JPWO2008143234A1 - 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims abstract description 52
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 34
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 31
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims abstract description 30
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 41
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 23
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 10
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- BFRGSJVXBIWTCF-UHFFFAOYSA-N niobium monoxide Chemical compound [Nb]=O BFRGSJVXBIWTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims 1
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 abstract description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 45
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 44
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 15
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 8
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N manganese(2+);dinitrate Chemical compound [Mn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 239000004815 dispersion polymer Substances 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical compound C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- YADSGOSSYOOKMP-UHFFFAOYSA-N dioxolead Chemical compound O=[Pb]=O YADSGOSSYOOKMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QXYJCZRRLLQGCR-UHFFFAOYSA-N dioxomolybdenum Chemical compound O=[Mo]=O QXYJCZRRLLQGCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 238000002459 porosimetry Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N tungsten(iv) oxide Chemical compound O=[W]=O DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 208000031872 Body Remains Diseases 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000414 polyfuran Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- -1 polyoxyphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/0029—Processes of manufacture
- H01G9/0032—Processes of manufacture formation of the dielectric layer
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- H01G11/22—Electrodes
- H01G11/30—Electrodes characterised by their material
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- H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
- H01G11/54—Electrolytes
- H01G11/56—Solid electrolytes, e.g. gels; Additives therein
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- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/0029—Processes of manufacture
- H01G9/0036—Formation of the solid electrolyte layer
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- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
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Abstract
Description
しかしながらこの方法は弁作用金属陽極体が多孔質体であることを応用した毛細管現象を利用して陰極形成剤溶液を内部に浸透させており、低温や高濃度などの粘性が高い溶液の場合には直接応用できない。また従来の硝酸マンガン液によるマンガン含浸方法においても含浸回数の増加に伴い含浸液濃度を上昇させるのが一般的な方法であり、初回含浸は希薄溶液を使うのが必要で、操作回数と時間が短縮できなかった。
