受け、誤動作をする確率が高くなっていく。半導体試験装置100は、設定した振幅ΔVnごとに、所定のテストシーケンスを実行し、DUT200の良否を判定する。
図5は、ノイズに弱いパターンアドレスの探索アルゴリズムを示すフローチャートである。図5のフローチャートは、図3のステップS16以降の処理を示している。図6(a)、(b)は、図5の探索アルゴリズムにおける振幅ΔVnの遷移図である。
(1) 最も単純には、ひとつの、あるいは連続する複数の試験アドレスADD_Tを、フェイルアドレスADD_Fを始点としてひとつづつ前にシフトさせていき、DUT200が合格する状態を探索してもよい。
(2) 二分探索を行ってもよい。まず、パターンアドレス1〜ADD_Fを2分割し、前半または後半のいずれか一方を試験アドレスADD_Tに設定し、良否を判定する。その結果、合格したときの試験アドレスADD_Tをさらに2分割し、良否を判定する。この処理を繰り返し実行すれば、ノイズに弱いパターンアドレスの範囲を特定することができる。
図6のアルゴリズム、上記(1)、(2)のアルゴリズム、その他のアルゴリズムは単独で利用してもよいし、組み合わせてもよい。
Claims (13)
- 被試験デバイスに供給すべき電源電圧を生成する電圧源と、
前記被試験デバイスに所定のテストシーケンスを実行させる判定処理部と、
テストシーケンスの実行中、前記被試験デバイスに供給される電源電圧にインパルス状のノイズ電圧を重畳するノイズ発生部と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 被試験デバイスに供給すべき電源電圧を生成する電圧源と、
前記被試験デバイスに所定のテストシーケンスを実行させる判定処理部と、
テストシーケンスの実行中、前記被試験デバイスに供給される電源電圧に周期的なパルス状のノイズ電圧を重畳するノイズ発生部と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記ノイズ発生部は、
前記被試験デバイスに供給されるクロック信号と同期したノイズ電圧を重畳することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体試験装置。 - 前記被試験デバイスに供給するクロック信号を生成するオシレータをさらに備え、
前記ノイズ発生部は、前記オシレータからのクロック信号と同期して、前記ノイズ電圧を生成することを特徴とする請求項3に記載の半導体試験装置。 - 前記判定処理部は、所定の単位時間ごとにアドレスで区別可能なテストパターンを生成し、前記被試験デバイスに対して、当該テストパターンを供給し、
前記ノイズ発生部は、前記ノイズ電圧の振幅を、前記テストパターンの単位時間ごとに独立して調節可能であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体試験装置。 - 前記被試験デバイスを不合格と判定すると、不合格が発生したテストパターンのアドレスを取得するフェイルアドレス取得部と、
不合格が発生したアドレスを指定するフェイルアドレスにもとづき、前記単位時間ごとの前記ノイズ電圧の振幅を再設定するノイズ制御部と、
をさらに備え、
前記判定処理部は、再設定された前記ノイズ電圧の振幅を重畳した状態で、前記被試験デバイスの良否を再判定することを特徴とする請求項5に記載の半導体試験装置。 - 前記ノイズ制御部は、前記フェイルアドレス以前の少なくともひとつのアドレスを検査アドレスに設定し、前記ノイズ電圧の振幅を、前記検査アドレスに対応するアドレス期間、小さく設定することを特徴とする請求項6に記載の半導体試験装置。
- 前記ノイズ制御部は、前記判定処理部による再判定の結果、前記被試験デバイスが合格と判定されるまで、前記検査アドレスをスキャンさせる請求項7に記載の半導体試験装置。
- 被試験デバイスに所定のテストシーケンスを実行させ、前記被試験デバイスの合格、不合格を判定するステップと、
テストシーケンスの実行中、前記被試験デバイスに供給される電源電圧にインパルス状のノイズ電圧を重畳するステップと、
を備えることを特徴とする半導体試験方法。 - 被試験デバイスに所定のテストシーケンスを実行させ、前記被試験デバイスの合格、不合格を判定するステップと、
テストシーケンスの実行中、前記被試験デバイスに供給される電源電圧に周期的なパルス状のノイズ電圧を重畳するステップと、
を備えることを特徴とする半導体試験方法。 - 前記被試験デバイスを不合格と判定すると、不合格が発生したテストパターンのアドレスを取得するステップと、
不合格が発生したアドレスを指定するフェイルアドレス以前の少なくともひとつのアドレスを検査アドレスに設定し、前記ノイズ電圧の振幅を、前記検査アドレスに対応づけられるアドレス期間、小さく設定するステップと、
設定後のノイズ電圧にて、前記被試験デバイスにテストシーケンスを再実行させるステップと、
をさらに備えることを特徴とする請求項9または10に記載の半導体試験方法。 - 前記検査アドレスを変化させるステップを、前記被試験デバイスが合格と判定されるまで繰り返すことを特徴とする請求項11に記載の半導体試験方法。
- 所定の単位時間ごとにアドレスで区別可能なテストパターンを生成するステップと、
前記単位時間と同期したノイズ電圧を、被試験デバイスに供給する電源電圧に重畳した状態で、前記テストパターンを利用して前記被試験デバイスの合格、不合格を判定するステップと、
前記被試験デバイスが合格と判定されたときの前記ノイズ電圧の振幅を、パス電圧として取得するステップと、
前記被試験デバイスが不合格と判定されたときの前記ノイズ電圧の振幅を、フェイル電圧として取得するステップと、
前記テストパターンの少なくともひとつの単位時間について、前記ノイズ電圧の振幅をフェイル電圧に設定し、残りの単位時間について、前記ノイズ電圧の振幅をパス電圧に設定する電圧設定ステップと、
前記電圧設定ステップにより設定された前記ノイズ電圧の重畳した状態で、前記被試験デバイスの合格、不合格を再判定する再判定ステップと、
を備え、
前記電圧設定ステップと前記再判定ステップを繰り返し実行することを特徴とする半導体試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009516168A JP5171817B2 (ja) | 2007-05-28 | 2008-05-12 | 半導体試験装置および試験方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007140762 | 2007-05-28 | ||
JP2007140762 | 2007-05-28 | ||
JP2009516168A JP5171817B2 (ja) | 2007-05-28 | 2008-05-12 | 半導体試験装置および試験方法 |
PCT/JP2008/001183 WO2008146451A1 (ja) | 2007-05-28 | 2008-05-12 | 半導体試験装置および試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008146451A1 true JPWO2008146451A1 (ja) | 2010-08-19 |
