JPH0911226A - 基板分割装置 - Google Patents
基板分割装置Info
- Publication number
- JPH0911226A JPH0911226A JP19250595A JP19250595A JPH0911226A JP H0911226 A JPH0911226 A JP H0911226A JP 19250595 A JP19250595 A JP 19250595A JP 19250595 A JP19250595 A JP 19250595A JP H0911226 A JPH0911226 A JP H0911226A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate sheet
- rollers
- roller
- bar
- Prior art date
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- Pending
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の損傷を少なくする。微小規格の基板も
安定して分割する。基板シートの挿入ミスをなくす。基
板シートの割れを防止する。 【構成】 搬送されてきた基板シート１１の先端を一対
のローラ１４，１５間に挿入し、下ローラ１４を駆動し
て１ｍｍだけその先端を突出させる。同時にブレイクロ
ーラ１６Ａ，１６Ｂが下ローラ１４に同期して回転し、
この突出端に接触させ、これを下方に向かって所定の力
で押圧する。ローラ１４，１５による挟圧部分を支点と
して、基板シート１１の先端突出部に下方に向かって押
圧力が作用する結果、基板シート１１から所定幅のバー
状基板１２が折られ、分割される。よって、適切な力で
基板シートをバー状基板に分割することができる。
安定して分割する。基板シートの挿入ミスをなくす。基
板シートの割れを防止する。 【構成】 搬送されてきた基板シート１１の先端を一対
のローラ１４，１５間に挿入し、下ローラ１４を駆動し
て１ｍｍだけその先端を突出させる。同時にブレイクロ
ーラ１６Ａ，１６Ｂが下ローラ１４に同期して回転し、
この突出端に接触させ、これを下方に向かって所定の力
で押圧する。ローラ１４，１５による挟圧部分を支点と
して、基板シート１１の先端突出部に下方に向かって押
圧力が作用する結果、基板シート１１から所定幅のバー
状基板１２が折られ、分割される。よって、適切な力で
基板シートをバー状基板に分割することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は基板分割装置、詳しく
は複数のバー状基板を一体に形成した基板シートからバ
ー状基板を分割する基板分割装置に関する。
は複数のバー状基板を一体に形成した基板シートからバ
ー状基板を分割する基板分割装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の基板分割装置としては、
図４，図５に示すように、２つのローラを用いた装置が
知られていた。この装置では、ワーク（基板シート）１
は回転している上下２つのゴムローラ２，３の間に挿入
される。挿入されたワーク１は、基板シート１のスリッ
ト位置が中央（上下のローラ２，３の回転軸を含む平
面）にきたとき、硬いゴムの下ローラ２との接点を支点
にしてその両側を上ローラ３で押えられる形になり（図
６参照）、このスリットを境界にしてバー状基板４に分
割される。このとき、上ローラ３のゴム硬度は下ローラ
２のそれに比較して軟らかくしてある。また、上ローラ
３は一定の荷重でワーク１を押圧するように構成してあ
る。５はバー状基板４の搬出ベルトである。
図４，図５に示すように、２つのローラを用いた装置が
知られていた。この装置では、ワーク（基板シート）１
は回転している上下２つのゴムローラ２，３の間に挿入
される。挿入されたワーク１は、基板シート１のスリッ
ト位置が中央（上下のローラ２，３の回転軸を含む平
面）にきたとき、硬いゴムの下ローラ２との接点を支点
にしてその両側を上ローラ３で押えられる形になり（図
６参照）、このスリットを境界にしてバー状基板４に分
割される。このとき、上ローラ３のゴム硬度は下ローラ
２のそれに比較して軟らかくしてある。また、上ローラ
３は一定の荷重でワーク１を押圧するように構成してあ
る。５はバー状基板４の搬出ベルトである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来装置にあっては、以下の欠点があった。まず、
基板シートを微小規格（サイズ）のバー状基板に分割す
るためには、上ローラ側をかなりの力で加圧しなければ
ならず（押圧力が過大となって）、バー折れ不良が出や
すい。次に、各基板シート（ロット）によりその加圧条
件が異なるため、上下ローラへの入口部分でのシートに
対する挿入高さが変動し、挿入ミスを起こす。さらに、
図６に示すように、バー状基板への分割時、上ローラの
衝撃が未分割の板状の基板シートにも伝わり、途中での
割れを引き起こす。
うな従来装置にあっては、以下の欠点があった。まず、
基板シートを微小規格（サイズ）のバー状基板に分割す
るためには、上ローラ側をかなりの力で加圧しなければ
ならず（押圧力が過大となって）、バー折れ不良が出や
すい。次に、各基板シート（ロット）によりその加圧条
件が異なるため、上下ローラへの入口部分でのシートに