特開2001−110681号公報(特許文献5)には加圧することにより陰極形成液をアルミニウム電解箔に強制的に含浸させる方法が提案されている。しかしこの方法も上記と同様に含浸距離が短い。また細孔の奥には少なからず雰囲気が圧縮されて残留する。細孔が奥深い粉末焼結体からなる陽極体は陰極形成剤溶液が含浸しにくいのと同時に空気などの雰囲気が脱気しにくいので、乾燥による加熱や電圧印可加熱修復時などの熱歪みを受ける場合、焼結体内部で気体膨張による陰極剤や誘電体の損傷が起きやすくなる。
例えば、特開2005−109252号公報(特許文献6)には陽極体に有機化合物溶液を含浸させて高分子化合物を形成させ、さらに導電性高分子分散液を含浸させる方法が記載されている。この場合タンタル粉末の容量が4万μFV/gである陽極体を使用しており、一般に陽極体表面の細孔開口径が比較的大きく、平均細孔径は0.5μmを超えるため陰極形成剤の進入路が広く、陰極形成に支障がない。しかし微細なタンタル粉末、例えば、粉末の静電容量が7万μFV/gを使用した場合は表面の開口径が狭くなり、平均細孔径も0.5μmよりも小さくなり、相対的に進入路も狭まる。このような形状では陰極形成溶液を陽極体内部へ十分に含浸することができない。
具体的には、特開2006−310365号公報(特許文献7)などがある。しかしながら、この方法を用いて陽極体に陰極形成剤を含浸する場合、平均細孔径が0.5μmより小さくなると減圧含浸することにより陰極形成剤は陽極体内に満たされるが、熱分解や乾燥する際に溶剤が揮発する経路途中に陰極形成が起きやすくなり、特に素子の外部へと蒸散の行われる接点である細孔の開口部、すなわち表面に陰極が選択的に形成される。表面に陰極が形成されるとその部分の細孔が閉塞し、陽極体内部まで陰極剤の含浸が困難になる。
1.細孔を有する弁作用金属焼結体からなる陽極体に誘電体層を形成し、その誘電体層の上に導電性化合物層を積層することにより陰極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、導電性化合物層となる無機化合物溶液、有機化合物溶液または導電性高分子化合物分散液に陽極体を含浸し導電性化合物層を積層する工程を繰り返して陰極を形成するに際して、前記溶液あるいは分散液に陽極体を浸す範囲を、含浸する回数が増すごとに深くすることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
2.弁作用金属焼結体の平均細孔径が0.5μm未満である前記1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
3.溶液あるいは分散液の1回当たり含浸時間が、毛細管現象で液が弁作用金属焼結体内部まで浸透するに十分な時間である前記1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
4.溶液あるいは分散液の1回当たり含浸時間が、1〜10分である前記3に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
5.前記溶液あるいは分散液を陽極体に複数回減圧下で含浸し、熱分解あるいは乾燥する工程を繰り返して陰極を形成する前記1乃至4のいずれかに記載の記載の固体電解コンデンサの製造方法。
6.大気圧下で、前記溶液あるいは分散液を陽極体に複数回含浸し熱分解あるいは乾燥する工程を繰り返して陰極を形成する前記1乃至4のいずれかに記載の記載の固体電解コンデンサの製造方法。
7.前記弁作用金属焼結体が、タンタル粉、ニオブ粉、タンタルを主成分とする合金粉、ニオブを主成分とする合金粉、及び一酸化ニオブ粉から選択される粉末の焼結体である前記1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
8.前記1乃至7のいずれかの方法で作られた固体電解コンデンサ。
9.前記1乃至7のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法を実施するための装置であって、外気と遮断し内部を減圧にする手段(1)、及び内部に陽極体固定用の陽極体ホルダー(2)、陰極形成液槽(3)、前記陽極体ホルダー(2)または陰極形成液槽(3)を昇降できる昇降手段(4)、並びに前記陰極形成液槽(3)の温度調節手段(5)を有する密閉槽からなる含浸装置を備えていることを特徴とする固体電解コンデンサの製造装置。
10.陰極形成液槽(3)が減圧時の蒸発潜熱による液温変化を防止できる温度調節が可能なジャケット式構造からなる前記7に記載の装置。
11.陽極体ホルダー(2)が位置固定され、陰極形成槽(3)が昇降装置(4)の上に置かれている前記7に記載の装置。
12.陰極形成槽(3)が位置固定され、陽極体ホルダー(2)が昇降装置(4)に連結されている前記7に記載の装置。
13.陰極形成槽(3)と陽極体ホルダー(2)との間の距離を検知し、浸漬距離を制御できる距離検知手段を備えている前記9乃至12のいずれかに記載の装置。
本発明によれば、微小な細孔を有する弁作用金属焼結体からなる陽極体に効率よく陰極層を形成することができ、その結果、容量が大きく低ESR(等価直列抵抗)である固体電解コンデンサを工業的に製造することができる。
陰極形成槽(3)は、通常、昇降装置(4)の上に置かれ、陽極体固定装置(ホルダー)(2)と陰極生成液間の距離を検知し、浸漬距離を精度よく制御できる距離検知手段(図示せず)を備えていることが望ましい。
なお、上記の例では陽極体を固定する装置(ホルダー)(2)を備えたものを示したが、勿論、陰極形成層(3)の位置を固定して、陽極体ホルダーを昇降させる態様でもよい。
この操作を1回の含浸ごとに0.2mm深さ分だけ浸漬距離を増し、最終的に10回の浸漬で素子全体を浸す。
市販の静電容量公称200000μFV/gのコンデンサ用ニオブ粉末をニオブ線とともに成形し、約20mg、2mm×2mm×1.4mmの成形体を作成した。これを<4×10−3Paで1250℃、30分熱処理を行い焼結体を得た。得られた焼結体を80℃1%リン酸水溶液中で30Vの電圧で300分化成処理を行うことにより表面に誘電体層を形成し陽極体を作成した。この陽極体の30%硫酸中での容量は132μFであり、水銀圧入法による平均細孔径は0.32μmであった。
