JPWO2006129563A1 - 脆性材料基板分断装置および分断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る分断装置について説明する。図1に示された分断装置1は、スクライブラインが形成された基板Gを分断するためのブレイク工程を実行するものであり、上部ローラ保持部110と、この上部ローラ保持部110の下方に配置された下部ローラ保持部120とを備えている。基板Gは、例えばガラス基板などの脆性材料基板であり、テーブル130(図5参照)に載置されている。なお、図5に示されるテーブル130は、複数のテーブル構成部材130aによって構成されており、各テーブル構成部材130aに例えば真空吸着により基板Gを保持する機構がそれぞれ設けられた基板保持手段として機能する真空吸着テーブルである。テーブル130は、下部ローラ保持部120が通過し得るように、基板Gの各側部のみを保持するようになっている。
上述した、本発明の第1の実施の形態に係る分断装置に備えられる分断面離間手段は、ブレイク工程において分断された基板を相互に離間する方向に移動させることとしたが、本実施の形態に係る分断装置に備えられる分断面離間手段は、これに加えて分断後の一方の基板部分をその上下方向にも移動させることを特徴とする。
上述した、本発明の第1および第2の実施の形態に係る分断装置に備えられる分断面離間手段は、基板に当接するローラまたはベルトが、変形することにより、または回転軸が移動方向に対して傾斜して設けられることにより、ブレイク工程において分断された基板同士を相互に離間させる構成としたが、これに代えて、本実施の形態に係る分断装置に備えられる分断面離間手段は、基板Gの表面を押圧するローラと、外径が軸方向に沿って順次小さくなることによって外周面が傾斜したローラとによって、分断された一方の基板部分を挟んでその位置を規制することにより、分断された基板部分をそれぞれ移動させることを特徴とする。
このため、本実施の形態に係る分断装置3の分断面離間手段によれば、一方の基板部分G1と他方の基板部分G2との離間間隔Dを押下ローラ313およびテーパローラ323の形状および配置によって規定することができるため、より確実に分断された基板部分G1およびG2のそれぞれの分断面B1およびB2同士を相互に離間させることができる。
Claims (17)
- 垂直クラックによるスクライブラインが表面に予め形成された脆性材料基板の当該スクライブライン近傍部分に、該スクライブラインに沿って相対的に移動可能になった圧力を付加して、前記垂直クラックを前記脆性材料基板の裏面にまで伸展させることによって該脆性材料基板を第1基板部分および第2基板部分に分断する分断手段と、
前記第1基板部分の表面および裏面に当接して、該第1基板部分の分断面が前記第2基板部分の分断面から離れる方向に前記第1基板部分を移動させる分断面離間手段と、
を備えることを特徴とする脆性材料基板分断装置。 - 前記分断面離間手段は、
前記第1基板部分の表面に圧接されることによって弾性変形して、該第1基板部分の表面を転動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第1ローラと、
前記第1基板部分を挟んで前記第1ローラと対向して配置されて、該第1基板部分の裏面に圧接されることによって弾性変形して、該第1基板部分の裏面を転動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第2ローラと、
を有することを特徴とする、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記第1ローラおよび前記第2ローラは、それぞれの直径が軸方向の一方側から他方側にかけて順次増加しており、それぞれの直径が小さくなった部分が前記分断面に近接して配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記分断面離間手段は、
回転軸と直交する方向が、前記圧力の移動方向の前方側において前記スクライブラインに対して鋭角で交差するように配置されており、前記第1基板部分の表面を転動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第1ローラと、
前記第1基板部分を挟んで該第1ローラに対向するとともに該第1ローラに平行するように配置されており、前記第1基板部分の裏面を転動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第2ローラと、
を有することを特徴とする、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記分断面離間手段は、
それぞれの回転軸が平行になった複数の車輪に環状のベルトが巻き掛けられて、該ベルトの厚さが幅方向の一方の側縁から他方の側縁にかけて順次厚くなるとともに、薄くなった側縁が前記分断面に近接して配置されて、前記第1基板部分の表面に圧接されることによって前記ベルトが弾性変形して、該ベルトが周回移動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第1ベルトコンベア機構と、