対する挿入高さが変動し、挿入ミスを起こす。さらに、
図６に示すように、バー状基板への分割時、上ローラの
衝撃が未分割の板状の基板シートにも伝わり、途中での
割れを引き起こす。
【０００４】
【発明の目的】そこで、この発明は、バー状に分割する
力を小さくし、ワーク（基板）の損傷を少なくすること
を、その目的としている。また、微小規格のワークも安
定して分割できることを、その目的としている。また、
基板シートの挿入ミスをなくすことを、その目的として
いる。また、基板シートの割れを防止することを、その
目的としている。
力を小さくし、ワーク（基板）の損傷を少なくすること
を、その目的としている。また、微小規格のワークも安
定して分割できることを、その目的としている。また、
基板シートの挿入ミスをなくすことを、その目的として
いる。また、基板シートの割れを防止することを、その
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数の基板の集合体である基板シートから基板を分
割する基板分割装置において、対向して配設され、これ
らの間に基板シートを挟むことができる一対のローラ
と、これらの一対のローラの間に挟まれた基板シートに
対して厚さ方向に力を印加するブレイクローラと、を有
するとともに、このブレイクローラの中心軸を、上記一
対のローラの各中心軸を含む平面から離間して配設した
基板分割装置である。
は、複数の基板の集合体である基板シートから基板を分
割する基板分割装置において、対向して配設され、これ
らの間に基板シートを挟むことができる一対のローラ
と、これらの一対のローラの間に挟まれた基板シートに
対して厚さ方向に力を印加するブレイクローラと、を有
するとともに、このブレイクローラの中心軸を、上記一
対のローラの各中心軸を含む平面から離間して配設した
基板分割装置である。
【０００６】請求項２に記載の発明は、上記ブレイクロ
ーラと一対のローラとの間の間隔を可変とした請求項１
に記載の基板分割装置である。
ーラと一対のローラとの間の間隔を可変とした請求項１
に記載の基板分割装置である。
【０００７】
【作用】請求項１に記載の発明によれば、一対のローラ
の間に基板シートを挟み、ブレイクローラでこの基板シ
ートを押圧する。この結果、基板シートには一対のロー
ラでの挟持部分を支点としてこれから離れた部分に厚さ
方向の力が加えられ、基板シートから基板が折られて分
割される。この場合、基板シートに切り欠き溝を形成し
ておくことにより、所望の部位での分割を行うことがで
きる。
の間に基板シートを挟み、ブレイクローラでこの基板シ
ートを押圧する。この結果、基板シートには一対のロー
ラでの挟持部分を支点としてこれから離れた部分に厚さ
方向の力が加えられ、基板シートから基板が折られて分
割される。この場合、基板シートに切り欠き溝を形成し
ておくことにより、所望の部位での分割を行うことがで
きる。
【０００８】また、請求項２に記載の発明では、このと
きの挟持部分からのブレイクローラの押圧位置を可変と
したため、これをワーク（基板シートから分割するバー
状基板）の幅寸法位置とすると、従来の上下ローラのゴ
ムの硬度差により分割する方法に比較して、分割に要す
る力は各段に小さくて済む。なお、このブレイクローラ
をカム状のローラとしてもよい。
きの挟持部分からのブレイクローラの押圧位置を可変と
したため、これをワーク（基板シートから分割するバー
状基板）の幅寸法位置とすると、従来の上下ローラのゴ
ムの硬度差により分割する方法に比較して、分割に要す
る力は各段に小さくて済む。なお、このブレイクローラ
をカム状のローラとしてもよい。
【０００９】
【実施例】以下、この発明に係る基板分割装置の一実施
例を図面を参照して説明する。図１〜図３は一実施例に
係る基板分割装置を示す図である。これらの図におい
て、１１は基板シートであり、この基板シート１１は複
数のバー状基板１２が幅方向に連続して形成されたバー
状基板１２の集合体である。基板シート１１は、図示し
ていない搬送装置によりこの分割装置にまで搬送され
て、分割装置においてバー状基板１２に分割され、ベル
ト１３により次工程に搬送される。なお、このバー状基
板１２の幅は例えば１ｍｍとすることができ、これらの
バー状基板１２の間には所定のスリット乃至溝が形成し
てある。
例を図面を参照して説明する。図１〜図３は一実施例に
係る基板分割装置を示す図である。これらの図におい
て、１１は基板シートであり、この基板シート１１は複
数のバー状基板１２が幅方向に連続して形成されたバー
状基板１２の集合体である。基板シート１１は、図示し
ていない搬送装置によりこの分割装置にまで搬送され
て、分割装置においてバー状基板１２に分割され、ベル
ト１３により次工程に搬送される。なお、このバー状基
板１２の幅は例えば１ｍｍとすることができ、これらの
バー状基板１２の間には所定のスリット乃至溝が形成し
てある。
【００１０】この分割装置にあっては、一対の下ローラ
１４および上ローラ１５を有しており、搬送されてきた
基板シート１１の先端はこれらの一対の下ローラ１４お
よび上ローラ１５の間に挿入されることとなる。これら
のローラ１４，１５はそれぞれ所定の材質（ゴム硬度は
９５および９０）で所定の径を有しており、かつ、それ
ぞれの回転軸は互いに平行にかつ所定間隔だけ離間して
配設されている。すなわち、一対の下ローラ１４および