この陽極体20個を粉末焼結部分の高さが直線上に並ぶように基板に溶接したものを含浸装置のホルダーに固定した。一方固形物濃度1.1%の粘度30mPa/sに調整した平均粒径20nmの導電性高分子(ポリ−(3,4−エチレンジオキシチオフェン))の水系分散液を用意し、減圧含浸装置のジャケット付き浸漬槽に満たした。装置を密閉し、真空ポンプで内部を0.05Paまで減圧した。
次いで浸漬槽を素子の最下面が液面下0.1mmの位置になるように移動し、浸漬を行った。このまま化成体全体に分散液が浸透するまで5分保持した後、装置内を大気圧に戻し、浸漬槽を元の位置に戻した。陽極体を取り出し、大気圧下で120℃、10分乾燥した後室温まで自然冷却させた。
この陽極体を再度含浸装置に固定するところから乾燥冷却までの工程を1回とし、この工程を、その際回数が1回増すごとに浸漬深さを0.1mmずつ増やして20回繰り返した。
さらに、浸漬深さを2mmに固定し、3回浸漬を繰り返し、陰極形成剤分散液を平均粒径1μmの導電性高分子の水系分散液に交換し、さらに2回浸漬繰り返し陽極体の表面を完全に閉塞させた。合計25回の浸漬による含浸工程を行い陽極体誘電体層上に導電性高分子膜を形成させた。さらに、この導電性高分子膜が形成した陽極体上にカーボンペースト、銀ペーストを塗布し、さらにリードフレームに取付けエポキシ樹脂封止を行った。このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例1において、固形物濃度1.1%の粘度30mPa/sに調整した平均粒径20nmの導電性高分子(ポリ−(3,4−エチレンジオキシチオフェン))の水系分散液に替えて、固形物濃度2.3%の粘度60mPa/sに調整した平均粒径20nmの導電性高分子(ポリ−(3,4−エチレンジオキシチオフェン))の水系分散液を用いた以外は、同様の操作を行って作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例1において、導電性高分子の水系分散液に替えて30%硝酸マンガン水溶液を用い、乾燥条件を200℃、25分にし、同様の操作を行い、誘電体層上に二酸化マンガン層を形成させた。また含浸回数5回、10回、15回、20回、25回終了時には、陽極体を80℃、1%リン酸水溶液中で15Vの電圧で30分化成処理を行うことにより二酸化マンガン形成時の誘電体膜の損傷を修復させる工程を追加した。
さらにこの二酸化マンガンが形成された陽極体上にカーボンペースト、銀ペーストを塗布し、さらにリードフレームに取付けエポキシ樹脂封止を行った。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例1と同様に、固体電解コンデンサを作成した。ただし浸漬深さを全て2mmに固定した。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例2と同様に、固体電解コンデンサを作成した。ただし浸漬深さを全て2mmに固定した。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例3と同様に、固体電解コンデンサを作成した。ただし浸漬深さを全て2mmに固定した。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例1と同じ手法で作成した陽極体を含浸装置のホルダーに固定し、浸漬槽に取り付け、導電性高分子分散液を満たすところまでは実施例1と同じである。
次に大気圧下で、浸漬槽を素子の最下面が液面下0.1mmの位置になるように移動し浸漬を行った。このまま化成体全体に分散液が浸透するまで5分保持した後、浸漬槽を元の位置に戻した。
陽極体を取り出し、大気圧下で120℃10分乾燥した後室温まで自然冷却させた。
この陽極体を再度含浸装置に固定するところから乾燥冷却までの工程を1回とし、この工程を、その際回数が1回増すごとに浸漬距離を0.1mm増やして20回繰り返した。
さらに浸漬深さを2mmに固定し、3回浸漬を繰り返し、陰極形成剤分散液を平均粒径1μmの導電性高分子の水系分散液に交換し、さらに2回浸漬繰り返し陽極体の表面を完全に閉塞させた。合計25回の浸漬による含浸工程を行い陽極体誘電体層上に導電性高分子膜を形成させた。
さらにこの導電性高分子膜が形成した陽極体上にカーボンペースト、銀ペーストを塗布し、さらにリードフレームに取付けエポキシ樹脂封止を行った。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
市販の静電容量公称70000μFV/gのコンデンサ用タンタル粉末をタンタル線とともに成形し、約35mg、2mm×2mm×1.4mmの成形体を作成した。これを<4×10-3Paで1200℃、30分熱処理を行い焼結体を得た。得られた焼結体を80℃、1%リン酸水溶液中で20Vの電圧で300分化成処理を行うことで表面に誘電体層を形成し陽極体を作成した。この陽極体の30%硫酸中での容量は119μFであり、水銀圧入法による平均細孔径は0.29μmであった
また、この陽極体20個を実施例4と同様の方法で大気圧下、多段階浸漬による含浸を行い陽極体誘電体層上に導電性高分子膜を形成させた。
さらにこれらの導電性高分子膜が形成した陽極体上にカーボンペースト、銀ペーストを塗布し、さらにリードフレームに取付けエポキシ樹脂封止を行った。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量、と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例4と同様に、固体電解コンデンサを作成した。ただし浸漬深さを全て2mmに固定した。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
実施例5と同様に、固体電解コンデンサを作成した。ただし浸漬深さを全て2mmに固定した。
このようにして作られた固体電解コンデンサ20個の平均の120Hzでの静電容量と10kHzでの等価直列抵抗は表1の通りであった。
しかし、多段浸漬を行った実施例4及び5では、30%硫酸中での容量に近い容量が得られ、また、等価直列抵抗も低くなっている。すなわち、本発明の方法を用いれば、微細な細孔の陽極体にも十分に陰極を形成することができる。
2 陽極体ホルダー
3 陰極形成溶液槽
4 昇降装置
5 温度調整手段
10 含浸装置
Claims (13)