それぞれの回転軸が平行になった複数の車輪に環状のベルトが巻き掛けられて、該ベルトの厚さが幅方向の一方の側縁から他方の側縁にかけて順次厚くなるとともに、薄くなった側縁が前記分断面に近接して配置されて、前記第1基板部分の裏面に圧接されることによって前記ベルトが弾性変形して、該ベルトが周回移動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第2ベルトコンベア機構と、
を有することを特徴とする、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記分断面離間手段は、
それぞれの回転軸が平行になった複数の車輪に環状のベルトが巻き掛けられて、前記各回転軸と直交する方向が、前記圧力の移動方向の前方側において前記スクライブラインに対して鋭角で交差するように配置されて、前記第1基板部分の表面に圧接された状態で前記ベルトが周回移動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第1ベルトコンベア機構と、
それぞれの回転軸が平行になった複数の車輪に環状のベルトが巻き掛けられて、前記第1ベルトコンベア機構に前記第1基板部分を挟んで対向して配置されて、前記第1基板部分の裏面に圧接された状態で前記ベルトが周回移動することによって前記第1基板部分を前記第2基板部分から離間させる力を生じさせる第2ベルトコンベア機構と、
を有することを特徴とする、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記分断面離間手段は、前記第2基板の表面および裏面に当接して、該第2基板部分の分断面が前記第1基板部分の分断面から離れる方向に前記第2基板部分を移動させることが可能であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記分断面離間手段は、
前記第1基板部分および前記第2基板部分の表面に圧接されることによって弾性変形して、その回転によって前記第1基板部分および前記第2基板部分を相互に離間させる力が生じる第1ローラと、
該第1ローラが圧接される前記第1基板部分および前記第2基板部分の表面に対応する裏面部分に圧接されることによって弾性変形して、その回転によって前記第1基板部分および前記第2基板部分を相互に離間させる力が生じる第2ローラと、
を有することを特徴とする、請求項7に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記分断面離間手段は、
前記第1基板部分の表面に圧接されて転動する第1ローラと、
前記第1基板部分を挟んで前記第1ローラに対向するとともに、前記第1基板部分の前記分断面に対向するように配置され、外周面と前記第1基板部分との間隔が前記分断面側から前記第1基板側にかけて順次大きくなった第2ローラとを備える、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。 - 前記第2ローラは、前記外周面の直径が前記分断面側から前記第1基板側にかけて順次小さくなっている、請求項9に記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記第2ローラは、前記外周面の直径が一定であって、該外周面と前記第1基板部分との間隔が前記分断面側から前記第1基板側にかけて順次大きくなるように配置されている、請求項9に記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記第2ローラが、前記第1ローラに対して前記圧力の移動方向の後方側にずれて配置されている特徴とする請求項2、4、8のいずれかに記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記第2ベルトコンベア機構が、前記第1ベルトコンベア機構に対して前記圧力の移動方向の後方側にずれて配置されている特徴とする請求項5または6に記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記脆性材料基板を保持する基板保持手段をさらに備える、請求項1に記載の脆性材料基板分断装置。
- 前記基板保持手段は、前記分断面離間手段が前記脆性材料基板を移動させる方向に移動自在に設けられていることを特徴とする、請求項14に記載の脆性材料基板分断装置。
- 垂直クラックによるスクライブラインが表面に予め形成された脆性材料基板の当該スクライブライン近傍部分に、該スクライブラインに沿って相対的に移動可能になった圧力を付加して、前記垂直クラックを前記脆性材料基板の裏面にまで伸展させることによって該脆性材料基板を第1基板部分および第2基板部分に分断する分断工程と、
前記第1基板部分の表面および裏面に当接して、該第1基板部分の分断面が前記第2基板部分の分断面から離れる方向に前記第1基板部分を移動させる分断面離間工程と、
を包含することを特徴とする脆性材料基板分断方法。 - 前記分断面離間工程において、前記第1基板部分が下方に移動されることを特徴とする請求項16に記載の脆性材料分断方法。
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