上ローラ１５の間に基板シート１１の先端が挿入される
ように、基板シート１１の厚さに対応してその外周面同
士は所定間隔だけ離間して配設されている。
１４および上ローラ１５を有しており、搬送されてきた
基板シート１１の先端はこれらの一対の下ローラ１４お
よび上ローラ１５の間に挿入されることとなる。これら
のローラ１４，１５はそれぞれ所定の材質（ゴム硬度は
９５および９０）で所定の径を有しており、かつ、それ
ぞれの回転軸は互いに平行にかつ所定間隔だけ離間して
配設されている。すなわち、一対の下ローラ１４および
上ローラ１５の間に基板シート１１の先端が挿入される
ように、基板シート１１の厚さに対応してその外周面同
士は所定間隔だけ離間して配設されている。
【００１１】下ローラ１４はその回転軸は固定されてお
り、かつ、図示していないモータによって駆動される。
上ローラ１５は回転自在に設けられ、その回転軸は下ロ
ーラ１４の回転軸を中心にしてその円周方向に一定角度
範囲で可動に設けられている。
り、かつ、図示していないモータによって駆動される。
上ローラ１５は回転自在に設けられ、その回転軸は下ロ
ーラ１４の回転軸を中心にしてその円周方向に一定角度
範囲で可動に設けられている。
【００１２】さらに、これらの一対のローラ１４，１５
から所定距離だけ離間してブレイクローラ１６Ａ，１６
Ｂが配設されている。このブレイクローラ１６Ａ，１６
Ｂは、基板シート１１の挿入側とは反対側に、これらの
上下一対のローラ１４，１５の各回転軸を含む平面から
所定距離だけ離間して配設されている。この距離は、ブ
レイクローラ１６Ａ，１６Ｂを移動可能に構成すること
で、可変とすることができる。例えば分割された基板１
２の幅に対応して好適な位置にブレイクローラ１６Ａ，
１６Ｂは配設されている。
から所定距離だけ離間してブレイクローラ１６Ａ，１６
Ｂが配設されている。このブレイクローラ１６Ａ，１６
Ｂは、基板シート１１の挿入側とは反対側に、これらの
上下一対のローラ１４，１５の各回転軸を含む平面から
所定距離だけ離間して配設されている。この距離は、ブ
レイクローラ１６Ａ，１６Ｂを移動可能に構成すること
で、可変とすることができる。例えば分割された基板１
２の幅に対応して好適な位置にブレイクローラ１６Ａ，
１６Ｂは配設されている。
【００１３】図２に示すように、ブレイクローラ１６
Ａ，１６Ｂは、上ローラ１５の側方に配設されており、
駆動ローラ１７Ａ，１７Ｂを介して下ローラ１４によっ
て駆動回転されるように配設されている。そして、これ
らのブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂは図示していないバ
ネにより下方に（下ローラ１４方向に）向かって付勢さ
れている。このブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂのゴム硬
度は９８である。なお、駆動ローラ１７Ａ，１７Ｂのゴ
ム硬度は７０である。
Ａ，１６Ｂは、上ローラ１５の側方に配設されており、
駆動ローラ１７Ａ，１７Ｂを介して下ローラ１４によっ
て駆動回転されるように配設されている。そして、これ
らのブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂは図示していないバ
ネにより下方に（下ローラ１４方向に）向かって付勢さ
れている。このブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂのゴム硬
度は９８である。なお、駆動ローラ１７Ａ，１７Ｂのゴ
ム硬度は７０である。
【００１４】以上の構成に係る基板分割装置にあって
は、基板シート１１の先端が一対のローラ１４，１５間
に挿入されると、下ローラ１４を駆動して所定幅（１ｍ
ｍ）だけその先端を突出させる。同時にブレイクローラ
１６Ａ，１６Ｂが下ローラ１４と同期して駆動・回転
し、この突出端に接触し、かつ、これを下方に所定の力
で押圧する。この結果、上下ローラ１４，１５による挟
圧部分を支点として、基板シート１１の先端突出部に
は、下方に向かって所定の押圧力が作用する。よって、
基板シート１１から所定幅のバー状基板１２が折られ、
分割されることとなる。このようにして分割されたバー
状基板１２はベルト１３によって次工程に搬送される。
なお、この分割時、ゴム製のローラ１４，１５，１６は
その振動を吸収する。また、この分割装置によれば複数
のバー状基板１２を連続的に分割が可能である。なお、
上記ブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂの下方への加圧力は
調整・可変とすることができる。基板シートの種類に応
じた適切な加圧力で分割を行うことができる。
は、基板シート１１の先端が一対のローラ１４，１５間
に挿入されると、下ローラ１４を駆動して所定幅（１ｍ
ｍ）だけその先端を突出させる。同時にブレイクローラ
１６Ａ，１６Ｂが下ローラ１４と同期して駆動・回転
し、この突出端に接触し、かつ、これを下方に所定の力
で押圧する。この結果、上下ローラ１４，１５による挟
圧部分を支点として、基板シート１１の先端突出部に
は、下方に向かって所定の押圧力が作用する。よって、
基板シート１１から所定幅のバー状基板１２が折られ、
分割されることとなる。このようにして分割されたバー
状基板１２はベルト１３によって次工程に搬送される。
なお、この分割時、ゴム製のローラ１４，１５，１６は