- 細孔を有する弁作用金属焼結体からなる陽極体に誘電体層を形成し、その誘電体層の上に導電性化合物層を積層することにより陰極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、導電性化合物層となる無機化合物溶液、有機化合物溶液または導電性高分子化合物分散液に陽極体を含浸し導電性化合物層を積層する工程を繰り返して陰極を形成するに際して、前記溶液あるいは分散液に陽極体を浸す範囲を、含浸する回数が増すごとに深くすることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
- 弁作用金属焼結体の平均細孔径が0.5μm未満である請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 溶液あるいは分散液の1回当たり含浸時間が、毛細管現象で液が弁作用金属焼結体内部まで浸透するに十分な時間である請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 溶液あるいは分散液の1回当たり含浸時間が、1〜10分である請求項3に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 前記溶液あるいは分散液を陽極体に複数回減圧下で含浸し、熱分解あるいは乾燥する工程を繰り返して陰極を形成する請求項1乃至4のいずれかに記載の記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 大気圧下で、前記溶液あるいは分散液を陽極体に複数回含浸し熱分解あるいは乾燥する工程を繰り返して陰極を形成する請求項1乃至4のいずれかに記載の記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 前記弁作用金属焼結体が、タンタル粉、ニオブ粉、タンタルを主成分とする合金粉、ニオブを主成分とする合金粉、及び一酸化ニオブ粉から選択される粉末の焼結体である請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 請求項1乃至7のいずれかの方法で作られた固体電解コンデンサ。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法を実施するための装置であって、外気と遮断し内部を減圧にする手段(1)、及び内部に陽極体固定用の陽極体ホルダー(2)、陰極形成液槽(3)、前記陽極体ホルダー(2)または陰極形成液槽(3)を昇降できる昇降手段(4)、並びに前記陰極形成液槽(3)の温度調節手段(5)を有する密閉槽からなる含浸装置を備えていることを特徴とする固体電解コンデンサの製造装置。
- 陰極形成液槽(3)が減圧時の蒸発潜熱による液温変化を防止できる温度調節が可能なジャケット式構造からなる請求項7に記載の装置。
- 陽極体ホルダー(2)が位置固定され、陰極形成槽(3)が昇降装置(4)の上に置かれている請求項7に記載の装置。
- 陰極形成槽(3)が位置固定され、陽極体ホルダー(2)が昇降装置(4)に連結されている請求項7に記載の装置。
- 陰極形成槽(3)と陽極体ホルダー(2)との間の距離を検知し、浸漬距離を制御できる距離検知手段を備えている請求項9乃至12のいずれかに記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009515236A JP4714786B2 (ja) | 2007-05-21 | 2008-05-20 | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007134579 | 2007-05-21 | ||
JP2007134579 | 2007-05-21 | ||
PCT/JP2008/059184 WO2008143234A1 (ja) | 2007-05-21 | 2008-05-20 | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
JP2009515236A JP4714786B2 (ja) | 2007-05-21 | 2008-05-20 | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008143234A1 true JPWO2008143234A1 (ja) | 2010-08-12 |
JP4714786B2 JP4714786B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=40031931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009515236A Active JP4714786B2 (ja) | 2007-05-21 | 2008-05-20 | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8696767B2 (ja) |
EP (1) | EP2159808B1 (ja) |
JP (1) | JP4714786B2 (ja) |
CN (1) | CN101681724B (ja) |
WO (1) | WO2008143234A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008143234A1 (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Showa Denko K. K. | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
US8848342B2 (en) | 2010-11-29 | 2014-09-30 | Avx Corporation | Multi-layered conductive polymer coatings for use in high voltage solid electrolytic capacitors |
US8576543B2 (en) * | 2010-12-14 | 2013-11-05 | Avx Corporation | Solid electrolytic capacitor containing a poly(3,4-ethylenedioxythiophene) quaternary onium salt |