JP5171817B2 JP5171817B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=40074729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009516168A Expired - Fee Related JP5171817B2 (ja) | 2007-05-28 | 2008-05-12 | 半導体試験装置および試験方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8433990B2 (ja) |
JP (1) | JP5171817B2 (ja) |
DE (1) | DE112008001433T5 (ja) |
TW (1) | TWI367339B (ja) |
WO (1) | WO2008146451A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8707232B2 (en) * | 2011-06-08 | 2014-04-22 | Mentor Graphics Corporation | Fault diagnosis based on design partitioning |
CN102540055B (zh) * | 2011-12-22 | 2015-07-29 | 深圳创维数字技术有限公司 | 一种检测逻辑电平极限值的方法及装置 |
CN102565679B (zh) * | 2011-12-22 | 2015-07-15 | 深圳创维数字技术有限公司 | 一种检测供电电压极限值的方法及装置 |
KR101891433B1 (ko) * | 2017-02-28 | 2018-08-24 | 재단법인 한국기계전기전자시험연구원 | 전원 노이즈 발생장치 |
KR102288464B1 (ko) * | 2017-06-08 | 2021-08-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 테스트 시스템 및 테스트 방법 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4280220A (en) * | 1979-09-17 | 1981-07-21 | Fairchild Camera & Instrument Corp. | Electronic testing system |
US5144225A (en) * | 1989-03-31 | 1992-09-01 | Schlumberger Technologies, Inc. | Methods and apparatus for acquiring data from intermittently failing circuits |
JP2930669B2 (ja) * | 1990-06-22 | 1999-08-03 | 株式会社アドバンテスト | 半導体試験装置 |
JPH0545396A (ja) * | 1991-08-15 | 1993-02-23 | Tokyo Gas Co Ltd | ノイズ試験器 |
JPH05107321A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-27 | Hitachi Ltd | 集積回路測定装置 |
JPH06308197A (ja) | 1993-04-27 | 1994-11-04 | Fujitsu Ltd | Ic素子試験装置 |
US5929628A (en) * | 1996-12-05 | 1999-07-27 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for performing amplitude calibration in an electronic circuit tester |
US5883523A (en) * | 1997-04-29 | 1999-03-16 | Credence Systems Corporation | Coherent switching power for an analog circuit tester |
JP3566882B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2004-09-15 | アンリツ株式会社 | 回線品質評価装置 |
JP2002016493A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路および光伝送用送信回路 |
JP2004209153A (ja) | 2003-01-08 | 2004-07-29 | Otsuka Pharmaceut Factory Inc | 輸液バッグの口部構造 |
JP2004309153A (ja) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Advantest Corp | ノイズ試験装置 |
WO2006120853A1 (ja) | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、および半導体デバイス |
JP2010533288A (ja) * | 2007-07-11 | 2010-10-21 | マリミルス オーワイ | 物体を容量検出する方法および装置 |
JP4538066B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-09-08 | 株式会社東芝 | 乱数生成装置 |
WO2010029597A1 (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-18 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および回路システム |
-
2008
- 2008-05-12 JP JP2009516168A patent/JP5171817B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-12 DE DE112008001433T patent/DE112008001433T5/de not_active Withdrawn
- 2008-05-12 WO PCT/JP2008/001183 patent/WO2008146451A1/ja active Application Filing
- 2008-05-12 US US12/602,144 patent/US8433990B2/en active Active
- 2008-05-26 TW TW097119408A patent/TWI367339B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100161264A1 (en) | 2010-06-24 |
JP5171817B2 (ja) | 2013-03-27 |
US8433990B2 (en) | 2013-04-30 |
WO2008146451A1 (ja) | 2008-12-04 |
TWI367339B (en) | 2012-07-01 |
TW200909834A (en) | 2009-03-01 |
DE112008001433T5 (de) | 2010-04-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121016 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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