その振動を吸収する。また、この分割装置によれば複数
のバー状基板１２を連続的に分割が可能である。なお、
上記ブレイクローラ１６Ａ，１６Ｂの下方への加圧力は
調整・可変とすることができる。基板シートの種類に応
じた適切な加圧力で分割を行うことができる。
【００１５】
【効果】この発明によれば、適切な力で基板シートをバ
ー状基板に分割することができる。このため、その分割
不良の発生も少ない。また、挿入位置を固定化すること
ができるため、安定して基板シートを供給することがで
きる。また、上ローラで保持し、振動も吸収できるた
め、挿入側の基板シートへの衝撃が少なく、基板シート
の途中折れがない。さらに、微小幅の基板でも保持用の
上ローラ、ブレイクローラの位置変更により、分割のた
めの最適条件を作り出すことができる。
ー状基板に分割することができる。このため、その分割
不良の発生も少ない。また、挿入位置を固定化すること
ができるため、安定して基板シートを供給することがで
きる。また、上ローラで保持し、振動も吸収できるた
め、挿入側の基板シートへの衝撃が少なく、基板シート
の途中折れがない。さらに、微小幅の基板でも保持用の
上ローラ、ブレイクローラの位置変更により、分割のた
めの最適条件を作り出すことができる。
【図１】この発明の一実施例に係る基板分割装置の主要
部を示す側面図である。
部を示す側面図である。
【図２】この発明の一実施例に係る基板分割装置の主要
部を示す正面図である。
部を示す正面図である。
【図３】この発明の一実施例に係る基板分割装置の主要
部を示す平面図である。
部を示す平面図である。
【図４】従来の基板分割装置の主要部を示す側面図であ
る。
る。
【図５】従来の基板分割装置の主要部を示す正面図であ
る。
る。
【図６】従来の基板分割装置の主要部の動作を説明する
ための側面図である。
ための側面図である。
１１ 基板シート、 １２ バー状基板、 １４ 下ローラ、 １５ 上ローラ、 １６Ａ，１６Ｂ ブレイクローラ。
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の基板の集合体である基板シートか
ら基板を分割する基板分割装置において、 対向して配設され、これらの間に基板シートを挟むこと
ができる一対のローラと、 これらの一対のローラの間に挟まれた基板シートに対し
て厚さ方向に力を印加するブレイクローラと、を有する
とともに、 このブレイクローラの中心軸を、上記一対のローラの各
中心軸を含む平面から離間して配設した基板分割装置。 - 【請求項２】 上記ブレイクローラと一対のローラとの
間の間隔を可変とした請求項１に記載の基板分割装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19250595A JPH0911226A (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 基板分割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19250595A JPH0911226A (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 基板分割装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0911226A true JPH0911226A (ja) | 1997-01-14 |
Family
ID=16292417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19250595A Pending JPH0911226A (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 基板分割装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0911226A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071866A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Ihi Corp | 脆性材料製板の折割装置 |
| JP2016207943A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 板状物の分割装置、加工装置及び板状物の分割方法 |
-
1995
- 1995-07-04 JP JP19250595A patent/JPH0911226A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071866A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Ihi Corp | 脆性材料製板の折割装置 |
| JP2016207943A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 板状物の分割装置、加工装置及び板状物の分割方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040727 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041214 |