CN103985548A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-08-13 | 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司 | 一种固体电解电容器的制备方法 |
JP7273946B2 (ja) * | 2018-07-26 | 2023-05-15 | ケメット エレクトロニクス コーポレーション | 高静電容量回復率及び低esrを有する電解コンデンサを形成する方法 |
CN112889123A (zh) | 2018-08-10 | 2021-06-01 | 阿维科斯公司 | 包含本征导电聚合物的固体电解电容器 |
US11114250B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-09-07 | Avx Corporation | Solid electrolytic capacitor formed from conductive polymer particles |
US11183342B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-11-23 | Avx Corporation | Solid electrolytic capacitor containing polyaniline |
CN118213199A (zh) | 2018-12-11 | 2024-06-18 | 京瓷Avx元器件公司 | 含有本征导电聚合物的固体电解电容器 |
US20220215981A1 (en) * | 2019-05-16 | 2022-07-07 | Showa Denko K.K. | Electrically conductive polymer composition and method for stably storing electrically conductive polymer solution |
DE112020004416T5 (de) | 2019-09-18 | 2022-06-15 | KYOCERA AVX Components Corporation | Festelektrolytkondensator zur Verwendung bei hohen Spannungen |
DE112020006028T5 (de) | 2019-12-10 | 2022-10-06 | KYOCERA AVX Components Corporation | Festelektrolytkondensator, der eine Vorbeschichtung und ein intrinsisch leitfähiges Polymer enthält |
DE112020006024T5 (de) | 2019-12-10 | 2022-10-06 | KYOCERA AVX Components Corporation | Tantalkondensator mit erhöhter Stabilität |
US11631548B2 (en) | 2020-06-08 | 2023-04-18 | KYOCERA AVX Components Corporation | Solid electrolytic capacitor containing a moisture barrier |
WO2022131020A1 (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-23 | 株式会社村田製作所 | 固体電解コンデンサ素子、固体電解コンデンサ、固体電解コンデンサ素子の製造方法、及び、固体電解コンデンサの製造方法 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3864219A (en) | 1974-01-08 | 1975-02-04 | Atomic Energy Commission | Process and electrolyte for applying barrier layer anodic coatings |
JPS50102861A (ja) | 1974-01-14 | 1975-08-14 | ||
GB9708944D0 (en) * | 1997-05-01 | 1997-06-25 | Avx Ltd | Capacitor manufacture |
US6351370B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-02-26 | Showa Denko K.K. | Solid electrolytic capacitor and method for producing the same |
EP1030324B1 (en) * | 1998-06-11 | 2009-08-26 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Sheet capacitor element and laminated solid electrolytic capacitor |
JP2000100666A (ja) | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体電解コンデンサの製造方法およびこの製造方法を用いて作製した固体電解コンデンサ |
US6890363B1 (en) * | 1999-05-24 | 2005-05-10 | Showa Denko K.K. | Solid electrolytic capacitor and method for producing the same |
JP2001155966A (ja) | 1999-09-14 | 2001-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | コンデンサの製造方法 |
JP2001110681A (ja) | 1999-10-12 | 2001-04-20 | Fujitsu Media Device Kk | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
CN1184653C (zh) * | 1999-12-03 | 2005-01-12 | 松下电器产业株式会社 | 固体电解电容器的制作方法及固体电解电容器 |
JP5126865B2 (ja) | 2000-03-22 | 2013-01-23 | 日本ケミコン株式会社 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
US6430032B2 (en) * | 2000-07-06 | 2002-08-06 | Showa Denko K. K. | Solid electrolytic capacitor and method for producing the same |
US6731497B2 (en) * | 2001-07-11 | 2004-05-04 | Tdk Corporation | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same |
WO2003019593A1 (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-06 | Showa Denko K.K. | Solid electrolytic capacitor and method for producing the same |
JP2003109851A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Nippon Chemicon Corp | 固体電解コンデンサの製造方法 |
JP2003109581A (ja) | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Mitsubishi Materials Corp | 二次電池用電極及びこれを用いた二次電池 |
JP2003197490A (ja) | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Jcc Engineering Co Ltd | 電解コンデンサ素子の電解液含浸方法及び装置 |
US6813141B2 (en) * | 2002-03-04 | 2004-11-02 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Solid electrolytic capacitor and method for producing the same |
TWI254333B (en) * | 2002-03-18 | 2006-05-01 | Sanyo Electric Co | Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing same |
WO2004097870A1 (en) * | 2003-04-28 | 2004-11-11 | Showa Denko K.K. | Valve acting metal sintered body, production method therefor and solid electrolytic capacitor |
JP2005109252A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Nippon Chemicon Corp | 固体電解コンデンサの製造方法 |
US20050278915A1 (en) * | 2004-06-18 | 2005-12-22 | Vannatta Guy C Jr | Spray coating of cathode onto solid electrolyte capacitors |
JP4990506B2 (ja) | 2005-04-26 | 2012-08-01 | Necトーキン株式会社 | 固体電解コンデンサとその製造方法 |
JP4787967B2 (ja) * | 2005-06-09 | 2011-10-05 | 国立大学法人東京農工大学 | 電解コンデンサ素子及びその製造方法 |
CN100472680C (zh) * | 2005-11-18 | 2009-03-25 | 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司 | 固体电解电容器阴极制造方法 |
WO2008143234A1 (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Showa Denko K. K. | 固体電解コンデンサの製造方法及び装置 |
-
2008
- 2008-05-20 WO PCT/JP2008/059184 patent/WO2008143234A1/ja active Application Filing
- 2008-05-20 JP JP2009515236A patent/JP4714786B2/ja active Active
- 2008-05-20 CN CN2008800169012A patent/CN101681724B/zh active Active
- 2008-05-20 US US12/601,466 patent/US8696767B2/en active Active
- 2008-05-20 EP EP08752980.6A patent/EP2159808B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2159808A4 (en) | 2018-03-28 |
EP2159808B1 (en) | 2019-08-07 |
JP4714786B2 (ja) | 2011-06-29 |
WO2008143234A1 (ja) | 2008-11-27 |
CN101681724A (zh) | 2010-03-24 |
EP2159808A1 (en) | 2010-03-03 |
US20100172067A1 (en) | 2010-07-08 |
CN101681724B (zh) | 2012-01-18 |
US8696767B2 (en) | 2014-04-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110204 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20110204 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20110224 |
|
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